KR100779029B1 - 프로브 스테이션 및 이를 이용한 웨이퍼 검사방법 - Google Patents
프로브 스테이션 및 이를 이용한 웨이퍼 검사방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100779029B1 KR100779029B1 KR1020060128463A KR20060128463A KR100779029B1 KR 100779029 B1 KR100779029 B1 KR 100779029B1 KR 1020060128463 A KR1020060128463 A KR 1020060128463A KR 20060128463 A KR20060128463 A KR 20060128463A KR 100779029 B1 KR100779029 B1 KR 100779029B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- chuck
- support
- wafer
- probe station
- probe
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
- G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
- G01R31/2601—Apparatus or methods therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
- G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
- G01R31/2865—Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
Description
Claims (17)
- 웨이퍼를 검사하는 프로브 스테이션에 있어서,상기 웨이퍼가 안착되고, 상면에 대하여 수직으로 관통하는 복수의 관통구가 구비되어 있는 척;상기 척의 하부에 구비되고, 상기 복수의 관통구에 대응되는 위치에 각각 구비되어 있는 복수의 받침핀이 고정결합되어 있는 받침핀지지대; 및상기 복수의 받침핀에 대하여 상기 척을 승강시키는 척 승강장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.
- 제1항에 있어서,상기 복수의 관통구는,상기 척의 중심에서 동일한 거리에 위치하고, 상기 척의 중심에서 균등각을 갖는 셋 이상의 반경 방향에 각각 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 상기 프로브 스테이션.
- 제1항에 있어서,상기 척 승강장치는,상기 받침핀지지대를 지지하고 고정시키는 지지프레임;상기 받침핀지지대의 하부에 베어링으로 연결되어 있는 볼스크류;상기 볼스크류에 맞물려 상기 볼스크류의 회전에 따라 승강하는 회전안내부재;상기 회전안내부재와 상기 척을 연결하는 연결프레임; 및상기 볼스크류를 회전시키는 구동부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 프로브 스테이션.
- 제3항에 있어서,상기 회전안내부재 또는 상기 연결프레임에 구비되고, 상기 척의 승강을 안내하는 척 가이드부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 프로브 스테이션.
- 제3항에 있어서,상기 구동부는,구동모터;상기 구동모터의 회전축과 결합되어 있는 주동풀리;상기 볼스크류의 하단부에 결합되어 있는 종동풀리; 및상기 구동모터에 의해 작동되는 상기 주동풀리의 회전력을 상기 종동풀리에 전달하는 벨트;를 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 프로브 스테이션.
- 제1항에 있어서,상기 복수의 받침핀의 상단과 하단이 관통되도록 구비되어 있는 복수의 진공홀; 및상기 복수의 진공홀의 내부를 진공상태로 형성하여, 상기 웨이퍼를 상기 복수의 받침핀의 상단에 흡착시키는 진공장치;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 프로브 스테이션.
- 제6항에 있어서,상기 받침핀지지대는,상기 복수의 진공홀과 연통되고, 상기 진공장치와 연결되어 있는 연결구;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 프로브 스테이션.
- 프로브 스테이션에서 프로브 카드의 탐침에 웨이퍼를 접촉시켜 상기 웨이퍼 상의 반도체소자를 검사하는 웨이퍼 검사방법에 있어서,제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 기재된 상기 프로브 스테이션의 척을 상기 프로브 카드의 아래에 위치시키는 단계;상기 척이 하강하여, 복수의 받침핀이 상기 척의 상면에 돌출되는 단계;상기 웨이퍼가 반입되어, 상기 복수의 받침핀에 의해 지지되는 단계; 및상기 척이 상승하여, 상기 웨이퍼가 상기 척의 상면에 안착되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사방법.
- 프로브 스테이션에서 프로브 카드의 탐침에 웨이퍼를 접촉시켜 상기 웨이퍼 상의 반도체소자를 검사하는 웨이퍼 검사방법에 있어서,제6항 또는 제7항에 기재된 상기 프로브 스테이션의 척을 상기 프로브 카드의 아래에 위치시키는 단계;상기 척이 하강하여, 복수의 받침핀이 상기 척의 상면에 돌출되는 단계;상기 웨이퍼가 반입되어, 상기 복수의 받침핀에 의해 지지되는 단계;진공장치가 작동하여, 상기 웨이퍼를 상기 복수의 받침핀의 상단에 흡착시키는 단계; 및상기 척이 상승하고 상기 진공장치의 작동이 정지되어, 상기 웨이퍼가 상기 척의 상면에 안착되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사방법.
- 웨이퍼를 검사하는 프로브 스테이션에 있어서,상기 웨이퍼가 안착되고, 상면에 대하여 수직으로 관통하는 복수의 관통구가 구비되어 있는 척;상기 척의 하부에 구비되고, 상기 복수의 관통구에 대응되는 위치에 각각 구비되어 있는 복수의 받침핀이 고정결합되어 있는 받침핀지지대; 및상기 척에 대하여 상기 받침핀지지대를 승강시키는 지지대 승강장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 스테이션.
- 제10항에 있어서,상기 복수의 관통구는,상기 척의 중심에서 동일한 거리에 위치하고, 상기 척의 중심에서 균등각을 갖는 셋 이상의 반경 방향에 각각 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 상기 프로브 스테이션.
- 제10항에 있어서,상기 지지대 승강장치는,상기 받침핀지지대의 하부에 결합되어 있는 지지부재;상기 지지부재에 길이방향으로 구비되어 있는 랙기어;상기 랙기어와 맞물리는 피니언기어; 및상기 피니언기어의 중심축에 결합되는 모터;를 포함하고, 상기 받침핀지지대는 상기 모터의 작동에 따라 승강하는 것을 특징으로 하는 상기 프로브 스테이션.
- 제12항에 있어서,상기 지지부재에 설치되고, 상기 받침핀지지대의 승강을 안내하는 지지대 가이드부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 프로브 스테이션.
- 제10항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,상기 받침핀 또는 상기 받침핀지지대에 구비되어 있는 단열부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 프로브 스테이션.
- 제10항에 있어서,상기 복수의 받침핀의 상단과 하단이 관통되도록 구비되어 있는 복수의 진공홀; 및상기 복수의 진공홀의 내부를 진공상태로 형성하여, 상기 웨이퍼를 상기 복수의 받침핀의 상단에 흡착시키는 진공장치;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 프로브 스테이션.
- 제15항에 있어서,상기 받침핀지지대는,상기 복수의 진공홀과 연통되고, 상기 진공장치와 연결되어 있는 하나 이상의 연결구;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 상기 프로브 스테이션.
- 프로브 스테이션에서 프로브 카드의 탐침에 웨이퍼를 접촉시켜 상기 웨이퍼 상의 반도체소자를 검사하는 웨이퍼 검사방법에 있어서,제15항 또는 제16항에 기재된 상기 프로브 스테이션의 척을 상기 프로브 카드의 아래에 위치시키는 단계;상기 받침핀지지대가 상승하여, 복수의 받침핀이 상기 척의 상면에 돌출되는 단계;상기 웨이퍼가 반입되어, 상기 복수의 받침핀에 의해 지지되는 단계;진공장치가 작동하여, 상기 웨이퍼를 상기 복수의 받침핀의 상단에 흡착시키는 단계; 및상기 받침핀지지대가 하강하고, 상기 진공장치의 작동이 정지되어 상기 웨이퍼가 상기 척의 상면에 안착되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 검사방법.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060128463A KR100779029B1 (ko) | 2006-12-15 | 2006-12-15 | 프로브 스테이션 및 이를 이용한 웨이퍼 검사방법 |
PCT/KR2007/006435 WO2008072877A1 (en) | 2006-12-15 | 2007-12-11 | Probing tester and testing method for a wafer using the same |
TW96147895A TWI363180B (en) | 2006-12-15 | 2007-12-14 | Probing tester and testing method for a wafer using the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060128463A KR100779029B1 (ko) | 2006-12-15 | 2006-12-15 | 프로브 스테이션 및 이를 이용한 웨이퍼 검사방법 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR100779029B1 true KR100779029B1 (ko) | 2007-11-23 |
Family
ID=39080683
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020060128463A KR100779029B1 (ko) | 2006-12-15 | 2006-12-15 | 프로브 스테이션 및 이를 이용한 웨이퍼 검사방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100779029B1 (ko) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101379834B1 (ko) * | 2012-05-11 | 2014-04-01 | 순환엔지니어링 주식회사 | 승강모듈 및 이를 사용한 승강장치 |
CN109142389A (zh) * | 2018-08-31 | 2019-01-04 | 江苏英锐半导体有限公司 | 一种晶圆流片表面缺陷检测装置 |
KR20230078237A (ko) * | 2021-11-26 | 2023-06-02 | (주)티에스이 | 박막 반도체 핸들링 장치 및 이를 포함하는 반도체 검사 장치 |
CN116626476A (zh) * | 2023-07-26 | 2023-08-22 | 珠海市申科谱工业科技有限公司 | 一种激光芯片探针测试机构 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20050095614A (ko) * | 2003-01-20 | 2005-09-29 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 프로브 장치 및 피검사체 검사 방법 |
-
2006
- 2006-12-15 KR KR1020060128463A patent/KR100779029B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20050095614A (ko) * | 2003-01-20 | 2005-09-29 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 프로브 장치 및 피검사체 검사 방법 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101379834B1 (ko) * | 2012-05-11 | 2014-04-01 | 순환엔지니어링 주식회사 | 승강모듈 및 이를 사용한 승강장치 |
CN109142389A (zh) * | 2018-08-31 | 2019-01-04 | 江苏英锐半导体有限公司 | 一种晶圆流片表面缺陷检测装置 |
KR20230078237A (ko) * | 2021-11-26 | 2023-06-02 | (주)티에스이 | 박막 반도체 핸들링 장치 및 이를 포함하는 반도체 검사 장치 |
KR102660264B1 (ko) * | 2021-11-26 | 2024-04-25 | (주)티에스이 | 박막 반도체 핸들링 장치 및 이를 포함하는 반도체 검사 장치 |
CN116626476A (zh) * | 2023-07-26 | 2023-08-22 | 珠海市申科谱工业科技有限公司 | 一种激光芯片探针测试机构 |
CN116626476B (zh) * | 2023-07-26 | 2023-10-20 | 珠海市申科谱工业科技有限公司 | 一种激光芯片探针测试机构 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20230003794A1 (en) | Chip detection device, chip detection system, and control method | |
JP5664938B2 (ja) | プローバ及びプローブ検査方法 | |
KR100750868B1 (ko) | 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 접속장치 | |
KR102142881B1 (ko) | 웨이퍼 프로버 | |
KR20050004293A (ko) | 탑재대 구동 장치 및 프로브 방법 | |
JP5987967B2 (ja) | プロービング装置及びプローブコンタクト方法 | |
KR100779029B1 (ko) | 프로브 스테이션 및 이를 이용한 웨이퍼 검사방법 | |
WO2016024346A1 (ja) | プローバ及びプローブ検査方法 | |
JP5747428B2 (ja) | 位置決め固定装置 | |
KR20080062247A (ko) | 프로브스테이션 및 이를 이용한 웨이퍼 검사방법 | |
JP4490521B2 (ja) | 回転駆動機構及び被検査体の載置機構並びに検査装置 | |
JPH0567060B2 (ko) | ||
KR101238609B1 (ko) | 피검사체의 수수 기구 | |
KR100269050B1 (ko) | 반도체 소자 검사장비용 처리챔버내에서의 테스트트레이 이송장치 | |
KR100865889B1 (ko) | 프로브 스테이션 및 이를 이용한 웨이퍼 검사방법 | |
KR100269051B1 (ko) | 반도체 소자의 접촉위치 보정장치 | |
KR20100118376A (ko) | 픽 앤 플레이스장치 | |
WO2008072877A1 (en) | Probing tester and testing method for a wafer using the same | |
KR100935485B1 (ko) | 탑재장치 | |
CN115372672A (zh) | 探针设备的工作台、探针设备、控制方法及探针测试方法 | |
CN110542802B (zh) | 电子元件测试装置 | |
KR100300132B1 (ko) | 반도체 소자와 테스터 소켓 간의 접촉력 제어장치 | |
KR101811403B1 (ko) | 테스터기가 가변되는 칩 검사장치 | |
JPH05343500A (ja) | ウエハ移載装置及びプローブ装置 | |
KR200197941Y1 (ko) | 테스트 핸들러의 디바이스 테스트장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20121030 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20131101 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151102 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161028 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20171031 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20181026 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20191029 Year of fee payment: 13 |