CN106558512A - 一种针测机排风装置 - Google Patents

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沈顺金
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Yin Guwei
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Anhui Chaoyuan Semiconductor Co Ltd
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    • H01L22/30—Structural arrangements specially adapted for testing or measuring during manufacture or treatment, or specially adapted for reliability measurements
    • H01L22/34—Circuits for electrically characterising or monitoring manufacturing processes, e. g. whole test die, wafers filled with test structures, on-board-devices incorporated on each die, process control monitors or pad structures thereof, devices in scribe line

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Abstract

本发明公开了一种针测机排风装置，包括针测机后盖，所述针测机后盖开设有排风口，所述针测机后盖开设有长方形孔，所述长方形设计成开孔漏斗，所述开孔漏斗上安装有卡扣，有排风通道通过卡扣与开孔漏斗相连，所述排风通道延伸至无尘室顶部，所述无尘室顶部安装排风机。本发明一种针测机排风装置，在针测机后盖正下方处开设40cm*20cm的长方形孔，设计成长方形开孔漏斗,上下共安装4个卡扣，外接铝箔纸材质排风通道连接无尘室向外排风通道；具有排风效果提高,针测机内部温度与无尘室温度相同；针测机内部的带电粒子直接排出无尘室，避免了带电粒子对晶圆上的晶粒造成的带电伤害。

Description

一种针测机排风装置
技术领域
本发明涉及半导体制造设备技术领域，尤其涉及一种针测机排风装置。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。半导体的生产和制造在不断的发展中形成了完善的生产流程。一般是芯片电路设计-晶圆的制造-晶圆的测试-晶圆的切割研磨-芯片的封装-成品芯片的测试。针测机就外观而言分为两大部分，一部分为机台主体部分，另一部分为晶圆传输机构，主要有晶圆与探针卡放置于测试机的测试头底下作测试，晶圆传输机构的主要作用是将晶舟盘内晶圆传输至承载盘作测试之用。
现有的针测机通过风扇进行排风。但是风扇排风，针测机放置在23±3℃无尘室温度里,针测机内部温度会比外部高出2-3℃，针测机内部组件运动产生的温度排出效果不佳；针测机内部风扇排出的带电粒子直接排放在无尘室内对晶圆上的晶粒造成的带电伤害；针测机排风风扇容易损坏，损坏频率每半年1次，若风扇损坏后未能及时发现,针测机内部将囤积大量带电粒，在针测机对晶圆做针测时,晶圆上的晶粒会烧毁,损失晶圆良率。
发明内容
本发明的目的针对上述现有技术的问题，提供一种针测机排风装置，在针测机后盖正下方处开设40cm*20cm的长方形孔，设计成长方形开孔漏斗,上下共安装4个卡扣，外接铝箔纸材质排风通道连接无尘室向外排风通道。
为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：
一种针测机排风装置，包括针测机后盖，所述针测机后盖开设有排风口，所述针测机后盖开设有长方形孔，所述长方形设计成开孔漏斗，所述开孔漏斗上安装有卡扣，有排风通道通过卡扣与开孔漏斗相连，所述排风通道延伸至无尘室顶部，所述无尘室顶部安装排风机。
进一步地，所述长方形孔长为40cm，宽为20cm。
进一步地，所述卡扣有4个。
进一步地，所述排风通道为铝箔纸材质排风通道。
进一步地，所述排风机通过卡扣卡在无尘室顶部。
进一步地，所述排风机为变频排风机。
本发明的有益效果：一种针测机排风装置，在针测机后盖正下方处开设40cm*20cm的长方形孔，设计长方形开孔漏斗,上下共安装4个卡扣，外接铝箔纸材质排风通道连接无尘室向外排风通道；具有排风效果提高,针测机内部温度与无尘室温度相同；针测机内部的带电粒子直接排出无尘室，避免了带电粒子对晶圆上的晶粒造成的带电伤害。
附图说明
图1为本发明排风装置结构图。
具体实施方式
为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本发明。
具体实施时，结合图1，一种针测机排风装置，包括针测机后盖1、针测机后盖排风口2、长方形开孔漏斗3、卡扣4、排风通道5、排风机6。针测机后盖1开设有针测机后盖排风口2。针测机后盖开设有长方形孔，长方形设计成开孔漏斗3，开孔漏斗上安装有卡扣4，有排风通道5通过卡扣4与开孔漏斗3相连。排风通道4延伸至无尘室顶部，无尘室顶部安装排风机6。
为了提高排风效果，长方形孔设计成长为40cm，宽为20cm。为了便于排风管道安装卡扣有4个，排风通道设计为铝箔纸材质排风通道。排风机通过卡扣卡在无尘室顶部，为了节约能源，排风机设计成变频排风机。
将针测机后盖正下方,距上边15cm处开设40cm*20cm的长方形孔，设计长方形开孔漏斗,上下共安装4个卡扣，外接铝箔纸材质排风通道连接无尘室向外排风通道；能高效地将针测机内部组件运动产生的温度排出,还能将针测机内部排出的带电粒子统一排出无尘室，从而避免带电粒子排放在无尘室内对晶圆上的晶粒造成的带电伤害。
上面所述的实施例仅仅是对本发明的优选实施方式进行描述，并非对本发明的构思和范围进行限定。在不脱离本发明设计构思的前提下，本领域普通人员对本发明的技术方案做出的各种变型和改进，均应落入到本发明的保护范围。

Claims (6)

1.一种针测机排风装置，包括针测机后盖，所述针测机后盖开设有排风口，其特征在于：所述针测机后盖开设有长方形孔，所述长方形设计成开孔漏斗，所述开孔漏斗上安装有卡扣，有排风通道通过卡扣与开孔漏斗相连，所述排风通道延伸至无尘室顶部，所述无尘室顶部安装排风机。
2.按照权利要求1所述的一种针测机排风装置，其特征在于：所述长方形孔长为40cm，宽为20cm。
3.按照权利要求2所述的一种针测机排风装置，其特征在于：所述卡扣有4个。
4.按照权利要求1所述的一种针测机排风装置，其特征在于：所述排风通道为铝箔纸材质排风通道。
5.按照权利要求1所述的一种针测机排风装置，其特征在于：所述排风机通过卡扣卡在无尘室顶部。
6.按照权利要求5所述的一种针测机排风装置，其特征在于：所述排风机为变频排风机。
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