JP2015144155A - プローバ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェハチャック21とプローブカード22とを収容するチャンバ2と、チャンバ2に吸気口2aと排気口2bとを介して接続されて空気の循環経路を形成する循環ダクト3と、空気を循環経路内で循環させるFFU42及び排気ファン43と、を備え、空気の露点を低下させる乾燥空気を循環ダクト3内に供給する乾燥空気供給手段5を備えているプローバ1。
【選択図】図1
Description
2 ・・・ チャンバ
2a・・・ 吸気口
2b・・・ 排気口
21・・・ ウェハチャック
22・・・ プローブカード
22a・・・プローブ
23・・・ X軸移動ステージ
23a・・・スライドテーブル
23b・・・ガイドレール
23c・・・スライド
24・・・ Y軸移動ステージ
24a・・・スライドテーブル
24b・・・ガイドレール
25・・・ Z軸移動ステージ
26・・・ ベース
3 ・・・ 循環ダクト
4 ・・・ 空気循環手段
41・・・ 吸引ファン
42・・・ FFU
43・・・ 排気ファン
5 ・・・ 乾燥空気供給手段
51・・・ ノズル
6 ・・・ 撹拌手段
61・・・ 温度検知部
62・・・ 速度検知部
63・・・ 演算部
64・・・ 制御部
65・・・ 撹拌溝
66・・・ 撹拌壁
D ・・・ 乾燥空気供給位置
R ・・・ 循環経路
W ・・・ ウェハ
Claims (8)
- ウェハチャックとプローブカードとを収容するチャンバと、該チャンバに吸気口と排気口とを介して接続されて空気の循環経路を形成する循環ダクトと、前記空気を前記循環経路内で循環させる空気循環手段と、を備えたプローバであって、
前記空気の露点を低下させる乾燥空気を前記循環ダクト内に供給する乾燥空気供給手段を備えていることを特徴とするプローバ。 - 前記乾燥空気供給手段は、前記排気口に対して前記循環経路の下流側に配置された乾燥空気供給位置で前記乾燥空気を循環ダクト内に供給することを特徴とする請求項1記載のプローバ。
- 前記循環ダクト内に設けられて、前記空気と前記乾燥空気とを撹拌する撹拌手段を備えていることを特徴とする請求項1又は2記載のプローバ。
- 前記撹拌手段は、
前記循環ダクト内を流れる空気の温度を検知する温度検知部と、
前記空気の温度に基づいて、前記循環ダクト内の前記空気及び前記乾燥空気を撹拌可能な臨界レイノルズ数と該臨界レイノルズ数以上を維持可能な空気の乱流維持可能流量とを導出する演算部と、
前記空気の乱流維持可能流量に応じて前記空気循環手段の循環流量を制御する制御部と、
を備えていることを特徴とする請求項3に記載のプローバ。 - 前記撹拌手段は、前記循環ダクトの内周面に刻設されて、前記空気及び前記乾燥空気の流れを乱す撹拌溝であることを特徴とする請求項3に記載のプローバ。
- 前記撹拌溝は、前記乾燥空気供給手段が前記乾燥空気を前記循環ダクト内に供給する乾燥空気供給位置より前記循環経路の下流側に配置されていることを特徴とする請求項5記載のプローバ。
- 前記撹拌手段は、前記循環ダクトの内周面に立設されて、前記空気及び前記乾燥空気の流れを妨げる撹拌壁であることを特徴とする請求項3に記載のプローバ。
- 前記撹拌壁は、前記乾燥空気供給手段が前記乾燥空気を前記循環ダクト内に供給する乾燥空気供給位置より前記循環経路の下流側に配置されていることを特徴とする請求項7記載のプローバ。
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