JP6379253B2 - プローバ - Google Patents
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Description
2 ・・・ チャンバ
2a・・・ 吸気口
2b・・・ 排気口
21・・・ ウェハチャック
22・・・ プローブカード
22a・・・プローブ
23・・・ X軸移動ステージ
24・・・ Y軸移動ステージ
25・・・ Z軸移動ステージ
3 ・・・ 循環ダクト
4 ・・・ 空気循環手段
41・・・ 吸引ファン
42・・・ FFU
43・・・ 排気ファン
5 ・・・ 乾燥空気供給手段
51・・・ ノズル
6 ・・・ 撹拌手段
61・・・ 温度検知部
62・・・ 速度検知部
63・・・ 演算部
64・・・ 制御部
65・・・ 撹拌溝
66・・・ 撹拌壁
D ・・・ 乾燥空気供給位置
R ・・・ 循環経路
W ・・・ ウェハ
Claims (3)
- ウェハチャックとプローブカードとを収容するチャンバと、該チャンバに吸気口と排気口とを介して接続されて空気の循環経路を形成する循環ダクトと、前記空気を前記循環経路内で循環させる空気循環手段と、を備えたプローバであって、
前記循環ダクトの上流側に配置され、前記空気の露点を低下させる乾燥空気を前記循環ダクト内に供給する乾燥空気供給手段を備えていることを特徴とするプローバ。 - 前記循環ダクト内に設けられて、前記空気と前記乾燥空気とを撹拌する撹拌手段を備えていることを特徴とする請求項1記載のプローバ。
- 前記撹拌手段は、
前記循環ダクト内を流れる空気の温度を検知する温度検知部と、
前記空気の温度に基づいて、前記循環ダクト内の前記空気及び前記乾燥空気を撹拌可能な臨界レイノルズ数と該臨界レイノルズ数以上を維持可能な空気の乱流維持可能流量とを導出する演算部と、
前記空気の乱流維持可能流量に応じて前記空気循環手段の循環流量を制御する制御部と、
を備えていることを特徴とする請求項2記載のプローバ。
Priority Applications (1)
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JP2017093284A JP6379253B2 (ja) | 2017-05-09 | 2017-05-09 | プローバ |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017093284A JP6379253B2 (ja) | 2017-05-09 | 2017-05-09 | プローバ |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2014016286A Division JP6143684B2 (ja) | 2014-01-31 | 2014-01-31 | プローバ |
Publications (2)
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Family Applications (1)
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Family Cites Families (3)
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JPH07111995B2 (ja) * | 1987-09-02 | 1995-11-29 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブ装置 |
JP5377915B2 (ja) * | 2008-09-30 | 2013-12-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査装置及び検査方法 |
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2017
- 2017-05-09 JP JP2017093284A patent/JP6379253B2/ja active Active
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