CN1519572A - 搬运机构、使用搬运机构的移动式探针板搬运装置及探测装置 - Google Patents

搬运机构、使用搬运机构的移动式探针板搬运装置及探测装置 Download PDF

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Abstract

探针板搬运装置(10)具备可在台面(G)上自由移动的转向架(11)，和可离接地配置在该转向架(11)上，且在转向架11与探测装置(100)之间搬运探针板C的搬运机构(12)，搬运机构(12)具有基座(13)、在基座(13)上进退移动的臂机构(14)，在基座(13)中设置与探测装置(100)的定位机构(40)，同时，设置与探测装置(100)的固定机构(50)。

Description

搬运机构、使用搬运机构的移动式探针板搬运装置及探测装置
本申请基于2002年12月27日提出、其内容包含于此的在先日本申请2002-379041，并要求其优先权。
技术领域
本发明涉及一种搬运机构、使用搬运机构的移动式探针板搬运装置及探测装置。
背景技术
专利文献1(特开平6-236909号公报(权利要求1))公开了自动交换探针板的发明。在探测装置内设置容纳多个探针板的储藏库和搬运探针板的装置。搬运装置将探针板从储藏库搬运到探测室内。
专利文献1公开的发明将储藏库或探针板的搬运装置设置在探测装置内。因此，存在行程(footprint)变大、成本变高的问题。另外，在几个探测装置使用相同探针板的情况下，需要将该探针板移动改变到其它探测装置的作业。
本申请人为了解决上述问题，在特开2003-051519号公报中提出探针板搬运装置。该探针板搬运装置具有可进退移动的探针板搬运装置、连结探针板搬运机构与探测装置的连结机构。连结机构连结探针板搬运机构与探测装置。探针板搬运机构将探针板搬运到探测装置内。探针板搬运机构还具有移送机构和升降机构。当探针板被搬运到探测装置内时，移送机构将探针板移送至探测装置内的卡夹紧机构。之后，升降机构抬起探针板，装卸于卡夹紧机构上。
但是，在探针板搬运装置将探针板装卸于卡夹紧机构上的情况下，需要相对卡夹紧机构平行地维持探针板。假如在操作探针板搬运装置的台面中多少有些倾斜时，则探针板搬运机构及探针板也倾斜。结果，担心不能将探针板平滑地传递到卡夹紧机构。
发明内容
为了解决上述问题的至少之一而作出本发明。其目的在于提供搬运机构、使用搬运机构的移动式探针板搬运装置及探测装置，其可实现下述至少一个方面：探测装置的行程变小、在探测装置内维持大型探针板与头板的平行状态、相对头板来平滑地搬运、平滑地装卸探针板。
本发明的其它目的及优点记载在以下的说明书中，一部分根据该公开是显而易见的，或通过本发明的实行可得到。本发明的该目的及优点通过与这里特别指出的手段相组合来实现、得到。
根据本发明的第1方面，提供一种具备下述部件的搬运机构：基座；可进退移动地配置在基座上的第1臂机构；可进退移动地配置在第1臂机构上的第2臂机构；配置在上述第1臂机构前后的一对旋转体；挂绕在该一对旋转体之间的环状带；将该环状带连结在该基座上的第1连结件；及将该环状带连结在该第2臂机构上的第2连结件(这里，通过在旋转体周围使该环状带移动，第1臂机构及第2臂机构在基座上进退移动。)。
该搬运机构优选具备下述a至c之一或组合具备其中的任意多个。
a.该第2臂机构具有用于保持应搬运物品的保持机构。
b.该第1连结件使环状带连结于该基座的探测装置侧，该第2连结件将环状带连结于该第2臂机构的探测装置相反侧。
c.该搬运机构具有防止从该基座上进出的该第1臂机构倾斜的机构。
根据本发明的第2方面，提供一种具备下述部件的、将探针板搬运到探测装置/从探测装置中搬运探针板的搬运装置。即自由移动的转向架，可离接地配置在转向架上的搬运机构(该搬运机构配备基座、可进退移动地配置在该基座上的臂机构)，用于将该搬运机构搬运的探针板配置在探测装置内的规定位置上的第1定位机构(将该定位机构配置在基座及探测装置的至少一个中)，用于使该基座定位固定在该探测装置中的第2定位固定机构。
该搬运装置优选具备下述d至j之一或组合具备其中的任意多个。
d.将该转向架连结在该探测装置上的连结操作机构。
e.具有使该搬运机构定位并固定在该转向架上的基准位置上的第1定位固定机构。
f.该第1定位固定机构具有将该搬运机构向该转向架拉伸的弹力部件。
g.该搬运机构被装载在下部板上，该下部板在其下面具有第1滑动机构，该转向架在其上面具有上部板，该上部板在其上面具有第2滑动机构(这里，第1滑动机构可在第2滑动机构上滑动)。
h.该第1滑动机构与该第2滑动机构为板状部件，该第1滑动机构的板状部件与该第2滑动机构的板状部件的至少一个表面由低磨擦材料构成。
i.该臂机构具有可在该基座上进退移动的第1臂机构和可在第1臂机构上进退移动的第2臂机构。
j.防止从该转向架进出的该搬运机构倾斜的机构。
根据本发明的第3方面，提供一种具备下述部件的探测装置：探测器室(该探测器室具有探针板及形成于其侧面及上面至少1侧面上的开口部)，探针板搬运机构12(该探针板搬运机构通过该探测器室的该开口部，向该探测器室搬入探针板及从该探测器室搬出探针板)，可升降地设置在该探测器室外侧面中的升降体，设置在该升降体与搬运机构中的第2定位固定机构(该第2定位固定机构使该搬运机构定位固定在该探测器室的规定位置上)，使该升降体升降的升降体驱动机构。
该探测装置优选具备下述k至1内之一或组合具备其中的任意多个。
k.将该搬运机构可离接地支持在该转向架上的支持机构，及将该转向架连结在该探测器室上的连结机构。
l.该探测器室具有进行该搬运机构搬入的该探针板的水平方向定位并固定的第3定位固定机构。
根据本发明的第4方面，提供一种在具有探针板搬运装置的探测装置中，将探针板搬入探测装置的方法，其具备：(a)将探针板装载在探针板搬运装置上，(b)将探针板搬运装置连结在探测装置上，(c)将探针板搬运装置搬运的探针板的高度调整到对应于探测装置的高度，(d)探针板搬运装置将探针板搬入探测装置中。
附图说明
附图与说明书的一部分连在一起，且构成说明书的一部分，图示本发明的优选实施例。另外，该附图通过上述记述的一般的记述与关于以下记述的优选实施例的详细说明，帮助说明本发明。
图1是模式示出本发明的探针板搬运装置及探测装置的一实施方式的侧面图。
图2是表示图1所示探针板搬运装置的搬运机构主要部分的模式图，图2A是侧面图，图2B是从下方看见的平面图。
图3是模式表示图1所示探针板搬运装置的位置固定机构的部分截面图。
图4是表示图1所示探针板搬运装置的搬运机构的止动器机构的模式图。
图5是模式表示图1所示探针板搬运装置与探测装置连结之前的状态的侧面图。
图6是模式表示图1所示探针板搬运装置与探测装置连结状态的侧面图。
图7是模式表示使图1所示探针板搬运装置与探测装置定位之前的状态的侧面图。
图8是模式表示固定图1所示探针板搬运装置的搬运机构与探测装置之前的状态的侧面图。
图9是模式表示图1所示探针板搬运装置的搬运机构与探测装置固定状态的侧面图。
图10是模式表示经图1所示探针板搬运装置的搬运机构将探针板搬入探测装置中的状态的侧面图。
图11是模式表示经图1所示探针板搬运装置的搬运机构将探针板安装在探测装置中的状态的侧面图。
图12是模式表示本发明的探针板搬运装置及探测装置的其它实施方式的侧面图，是表示经搬运机构将探针板搬运到探测装置之前的状态图。
图13是模式表示经图12所示探针板搬运装置的搬运机构将探针板搬运到探测装置的状态的侧面图。
图14是模式表示防止图12所示搬运机构卡住的状态的侧面图。
具体实施方式
发明的实施方式的模式
下面，根据图1～图14所示实施方式来说明本发明。
本实施方式的探针板搬运装置10如图1所示，具备可在台面G上自由移动的转向架11和搬运机构12。搬运机构12可离接地配置在转向架11上，在转向架11与探测装置100之间搬运探针板C。探测装置100具备使用探针板C来检测被检查体(例如半导体晶片，下面称为“晶片”)的电特性的探测器室101、形成该探测器室101的上面的头板102、和固定在头板102上的探针板C。搬运机构12通过形成于探测器室101中的开口部101A，向探测器室101的内部搬出搬入探针板C。
头板102具有探针板保持部102B，探针板C具有多个定位用孔102C。探针板保持部102B具有多个引导销102A，这些引导销102A将可由搬运机构12搬运的探针板C确实安装在探针板保持部中。
在探测器室101内设置可沿水平方向及垂直方向移动的装载台101B。该装载台装载晶片。在使晶片的电极与设置在探针板C下面的探测器C’(参照图11)接触的状态下，检测晶片的电特性。
在搬运机构12向探测器室101内搬出搬入探针板C的情况下，第1连结机构130将探针板搬运装置10连结到探测装置100上。第1连结机构130如图1所示，具有至少1个连结件31(例如四边形的环状结构)、使连结件31上下摇动的驱动部32、和连结这些驱动部32与操作柄33的第2连结机构34。连结件31内置连杆机构及气缸机构。第2连结机构34如图所示，具有连接于驱动部32的气缸机构的杆32A上的卷簧35、和连接于卷簧35上的连杆36。在从图中所示状态向上方拉起的状态下锁定操作柄33。虽未图示，但驱动部32中具有对连结件31向下方施力的卷簧。如图1所示，当解除探测装置100与探针板搬运装置10的连结时。连结件31通过卷簧35的弹力而从水平状态恢复到倾斜状态。探测装置100配备对应于连结件31的连结用销37(构成第1连结机构130的一部分)。
在转向架11的前面设置配电部11Ba。在探测装置100的正面设置供电部11Bb。当连结转向架11与探测装置100时，配电部11Ba被电连接到供电部11Bb上。结果，通过操作探针板搬运装置10侧的开关，可驱动设置在探测装置100侧的后述的升降体驱动机构等。
通过从图1所示状态拉起操作柄33，第2连结机构34及驱动部32向上方移动连结件31。向上方移动的连结件31嵌入探测装置100侧的连结用销37中。通过具有弹力的卷簧35拉入连结件31，确实连结连结件31与连结用销37。在第1连结机构30的左右(垂直于纸面的方向)，在转向架11侧及探测装置100侧设置突出部件(未图示)。该突出部件抵抗连结件31的拉入力。
搬运机构12如图1、图2所示，可具有在基座13上向前后方向进退移动的臂机构14。基座13可离接地配置在转向架11上。臂机构14具有在基座13上向前后方向进退移动的第1臂15、和在第1臂15上向前后方向进退移动的第2臂16。探针板C装载在第2臂16上。通过操作装配在第1臂15后端的柄15A，可使臂机构14进退移动。如图1所示，第1臂15在基座13上进退移动。第2臂16在第1臂上进退移动。优选设置将这些进退移动变平滑用的机构。例如，可在第1臂15的上下两个面中装配左右一对导轨15B、15C。或者，代替导轨，也可采用低摩擦板、轴承机构、空气轴承机构、磁浮起机构等。
这些导轨15B、15C分别与各自装配在第2臂16的下面及基座13上的引导部件16A、13A(参照图1)咬合。优选在第2臂16的上面，在多个部位设置保持探针板C的机构(例如引导销)15D。这些引导销15D总是向一定方向保持探针板C。
如图2A、图2B所示，优选在第1臂15的下面自由旋转地装配前后一对旋转体(例如滑轮)17A、17B。一对旋转体17A、17B可配置在一对导轨15C(图1)的内侧。环状带17C可配置在滑轮17A、17B上。该环状带17C通过第1、第2连结件18A、18B分别连接于基座13及第2臂16上。第1连结件18A固定在基座13的前端部，第2连结件18B固定在第2臂16的后端部。第2连结件18B贯通第1臂15的长孔15E。
长孔15E形成于第1臂的前后方向上。第2连结件18B连结第2臂16与环状带17C。另外，第1臂15的长孔15E的长度可形成为对应于第2臂16的移动距离大小的长度。
若第1臂15通过操作柄15A进退移动时，连结于第1连结件18A上的环状带17C也移动相同距离。第2臂16仅在第1臂15上沿相同方向进退移动相同距离。结果，连结在第2连结件18B上的第2臂16在基座13上以第1臂15的两倍速度进退移动两倍距离。前后一对滑轮17A、17B及环状带17C也可设置在第1臂15的上面。
如图1所示，可在基座13的下面经橡胶等弹性部件19来配置下部板20。下部板20的下面可具备第1滑动机构(例如接触板、轴承机构、空气轴承机构、磁浮起机构等。下面称为“第1接触板”)21A。弹性部件19承担作为吸收搬运机构12落到转向台11上时的冲击及转向台11移动时从台面G受到的冲击的缓冲件的作用。第1接触板21A与装配在转向架11上面的第2滑动机构(例如接触板、轴承机构、空气轴承机构、磁浮起机构等。下面称为“第2接触板”)21B相对配置。这些接触板21A、21B都可由摩擦系数小的低摩擦材料(例如四氟化乙烯树脂等)形成。搬运机构12在第1、第2接触板21A、21B的交界可从转向架11离接。搬运机构12通过例如图1所示位置固定机构22固定在转向架11上的规定位置上。位置固定机构22防止搬运时搬运机构12从转向架11上落下。
位置固定机构22如图1所示，可具有配置在下部板20的大致中心上的第1定位固定机构22A、第1定位固定机构22A嵌入的第2定位固定机构22B、和连结第2定位固定机构22B与操作柄33的连结机构22C。当探针板搬运装置10连结于探测装置100上时，从图中位置沿逆时针方向拉起操作柄33。通过该操作，第2定位固定机构22B经连结机构22C从第1定位固定机构22A脱离，搬运机构12释放转向架11。在该状态下，搬运机构12可经第1、第2接触板21A、21B在转向架11上沿水平方向滑动。当将搬运机构12固定在转向架11上时，操作柄33从拉起的位置沿顺时针方向旋转，恢复到初始位置。第2定位固定机构22B嵌入到第1定位固定机构22A内，由此搬运机构12被固定在转向架11上。
图3示出位置固定机构22的具体结构。如图所示，位置固定机构22配备第1、第2定位固定机构22A、22B及连结机构22C、及多个弹力部件(例如4根卷簧)23。多个卷簧23被连结在转向架11与下部板20上。这些卷簧23总是向转向架11上的基准位置对搬运机构12施力。沿以基准位置为中心相互以大致90度方向放射状配置4条卷簧23。基准位置是在转向架11上搬运机构12的第1定位固定机构22A的位置实质上与转向架11的第2定位固定机构22B的位置一致的位置。第1定位固定机构22A如图所示具有在下面形成为圆锥状的凹部22Aa、和从该圆锥状的凹部向上面贯通的贯通孔22Ab。可在下部板20中前后配置第1定位固定机构22A。第2定位固定机构22B具备贯通前后第1定位固定机构22A的贯通孔的前后一对销22Ba、和支撑这些销的支撑部件22Bb。连结机构22C具有从第2定位固定机构22B的支撑部件22Bb下垂的杆22E、向上下方向引导杆22E的气缸22F、借助销22Ga连结于贯通气缸22F并向下方突出的杆22E上的连杆22G、借助销22Gb连接于连杆22G上的滑轮22H、和挂绕在滑轮22H与操作柄33(参照图1)的滑轮(未图示)之间的同步带221。
当使操作柄33沿逆时针方向旋转时，滑轮22H经同步带221沿箭头(图3)所示向逆时针方向旋转。通过该旋转，第2定位固定机构22B的销22Ba脱离第1定位固定机构22A。结果，从转向架11释放搬运机构12。当向顺时针方向旋转操作柄33时，通过第2定位固定机构22B的销22Ba嵌入第1定位固定机构22A，将搬运机构12固定在转向架11上。
可在探针板搬运装置10及探测装置100中配置定位机构40。当连结机构30连结探针板搬运装置10与探测装置100后，定位机构40进行二者的定位。即，定位机构40如图1所示，具备从上述基座13下面的前端部下垂的支撑板13B。支撑板13B具备多个(例如3个部位。但图中仅看见两个。)咬合突起41。在探测室101的开口部101A的下方配置三个部位的咬合凹部42。咬合凹部42分别与咬合突起41咬合。可在探测器室101的正面装配支撑体103。可在该支撑体103中装配左右一对导轨103A。经咬合部件104A在这些导轨103A上装配升降体104。升降体104沿导轨103A升降。在升降体104中咬合凹部42配置在多个部位(例如三个部位)。咬合凹部42可形成为倒三角形状、倒圆锥状等形状。咬合突起41的咬合部可形成为例如圆锥状的突起，咬合凹部42的咬合部可形成为圆锥状的凹部。通过将咬合突起41及咬合凹部42形成为圆锥状的形态，仅通过将探针板搬运装置10相对探测装置100粗定位，即使台面G多少有些倾斜，也可确实使探针板搬运装置10与探测装置100咬合。
另外，在进行与探针板搬运装置10的定位后，边使探针板搬运装置10与探测装置100确实定位边固定的固定机构50，如图1所示，可被设置在探测装置100中。固定机构50例如同图所示，具有设置在升降体104中上下咬合凹部42之间的左右一对驱动机构(例如气缸)51、水平装配在该气缸51的活塞杆51A前端的板状咬合器52、和装配在支撑板13B上以使该咬合器52咬合的L字形的被咬合器53。气缸杆51A可通过旋转机构51B正反旋转。
说明将探针板搬运装置10固定在探测装置100中的情况。在固定机构50的气缸51A拉伸的状态下，探针板搬运装置10接近探测装置100，在被咬合器53到达咬合器52里面的状态下，咬合器52经旋转驱动机构旋转，从而咬合器52与被咬合器53咬合。通过气缸51压缩活塞杆51A，经咬合器52及被咬合器53，搬运机构12被拉伸到探测装置100侧，搬运机构12被固定在探测装置100侧。
在上述升降体104的下方，如图1所示，设置升降体驱动机构(例如气缸)60。气缸60使活塞杆61向上，装配在探测器室101的下部。可经该活塞杆61使升降体104上下升降。
图1中，11A是装配在转向架11后端的柄。握住该柄11A，下压并使探针板搬运装置10移动。可在柄11A中分别装配驱动升降用气缸60的开关(未图示)。通过操作这些开关，可驱动气缸60。
如图4所示，在上述搬运机构12的基座13中，设置限制臂机构14进出的止动器机构70。如图所示，止动器机构70具有抵接探测装置100侧的抵接部件71、在前端具有抵接部件71的第1杆72、沿水平方向移动引导杆72的第1气缸73、和升降引导垂直配置的杆75的第2气缸76。第2杆75经连杆74与贯通气缸73的第1杆72的基端部进行销结合。在第1杆72的前端侧形成法兰72A。在法兰72A与第1气缸73之间弹性安装卷簧77。从第2气缸76的上端突出的第2杆75的前端部与装配在第1臂15上的咬合部件78咬合后限制第1臂15不能从基座13上飞出。
因此，当止动器机构70的抵接部件71抵接探测装置100侧、第1杆72反抗卷簧77的施力而被压入后方时，第2杆75经连杆74随着第2气缸76下降，脱离第1臂15的咬合部件78，释放臂机构14(15)，变为臂机构14可进出的状态。
下面说明动作。
(a)如图1中箭头所示，在搬运机构12上装载探针板C。
(b)握住转向架11的柄11A，压下探针板搬运装置10，使之移动到规定的探测装置100的正面。
(c)如图5所示，使连结机构30的连结件31位于探测装置100的连结用销37的正下方。
(d)通过如图6中箭头A所示从图5所示下端位置向上方抬起操作柄33，连杆36如箭头B所示向逆时针方向旋转，同时，拉伸卷簧35。驱动部32向上方摇动连结件31，使之位于水平位置。连结件31通过拉伸探测装置100的连结用销37，也进行探针板搬运装置10与探测装置100的粗定位。在该状态下，定位机构40的咬合突起41与咬合凹部42如图6所示处于错位状态。
(e)通过此时的柄操作，位置固定机构22的连结机构22C如箭头C所示向逆时针方向旋转，第2定位固定机构22B脱离第1定位固定机构22A，从转向架11中释放搬运机构12。
(f)如图7所示，通过完全拉起操作柄33，连杆36进一步向逆时针方向旋转。卷簧35及驱动部32的连杆机构32a将连结件31拉入驱动部32内。如图7所示，探针板搬运装置10的转向架11被固定在探测装置100中。
(g)锁定操作柄33。定位机构40的咬合突起41如图7所示嵌入咬合凹部42内至中途。
(h)如图所示，在完全拉起操作柄33的状态下，固定机构50的咬合器52位于被咬合器53的下侧。
(i)当检测出转向架11被固定在探测装置100中时，如图8中箭头A所示，固定机构50的旋转驱动机构51B经气缸杆51A旋转咬合器52。咬合器52与被咬合器53咬合。
(j)气缸51使气缸杆51A缩回，如图中箭头B所示，将在转向架11上被释放的搬运机构12拉靠于探测装置100侧。此时，因为搬运机构12与转向架11借助摩擦系数小的第1、第2接触板21A、21B而接触，所以搬运机构12可在转向架11上平滑移动。
(k)若气缸杆51A完全缩回，则搬运机构12从图8所示状态开始，如图9中箭头所示，定位机构40的咬合突起41与咬合凹部42完全咬合。通过该咬合，定位搬运机构12与探测装置100，将搬运机构12固定在探测装置100侧。
(l)当定位机构40的咬合突起41与咬合凹部42咬合时，如图9所示，搬运机构12仅沿导轨103A将升降体104抬起咬合突起41与咬合凹部42的错位大小。结果，升降体104从气缸60的气缸杆61浮起。此时，图4所示止动器机构70的抵接部件71抵接于升降体104，并被压入后方，第2杆75随第2气缸76下降，脱离咬合部件78，从基座13中释放臂机构14，可自由进退移动。
(m)在图9所示状态下，压下柄15A。如图10所示，搬运机构12从转向架11向箭头A所示方向前进，从开口部101A进入探测室101内。此时，若臂搬运机构12的第1臂15在基座13上移动，则第2臂16与之平行地在第1臂15上以相同速度仅前进相同距离。结果，若第2臂16以基座13为基准，则以第1臂15的两倍速度仅前进两倍距离。这样，第2壁16如图10所示进入探测室101内，移动到头板102的探针板保持部的正下方。
(n)通过操作柄11A的开关，升降用气缸60拉伸活塞杆61，如图11所示，活塞杆61通过接触升降体104的下端，与搬运机构12一起如箭头所示抬起升降体104。此时，搬运机构12反抗卷簧23的弹力被抬起。
(o)通过从转向架11上抬起搬运机构12，第1臂16上的探针板C嵌入头板102的探针板保持部102B的引导销102A中。
(p)在该状态下，探针板保持部102B旋转。通过旋转的探针板保持部102B，抬起并保持探针板C。将探针板C安装在探测装置100上。
(q)之后，通过开关操作，驱动升降用气缸60，降下升降体104。搬运机构12也下降，搬运机构12经摩擦系数小的第1、第2接触板21A、21B，落在转向架11上。
(r)通过拉柄15A，从探测装置100中拉出第1臂15。第2臂16以第1臂15的两倍速度恢复到初始位置。
(s)固定机构50的气缸51的活塞杆51A伸长，活塞杆51A向逆方向旋转，从而咬合器52脱离咬合器53。搬运机构12脱离探测装置100，定位机构40也解除咬合状态。
(t)结果，图4所示止动器机构70动作。通过卷簧23的弹力，将搬运机构12侧的第1位置固定部件22A定位在转向架11侧的第2位置固定部件22B上。
(u)将操作柄33下拉到初始位置。通过连结机构30的驱动部32，连结件31偏离探测装置100的连结用销37，同时，位置固定机构22的第2位置固定部件22B嵌入第1位置固定部件22A中，从而将搬运机构12约束在转向架11上。
(v)通过这一连串操作，解除探针板搬运装置10与探测装置100的连结。
如上所述，根据本实施方式，具备自由移动的转向架11、和可离接地配置在转向架11上且在转向架与探测装置100之间搬运探针板C的搬运机构12。搬运机构12具有基座13、和在基座13上进退移动的臂机构14，在基座13中设置与探测装置100的定位机构40，同时，设置与探测装置100的固定机构50。在经定位机构40使搬运机构12定位在探测装置100侧后，可经固定机构50将搬运机构12确实固定在探测装置100中。即使台面G上有倾斜，搬运机构12也可脱离转向架11，在探测装置内维持探针板C的平行状态，相对头板102的卡夹紧机构平滑地装卸探针板。
根据本实施方式，具有将转向架11连结在探测装置100上的连结操作机构30。在将探针板搬运装置10接近探测装置100后，通过操作连结操作机构30，可相对探测装置100来确实连结探针板搬运装置10。可更确实地进行探针板搬运装置10与探测装置100的定位。
根据本实施方式，具有相互固定转向架11与搬运机构12的位置固定机构22。在搬运中搬运机构12不会在转向架11上错位，或从转向架11上落下。因为具有弹力结合转向架11与搬运机构12的卷簧23，所以可使搬运机构12确实恢复到转向架11上的基准位置。因为在转向架11与搬运机构12的接触面中具有由摩擦系数小的低摩擦部件构成的第1、第2接触板21A、21B，所以在定位并固定搬运机构12与探测装置100时，可使搬运机构12在转向架11上平滑移动。
根据本实施方式，搬运机构12具备基座13、在基座13上进退移动的第1臂15、在第1臂15上进退移动的第2臂16。具备配置在第1臂15前后的一对滑轮17A、17B、挂绕在这些滑轮17A、17B之间的环状带17C、和分别对该环状带17C连结基座13及第2臂16的第1、第2连结件18A、18B。仅通过使第1臂15移动，就可以第1臂15的两倍速度使第2臂16移动仅两倍距离。在可缩短探针板C的搬运时间的同时，搬运机构12的进退移动操作变容易。
本实施方式的探测装置100具备可升降地设置在探测器室101的开口部101A侧的侧面中的升降体104、设置在升降体104中且相对探测器室101来定位搬运机构12的定位机构40、设置在升降体104中且将搬运机构12的基座13固定在探测器室101中的固定机构50、和使升降体104升降的升降用气缸60。探测装置100可实现与探针板搬运装置10一样的作用效果。头板102具有定位经搬运机构12搬入的探针板C的水平方向的位置固定机构。可不掉落地确实将经搬运机构12搬运的探针板C装卸在探针板保持部中。
图12～图14是表示本发明的探针板搬运装置的其它实施方式的原理图。本实施方式的探针板搬运装置10如图12所示，具备可在台面G上自由移动的转向架111和可离接地配置在转向架111上的搬运机构112。搬运机构112在转向架111与探测装置200之间搬运探针板C。转向架111及搬运机构112可按照图1至图11中记载的实施方式来构成。搬运机构112具有基座113、第1、第2臂115、116。与图2所示搬运机构12一样，第2臂116可以第1臂15的两倍速度移动两倍距离。
本实施方式的探针板搬运装置110中，第1、第2臂115、116从基座113中进出。具有防止倾斜机构120，当第1、第2臂115、116因特别重的探针板C的自重而倾斜时，从下方支撑第1臂115，防止第1、第2臂115、116向前方倾斜。图12中，省略图1至图11中记载的实施方式的连结机构30、定位机构40、固定机构50及升降体驱动机构60等。
防止倾斜机构120如图12所示，具有操作柄121、轴支在基座113上的大致ヘ字形的杠杆部件122、装配在杠杆部件122前端的抵接部件123。通过操作操作柄121，杠杆部件122摇动，抬起抵接部件123。抵接部件123从下方支撑第1臂115。
下面说明动作。
(a)如图12所示，在第2臂116上装载探针板C。
(b)通过向图中箭头方向压下柄115A，在第1臂115前进到基座113上期间，第2臂116以第1臂115的两倍速度在基座113上前进两倍距离。
(c)如图13所示，当第2臂116沿箭头方向从第1臂115上进出、并从开口部201A进入探测器室201内时，因探针板C的自重而向下方倾斜。
(d)通过操作防止倾斜机构120的操作柄121，杠杆部件122沿顺时针方向(箭头A方向)旋转。抵接部件123抵接第1臂115下面的前端部，抬起第1臂115，直到水平。
(e)在该状态下，杠杆部件122通过未图示的机构锁定在该位置上。
(f)该操作使探针板C呈水平。
(g)在安装探针板C之后，解除杠杆部件122的锁定，解除抵接部件123对第1臂115的支撑，搬运机构112恢复到初始状态。
如上所述，根据本实施方式，具有防止从转向架111进出的搬运机构112倾斜的防止倾斜机构120。即使搬运臂112的第2臂116进出于探测装置200内，搬运机构112因探针板C的自重而倾斜，防止倾斜机构120也可抬起探针板C并将其补偿为水平。可平滑地传递探针板C，不必使搬运机构112高刚性化。相反，可使搬运机构112轻量化。
另外，本发明不限于上述各实施方式，必要时可适当设计变更各构成要素。例如，位置固定机构22的连结机构22C或连结操作机构30的连结机构34等可使用各种机构。另外，固定机构50的咬合器52及被咬合器53也可采用其它形态。另外，在升降体驱动机构60等中也可采用气缸以外的驱动机构。
根据本发明的实施方式，可减小探测装置的行程。可不受台面倾斜等的影响，在探测装置内将大型探针板维持在平行状态。可相对头板来平滑地搬运、装卸探针板。

Claims (16)

1.一种搬运机构，其中，具备：
基座；
可进退移动地配置在基座上的第1臂机构；
可进退移动地配置在第1臂机构上的第2臂机构；
配置在所述第1臂机构前后的一对旋转体；
挂绕在该一对旋转体之间的环状带；
将该环状带连结在该基座上的第1连结件，以及将该环状带连结在该第2臂机构上的第2连结件，
在此，通过在旋转体的周围使该环状带移动，第1臂机构及第2臂机构在基座上进退移动。
2.根据权利要求1所述的搬运机构，其特征在于，
该第2臂机构具有用于保持应搬运物品的保持机构。
3.根据权利要求2所述的搬运机构，其特征在于，
该第1连结件将环状带连结于该基座的探测装置侧，该第2连结件将环状带连结于该第2臂机构的探测装置相反侧。
4.根据权利要求3所述的搬运机构，其特征在于，
该搬运机构具有防止从该基座上进出的该第1臂机构倾斜的机构。
5.一种将探针板搬运到探测装置/从探测装置中搬运探针板的移动式探针板搬运装置，其中，具备：
自由移动的转向架；
可离接地配置在转向架上的搬运机构，该搬运机构具有基座、及可进退移动地配置在该基座上的臂机构；
用于将该搬运机构搬运的探针板配置在探测装置内的规定位置上的第1定位机构，该定位机构配置在基座及探测装置的至少一个之中；以及用于使该基座定位固定在该探测装置中的第2定位固定机构。
6.根据权利要求5所述的移动式探针板搬运装置，其特征在于，
具有将所述转向架连结在所述探测装置上的连结操作机构。
7.根据权利要求5所述的移动式探针板搬运装置，其特征在于，
具有使该搬运机构定位并固定在该转向架上的基准位置上的第1定位固定机构。
8.根据权利要求7所述的移动式探针板搬运装置，其特征在于，
该第1定位固定机构具有向该转向架拉伸该搬运机构的弹力部件。
9.根据权利要求5所述的移动式探针板搬运装置，其特征在于，
该搬运机构被装载在下部板上，该下部板在其下面具有第1滑动机构，
该转向架在其上面具有上部板，该上部板在其上面具有第2滑动机构，
在此，第1滑动机构可在第2滑动机构上滑动。
10.根据权利要求9所述的移动式探针板搬运装置，其特征在于，
该第1滑动机构与该第2滑动机构为板状部件，该第1滑动机构的板状部件与该第2滑动机构的板状部件的至少一个表面由低摩擦材料构成。
11.根据权利要求5所述的移动式探针板搬运装置，其特征在于，
该臂机构具有可在该基座上进退移动的第1臂机构和可在第1臂机构上进退移动的第2臂机构。
12.根据权利要求5所述的移动式探针板搬运装置，其特征在于，具有防止从该转向架进出的该搬运机构倾斜的机构。
13.一种探测装置，具备：
探测器室，该探测器室具有探针板及形成于其侧面及上面的至少1侧面上的开口部；
探针板搬运机构，该探针板搬运机构通过该探测器室的该开口部，向该探测器室搬入探针板及从该探测器室搬出探针板；
可升降地设置在该探测器室外侧面中的升降体；
设置在该升降体与搬运机构中的第2定位固定机构，该第2定位固定机构使该搬运机构定位固定在该探测器室的规定位置上；
使该升降体升降的升降体驱动机构。
14.根据权利要求13所述的探测装置，其特征在于，还具备：
将该搬运机构可离接地支持在转向架上的支持机构；以及
将该转向架连结在该探测器室上的连结机构。
15.根据权利要求13所述的探测装置，其特征在于，
该探测器室具有进行该搬运机构搬入的该探针板的水平方向定位并固定的第3定位固定机构。
16.一种在具有探针板搬运装置的探测装置中、将探针板搬入探测装置的方法，该方法包括以下步骤：
(a)将探针板装载在探针板搬运装置上；
(b)将探针板搬运装置与探测装置连结；
(c)将探针板搬运装置所搬运的探针板的高度调整到对应于探测装置的高度；
(d)探针板搬运装置将探针板搬入探测装置。
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