CN1975439A - 探针卡移载辅助装置和检查设备 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种探针卡移载辅助装置，能够辅助电气检查装置中使用的探针卡的移载作业，包括：挂住或者吊下以保持所述探针卡的一对把手的保持部；可移动地支承所述保持部的支承部；和升降所述支承部的装置，即使对于重量较大的探针卡，也能够减轻操作者的负担，可以平稳地移载探针卡。

Description

探针卡移载辅助装置和检查设备
技术领域
本发明涉及使用探针卡且具有多个进行晶片等被检查体的电气特性检查的检查装置的检查设备，更详细地说，本发明涉及在检查设备内、在检查装置和搬送台车之间，辅助探针卡移载作业的探针卡移载辅助装置和检查设备。
背景技术
例如，如图15所示，该检查装置包括：搬送被检查体(例如晶片)W的装载室1和与装载室1邻近且进行从装载室1取得的晶片W的电气特性检查的探针室2。如同一图所示，探针室2具有在X、Y、Z以及θ方向移动，而且放置晶片的放置台(晶片夹头(chuck))3，配置在该晶片夹头3的上方的带有卡座的探针卡4，以及保持探针卡4的夹紧机构5。在探针室2内，晶片夹头3在X、Y、Z和θ方向移动时，通过校准机构6，进行晶片W和探针卡4的探针卡4A的对准后，进行晶片W的分度送给，并进行晶片的电气特性检查。此外，校准机构6具有上照相机6A和下照相机6B。T为测试头(test head)。
另外，在探针室2内的夹紧机构5上对探针卡4进行装卸的情况下，例如使用本申请人在日本特开2001-24039号公报中提出的卡搬送装置。如图16所示，该卡搬送装置具有晶片夹头3和在与晶片夹头3之间交接探针卡4的交接机构7。如图16所示，交接机构7具有可自由装卸地保持带有卡座的探针卡4的转接器8；前端部分成两股，可自由装卸地保持该转接器8的叉状的臂9；通过在箭头A方向按压该臂9而导向移动至交接探针卡4的位置的一对导轨10；和固定有导轨10的臂支承体11，其中，在与安装在臂9和晶片夹头3上的转接器支承体12之间，进行搭载有探针卡4的转接器8的交接。
此外，在使用卡搬送装置将探针卡4卡安装在夹紧机构5上的情况下，操作者等在将带有卡座的探针卡4设置在交接机构7上后，通过卡搬送装置而搬送至夹紧机构5的下面，在从该位置使晶片夹头3上升后，利用夹紧机构5将探针卡4固定在检查装置本体上。另外，在图16中，标号13表示在与箭头B相反方向上折叠并容纳进行交换的交接机构7的收纳部。
另外，在将探针卡4设置在卡搬送装置上的情况下，操作者将探针卡4从规定收纳架搬运至检查装置，或者操作者利用搬送台车等，从收纳架搬运至检查装置，再从搬送台车移载并设置在卡搬送装置上等。
然而，近年来，随着探针卡4的大型化而存在有下述问题，即，由于其重量增大至15～25Kg，所以，例如当操作者等从搬送台车抬起探针卡4并将其移载至卡搬送装置上进行设置时，需要较大的力量，由此，在抬起探针卡4时，抓住部分受到限制，在处理时需要慎重，使得操作者的负担过度，。
发明内容
本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的在于提供一种即使对于重量较大的探针卡，也能够减轻操作者的负担，可以平稳地移载探针卡的探针卡移载辅助装置、检查设备以及检查方法。
本发明第一方面所述的一种探针卡移载辅助装置，其能够辅助在电气检查装置中所使用的探针卡的移载作业，其特征在于，包括：挂住或者吊下以保持上述探针卡的一对把手的保持部；可移动地支承上述保持部的支承部；和升降上述支承部的装置。
另外，对于本发明第二方面所述探针卡移载辅助装置，其特征在于：在本发明第一方面所述的发明中，上述保持部具有挂住上述一对把手的槽。
此外，对于本发明的第三方面所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：在第一或者第二方面所述的发明中，在上述保持部上设置有防止上述一对把手从上述保持部脱出的防止脱出装置。
此外，对于本发明第四方面所述探针卡移载辅助装置，其特征在于：在第三方面所述的发明中，上述防止脱出装置是能够立起倒下地安装在上述保持部的端部上的杠杆。
此外，对于本发明第五方面所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：在第三方面所述的发明中，上述防止脱出装置是能够从上述槽突出安装在上述保持部端部上的可挠性部件。
此外，对于本发明第六方面所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：在第二至第五方面中任一方面所述的发明中，上述保持部包括：具有上述槽的第一板部件；配置在第一板部件的上方，并且可升降地保持第一板部件的第二板部件；和检测第一、第二板部件的间隔变化的传感器。
此外，对于本发明第七方面所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：在第一至第六方面中任一方面所述的发明中，上述保持部被安装在能够从上述支承部伸出的可伸缩臂上。
此外，对于本发明第八方面所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：在第七方面所述的发明中，在上述臂上设置有升降上述保持部的装置。
此外，对于本发明第九方面所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：在第七或者第八方面所述的发明中，上述支承部的升降装置包括：升降上述臂的缸体机构；开闭将驱动流体供给至上述缸体机构的流路的阀；控制上述驱动流体的压力的调节器；预先将上述探针卡的重量输入至上述调节器的输入端子；以及检测上述驱动流体压力的压力传感器。
此外，对于本发明第十方面所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：在第一至第九方面任一方面所述的发明中，上述支承部的升降装置能够在按压上述探针卡的方向上施加辅助力。
此外，对于本发明第十一方面所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：在第十方面所述的发明中，上述辅助力能够根据上述探针卡的重量而变更。
此外，对于本发明第十二方面所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：在第一至第十一方面任一方面所述的发明中，被附设在上述检查装置上。
此外，对于本发明第十三方面所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：在第一至第十一方面任一方面所述的发明中，当在上述检查装置和搬送在上述检查装置中所使用的探针卡的搬送装置之间辅助上述探针卡的移载作业时，放置在上述检查装置和上述搬送装置之间。
此外，对于本发明第十四方面所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：在十三方面所述的发明中，上述搬送装置为搬送台车。
此外，对于本发明第十五方面所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：在第一方面所述的发明中，上述保持部利用纽状部件吊下而保持上述探针卡的一对把手。
此外，对于本发明第十六方面所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：在第十五方面所述的发明中，上述保持部包括：安装有多个上述纽状部件的第一部件；配置在第二部件的上方，并且可升降地与第一部件连接的第二部件；以及检测第一、第二部件的间隔变化的传感器。
此外，对于本发明第十七方面所述的所述的检查设置，其具有电气检查装置和辅助在该备电气检查装置中使用的探针卡的移载作业的探针卡移载辅助装置，其特征在于，上述探针卡移载辅助装置包括：挂住或者吊下以保持上述探针卡的一对把手的保持部；可移动地支承述保持部的支承部；和升降上述支承部的装置。
此外，对于本发明第十八方面所述的检查设备，其特征在于：在第十七方面所述的发明中，上述保持部具有挂住上述一对把手的槽。
此外，对于本发明第十九方面所述的检查设置，其特征在于：在第十五或者十六方面所述的发明中，在上述保持部上设置有防止上述一对把手从上述保持部脱出的防止脱装置。
此外，对于本发明第二十方面所述的检查设备，其特征在于：在第十七方面所述的发明中，上述防止脱出装置为能够立起倒下地安装在上述保持部的端部上的杠杆。
此外，对于本发明第二十一方面所述的检查设备，其特征在于：在第十七方面所述的发明中，上述防止脱出装置为从上述槽突出地安装在上述保持部的端部上的可挠性部件。
此外，对于本发明第二十二方面所述的检查设备，其特征在于：在第十六至第十九方面任一方面所述的发明中，上述保持部包括：具有上述槽的第一板部件；配置在第一板部件的上方，并且可升降地保持第一板部件的第二板部件；以及检测第一、第二板部件的间隔变化的传感器。
此外，对于本发明第二十三方面所述的检查设备，其特征在于：在第十五至第二十方面任一方面所述的发明中，上述保持部被安装在能够从上述支承部伸出的可伸缩臂上。
此外，对于本发明第二十四方面所述的检查设备，其特征在于：在第二十一方面所述的发明中，在上述臂上设置有升降上述保持部的装置。
此外，对于本发明第二十五方面所述的检查设备，其特征在于：在第十五至第二十三方面任一方面所述的发明中，上述支承部的升降装置包括：升降上述臂的缸体机构；开闭将驱动流体供给至上述缸体机构的流路的阀；控制上述驱动流体的压力的调节器；预先将上述探针卡的重量输入至上述调节器的输入端子；以及检测上述驱动流体压力的压力传感器。
此外，对于本发明第二十六方面所述的检查设备，其特征在于：在第十五至第二十三方面任一方面所述的发明中，上述支承部的升降装置能够在按压上述探针的方向上施加辅助力。
此外，对于本发明第二十七方面所述的检查设备，其特征在于：在第二十四方面所述的发明中，上述辅助力能够根据上述探针卡的重量而变更。
此外，对于本发明第二十八方面所述的检查设置，其特征在于：在第十五至第二十五方面任一方面所述的发明中，被附设在上述检查装置上。
此外，对于本发明第二十九方面所述的检查设备，其特征在于：在第十五至第二十六方面任一方面所述的发明中，当在上述检查装置和搬送在上述检查装置中所使用的探针卡的搬送装置之间辅助上述探针卡的移载作业时，被放置在上述检查装置和上述搬送装置之间。
此外，对于本发明第三十方面所述的检查设备，其特征在于：在第二十七方面所述的发明中，上述搬装置为搬送台车。
此外，对于本发明第三十一方面所述的检查设备，其特征在于：在第十七方面所述的发明中，上述保持部利用纽状部件吊下以保持上述探针卡的一对把手。
此外，对于本发明第三十二方面所述的检查设备，其特征在于：在第三十一方面所述的发明中，上述保持部包括：安装有多个上述纽状部件的第一部件；配置在第一部件的上方，并且可升降地与第一部件连接的第二部件；以及检测第一、第二部件的间隔变化的传感器。
根据本发明的第一至第三十二方面所述的发明，即使是对于重量较大的探针卡，也能够提供减轻操作者负担的探针卡移载辅助装置以及检查设备。
附图说明
图1为表示发明检查设备的一个实施方式的平面图。
图2(a)、(b)分别为表示图1所示检查设备中所使用的探针卡移载辅助装置的立体图，(a)为其整体图，(b)为其侧视图，图3为表示图1所示探针卡移载辅助装置的主要部分的立体图。
图3为表示图2的(a)和(b)所示的探针卡移载辅助装置的主要部分的放大立体图。
图4(a)、(b)为分别表示利用图1所示的探针卡移载辅助装置的保持部保持探针卡的状态图，(a)为其整体图，(b)为其侧视图。
图5为表示图2所示的探针卡移载辅助装置的升降驱动装置的结构的方框图。
图6(a)、(b)为分别表示本发明探针卡移载辅助装置的另一实施方式的图，(a)为表示其主要部分的侧视图，(b)为表示其保持件的平面图。
图7为表示图6所示的探针卡移载辅助装置的升降驱动装置的结构的方框图。
图8(a)、(b)为分别表示本发明探针卡移载辅助装置的又一实施方式的图，(a)为部分剖开放大表示保持件的主要部分的正视图，(b)为(a)的侧视图。
图9为部分剖开放大表示本发明的探针卡移载辅助装置的又一实施方式的保持件的主要部分的侧视图。
图10为表示发明探针卡移载辅助装置的又一实施方式的保持件的升降装置的截面图。
图11为分别表示在图1中所示的检查设备中所使用的探针卡移载辅助装置的图，(a)为表示其主要部分的立体图；(b)为(a)的侧视图。
图12为放大表示图11的(a)、(b)所示的探针卡移载辅助装置的保持部的立体图。
图13(a)～(c)为分别表示利用图11所示的探针卡移载辅助装置的保持部保持探针卡的状态图，(a)为其侧视图，(b)为表示第二部件的平面，(c)为表示第一部件的平面图。
图14(a)、(b)分别为表示图12所示的保持部的图，(a)为其侧视图，(b)为其正视图。
图15为部分地剖开表示现有的检查装置的一个例子的正视图。
图16为图15所示的检查装置中所使用的探针卡搬送装置的动作的说明图。
具体实施方式
(第一实施方式)
例如，如图1所示，本实施方式的检查设备50，其包括：带有用于进行被检查体(例如晶片)(图中没有示出)的电气特性检查的探针卡51的检查装置52；依照配置多个检查装置52的通路53来搬送探针卡51的搬送台车54；以及在搬送台车54和设置在各检查装置52的装置本体52A上的卡搬送装置52B之间辅助探针卡51的移载作业的探针卡移载辅助装置55。在同一图中表示在测试头T通过回驱动机构52C向通路53侧回转的状态下的检查装置52。探针卡51被保管在收纳架(图中没有示出)中，在交换探针卡51时等，使用搬送台车54，在收纳架和多个检查装置52之间进行搬送。其中，在图1中只表示出1台检查装置52。
然而，由于随着晶片的口径增大或IC芯片超高集成化等，探针卡51尺寸大型化且高重量化，不用说操作者搬运，即便是在搬送台车54和检查装置52的卡搬送装置52B之间进行移载作业，其负担也比较大。因此，在本实施方式中，当操作者在收纳架和检查装置52之间搬送探针卡51的情况下使用搬送台车54，当在搬送台54和检查装置52的卡搬送装置52B之间进行探针卡51的移载作业的情况下使用探针卡移载辅助装置55，以减轻操作者的负担。在操作者使用探针卡移载辅助装置55的情况下，利用探针卡移辅助装置55的保持部来保持卡搬送装置52B上或者搬送台车54上的探针卡51，只进行解除保持的作业便可以特别减轻实质的力做功。当在搬送台车54和检查装置52的卡搬送装置52B之间移载探针卡51时，操作者操作探针卡移载辅助装置55。其中，搬送台车54具有能够转换为多段拉出的架，以收纳多个探针卡51，在这些架中容纳有收纳在托盘中的探针卡51。
另外，如图2的(a)、(b)所示，探针卡移载辅助装置55包括：保持探针卡51的保持件551；该保持件551安装在前端部的可伸缩臂552；支承该臂552的可旋转的支承件553；构成通过该支承体553按重量区分探针卡51并使其升降的升降驱动装置554的汽缸554A，其中，该辅助装置被附设在检查装置52的侧面上。
如图2的(a)、(b)所示，臂552构成为具有第一臂552A和可自由滑动地安装在第一臂552A上的第二臂552B。第二臂552B能够在第一臂552A上前后移动地伸缩。另外，在臂552上安装有操作手柄552C，能够抓住操作手柄552C来操作臂552。可以利用调整部件552D来固定在第一臂552A上，使得能够适当地设定臂552的长度，以使第二臂552B不在第一臂552A上滑动。
如图2的(a)、(b)所示，臂552构成为第一臂552A的基端部与安装在支承体553的上端部的连接件555销接合，可以在最收缩的状态下向支承件553侧折叠。即，臂552的基端通过第一销552E而与连接件555销结合，将具有销的支架556安装在支承件553的上下方向的稍微上部。另外，连杆557的两端部与第一销552E和支架556的销连接。因此，臂552通过连杆557而能够立起至水平方向。第二销557A安装在连杆557的臂552侧的端部，另外，支架部件558安装在支承体553的侧面上，通过将该支架部件558支挂在第二销557A上，而能够将臂552维持在水平。
如图2的(a)、(b)所示，支承体553和汽缸554A构成为都与可自由转动地安装在基台559的前端部的回转体560连接，在基台559的前端部通过回转体560而转动。另外，在支承体553的背面并沿着支承体553的上下方向一体地安装有导轨561，与该导轨561接合的块体561A固定在回转体560上。此外，如同图的(b)所示，汽缸554A的缸体本体的上下两端部，由回转体560和从其开始向下方垂下的支柱560A而垂直地支承。在支承体553的上端部设置有引导支承体553的升降动作和回转动作的导向部件561B，该导向部件561B的一部分插入到具有逆U字形槽的导向部件561C的槽中。另外，在图2(b)中，标号554a表示的是用缸体盖覆盖的缸体杆。
接着，如图3所示，臂552的前端的保持件551构成为具有长方形的第一板部件551A、配置在第一板部件551A的中心上方的圆形的第二板部件551B、和互相连接第一、第二板部件551A、551B的连接部件551C，其中，通过在第一板部件551A的两端部形成的一对槽551D来保持探针卡51。一对槽551D与探针卡51的一对把手51A的间隔和由把手51A的第一板部件551A所保持的直线部分的长度一致，在第一板部件551A的全部宽度上形成。此外，在圆形的第二板部件的外周部边缘的全周上隔开互相相等的间隔而安装有多个连接部件551C。其中，在本实施方式中，第一板部件551A由中心板以及其左右的三块板所形成。
另外，如图3和图4的(a)、(b)所示，保持件551构成为通过肘节装置562而能够在保持探针卡51时，在臂552的前端升降。即，肘节装置562具有操作杠杆562A和通过连杆机构562B可升降地与该操作杠杆562A销结合的升降杆562C，其被设置在固定于第二臂552B前端的设置台563上。
设置台563包括：将肘节装置562水平地设置的大致矩形的设置部563A，在设置部563A的两侧端形成的一对侧面部563B和连接这些侧面部563B、563B的后端之间的背面部563C，在设置部563A的后端和背面部563C之间形成有间隙。肘节装置562的升降杆562C贯通在设置部563A上形成的孔，并且在其下端通过升降体564而连接有保持件551。
升降体564包括：水平部564A和从水平部564A的后端部嵌入设置台563的间隙的垂直部564B，保持件551与水平部564A的下面连接。升降体564通过设置在垂直部564B和设置台563的背面563C的间隙中的线性导向机构565而进行升降。
另外，由探针卡移载辅助装置55所处理的探针卡51如图2(a)(b)所示那样构成。即，如同图所示，探针卡51包括：例如由回路基板构成的大致圆形的卡本体51B，安装在卡本体51B的上表面上的增强部件51C，以及具有安装在卡本体51B的下表面中心的多个探针的接头(图中没有示出)。增强件51C由在卡本体51B的中心形成的矩形部51D、从矩形部51D呈放射状延伸至卡本体51A的外周的放射状部51E、和在放射状部51E的半径方向的大致中间形成的的圆环状部51F构成。在矩形部51D的上表面左右，分别通过安装部件51G而安装有一对把手51A。不使用时，把手51A在不使用时可分别倒向外侧。
例如，如图5所示，使升降臂552升降的升降驱动装置554包括：汽缸554A；关闭将驱动流体(压缩空气)供给至汽缸554A的管路554B的电磁阀(例如三通阀)554C；根据探针卡51的重量控制压缩空气压力的电空调节器554D；相对于电空调节器554D预先选择与探针卡51的重量对应的压缩空气压力值并进行输入的输入端子554E；和检测压缩空气的压力的压力传感器554F，其中，根据从输入端子554E的输入值，电磁阀554C和电空调节器554D协同工作，以此来对汽缸554A进行驱动控制。
另外，升降驱动装置554具有在操作时抓住操作手柄552C而起作用的操作开关554G。如后所述，通过操作开关554I，可以开闭控制电磁阀554C和电空调节器554D。即，操作开关554G通过控制部554H电气上与输入端子554E连接，只有当操作开关554G为接通状态时，电空调节器554D才能够通过控制部554H并根据输入端子554E的输入值工作，并且电磁阀554C成为开状态。
换句话说，当操作开关554G接通时，通过控制部554H而打开电磁阀554C，在电空调节器554D的控制下，将压缩空气供给至汽缸554A。另外，当操作开关554G断开时，通过控制部554H，电磁阀554C关闭，压缩空气被封止在汽缸554A内，使汽缸554A停止，从而使臂552在下降途中停止。例如，当探针卡51的重量比输入端子554E的输入重量大时，抓住操作手柄552C而使臂552回转时，汽缸554A的按压力不足，臂552利用自重开始下降。这时，当不注意操作手柄552C从操作者的手离开时，操作开关554G断开。电磁阀554C关闭，自此为止供给至汽缸554A的压缩空气被封止在汽缸554A内。这样，臂552因探针卡51的自重而下降，利用压缩空气的工作，臂552在途中停止，从而能够防止探针卡51的落下。另外，当在输入端子554E上将探针头卡51的重量设定得过小的情况下，操作手柄552C离开操作者的手，与上述情况相同，能够使汽缸554A的急剧上升停止。其中，在图5中，554I为雾隔离器。
接着，对其动作进行说明，在检查设备50中，当操作者安装或者更换检查装置52的探针卡51时，从收纳架取出探针卡51，与托盘一起将必要块数的探针卡51收纳在搬送台车54上，然后，如图1所示，操作者将搬送台车54移动至目的检查装置52。
对于操作者来说，在与托盘一起收纳在架上的探针卡51被放置在架上的状态下，将其从搬送台车54中拉出，并放置在搬送台车54的上面。使用探针卡放辅助装置55，只将探针卡51移载在检查装置52上。在使用探针卡移载辅助装置55的情况下，通过升降驱动装置554的输入端子554E，预先设定探针卡51的重量。另外，对于臂552，通过连杆557使臂552立起，将支架部件558挂支在第二销557A上，并将臂552维持在水平。在该状态下，操作者对操作手柄552C进行操作，将臂552回转至探针卡51的上面，使保持件551与探针卡51的中心一致。
另外，使用操作手551C，将保持件551按压至探针卡51中心附近，使第一板部件551A位于把手51A、51A的中间位置。当在该状态下使探针卡51的把手51A、51A立起时，把手51A、51A在保持件551的第一板部件551A的左右槽551D的上面。其次，当将肘节装置562的操作杠杆562A反转至图3所示的位置，使升降杆562C通过升降体564抬起保持件551时，如图3和图4所示，把手51A、51A嵌入第一板部件551A的左右的槽551D、551D中。这时，当操作者抓住操作手柄552C并接通操作开关554G时，压力传感器554F检测正常的压缩空气的压力并为接通，由此，电磁阀554C成为开状态，在电空调节器554D的控制下，将根据探针卡51的输入重量的规定压力的压缩空气供给至汽缸554A内。这样，能够在臂552从搬送台车54的架抬起探针卡51的方向施加辅助力。在该状态下，操作者操作手柄552C，从搬送台车54的架抬起探针卡51，再将臂552向检查装置52侧回转，将探针卡51搬送至检查装置52的卡搬送装置52B的上面。
在卡搬送装置52B的上按压操作手柄552C，在使探针卡51在卡搬送装置52B上着地后，从图3所示位置使肘节装置562的操作杠杆562A反转，使保持件551下降，使第一板部件551A与探针卡51的把手51A、51A离开。其次，使把手51A、51A倒向卡本体51B侧，从第一板部件551A取下，从保持件551开放探针卡51，结束探针卡51的移载作业。
但是，一旦探针卡51的重量例如比实际重量轻，并错误地将其输入至输入端子554E中，抓住操作手柄552C使操作开关554G接通，在电空调节器554D的控制下使汽缸554A工作，那么，当转动臂552时，臂552在探针卡51的过大重量作用下而下降，操作手柄552C从操作者的手离开。在这种情况下，操作开关554G自动断开，电磁阀554C关闭，在汽缸554A内封止有自此为止所供给的压缩空气。这样，即使552稍微下降，由于此时汽缸554A内的压缩空气压力升高，使得臂552的下降在途中停止，探针卡51不会与搬送台车54等冲突，从而能够防止探针卡51损伤。
另外，在从检查装置52将探针卡51移载至搬送台车54上的情况下，按上述顺序，通过使用探针卡移载辅助的装置55，能够平稳地移载探针卡51。
如上所述，根据本实施方式，在检查设备50中，包括：具有用于进行晶片的电气特性检查的探针卡51的检查装置52(在图1中只表示1台)、根据配置有多台该检查装置52的通路53来搬送探针卡51的搬送台车54、以及在该搬送台车54和设置在各检查装置52的装置本体52A上的卡搬送装置52B之间辅助探针卡51的移载作业的探针卡移载辅助装置55，其中，探针卡移载辅助装置55包括：挂住把手51A以保持探针卡51的保持件551；将该保持件551安装在其前端部的能够伸缩的臂552；支承该臂552并能够自由转动的支承体553；通过该支承体553按重量区分探针卡51并使其升降的升降驱动装置554，由此，能够使用保持件551保持探针卡51，使用升降驱动装置554从搬送台车54或者检查装置52的卡搬送装置52B抬起臂552，通过对操作手柄552C进行操作而使臂552转动，从而，使得操作者能够易于在搬送台车54和检查装置52的卡搬送装置52B之间不伴随着力做功地移载探针卡51，因此，能够特别减轻操作者的负荷。
另外，臂552能够在缩回的状态下围绕中心转动回转体560，并移动由保持件551保持的探针卡51，由此，能够将臂552的基端为中心的移动范围抑制至最小限度，因此，由于检查设备50节省空间，所以能够使多台检查装置52密集化，即使在相邻的检查装置52间的间隔狭窄而不能在该间隙中配置搬送台车54，也能够确保从配置在通路53上的搬送台车54向检查装置52侧的臂552的回转区域，并能够确保操作者进入的空间。
另外，根据本实施方式，由于保持件551具有与把手51A、51A的间隔和由把手51A、51A的第一板部件551A保持的直线部分对应的槽551D、551D，所以，能够可靠地保持探针卡，并在稳定的状态下移载探针卡51。另外，由于保持件551将把手51A、51A挂住而保持在槽551D、551D上，所以，当从空中将保持的探针卡51放置规定地方时，即使臂552没有充分的刚性而少许挠曲，也能够利用升降驱动装置554或者肘节装置562，而很好地使保持件551下降至臂552不挠曲为止，使把手51A、51A从槽551D、551D浮起，因此，之后能够不取下把手51A、51A而稳定地进行探针卡51的设置动作。由于保持551在探针卡51的稍上方，通过肘节装置562升降，因此，可以利用升降驱动装置554和肘节装置562，分两阶段设定保持件551的高度，使保持件511不与卡本体51B碰撞而损伤。
另外，升降驱动装置554包括：使臂552升降的汽缸554A；开闭将压缩空气供给至汽缸554A的管路554B的电磁阀554C；根据探针卡51的重量控制压缩空气的压力的电空调节器554D；预先将探针卡51的重量输入至电空气调节器554D中的输入端子554E；和检测压缩空气压力的压力传感器554F，因此，能够根据探针卡51的重量控制汽缸554A的驱动力。另外，也可以利用重量传感器测定探针卡51的重量，根据测定重量控制汽缸554A的驱动力。
另外，升降驱动装置554具有在操作臂552时起作用的操作开关554G，操作开关554G和压力传感器554F连接来开闭电磁阀554C，因此，当操作手柄552C从操作者的手离开时，操作开关554G自动断开，电磁阀554C关闭，可以抑制臂552因探针卡51的自重而下降，从而能够防止探针卡51的损伤。
(第二实施方式)
本实施方式的探针卡的移载辅助装置除了保持部以外，基本上是以第一实施的为基准的结构，因此，与第一实施方式相同或相当的部分用相同符号表示，只以本实施方式的特征为中心说明。
如图6的(a)、(b)所示，本实施方式的探针卡移载辅助装置55A，具有保持件511’、臂552和如图2(a)、(b)所示的支承体553以及升降驱动装置554(参照图1)。
如图6的(a)、(b)所示，本实施方式保持件511’包括：形成有挂住探针卡51的把手51A的槽551D的第一板部件551A，配置在第一板部件551A的上方并且可升降地保持第一板部件551A的第二板部件551B，以及检测第一、第二板部件551A、551B的间隔变化的卡检测传感器551E。
第一板部件551A通过第二板部件551B可升降地保持。即，如图6(a)所示，在圆形的第二板部件551B的外周边缘上，隔开周方向的等间隔而安装有多个弹性部件(例如弹簧部件)551C，第一板部件551A与这些弹性部件551C的下端连接。另外，在第二板部件551B的外周边缘上，多个伸缩机构551F隔开周方向的等间隔而位于并安装在弹性部件551C的外侧。伸缩机构551F例如由立设在第一板部件551A上的杆和从第二板部件551B垂下的干衬套构成，杆能够与弹性部件551C的伸缩同步而在干衬套内上下运动。
如图6(a)所示，从第二板部件551B的中心，圆柱形的升降导向装置551G垂下。升降导向装置551G贯通在第一板部件551A的中心形成的孔。在升降导向装置551G的下端形成凸缘，利用该凸缘卡止因探针卡51的自重而下降的第一板部件551A。另外，在第一板部件551A的上面设置有套管551H，使第一板部件551A能够沿着升降导向装置551G平稳地升降。
此外，如图6(b)所示，例如在第一板部件551A的上面设置有卡检测传感器551E，其位置在第一板部件551A的周方向，且互相隔开180°，利用卡检测传感器551E检测探针卡51。当第一板部件551A的由于探针卡51的自重而克服弹性部件551C的弹簧力沿着升降导向装置551G下降时，卡检测传感器(例如，电容传感器)551E根据第一、第二板部件551A、551B的间隔变化检测保持探针卡51的情况。另外，卡检测传感器551E也可以设置在第二板部件551B上。作为卡检测传感器551E，除了电容传感器以外，可以使用光学传感器等。
此外，如图7所示，本实施方式使用的升降驱动装置554基本上与上述实施方式同样，包括：汽缸554A，管路554B，电磁阀554C，电空调节器554D，输入端子554E，压力传咸器554F，操作开关554G，控制部554H，和雾隔离器554I。只有当卡检测传感器551E和操作开关554G都为接通状态时，电空调节器554D才通过控制部554H并根据输入端子554E的输入值工作，同时电磁阀554C为开状态。
其次，说明探针卡的移载辅助装置554A的动作。在本实施方式中，以与上述实施方式的不同点为中心说明，与上述实施方式同样，通过操作手柄552C，将保持件551’移动至探针卡51的中心上面。其次，操作肘节装置562，将保持件551’的第一板部件551A下降至卡本体51B附近后，从卡本体51B使把手51A、51A立起。
然后，当操作肘节装置562的操作杠杆562A，使保持件551’上升时，把手51A、51A嵌入第一板部件551A的槽551D、551D中，第一板部件551A与弹簧551C对抗而沿着升降导向装置551G下降，并从第一板部件551A被升降导向装置551G的凸缘阻止的时刻开始，探针卡51浮起。当弹性部件551C伸长，第一板部件551A从第二板部件551B开始下降时，卡检测传感器551E根据第一、第二板部件551A、551B的间隔变化，检测探针卡51，并将检测信号送至控制部554H。
然后，当操作者抓住操作手柄552C而使操作开关554G接通时，升降驱动装置554的控制部554H根据从操作开关554G和卡检测传感器551E两者发出的信号，使电磁阀554C成为开状态，在电空调节器554D的控制下，将根据探针卡51的输入重量的规定压力的压缩空气供给至汽缸554A内。这样，臂552得到辅助力，将探针卡51从搬送台车54的架抬起。在该状态下，操作者操作杠作手柄552C，在搬送台车54和检查装置52之间转动臂552，进行探针卡51的移载作业。除此之外与上述实施方式同样。
如上所述，采用本实施方式，保持件551’包括：具有槽551D的第一板部件551A；配置在第一板部件551A的上方，并且可升降地支承第一板基件551A的第二板部件554B；根据第一、第二板部件551A、551B的间隔变化来检测探针卡51的卡检测传感器551E，因此，能够可靠地利用卡检测感器551E检测由保持件551’保持探针卡51的情况。另外，升降驱动装置554根据从卡检测传感器551E和操作开关554G两者发出的检测信号，将辅助力施加给臂552，可以只在检测探针卡51时，利用保持件551’抬起探针卡51。除此之外，在本实施方式中能够实现与上述实施方式同样的作用效果。
(第三实施方式)
如图8的(a)、(b)所示，本实施方式的探针卡移载辅助装置，除了保持件551”的结构不同以外，其他均与第一实施方式的结构相同。因此，在本实施方式的的保持件551中，对与第一实施方式相同或相当的部分标注相同的符号，并以本实施方式的特征为中心进行说明。
如图8(a)、(b)所示，本实施方式的保持件551”的特征在于，在第一板部件551A的两端面上设置有防止一对把手51A从槽551D脱出的防止脱出装置551”I。即，如同图的(a)所示，防止脱出装置551”I具有通过销551J安装在第一板部件551”A的端面上的杠杆551K；以及在杠杆551K的背面的下端形成的，能够在半球状的槽中进退运动的可动销551L。如同图的(b)所示，杠杆551K能够在槽551M内以销551J为中心在垂直方向和水平方向的90°范围内立起倒下，在垂直位置，可动销551L嵌入背面的半球槽内而保持垂直状态，使把手51A不能从第一板部件551”A的槽551D脱出。当从第一板部件551”A取出把手51A时，将杠杆551K倒下成水平状态，收纳于在第一板部件551”A的端面上形成的线槽551M内。
因此，采用本实施方式，当将探针卡51的把手51A挂在第一板部件551”A的槽551D中，将杠杆551K立起，使用可动销551L保持垂直状态时，即使保持件551”稍微上下移动，把手51A也不会从第一板部件551”A的槽551D中脱出，能够更安全地移载侧头卡51。
(第四实施方式)
如图9所示，本实施方式的探针卡的移载辅助装置，除了保持件551的防止脱出装置551I不同以外，其他均与第三实施方式的结构相同。因此，在本实施方式的保持件551中，对与第三实施方式相同或相当部分标注相同的符号表示，并以本实施方式的特征为中心进行说明。
如图9所示，本实施方式的防止脱出装置551I利用由安装在第一板部件551A的两端面上的橡胶等构成的可挠性部件551N而构成。该可挠性部件551N为矩形，覆盖第一板部件551A的全部端面，并且形成为从第一板部件551A的上面突出的大小，利用多个螺钉551O固定在第一板部件端面上。因此，当超过可挠性部件551N将探针卡51的把手51A挂在第一板部件551A的槽551D中时，可挠性部件551N使把手51A不从第一板部件551A脱出，留在槽551D内。因此，在本实施方式中，能够得到与第三实施方式同样的作用效果。
(第五实施方式)
在上述各实施方式中，作为升降保持件装置，以肘节装置562为例进行说明，但如本实施方式那样，可以利用图10所示的升降装置来代替肘节装置562。如图10所示，该升降装置562’包括：操作手柄562’A，与该操作手柄562’A连接的升降杆562’B，以及在升降杆562’B贯通的上下具有第一、第二基板562’C、562’D的设置部563A，其中，保持件(图中没有示出)与升降杆562’B的下端连接。在第一基板563’C内安装有在贯通孔的周面上进退运动的可动销562’E，在第二基板562’D的周面上形成有与升降杆562’B的阳螺纹562’F啮合的阴螺纹562’G。另外，在升降杆562’B的上部形成有可动销562’E嵌合的半球槽562’H。因此，当转动操作操作手柄562’A时，升降杆562’B能够以第二基板562’D为基准进行升降，而且可以升降保持件551。
在将探针卡的把手(图中没有示出)挂在保持件的第一板部件(图中没有示出)上的情况下，操作升降装置562的操作手柄562’A，通过升降杆562’B，使保持件551位于下降端，将探针卡的把手挂在第一板部件上。当操作操作手柄562’A而使保持件上升时，升降杆562’B的半球槽562’H和可动销562’E的前端嵌合，升降杆562’B不上升而停止。在该状态下，对臂(图中没有示出)进行操作，从而，能够将探针卡移载至规定位置。
(第六实施方式)
以下，根据图11～图14所示的实施方式对本发明进行说明。本实施方式的探针卡移载辅助装置，除了工序件662和保持件651以外，其他均与第一实施方式的结构相同，因此，在本实施方式的保持件中，对与第一实施方式相同或者相当的部分用相同的符号表示，并以本实施方式的特征为中心进行说明。
如图1的(a)、(b)所示，探针卡移载辅助装置55包括：保持探针卡51的保持件651；该保持件651安装在前端上的可伸缩的臂552；支承该臂552的可回转的支承件553，构成通过该支承体553按重量区分探针卡51并使其升降的升降驱动装置554的汽缸554A，其中，该辅助装置被附设在检查装置52的侧面。
此外，如图12～图14所示，臂552的前端的保持件651包括：圆形的第一部件651A；配置在第一部件651A的中心的上方，而且直径形成为与第一部件651A大致相同的圆形的第二部件651B；使第一部件651A和第二部件651B连接的多个(本实施方式中为4个)弹性部件(例如弹簧部件)651C；安装在第一部件651A下面的多根(本实施方式中为4根)线材651D；以及检测第一、第二部件651A、651B的间隔变化的卡检测传感器(例如电容传感器)651E。如该图所示，该保持件651通过侧面形状为L字形的固定件562而固定在臂552的前端。第一部件651形成为具有扁平侧壁的有底筒状，第二部件651B形成为板状，第一、第二部件651A、651B被配置在同一轴芯上。在线材651D的自由端(下端)上安装有钩651F，将该钩支挂在设置于把手651A的角上的孔中而将探针卡51吊起。
如图12、图13所示，弹簧部件651C沿着第一部件651A的侧壁的内面而在周方向隔开等间隔配置，连接第一部件651A和第二部件651B。另外，在第一部件651A的侧壁的上面、在周向上隔开等间隔而配置有多个(在本实施方式中为4个)伸缩机构651G，利用该伸缩机构651G可升降地连接第一部件651A和第二部件651B。伸缩机构651G例如由立设于第一部件651A侧壁上的杆和从第二部件651B垂下的干衬套构成，与弹簧部件651C的伸缩同步，杆能够在干衬套内上下运动。如图13(c)所示，4个弹簧部件651C和4个伸缩机构651G互相在周向上每隔45°偏向而配置。
如图3～图4的(a)所示，圆柱形的升降导向装置651H从第二部件651B的中心垂下，升降导向装置651H贯通在第一部件651A的底面中心形成的孔。在升降导向装置651H的下端形成有凸缘，利用该凸缘来与因探针卡51的自重而下降的第一部件651A接合。
另外，如图3、图4的(b)所示，两个下检测传感器651E在周方向互相隔开180°而配置在第一部件651A的侧壁上面。当第一部件651A因探针卡51的自重而克服弹簧部件651C的弹簧力并沿着升降导向装置651H下降时，卡检测传感器651E根据第一、第二部件651A、651B的间隔变化来检测保持探针卡51的情况。如后所述，卡检测传感器651E在电气上与升降驱动装置554的控制部连接。另外，在本实施方式中，是在第一部件651A上设置卡检测传感器651E，但是，也可以设置第二部件651B上。卡检测传感器651E除了电容传感器以外，还可以使用光学传感器等。
另外，升降驱动装置554具有在抓住操作手柄552C进行操作时起作用的操作开关654G(参照图7)，如后所述，操作开关554G与卡检测传咸器651E共同作用，开闭控制电磁阀554C和电空调节器554D。即，卡检测传感器651E和操作开关554G，通过控制部554H与输入端子554E电气连接，当卡检测传感器651E和操作开关554G两者接通时，通过控制部554H，根据输入端子554E的输入值，使电空调节器554D工作，同时，使电磁调554C成为开状态。
换句话说，当卡检测传感器651E和操作开关554G两者接通时，通过控制部554H而打开电磁阀554C，在电空调节器554D的控制下，将压缩空气供给至汽缸554A。另外，当卡检测传感器651E、操作开关554G的任何一个断开时，通过控制部554H而关闭电磁阀554C，将压缩空气封止在汽缸554A内，使汽缸554A停止，从而，使臂552在下降途中停止。例如，当探针卡51的重量比输入端子554E的输入重量大时，抓住操作手柄552C来转动臂552时，汽缸554A的按压力不足，臂552因自重而开始下降。这时，当因不注意而操作手柄552C离开操作者的手时，操作开关554G断开，关闭电磁阀554C，自此为止供给至汽缸554A的压缩空气被封止在汽缸554A内。因此，臂552由于探针卡51的自重而下降，利用压缩空气的作用，臂552在途中停止，从而能够防止探针卡51落下。另外，在输入端子554E将探针卡51的重量设定得过小的情况下，操作手柄552C离开操作者的手，与上述情况相同，能够使汽缸554A的急剧上升而停止。此外，在图7中，554I为雾隔离器。
其次，对动作进行说明，在检查设备50中，当操作者安装或更换检查装置52的探针卡51时，从收纳架取出探针卡51，与托盘一起将必要块数的探针卡51收纳在搬送台车54上。此外，如图1所示，操作者将搬送台车54移动至目的检查装置52。
对于操作者来说，在放置在架上的状态下，将与托盘一起收纳在架上的探针卡51从搬送台车54拉出，并放置在搬送台车54的上面。使用探针卡放辅助装置55，只将探针卡51移载至检查装置52上。在使用探针卡移载辅助装置55的情况下，通过升降驱动装置554的输入端子554E，预先设定探针卡51的重量。然后，使臂552立起，将支架部件558挂在第二销557A上，将臂552维持水平。在该状态下，操作手柄552C进行操作，从而使臂552回转，以使保持件551与探针卡51的中心一致。
其次，使用操作手柄552C来按压保持件651，将线材651的钩挂在把手51A的孔中。在该状态下，使探针卡51的把手51A、51A立起，将4根线材651D的钩651F分别挂在一对把手51A、51A的孔中，另外，当操作者使操作开关554G接通时，由于压力传感器554F检测正常的压缩空气的压力而接通，使得电磁阀554C成为开状态，在电空调节器554D的控制下，将根据探针卡51的输入重量的规定压力的压缩空气供给至汽缸554A内。这样，臂552和保持件651上升，线材651D伸长而松驰，另外，当臂552上升时，保持件651的第二部件651B抵抗弹簧部件651C的弹簧力而上升，当与第一部件651A的间隔变化时，卡检测传感器651E工作，检测探针卡51，在从搬送台车54的架抬起探针卡51的方向上施加辅助力。这样，当第二部件651B上升，升降导向装置651H的凸缘与第一部件651A接触时，探针卡51从搬送台车54的架上抬起。在该状态下，操作者操作手柄552C，将臂552向检查装置52回转，从而将探针卡51搬送至检查装置52的卡搬送装置52B的上面。
在卡搬送装置52B的上面，断开操作开关554G，按下操作手柄552C，使探针卡51落在搬送装置52B上。然后，从把手51A、51A取出线材651D的钩651F，从保持件651解放探针卡51，结束探针卡51的移载作业
另外，当从检查装置52将探针卡51移载至搬送台车54上的情况下，通过按照上述顺序使用探针卡移载辅助装置55，能够平稳地移载探针卡51。
如上所述，根据本实施方式，检查设备50包括：具有用于进行晶片的电气特性检查的探针卡51的检查装置52(在图1中只表示1台)，根据配置有多台该检查装置52的通路53来搬送探针卡51的搬送台车54，以及在该搬送台车54与设置在各检查装置52的装置本体52A上的卡搬送装置52B之间辅助探针卡51的移载作业的探针卡移载辅助装置55，其中，探针卡移载辅助装置55包括：挂住其把手51A以保持探针卡51的保持件651；该保持件651安装在前端的可伸缩的臂552；支承该臂552的可自由转动的支承体553；以及通过该支承体553按重量区分探针卡51并使其升降的升降动装置554，因此，能够以保持件651的线材651D保持探针卡51，用升降驱动装置554从搬送台车54或者检查装置52的卡搬送装置52B抬起臂552，通过操作操作手柄552C，使臂552转动，从而，操作者容易在搬送台车54和检查装置52的卡搬送装置52B之间移载不伴随着力做功的探针卡51，从而能够特别减轻操作者的负荷。另外，当利用保持件651保持并搬送探针卡51时，即使臂552的刚性不是很大，臂552挠曲，若能够利用升降驱动装置554很好地使保持件651下降至臂552而不挠曲，则由于在线材651D不拉伸的状态下，能够将线材651D在探针卡51的把手51A、51A上进行装卸，从而，可以稳定地移载探针卡51。
另外，采用本实施方式，保持件651包括：第一部件651A；配置在第一部件651A的中心的上方，且直径形成为与第一部件651大致相同的圆形的第二部件651B；可升降地使第一部件651A与第二部件651B连接的弹簧部件651C；安装在第一部件651A的下面的4根线材651D；以及检测第一、第二部件651A、651B的间隔变化的卡检测传感器651E，由此，可以利用卡检测传感器651E可靠地检测出由保持件651保持探针卡51的情况。另外，升降驱动装置554根据从卡检测传感器651E和操作开关554G两者发出的检测信号，将辅助力施加给臂552，因此，能够抬起探针卡51。
另外，由于臂552在缩回状态下以回转体560为中心回转，并移动由保持件651所保持的探针卡51，因此，能够将以臂552的基端为中心的移动范围抑制至最小限度。因此，由于检测设备50节省空间，所以能够密集配置多个检测装置52，即使相邻的检查装置52间的间隔狭窄而不能够在该间隙中配置搬送台车54，也可以确保从配置在通路53上的搬送台车54向检查装置52的臂552的回转区域，并能够确保操作者的进入空间。
此外，升降驱动装置554具有在操作臂552时起作用的操作开关554G，连携于卡检测传感器651E、操作开关554G和压力传感器554F来开闭电磁阀554C，因此，当操作手柄552C从操作者的手离开时，操作开关554G自动断开，电磁阀554C关闭，能够抑制臂552因探针卡51的自重而下降，从而防止探针卡51受到损伤。
另外，在上述各实施方式中，对以单体移载探针卡的情况进行了说明，但是，对于带卡座的探针卡也同样可以移载，因此，本发明不限于上述实施方式，可根据需要来设计变更各构成部件。
本发明能够应用于在配置有多个具有探针卡的检查装置的检查设备中。

Claims (32)

1.一种探针卡移载辅助装置，能够辅助电气检查装置中使用的探针卡的移载作业，其特征在于，包括：
挂住或者吊下以保持所述探针卡的一对把手的保持部；
可移动地支承所述保持部的支承部；和
升降所述支承部的装置。
2.如权利要求1所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：
所述保持部具有挂住所述一对把手的槽。
3.如权利要求1或2所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：
在所述保持部上设置有用于防止所述一对把手从所述保持部脱出的防止脱出装置。
4.如权利要求3所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：
所述防止脱出装置为能够立起倒下地安装在所述保持部的端部上的杠杆。
5.如权利要求3所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：
所述防止脱出装置为从所述槽突出地安装在所述保持部的端部上的可挠性部件。
6.如权利要求2～5中任一项所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：
所述保持部包括：具有所述槽的第一板部件；配置在第一板部件的上方，并且可升降地保持第一板部件的第二板部件；和检测第一、第二板部件的间隔变化的传感器。
7.如权利要求1～6中任一项所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：
所述保持部被安装在从所述支承部伸出的可伸缩臂上。
8.如权利要求7所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：
在所述臂上设置有升降所述保持部的装置。
9.如权利要求7或8所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：
所述支承部的升降装置包括：升降所述臂的缸体机构；开闭将驱动流体供给至所述缸体机构的流路的阀；控制所述驱动流体的压力的调节器；预先将所述探针卡的重量输入至所述调节器的输入端子；和检测所述驱动流体压力的压力传感器。
10.如权利要求1～9中任一项所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：
所述支承部的升降装置构成为能够在按压所述探针卡的方向上施加辅助力。
11.如权利要求10所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：
所述辅助力能够根据所述探针卡的重量而变更。
12.如权利要求1～11中任一项所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：
被附设在所述检查装置上。
13.如权利要求1～11中任一项所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：
当在所述检查装置和搬送在所述检查装置中所使用的探针卡的搬送装置之间辅助所述探针卡的移载作业时，放置在所述检查装置和所述搬送装置之间。
14.如权利要求13所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：
所述搬送装置为搬送台车。
15.如权利要求1所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：
所述保持部利用纽状部件吊下以保持所述探针卡的一对把手。
16.如权利要求15所述的探针卡移载辅助装置，其特征在于：
所述保持部包括：安装有多个所述纽状部件的第一部件；配置在第一部件的上方，并且可升降地与第一部件连接的第二部件；以及检测第一、第二部件的间隔变化的传感器。
17.一种检查设备，具有电气检查装置和辅助在该电气检查装置中所使用的探针卡的移载作业的探针卡移载辅助装置，其特征在于：
所述探针卡移载辅助装置包括：
挂住或者吊下以保持所述探针卡的一对把手的保持部；
可移动地支承所述保持部的支承部；和
升降所述支承部的装置。
18.如权利要求17所述的检查设备，其特征在于：
所述保持部具有挂住所述一对把手的槽。
19.如权利要求17或18所述的检查设备，其特征在于：
在所述保持部上设置有防止所述一对把手从述保持部脱出的防止脱出装置。
20.如权利要求19所述的检查设备，其特征在于：
所述防止脱出装置为能够立起倒下地安装在所述保持部的端部上的杠杆。
21.如权利要求19所述的检查设备，其特征在于：
所述防止脱出装置为从所述槽突出地安装在所述保持部的端部上的可挠性部件。
22.如权利要求18～21中任一项所述的检查设备，其特征在于：
所述保持部包括：具有所述槽的第一板部件；配置在第一板部件的上方，并且可升降地保持第一板部件的第二板部件；和检测第一、第二板部件的间隔变化的传感器。
23.如权利要求17～22中任一项所述的检查设备，其特征在于：
所述保持部被安装在从所述支承部伸出的可伸缩臂上。
24.如权利要求23所述的检查设备，其特征在于：
在所述臂上设置有升降所述保持部的装置。
25.如权利要求23或24所述的检查设备，其特征在于：
所述支承部的升降装置包括：升降所述臂的缸体机构；开闭将驱动流体供给至所述缸体机构的流路的阀；控制所述驱动流体的压力的调节器；预先将所述探针卡的重量输入至所述调节器的输入端子；和检测所述驱动流体压力的压力传感器。
26.如权利要求17～25中任一项所述的检查设备，其特征在于：
所述支承部的升降装置构成为能够在按压所述探针卡的方向上施加辅助力。
27.如权利要求26所述的检查设备，其特征在于：
所述辅助力能够根据所述探针卡的重量而变更。
28.如权利要求17～27中任一项所述的检查设备，其特征在于：
被附设在所述检查装置上。
29.如权利要求17～28中任一项所述的检查设备，其特征在于：
当在所述检查装置和搬送在所述检查装置中所使用的探针卡的搬送装置之间辅助所述探针卡的移载作业时，放置在所述检查装置和所述搬送装置之间。
30.如权利要求29所述的检查设备，其特征在于：
所述搬送装置为搬送台车。
31.如权利要求17所述的检查设备，其特征在于：
所述保持部利用纽状部件吊下以保持所述探针卡的一对把手。
32.如权利要求31所述的检查设备，其特征在于：
所述保持部包括：安装有多个所述纽状部件的第一部件；配置在第一部件的上方，并且可升降地与第一部件连接的第二部件；和检测第一、第二部件的间隔变化的传感器。
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