JP2007147536A - プローブカード移載補助装置及び検査設備 - Google Patents

Abstract

【課題】大重量化したプローブカードであってもオペレータの負担を軽減し、円滑にプローブカードを移載することができるプローブカード移載補助装置、検査設備及び検査方法を提供する。
【解決手段】プローブカード移載補助装置５５は、プローブカード５１を保持する保持具５５１と、この保持具５５１が先端部に取り付けられた伸縮可能なアーム５５２と、このアーム５５２を支持する旋回自在な支持体５５３と、この支持体５５３を介してプローブカード５１を重量別に昇降させる昇降駆動装置５５４と、を備え、保持具５５１は、取っ手５１Ａを吊り上げてプローブカード５１を保持する。
【選択図】図１

Description

本発明は、プローブカードを用いてウエハ等の被検査体の電気的特性検査を行う検査装置を複数備えた検査設備に関し、更に詳しくは、検査設備内で検査装置と搬送台車との間でプローブカードの移載作業を補助するプローブカード移載補助装置及び検査設備に関するものである。

この種の検査装置は、例えば図１１に示すように、被検査体（例えば、ウエハ）Ｗを搬送するローダ室１と、ローダ室１に隣接し且つローダ室１から受け取ったウエハＷの電気的特性検査を行うプローバ室２と、を備えて構成されている。プローバ室２は、同図に示すように、Ｘ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動可能に配設され且つウエハを載置する載置台（ウエハチャック）３と、このウエハチャック３の上方に配置されたカードホルダ付きプローブカード４と、プローブカード４を保持するクランプ機構５と、を備えている。プローバ室２内ではウエハチャック３がＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に移動する間にアライメント機構６を介してウエハＷとプローブカード４のプローブ４Ａとのアライメントを行った後、ウエハＷのインデックス送りを行いながらウエハの電気的特性検査を実行する。尚、アライメント機構６は、上カメラ６Ａ及び下カメラ６Ｂを有している。Ｔはテストヘッドである。

而して、プローブカード４をプローバ室２内のクランプ機構５に着脱する場合には、例えば本出願人が特開２００１−２４０３９号において提案したカード搬送装置が用いられる。このカード搬送装置は、図１２に示すように、ウエハチャック３と、このウエハチャック３との間でプローブカード４を受け渡す受け渡し機構７とを備えている。受け渡し機構７は、図１２に示すように、カードホルダ付きプローブカード４を着脱自在に保持するアダプタ８と、このアダプタ８を着脱自在に保持するように先端部が二股に分かれたフォーク状のアーム９と、このアーム９を矢印Ａ方向に押し込んでプローブカード４を受け渡し位置まで移動案内する一対のガイドレール１０と、これらのガイドレール１０が固定されたアーム支持体１１とを備え、アーム９とウエハチャック３に装着されたアダプタ支持体１２との間でプローブカード４を搭載したアダプタ８の受け渡しを行なう。

そして、カード搬送装置を用いてプローブカード４をクランプ機構５に装着する場合には、オペレータ等が受け渡し機構７上にカードホルダ付きプローブカード４を設置した後、カード搬送装置を介してクランプ機構５の真下まで搬送し、この位置からウエハチャック３を上昇させた後、クランプ機構５でプローブカード４を検査装置本体側に固定する。尚、図１２において、１３は受け渡す受け渡し機構７を矢印Ｂと反対方向に折り畳んで収納する収納部である。

ところで、プローブカード４をカード搬送装置に設置する場合には、オペレータが所定の収納棚から検査装置までプローブカード４を運んで設置するか、オペレータが搬送台車等を用いて収納棚から検査装置まで運び、搬送台車からカード搬送装置に移載して設置するなどしている。

しかしながら、近年のプローブカード４の大型化に伴って、その重量が１５〜２５Ｋｇと大重量化しているため、例えばオペレータ等がプローブカード４を搬送台車から持ち上げてカード搬送装置に移載して設置するには大きな力を必要とする上に、プローブカード４を持ち上げる際に掴む部分が制限され、取り扱いに慎重を要するため、オペレータに過度の負担がかかるという課題があった。

本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、大重量化したプローブカードであってもオペレータの負担を軽減し、円滑にプローブカードを移載することができるプローブカード移載補助装置、検査設備及び検査方法を提供することを目的としている。

本発明の請求項１に記載のプローブカード移載補助装置は、電気的検査装置に用いられるプローブカードの移載作業を補助するプローブカード移載補助装置であって、上記プローブカードの一対の取っ手をそれぞれ掛けて保持する保持部と、上記保持部を移動可能に支持する支持部と、上記支持部を昇降させる手段と、を備えたことを特徴とするものである。

また、本発明の請求項２に記載のプローブカード移載補助装置は、請求項１に記載の発明において、上記保持部は、上記一対の取っ手を掛ける溝を有することを特徴とするものである。

また、本発明の請求項３に記載のプローブカード移載補助装置は、請求項１または請求項２に記載の発明において、上記保持部に、上記保持部から上記一対の取っ手が外れるのを防止する外れ防止手段を設けたことを特徴とすることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のものである。

また、本発明の請求項４に記載のプローブカード移載補助装置は、請求項３に記載の発明において、上記外れ防止手段は、上記保持部の端部に起倒可能に取り付けられたレバーであることを特徴とするものである。

また、本発明の請求項５に記載のプローブカード移載補助装置は、請求項３に記載の発明において、上記外れ防止手段は、上記保持部の端部に上記溝から突出するように取り付けられた可撓性部材であることを特徴とするものである。

また、本発明の請求項６に記載のプローブカード移載補助装置は、請求項２〜請求項５のいずれか１項に記載の発明において、上記保持部は、上記溝を有する第１の板部材と、第１の板部材の上方に配置され且つ第１の板部材を昇降可能に保持する第２の板部材と、第１、第２の板部材の間隔の変化を検出するセンサと、を有することを特徴とするものである。

また、本発明の請求項７に記載のプローブカード移載補助装置は、請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の発明において、上記保持部は、上記支持部から張り出す伸縮可能なアームに取り付けられていることを特徴とするものである。

また、本発明の請求項８に記載のプローブカード移載補助装置は、請求項７に記載の発明において、上記アームに、上記保持部を昇降させる手段を設けたことを特徴とするものである。

また、本発明の請求項９に記載のプローブカード移載補助装置は、請求項７または請求項８に記載の発明において、上記支持部の昇降手段は、上記アームを昇降させるシリンダ機構と、上記シリンダ機構に駆動流体を供給する流路を開閉するバルブと、上記駆動流体の圧力を制御するレギュレータと、上記レギュレータに対して上記プローブカードの重量を予め入力する入力端子と、上記駆動流体の圧力を検出する圧力センサと、を有することを特徴とするものである。

また、本発明の請求項１０に記載のプローブカード移載補助装置は、請求項１〜請求項９のいずれか１項に記載の発明において、上記支持部の昇降手段は、上記プローブカードを押し上げる方向に補助力を付与するように構成されていることを特徴とするものである。

また、本発明の請求項１１に記載のプローブカード移載補助装置は、請求項１０に記載の発明において、上記補助力は、上記プローブカードの重量に対応して変更可能に構成されていることを特徴とするものである。

また、本発明の請求項１２に記載のプローブカード移載補助装置は、請求項１〜請求項１１のいずれか１項に記載の発明において、上記検査装置に付設したことを特徴とするものである。

また、本発明の請求項１３に記載のプローブカード移載補助装置は、請求項１〜請求項１１のいずれか１項に記載の発明において、上記検査装置と上記検査装置に用いられるプローブカードを搬送する搬送手段との間で上記プローブカードの移載作業を補助する際に、上記検査装置と上記搬送手段の間に介在することを特徴とするものである。

また、本発明の請求項１４に記載のプローブカード移載補助装置は、請求項１３に記載の発明において、上記搬送手段は、搬送台車であることを特徴とするものである。

また、本発明の請求項１５に記載の検査設備は、電気的検査装置と、この電気的検査装置に用いられるプローブカードの移載作業を補助するプローブカード移載補助装置と、を備え、上記プローブカード移載補助装置は、上記プローブカードの一対の取っ手をそれぞれ掛けて保持する保持部と、上記保持部を移動可能に支持する支持部と、上記支持部を昇降させる手段と、を備えたことを特徴とするものである。

本発明の請求項１６に記載の検査設備は、請求項１２に記載の発明において、上記保持部は、上記一対の取っ手を掛ける溝を有することを特徴とするものである。

また、本発明の請求項１７に記載の検査設備は、請求項１５または請求項１６に記載の発明において、上記保持部に、上記保持部から上記一対の取っ手が外れるのを防止する外れ防止手段を設けたことを特徴とすることを特徴とするものである。

また、本発明の請求項１８に記載の検査設備は、請求項１７に記載の発明において、上記外れ防止手段は、上記保持部の端部に起倒可能に取り付けられたレバーであることを特徴とするものである。

また、本発明の請求項１９に記載の検査設備は、請求項１７に記載の発明において、上記外れ防止手段は、上記保持部の端部に上記溝から突出するように取り付けられた可撓性部材であることを特徴とするものである。

また、本発明の請求項２０に記載の検査設備は、請求項１６〜請求項１９のいずれか１項に記載の発明において、上記保持部は、上記溝を有する第１の板部材と、第１の板部材の上方に配置され且つ第１の板部材を昇降可能に保持する第２の板部材と、第１、第２の板部材の間隔の変化を検出するセンサと、を有することを特徴とするものである。

また、本発明の請求項２１に記載の検査設備は、請求項１５〜請求項２０のいずれか１項に記載の発明において、上記保持部は、上記支持部から張り出す伸縮可能なアームに取り付けられていることを特徴とするものである。

また、本発明の請求項２２に記載の検査設備は、請求項２１に記載の発明において、上記アームに、上記保持部を昇降させる手段を設けたことを特徴とするものである。

また、本発明の請求項２３に記載の検査設備は、請求項１５〜請求項２３のいずれか１項に記載の発明において、上記支持部の昇降手段は、上記アームを昇降させるシリンダ機構と、上記シリンダ機構に駆動流体を供給する流路を開閉するバルブと、上記駆動流体の圧力を制御するレギュレータと、上記レギュレータに対して上記プローブカードの重量を予め入力する入力端子と、上記駆動流体の圧力を検出する圧力センサと、を有することを特徴とするものである。

また、本発明の請求項２４に記載の検査設備は、請求項１５〜請求項２３のいずれか１項に記載の発明において、上記支持部の昇降手段は、上記プローブカードを押し上げる方向に補助力を付与するように構成されていることを特徴とするものである。

また、本発明の請求項２５に記載の検査設備は、請求項２４に記載の発明において、上記補助力は、上記プローブカードの重量に対応して変更可能に構成されていることを特徴とするものである。

また、本発明の請求項２６に記載の検査設備は、請求項１５〜請求項２５のいずれか１項に記載の発明において、上記検査装置に付設したことを特徴とするものである。

また、本発明の請求項２７に記載の検査設備は、請求項１５〜請求項２６のいずれか１項に記載の発明において、上記検査装置と上記検査装置に用いられるプローブカードを搬送する搬送手段との間で上記プローブカードの移載作業を補助する際に、上記検査装置と上記搬送手段の間に介在することを特徴とするものである。

また、本発明の請求項２８に記載の検査設備は、請求項２７に記載の発明において、上記搬送手段は、搬送台車であることを特徴とするものである。

本発明の請求項１〜請求項２８に記載の発明によれば、重量化したプローブカードであってもオペレータの負担を軽減することができるプローブカード移載補助装置及び検査設備を提供することができる。

以下、図１〜図７に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。尚、図１は本発明の検査設備の一実施形態を示す平面図、図２の（ａ）、（ｂ）はそれぞれ図１に示す検査設備に適用されるプローブカード移載補助装置を示す斜視図で、（ａ）はその全体図、（ｂ）はその側面図、図３は図１に示すプローブカード移載補助装置の要部を拡大して示す斜視図、図４の（ａ）、（ｂ）はそれぞれ図１に示すプローブカード移載補助装置の保持部でプローブカードを保持した状態を示す図で、（ａ）はその正面図、（ｂ）はその側面図、図５は図２に示すプローブカード移載補助装置の昇降駆動装置の構成を示すブロック図、図６の（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明のプローブカード移載補助装置の他の実施形態を示す図、（ａ）はその要部を示す側面図、（ｂ）はその保持具を示す平面図、図７は図６に示すプローブカード移載補助装置の昇降駆動装置の構成を示すブロック図である。

第１の実施形態
本実施形態の検査設備５０は、例えば図１に示すように、被検査体（例えば、ウエハ）（図示せず）の電気的特性検査を行うためのプローブカード５１を有する検査装置５２と、検査装置５２が複数配置された通路５３に従ってプローブカード５１を搬送する搬送台車５４と、搬送台車５４と各検査装置５２の装置本体５２Ａに設けられたカード搬送装置５２Ｂとの間においてプローブカード５１の移載作業を補助するプローブカード移載補助装置５５と、を備えて構成されている。検査装置５２は、同図では回転駆動機構５２Ｃを介してテストヘッドＴが通路５３側へ旋回された状態で示されている。プローブカード５１は、収納棚（図示せず）に保管され、プローブカード５１を交換する時などに搬送台車５４を用いて収納棚と複数の検査装置５２との間で搬送される。尚、図１では１台の検査装置５２のみを図示してある。

しかしながら、プローブカード５１は、ウエハの大口径化やＩＣチップの超高集積化等に伴って大型化、大重量化しているため、オペレータが持ち運ぶことは勿論のこと、検査装置５２と搬送台車５４のカード搬送装置５２Ｂとの間で移載作業を行うにも大きな負担がかかる。そこで、本実施形態では、オペレータが収納棚と検査装置５２の間でプローブカード５１を運ぶ場合には搬送台車５４を使用し、搬送台車５４と検査装置５２のカード搬送装置５２Ｂとの間でプローブカード５１の移載作業を行う場合にはプローブカード移載補助装置５５を使用して、オペレータの負担を軽減している。オペレータがプローブカード移載補助装置５５を使用する場合には、プローブカード移載補助装置５５の保持部でカード搬送装置５２Ｂ上または搬送台車５４上のプローブカード５１を保持し、保持を解除する作業を行うだけで実質的な力仕事を格段に軽減することができる。搬送台車５４と検査装置５２のカード搬送装置５２Ｂとの間でプローブカード５１を移載する時には、オペレータがプローブカード移載補助装置５５を操作する。尚、搬送台車５４は、複数枚のプローブカード５１を収納するように複数段に渡って引き出し可能に設けられた棚を有し、これらの棚にトレイに収納されたプローブカード５１を収納するようにしてある。

而して、プローブカード移載補助装置５５は、図２の（ａ）、（ｂ）に示すように、プローブカード５１を保持する保持具５５１と、この保持具５５１が先端部に取り付けられた伸縮可能なアーム５５２と、このアーム５５２を支持する旋回可能な支持体５５３と、この支持体５５３を介してプローブカード５１を重量区分して昇降させる昇降駆動装置５５４を構成するエアシリンダ５５４Ａと、を備え、検査装置５２の側方に付設されている。

アーム５５２は、図２の（ａ）、（ｂ）に示すように、第１アーム５５２Ａと、第１アーム５５２Ａに対して摺動自在に取り付けられた第２アーム５５２Ｂと、を有し、第２アーム５５２Ｂが第１アーム５５２Ａに対して前後に移動して伸縮するように構成されている。また、アーム５５２には操作ハンドル５５２Ｃが取り付けられ、操作ハンドル５５２Ｃを掴んでアーム５５２を操作するようにしてある。アーム５５２の長さは、第２アーム５５２Ｂが第１アーム５５２Ａを摺動しないように調整部材５５２Ｄを用いて第１アーム５５２Ａに固定し適宜設定できるようにしてある。

アーム５５２は、図２の（ａ）、（ｂ）に示すように第１アーム５５２Ａの基端部が支持体５５３の上端部に取り付けられた連結具５５５にピン結合され、最も縮んだ状態で支持体５５３側へ折り畳み可能に構成されている。即ち、アーム５５２の基端は第１ピン５５２Ｅを介して連結具５５５にピン結合され、支持体５５３の上下方向のやや上部にはピンを有するブラケット５５６が取り付けられている。そして、第１ピン５５２Ｅとブラケット５５６のピンにはリンク５５７の両端部が連結されている。従って、アーム５５２はリンク５５７を介して水平方向まで起こせるようになっている。リンク５５７のアーム５５２側の端部には第２ピン５５７Ａが取り付けられ、また、支持体５５３の側面には引っ掛け部材５５８が取り付けられ、この引っ掛け部材５５８を第２ピン５５７Ａに引っ掛けてアーム５５２を水平に維持するようにしている。

支持体５５３及びエアシリンダ５５４Ａは、図２の（ａ）、（ｂ）に示すように、いずれも基台５５９の先端部に回転自在に取り付けられた回転体５６０側に連結され、基台５５９の先端部で回転体５６０を介して旋回するように構成されている。また、支持体５５３の背面には支持体５５３の上下方向に沿ってガイドレール５６１が一体的に取り付けられ、このガイドレール５６１と係合するブロック５６１Ａが回転体５６０に固定されている。また、エアシリンダ５５４Ａは、同図の（ｂ）に示すようにシリンダ本体の上下両端部が回転体５６０及びこれから下方に垂下する支柱５６０Ａで垂直に支持されている。そして、支持体５５３の上端部には支持体５５３の昇降動作と旋回動作を先導する先導部材５６１Ｂが設けられ、この先導部材５６１Ｂの一部が逆Ｕ字状の溝を有するガイド部材５６１Ｃの溝に挿入されている。尚、図２の（ｂ）において、５５４ａはシリンダカバーで被覆されたシリンダロッドである。

さて、アーム５５２先端の保持具５５１は、図３に示すように、長方形状の第１の板部材５５１Ａと、第１の板部材５５１Ａの中心の上方に配置された円形状の第２の板部材５５１Ｂと、第１、第２の板部材５５１Ａ、５５１Ｂを互いに連結する連結部材５５１Ｃと、を備え、第１の板部材５５１Ａの両端部に形成された一対の溝５５１Ｄでプローブカード５１を保持するように構成されている。一対の溝５５１Ｄは、プローブカード５１の一対の取っ手５１Ａの間隔及び取っ手５１Ａの第１の板部材５５１Ａで保持される直線部の長さに合わせて第１の板部材５５１Ａの全幅に渡って形成されている。また、連結部材５５１Ｃは、円形状の第２の板部材の外周縁部全周に渡って互いに等間隔を空けて複数取り付けられている。尚、本実施形態では、第１の板部材５５１Ａは、中央の板とその左右の板の３枚で形成されている。

また、保持具５５１は、図３、図４の（ａ）、（ｂ）に示すようにトグル装置５６２を介してプローブカード５１を保持する際にアーム５５２の先端において昇降するように構成されている。即ち、トグル装置５６２は、操作レバー５６２Ａと、この操作レバー５６２Ａにリンク機構５６２Ｂを介して昇降可能にピン結合する昇降ロッド５６２Ｃと、を有し、第２アーム５５２Ｂの先端に固定された設置台５６３に設置されている。

設置台５６３は、トグル装置５６２が水平に設置される略矩形状の設置部５６３Ａと、設置部５６３Ａの両側端に形成された一対の側面部５６３Ｂと、これらの側面部５６３Ｂ、５６３Ｂ後端間を連結する背面部５６３Ｃと、を有し、設置部５６３Ａの後端と背面部５６３Ｃとの間には隙間が形成されている。トグル装置５６２の昇降ロッド５６２Ｃは、設置部５６３Ａに形成された孔を貫通し、その下端には昇降体５６４を介して保持具５５１が連結されている。

昇降体５６４は、水平部５６４Ａと、水平部５６４Ａの後端部から設置台５６３の隙間に嵌入する垂直部５６４Ｂと、を有し、水平部５６４Ａの下面に保持具５５１が連結されている。昇降体５６４は、垂直部５６４Ｂと設置台５６３の背面部５６３Ｃの隙間に介在するリニアガイド機構５６５を介して昇降するようになっている。

また、プローブカード移載補助装置５５で取り扱うプローブカード５１は、例えば図１の（ａ）、（ｂ）に示すように構成されている。即ち、プローブカード５１は、同図に示すように、例えば回路基板からなる略円形状のカード本体５１Ｂと、カード本体５１Ｂの上面に取り付けられた補強部材５１Ｃと、カード本体５１Ｂの下面中央部に取り付けられた複数のプローブを有するコンタクタ（図示せず）と、を有している。補強部材５１Ｃは、カード本体５１Ｂの中央部に形成された矩形部５１Ｄと、矩形部５１Ｄからカード本体５１Ａの外周まで放射状に伸びる放射状部５１Ｅと、放射状部５１Ｅの径方向中ほどに形成されたリング状部５１Ｆとからなっている。矩形部５１Ｄの上面左右にはそれぞれ取付部材５１Ｇを介して一対の取っ手５１Ａが取り付けられている。取っ手５１Ａは、不使用時にはそれぞれ外側に倒せるようになっている。

アーム５５２を昇降させる昇降駆動装置５５４は、例えば図５に示すように、エアシリンダ５５４Ａと、エアシリンダ５５４Ａに駆動流体（圧縮空気）を供給する配管５５４Ｂを開閉する電磁バルブ（例えば３ポートバルブ）５５４Ｃと、圧縮空気の圧力をプローブカード５１の重量に即して制御する電空レギュレータ５５４Ｄと、電空レギュレータ５５４Ｄに対してプローブカード５１の重量に見合った圧縮空気の圧力値を予め選択して入力する入力端子５５４Ｅと、圧縮空気の圧力を検出する圧力センサ５５４Ｆと、を有し、入力端子５５４Ｅからの入力値に基づいて電磁バルブ５５４Ｃと電空レギュレータ５５４Ｄが協働してエアシリンダ５５４Ａを駆動制御する。

更に、昇降駆動装置５５４は、操作ハンドル５５２Ｃを掴んで操作する時に機能する操作スイッチ５５４Ｇを有し、後述するように、操作スイッチ５５４Ｉを介して電磁バルブ５５４Ｃと電空レギュレータ５５４Ｄとを開閉制御するようにしてある。即ち、操作スイッチ５５４Ｇは、制御部５５４Ｈを介して入力端子５５４Ｅに対して電気的に接続され、操作スイッチ５５４Ｇがオン状態になったときにのみ、制御部５５４Ｈを介して入力端子５５４Ｅの入力値に基づいて電空レギュレータ５５４Ｄが作動すると共に電磁バルブ５５４Ｃが開状態になる。

更に云えば、操作スイッチ５５４Ｉがオンの時には、制御部５５４Ｈを介して電磁バルブ５５４Ｃを開いて電空レギュレータ５５４Ｄの制御下でエアシリンダ５５４Ａに圧縮空気を供給する。また、操作スイッチ５５４Ｇがオフの時には制御部５５４Ｈを介して電磁バルブ５５４Ｃを閉じて、圧縮空気をエアシリンダ５５４Ａ内に封止し、エアシリンダ５５４Ａを止めてアーム５５２を下降途中で停止させる。例えば、プローブカード５１の重量が入力端子５５４Ｅの入力重量より大きい時には、操作ハンドル５５２Ｃを掴んでアーム５５２を旋回させる時に、エアシリンダ５５４Ａの押上げ力が不足し、アーム５５２が自重で下降し始める。この時、それに気付かないオペレータの手から操作ハンドル５５２Ｃが離れると、操作スイッチ５５４Ｇがオフになって電磁バルブ５５４Ｃを閉じ、それまでエアシリンダ５５４Ａに供給された圧縮空気がエアシリンダ５５４Ａ内に封止される。これによって、アーム５５２がプローブカード５１の自重で下降して、圧縮空気の働きでアーム５５２は途中で停止し、プローブカード５１の落下を防止することができる。また、入力端子５５４Ｅにプローブカード５１の重量を過小に設定した場合にも、操作ハンドル５５２Ｃがオペレータの手を離れ、上述した場合と同様にエアシリンダ５５４Ａの急激な上昇を停止させる。尚、図５において、５５４Ｉはミストセパレータである。

次に、動作について説明する。検査設備５０において、オペレータが検査装置５２のプローブカード５１を装着しあるいは交換する時には、収納棚からプローブカード５１を取り出し、搬送台車５４にプローブカード５１をトレイと一緒に必要枚数収納する。そして、オペレータは、図１に示すように搬送台車５４を目的の検査装置５２まで移動させる。

オペレータは、棚の上にトレイと一緒に収納されたプローブカード５１を棚に載せた状態で搬送台車５４から引き出し、搬送台車５４の上面に載せる。プローブカード５１のみをプローブカード移載補助装置５５を使用して検査装置５２に移載する。プローブカード移載補助装置５５を使用する場合には、昇降駆動装置５５４の入力端子５５４Ｅを介してプローブカード５１の重量を予め設定する。そして、アーム５５２をリンク５５７を介してアーム５５２を起こし、引っ掛け部材５５８を第２ピン５５７Ａに引っ掛けてアーム５５２を水平に維持する。この状態で操作ハンドル５５２Ｃを操作してアーム５５２をプローブカード５１の真上まで旋回させ、保持具５５１をプローブカード５１の中央に合わせる。

そこで、操作ハンドル５５１Ｅを用いて保持具５５１をプローブカード５１中心の近傍まで押し下げて第１の板部材５５１Ａを取っ手５１Ａ、５１Ａの中間位置に位置させる。この状態でプローブカード５１の取っ手５１Ａ、５１Ａを起こすと、取っ手５１Ａ、５１Ａが保持具５５１の第１の板部材５５１Ａの左右の溝５５１Ｄの真上にくる。次いで、トグル装置５６２の操作レバー５６２Ａを図３に示す位置まで反転させ、昇降ロッド５６２Ｃが昇降体５６４を介して保持具５５１を持ち上げると、図３及び図４に示すように取っ手５１Ａ、５１Ａが第１の板部材５５１Ａの左右の溝５５１Ｄ、５５１Ｄに嵌り込む。この時、オペレータが操作ハンドル５５２Ｃを掴んで操作スイッチ５５４Ｇをオンにすると、圧力センサ５５４Ｆは正常な圧縮空気の圧力を検出してオンとなっているため、電磁バルブ５５４Ｃは開状態となり電空レギュレータ５５４Ｄの制御下でエアシリンダ５５４Ａ内にプローブカード５１の入力重量に基づいた所定圧力の圧縮空気が供給される。これによりアーム５５２がプローブカード５１を搬送台車５４の棚から持ち上げる方向に補助力が付与される。この状態でオペレータは操作ハンドル５５２Ｃを操作して、プローブカード５１を搬送台車５４の棚から持ち上げ、更にアーム５５２を検査装置５２側へ旋回させ、プローブカード５１を検査装置５２のカード搬送装置５２Ｂの真上まで搬送する。

カード搬送装置５２Ｂの真上で操作ハンドル５５２Ｃを押し下げ、プローブカード５１をカード搬送装置５２Ｂ上に着地させた後、トグル装置５６２の操作レバー５６２Ａを図３の示す位置から反転させて保持具５５１を下降させて、第１の板部材５５１Ａをプローブカード５１の取っ手５１Ａ、５１Ａから離す。次いで、取っ手５１Ａ、５１Ａをカード本体５１Ｂ側に倒して第１の板部材５５１Ａから外し、保持具５５１からプローブカード５１を開放し、プローブカード５１の移載作業を終了する。

しかし、万一、プローブカード５１の重量を、例えば実際の重量よりも軽いものとして誤って入力端子５５４Ｅに入力し、操作ハンドル５５２Ｃを掴んで操作スイッチ５５４Ｇがオンになってエアシリンダ５５４Ａが電空レギュレータ５５４Ｄの制御下で作動すると、アーム５５２を旋回させる際にアーム５５２がプローブカード５１の過大重量で降下し、操作ハンドル５５２Ｃがオペレータの手から離れることがある。この場合には、操作スイッチ５５４Ｇが自動的にオフになって電磁バルブ５５４Ｃを閉じて、エアシリンダ５５４Ａ内にそれまで供給された圧縮空気を封止する。これによってアーム５５２は多少下降しても、その間のエアシリンダ５５４Ａ内の圧縮空気の昇圧によって途中でアーム５５２の降下が止まり、プローブカード５１が搬送台車５４等に衝突することもなく、プローブカード５１を損傷から防止することができる。

また、検査装置５２から搬送台車５４へプローブカード５１を移載する場合にも上述した手順でプローブカード移載補助装置５５を使用することで、プローブカード５１を円滑に移載することができる。

以上説明したように本実施形態によれば、ウエハの電気的特性検査を行うためのプローブカード５１を有する検査装置５２（図１では１台のみ図示してある）と、この検査装置５２が複数配置された通路５３に従ってプローブカード５１を搬送する搬送台車５４と、この搬送台車５４と各検査装置５２の装置本体５２Ａに設けられたカード搬送装置５２Ｂとの間においてプローブカード５１の移載作業を補助するプローブカード移載補助装置５５と、を備えた検査設備５０であって、プローブカード移載補助装置５５は、プローブカード５１を、その取っ手５１Ａを掛けて保持する保持具５５１と、この保持具５５１が先端部に取り付けられた伸縮可能なアーム５５２と、このアーム５５２を支持する旋回自在な支持体５５３と、この支持体５５３を介してプローブカード５１を重量区分して昇降させる昇降駆動装置５５４と、を備えているため、プローブカード５１を保持具５５１で保持し、昇降駆動装置５５４でアーム５５２を搬送台車５４または検査装置５２のカード搬送装置５２Ｂから持ち上げ、操作ハンドル５５２Ｃを操作してアーム５５２を旋回させるだけで、オペレータは力仕事を伴うことなくプローブカード５１を搬送台車５４と検査装置５２のカード搬送装置５２Ｂとの間で容易に移載することができ、オペレータの負荷を格段に軽減することができる。

また、アーム５５２は、縮んだ状態で回転体５６０を中心に旋回して保持具５５１で保持されたプローブカード５１を移動させるため、アーム５５２の基端を中心とする移動範囲を最小限に抑えることができる。従って、検査設備５０の省スペース化のため複数の検査装置５２が密集し、隣り合う検査装置５２間の間隔が狭くてこの隙間に搬送台車５４を配置できなくても、通路５３に配置した搬送台車５４から検査装置５２側へのアーム５５２の旋回領域を確保することができると共にオペレータの入るスペースを確保することができる。

また、本実施形態によれば、保持具５５１は、取っ手５１Ａ、５１Ａの間隔及び取っ手５１Ａ、５１Ａの第１の板部材５５１Ａで保持される直線部に対応する溝５５１Ｄ、５５１Ｄを有するため、プローブカード５１を確実に保持し、安定した状態でプローブカード５１を移載することができる。また、保持具５５１は、取っ手５１Ａ、５１Ａを溝５５１Ｄ、５５１Ｄに掛けて保持するため、保持したプローブカード５１を空中から所定の場所に置く時にアーム５５２に十分な剛性がなく少し撓んでもアーム５５２の撓みがなくなるまで昇降駆動装置５５４あるいはトグル装置５６２で保持具５５１を十分に下降させれば取っ手５１Ａ、５１Ａが溝５５１Ｄ、５５１Ｄから浮き上がるため、その後取っ手５１Ａ、５１Ａを外せば安定的にプローブカード５１の設置動作を行うことができる。保持具５５１は、プローブカード５１のやや上方でトグル装置５６２を介して昇降するようにしてあるため、昇降駆動装置５５４とトグル装置５６２とで二段階で保持具５５１の高さを設定することができ、保持具５１１をカード本体５１Ａにぶっつけて損傷させるようなことがない。

また、昇降駆動装置５５４は、アーム５５２を昇降させるエアシリンダ５５４Ａと、エアシリンダ５５４Ａに圧縮空気を供給する配管５５４Ｂを開閉する電磁バルブ５５４Ｃと、圧縮空気の圧力をプローブカード５１の重量に即して制御する電空レギュレータ５５４Ｄと、電空レギュレータ５５４Ｄに対してプローブカード５１の重量を予め入力する入力端子５５４Ｅと、圧縮空気の圧力を検出する圧力センサ５５４Ｆと、を有するため、プローブカード５１の重量に即してエアシリンダ５５４Ａの駆動力を制御することができる。また、プローブカード５１の重量を重量センサで測定して、測定重量に基づいてエアシリンダ５５４Ａの駆動力を制御しても良い。

また、昇降駆動装置５５４は、アーム５５２を操作する時に機能する操作スイッチ５５４Ｇを有し、操作スイッチ５５４Ｇと圧力センサ５５４Ｆとが連携して電磁バルブ５５４Ｃを開閉するため、オペレータの手から操作ハンドル５５２Ｃが離れると操作スイッチ５５４Ｇが自動的にオフになって電磁バルブ５５４Ｃを閉じてアーム５５２がプローブカード５１の自重で降下することを抑制し、プローブカード５１の損傷を防止することができる。

第２の実施形態
本実施形態のプローブカードの移載補助装置は、保持部以外は、基本的には第１の実施形態に準じて構成されているため、第１の実施形態と同一または相当部分には同一の符号を付して本実施形態の特徴を中心に説明する。

本実施形態のプローブカードの移載補助装置５５Ａは、例えば図６の（ａ）、（ｂ）に示すように、保持具５１１、アーム５５２、支持体５５３及び昇降駆動装置（図１参照）を備えて構成されている。

本実施形態における保持具５１１は、図６の（ａ）、（ｂ）に示すように、プローブカード５１の取っ手５１Ａを掛ける溝５５１Ｄが形成された第１の板部材５５１Ａと、第１の板部材５５１Ａの上方に配置され且つ第１の板部材５５１Ａを昇降可能に保持する第２の板部材５５１Ｂと、第１、第２の板部材５５１Ａ、５５１Ｂの間隔の変化を検出するカード検出センサ５５１Ｅと、を有している。

第１の板部材５５１Ａは、第２の板部材５５１Ｂによって昇降可能に保持されている。即ち、図６の（ａ）に示すように、円形状の第２の板部材５５１Ｂの外周縁部には周方向等間隔を空けて複数の弾性部材（例えば、バネ部材）５５１Ｃが取り付けられ、これらのバネ部材５５１Ｃの下端には第１の板部材５５１Ａが連結されている。また、第２の板部材５５１Ｂの外周縁部には周方向等間隔を空けて複数の伸縮機構５５１Ｆがバネ部材５５１Ｃの外側に位置して取り付けられている。伸縮機構５５１Ｆは、例えば、第１の板部材５５１Ａに立設されたロッドと、第２の板部材５５１Ｂから垂下するドライブッシュとからなり、バネ部材５５１Ｃの伸縮に同期してロッドがドライブッシュ内で上下動する。

図６の（ａ）に示すように、第２の板部材５５１Ｂの中央から例えば円柱状の昇降ガイド５５１Ｇが垂下し、昇降ガイド５５１Ｇは第１の板部材５５１Ａの中央に形成された孔を貫通している。昇降ガイド５５１Ｇの下端にはフランジが形成され、このフランジでプローブカード５１の自重で下降する第１に板部材５５１Ａを係止するようにしてある。尚、第１の板部材５５１Ａの上面には第１の板部材５５１Ａが昇降ガイド５５１Ｇに沿って円滑に昇降するようにカラー５５１Ｈが設けられている。

また、図６の（ｂ）に示すように、例えば第１の板部材５５１Ａの上面には第１の板部材５５１Ｂの周方向で互いに１８０°隔てて位置するようにカード検出センサ５５１Ｅが設けられ、カード検出センサ５５１Ｅでプローブカード５１を検出するようにしてある。これらのカード検出センサ（例えば、容量センサ）５５１Ｅは、プローブカード５１の自重で第1の板部材５５１Ａがバネ部材５５１Ｃのバネ力に抗して昇降ガイド５５１Ｇに沿って下降した時に、第１、第２の板部材５５１Ａ、５５１Ｂの間隔の変化に基づいてプローブカード５１を保持したことを検出するようにしてある。尚、カード検出センサ５５１Ｅは第２の板部材５５１Ｂ側に設けても良い。カード検出センサ５５１Ｅとしては、容量センサ以外にも光学センサ等を用いることもできる。

また、本実施形態に用いられる昇降駆動装置５５４は、例えば図８に示すように基本的には上記実施形態と同様に、エアシリンダ５５４Ａ、配管５５４Ｂ、電磁バルブ５５４Ｃ、電空レギュレータ５５４Ｄ、入力端子５５４Ｅ、圧力センサ５５４Ｆ、操作スイッチ５５４Ｇ、制御部５５４Ｈ及びミストセパレータ５５４Ｉを有している。そして、カード検出センサ５５１Ｅ及び操作スイッチ５５４Ｇが共にオン状態になったときにのみ、制御部５５４Ｈを介して入力端子５５４Ｅの入力値に基づいて電空レギュレータ５５４Ｄが作動すると共に電磁バルブ５５４Ｃが開状態になる。

次に、プローブカードの移載補助装置５５Ａの動作について説明する。本実施形態では、上記実施形態との相違点を中心に説明する。上記実施形態と同様に操作ハンドル５５２Ｃを介して保持具５５１をプローブカード５１の中央真上まで移動させる。次いで、トグル装置５６２を操作して保持具５５１の第１の板部材５５１Ａをカード本体５１Ｂの間近まで下降させた後、取っ手５１Ａ、５１Ａをカード本体５１Ｂから起こす。

然る後、トグル装置５６２の操作レバー５６２Ａを操作して保持具５５１が上昇すると、取っ手５１Ａ、５１Ａが第１の板部材５５１Ａの溝５５１Ｄ、５５１Ｄに嵌り込み、第１の板部材５５１Ａがバネ部材５５１Ｃに抗して昇降ガイド５５１Ｇに従って下降し、第１の板部材５５１Ａが昇降ガイド５５１Ｇのフランジで止まった時点からプローブカード５１が浮上する。バネ部材５５１Ｃが伸びて第１の板部材５５１Ａが第２の板部材５５１Ｂから下降し始めた時に、カード検出センサ５５１Ｅが第１、第２の板部材５５１Ａ、５５１Ｂの間隔の変化に基づいてプローブカード５１を検出し、その検出信号を制御部５５４Ｈへ送信する。

その後、オペレータが操作ハンドル５５２Ｃを掴んで操作スイッチ５５４Ｇをオンにすると、昇降駆動装置５５４の制御部５５４Ｈは、操作スイッチ５５４Ｇとカード検出センサ５５１Ｅ双方からの信号に基づいて、電磁バルブ５５４Ｃを開状態にして電空レギュレータ５５４Ｄの制御下でエアシリンダ５５４Ａ内にプローブカード５１の入力重量に基づいた所定の圧力の圧縮空気が供給される。これによりアーム５５２は補助力を得てプローブカード５１を搬送台車５４の棚から持ち上げる。この状態でオペレータは操作ハンドル５５２Ｃを操作して、アーム５５２を搬送台車５４と検査装置５２との間で旋回させてプローブカード５１の移載作業を行う。その他は、上記実施形態と同様である。

以上説明したように本実施形態によれば、保持具は、溝５５１Ｄを有する第１の板部材５５１Ａと、第１の板部材５５１Ａの上方に配置され且つ第１の板部材５５１Ａを昇降可能に支持する第２の板部材５５１Ｂと、第１、第２の板部材５５１Ａ、５５１Ｂの間隔の変化に基づいてプローブカード５１を検出するカード検出センサ５５１Ｅと、を有するため、カード検出センサ５５１Ｅによって保持具５５１でプローブカード５１を保持したことを確実に検出することができる。また、昇降駆動装置５５４は、カード検出センサ５５１Ｅ及び操作スイッチ５５４Ｇ双方からの検出信号に基づいてアーム５５２に補助力を付与し、保持具５５１でプローブカード５１を検出したときにのみプローブカード５１を持ち上げることができる。その他、本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果を期することができる。

第３の実施形態
本実施形態のプローブカードの移載補助装置は、例えば図８の（ａ）、（ｂ）に示すように、保持具５５１の構造を異にする以外は、第１の実施形態と同様に構成されている。そこで、本実施形態における保持具５５１について第１の実施形態と同一または相当部分には同一の符号を付して本実施形態の特徴を中心に説明する。

本実施形態における保持具５５１は、図８の（ａ）、（ｂ）に示すように第１の板部材５５１Ａの両端面に一対の取っ手５１Ａが溝５５１Ｄから外れるのを防止する外れ防止手段５５１Ｉを設けた点に特徴がある。即ち、外れ防止手段５５１Ｉは、同図の（ａ）に示すように第１の板部材５５１Ａの端面にピン５５１Ｊを介して取り付けられレバー５５１Ｋと、このレバー５５１Ｋ裏面の下端部に形成された半球状の溝に対して進退動する可動ピン５５１Ｌと、備えている。レバー５５１Ｋは、同図の（ｂ）に示すように、溝５５１Ｍ内でピン５５１Ｊを中心に水平方向と垂直方向の９０°の範囲で起倒し、垂直位置で可動ピン５５１Ｌが裏面の半球溝内に嵌り込んで垂直状態が保持され、取っ手５１Ａが第１の板部材４４１Ａの溝５５１Ｄから外れないようにする。取っ手５１Ａを第１の板部材５５１Ａから外す時には、レバー５５１Ｋを倒して水平状態にして第１の板部材５５１Ａの端面に形成された浅い溝５５１Ｍ内に収める。

従って、本実施形態によれば、第１の板部材５５１Ａの溝５５１Ｄにプローブカード５１の取っ手５１Ａを掛け、レバー５５１Ｋを起こし可動ピン５５１Ｌで垂直状態を保持すると、保持具５５１が多少上下しても取っ手５１Ａは第１の板部材５５１Ａの溝５５１Ｄから外れることがなく、プローブカード５１をより安全に移載することができる。

第４の実施形態
本実施形態のプローブカードの移載補助装置は、例えば図９に示すように、保持具５５１の外れ防止手段５５１Ｉを異にする以外は、第３の実施形態と同様に構成されている。そこで、本実施形態における保持具５５１について第３の実施形態と同一または相当部分には同一の符号を付して本実施形態の特徴を中心に説明する。

本実施形態の外れ防止手段５５１Ｉは、図９に示すように第１の板部材５５１Ａの両端面に取り付けられたゴム等からなる可撓性部材５５１Ｎによって構成されている。この可撓性部材５５１Ｎは、矩形状で、第１の板部材５５１Ａの端面全面を覆い且つ第１の板部材５５１Ａの上面から突出する大きさに形成され、複数のボルト５５１Ｏによって第１の板部材の端面に固定されている。従って、プローブカード５１の取っ手５１Ａを、可撓性部材５５１Ｎを超えて第１の板部材５５１Ａの溝５５１Ｄに掛けると、取っ手５１Ａは可撓性部材５５１Ｎによって第１の板部材５５１Ａから外れることなく、溝５５１Ｄ内に留まる。従って、本実施形態においても第３の実施形態と同様の作用効果を期することができる。

第５の実施形態
上記各実施形態では保持具を昇降させる手段としてトグル装置５６２を例に挙げて説明したが、本実施形態のようにトグル装置５６２に代えて図１０に示す昇降装置を用いることもできる。この昇降装置５６２’は、図１０に示すように、操作ハンドル５６２’Ａと、この操作ハンドル５６２’Ａに連結された昇降ロッド５６２’Ｂと、昇降ロッド５６２’Ｂが貫通する上下に第１、第２基板５６２’Ｃ、５６２’Ｄを有する設置部と、を備え、昇降ロッド５６２’Ｂの下端に保持具（図示せず）が連結されている。第１基板５６３’Ｃには貫通孔の周面において進退動する可動ピン５６２’Ｅが内蔵され、第２基板５６２’Ｄの周面には昇降ロッド５６２’Ｂの雄ネジ部５６２’Ｆと螺合する雌ネジ部５６２’Ｇが形成されている。また、昇降ロッド５６２’Ｂの上部には可動ピン５６２’Ｅが嵌合する半球溝５６２’Ｈが形成されている。従って、操作ハンドル５６２’Ａを回動操作すると、昇降ロッド５６２’Ｂが第２基板５６２’Ｄを基準に昇降し、もって保持具５５１を昇降させることができる。

保持具の第１の板部材（図示せず）にプローブカードの取っ手（図示せず）を掛ける場合には、昇降装置５６２の操作ハンドル５６２’Ａを操作して昇降ロッド５６２’Ｂを介して保持具を下降端に位置させ、第１の板部材にプローブカードの取っ手を掛ける。そして、操作ハンドル５６２’Ａを操作して保持具を上昇させると、昇降ロッド５６２’Ｂの半球溝５６２’Ｈと可動ピン５６２’Ｅの先端が嵌合して昇降ロッド５６２’Ｂがそれ以上上昇せずに停止する。この状態でアーム（図示せず）を操作してプローブカードを所定の位置へ移載する。

尚、上記各実施形態ではプローブカードを単体で移載する場合について説明したが、カードホルダ付きのプローブカードについても同様に移載できることは云うまでもない。従って、本発明は上記実施形態に何等制限されるものではなく、必要に応じて各構成要素を設計変更することができる。

本発明は、プローブカードを備えた検査装置が複数配置された検査設備に好適に利用することができる。

本発明の検査設備の一実施形態を示す平面図である。 （ａ）、（ｂ）はそれぞれ図１に示す検査設備に適用されるプローブカード移載補助装置を示す斜視図で、（ａ）はその全体図、（ｂ）はその側面図、図３は図１に示すプローブカード移載補助装置の要部を示す斜視図である。 図１に示すプローブカード移載補助装置の要部を拡大して示す斜視図である。 （ａ）、（ｂ）はそれぞれ図１に示すプローブカード移載補助装置の保持部でプローブカードを保持した状態を示す図で、（ａ）はその正面図、（ｂ）はその側面図ある。 図２に示すプローブカード移載補助装置の昇降駆動装置の構成を示すブロック図である。 （ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明のプローブカード移載補助装置の他の実施形態を示す図、（ａ）はその要部を示す側面図、（ｂ）はその保持具を示す平面図である。 図６に示すプローブカード移載補助装置の昇降駆動装置の構成を示すブロック図である。 （ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明のプローブカード移載補助装置の更に他の実施形態を示す図、（ａ）はその保持具の要部を部分的に破断して拡大して示す側面図、（ｂ）は（ａ）の正面図である。 本発明のプローブカード移載補助装置の更に他の実施形態の保持具の要部を部分的に破断して拡大して示す側面図である。 本発明のプローブカード移載補助装置の更に他の実施形態の保持具の昇降装置を示す断面図である。 従来の検査装置の一例を部分的に破断して示す正面図である。 図１０に示す検査装置に適用されたプローブカード搬送装置の動作説明図である。

符号の説明

５０ 検査設備
５１ プローブカード
５２ 検査装置
５４ 搬送台車
５５、５５Ａ プローブカード移載補助装置
５５１ 保持具（保持部）
５５１Ａ 第１の板部材
５５１Ｂ 第２の板部材
５５１Ｃ 連結部材、バネ部材
５５１Ｅ カード検出センサ
５５１Ｉ 外れ防止手段
５５１Ｋ レバー
５５１Ｎ 可撓性部材
５５２ アーム
５５３ 支持体
５５４ 昇降駆動装置
５５４Ａ エアシリンダ（シリンダ機構）
５５４Ｂ 配管（流路）
５５４Ｃ 電磁バルブ
５５４Ｄ 電空レギュレータ
５５４Ｅ 入力端子
５５４Ｆ 圧力センサ

Claims (28)

1. 電気的検査装置に用いられるプローブカードの移載作業を補助するプローブカード移載補助装置であって、
   上記プローブカードの一対の取っ手をそれぞれ掛けて保持する保持部と、
   上記保持部を移動可能に支持する支持部と、
   上記支持部を昇降させる手段と、
   を備えたことを特徴とするプローブカード移載補助装置。
2. 上記保持部は、上記一対の取っ手を掛ける溝を有することを特徴とする請求項１に記載のプローブカード移載補助装置。
3. 上記保持部に、上記保持部から上記一対の取っ手が外れるのを防止する外れ防止手段を設けたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のプローブカード移載補助装置。
4. 上記外れ防止手段は、上記保持部の端部に起倒可能に取り付けられたレバーであることを特徴とする請求項３に記載のプローブカード移載補助装置。
5. 上記外れ防止手段は、上記保持部の端部に上記溝から突出するように取り付けられた可撓性部材であることを特徴とする請求項３に記載のプローブカード移載補助装置。
6. 上記保持部は、上記溝を有する第１の板部材と、第１の板部材の上方に配置され且つ第１の板部材を昇降可能に保持する第２の板部材と、第１、第２の板部材の間隔の変化を検出するセンサと、を有することを特徴とする請求項２〜請求項５のいずれか１項に記載のプローブカード移載補助装置。
7. 上記保持部は、上記支持部から張り出す伸縮可能なアームに取り付けられていることを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載のプローブカード移載補助装置。
8. 上記アームに、上記保持部を昇降させる手段を設けたことを特徴とする請求項７に記載のプローブカード移載補助装置。
9. 上記支持部の昇降手段は、上記アームを昇降させるシリンダ機構と、上記シリンダ機構に駆動流体を供給する流路を開閉するバルブと、上記駆動流体の圧力を制御するレギュレータと、上記レギュレータに対して上記プローブカードの重量を予め入力する入力端子と、上記駆動流体の圧力を検出する圧力センサと、を有することを特徴とする請求項７または請求項８に記載のプローブカード移載補助装置。
10. 上記支持部の昇降手段は、上記プローブカードを押し上げる方向に補助力を付与するように構成されていることを特徴とする請求項１〜請求項９のいずれか１項に記載のプローブカード移載補助装置。
11. 上記補助力は、上記プローブカードの重量に対応して変更可能に構成されていることを特徴とする請求項１０に記載のプローブカード移載補助装置。
12. 上記検査装置に付設したことを特徴とする請求項１〜請求項１１のいずれか１項に記載のプローブカード移載補助装置。
13. 上記検査装置と上記検査装置に用いられるプローブカードを搬送する搬送手段との間で上記プローブカードの移載作業を補助する際に、上記検査装置と上記搬送手段の間に介在することを特徴とする請求項１〜請求項１１のいずれか１項に記載のプローブカード移載補助装置。
14. 上記搬送手段は、搬送台車であることを特徴とする請求項１３に記載のプローブカード移載補助装置。
15. 電気的検査装置と、この電気的検査装置に用いられるプローブカードの移載作業を補助するプローブカード移載補助装置と、を備え、
    上記プローブカード移載補助装置は、
    上記プローブカードの一対の取っ手をそれぞれ掛けて保持する保持部と、
    上記保持部を移動可能に支持する支持部と、
    上記支持部を昇降させる手段と、
    を備えたことを特徴とする検査設備。
16. 上記保持部は、上記一対の取っ手を掛ける溝を有することを特徴とする請求項１５に記載の検査設備。
17. 上記保持部に、上記保持部から上記一対の取っ手が外れるのを防止する外れ防止手段を設けたことを特徴とする請求項１５または請求項１６に記載の検査設備。
18. 上記外れ防止手段は、上記保持部の端部に起倒可能に取り付けられたレバーであることを特徴とする請求項１７に記載の検査設備。
19. 上記外れ防止手段は、上記保持部の端部に上記溝から突出するように取り付けられた可撓性部材であることを特徴とする請求項１７に記載の検査設備。
20. 上記保持部は、上記溝を有する第１の板部材と、第１の板部材の上方に配置され且つ第１の板部材を昇降可能に保持する第２の板部材と、第１、第２の板部材の間隔の変化を検出するセンサと、を有することを特徴とする請求項１６〜請求項１９のいずれか１項に記載の検査設備。
21. 上記保持部は、上記支持部から張り出す伸縮可能なアームに取り付けられていることを特徴とする請求項１５〜請求項２０のいずれか１項に記載の検査設備。
22. 上記アームに、上記保持部を昇降させる手段を設けたことを特徴とする請求項２１に記載の検査設備。
23. 上記支持部の昇降手段は、上記アームを昇降させるシリンダ機構と、上記シリンダ機構に駆動流体を供給する流路を開閉するバルブと、上記駆動流体の圧力を制御するレギュレータと、上記レギュレータに対して上記プローブカードの重量を予め入力する入力端子と、上記駆動流体の圧力を検出する圧力センサと、を有することを特徴とする請求項１５〜請求項２３のいずれか１項に記載の検査設備。
24. 上記支持部の昇降手段は、上記プローブカードを押し上げる方向に補助力を付与するように構成されていることを特徴とする請求項１５〜請求項２３のいずれか１項に記載の検査設備。
25. 上記補助力は、上記プローブカードの重量に対応して変更可能に構成されていることを特徴とする請求項２４に記載の検査設備。
26. 上記検査装置に付設したことを特徴とする請求項１５〜請求項２５のいずれか１項に記載の検査設備。
27. 上記検査装置と上記検査装置に用いられるプローブカードを搬送する搬送手段との間で上記プローブカードの移載作業を補助する際に、上記検査装置と上記搬送手段の間に介在することを特徴とする請求項１５〜請求項２６のいずれか１項に記載の検査設備。
28. 上記搬送手段は、搬送台車であることを特徴とする請求項２７に記載の検査設備。

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