JP5510963B2 - プローブカード移載装置 - Google Patents
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Description
2 搬送装置
3 プローブカード移載装置
4 プローブカード取り出し手段
5 検査針部
6 把手
7 フック
8 弾性線状体
9 ガイド滑車
10 上下動駆動部
11 支台
12 ガイド柱
13 流体シリンダー
Claims (3)
- プローブカード搬送手段からプローブカードを取り出すプローブカード取り出し手段を有し、このプローブカード取り出し手段が、プローブカードの上下動駆動部と、上記プローブカードの直径方向に対向する2個所の吊下部に夫々一端を接続し、他端を上記上下動駆動部の、上記プローブカードの吊下部間の間隔より大きく離間した直径方向に対向する2個所に固定した2本の線状体と、上記線状体をその走行路の内側からガイドするガイド体と、このガイド体を支持する支台と、この支台を上記上下動駆動部に相対的に上下動せしめる支台駆動手段とより成り、上記線状体を上記ガイド体により外方に抑制せしめることによって上記吊下されるプローブカードの中心を上記上下動駆動部の中心に一致せしめることを特徴とするプローブカード移載装置。
- プローブカード搬送手段からプローブカードを取り出すプローブカード取り出し手段を有し、このプローブカード取り出し手段が、プローブカードの上下動駆動部と、上記プローブカードの直径方向に対向する4個所の吊下部に夫々一端を接続し、他端を上記上下動駆動部の、上記プローブカードの吊下部間の間隔より大きく離間した直径方向に対向する4個所に固定した4本の線状体と、上記線状体をその走行路の内側からガイドするガイド体と、このガイド体を支持する支台と、この支台を上記上下動駆動部に相対的に上下動せしめる支台駆動手段とより成り、上記線状体を上記ガイド体により外方に抑制せしめることによって上記吊下されるプローブカードの中心を上記上下動駆動部の中心に一致せしめることを特徴とするプローブカード移載装置。
- 上記プローブカードが直径方向に対向する2個所に夫々起立自在な把手を有し、上記吊下部が上記把手に形成されていることを特徴とする請求項1または2記載のいプローブカード移載装置。
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