JP2007248291A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. 基板を浮上させて水平に支持する浮上ステージ部と、
   前記浮上ステージ部の少なくとも一端側に前記浮上ステージ部の浮上面に対して出没可能に設けられ、前記基板の搬入時に上昇し前記基板の裏面を支持して前記基板を外部から前記浮上ステージ部内に搬入させる回転駆動可能な回転体と、
   を具備したことを特徴とする基板搬送装置。
   
2. 請求項１記載の基板搬送装置において、
   前記回転体は、さらに前記浮上ステージ部の他端側に前記浮上ステージ部の浮上面に対して出没可能に設けられ、前記基板の搬出時に上昇し前記基板の裏面を支持して前記基板を前記浮上ステージ部内から外部に搬出させることを特徴とする基板搬送装置。
   
3. 請求項１又は２記載の基板搬送装置において、
   前記浮上ステージ部は、長方形状に形成された浮上ブロックを所定の間隔で複数配置して構成され、前記回転体は、前記各浮上ブロックの間に出没可能に設けられることを特徴とする基板搬送装置。
   
4. 請求項１又は２記載の基板搬送装置において、
   前記浮上ステージ部は、前記基板を浮上させるステージ面に前記回転体を出没させる開口を複数形成し、これらの開口を通して前記回転体を前記ステージ面より突出させることを特徴とする基板搬送装置。
   
5. 基板を浮上させて水平に支持する浮上ステージ部と、
   前記浮上ステージ部の少なくとも一端側に前記浮上ステージ部の浮上面に対して出没可能に設けられ、前記基板の裏面を支持して前記基板を外部から前記浮上ステージ部内に搬入させる回転駆動可能な回転体と、
   前記回転体により前記浮上ステージ部内に搬入された前記基板の端部を保持し、前記基板を前記浮上ステージ部上に浮上させた状態で搬送させる基板搬送手段と、
   前記基板搬送手段により搬送された前記基板を検査する検査部と、
   を具備したことを特徴とする基板検査装置。
   
6. 請求項５に記載の基板検査装置において、
   前記回転体は、さらに前記浮上ステージ部の他端側に前記浮上ステージ部の浮上面に対して出没可能に設けられ、前記基板の搬出時に上昇し前記基板の裏面を支持して前記基板を前記浮上ステージ部内から外部に搬出させることを特徴とする基板検査装置。
   
7. 請求項５又は６記載の基板検査装置において、
   前記浮上ステージ部は、長方形状に形成された浮上ブロックを所定の間隔で複数配置して構成され、前記回転体は、前記各浮上ブロックの間に出没可能に設けられることを特徴とする基板検査装置。
   
8. 請求項５又は６記載の基板検査装置において、
   前記浮上ステージ部は、前記基板を浮上させるステージ面に前記回転体を出没させる開口を複数形成し、前記回転体は、前記開口を通して前記ステージ面に対して出没可能に設けられることを特徴とする基板検査装置。
   
9. 請求項５記載の基板検査装置において、
   前記基板搬送手段は、軌道部に沿って移動可能で、且つ上下方向に移動自在に支持された支持部に複数設けられた吸着部を有し、前記回転体により前記基板が前記浮上ステージ部内に搬入された際、前記支持部を上昇させて前記吸着部の吸着パッドを前記基板の裏面に当接させ、その接触面での摩擦力により前記浮上ステージ部上に浮上した前記基板を拘束し、前記回転体は、前記基板搬送手段の吸着パッドにより前記基板が拘束された後、前記浮上ステージ部の上面よりも下方に下降して待機することを特徴とする基板検査装置。
   
10. 請求項９記載の基板検査装置において、
    前記浮上ステージ部は、前記回転体により搬入された前記基板を基準位置に位置決めする位置決め機構を有し、この位置決め機構は、前記基板搬送手段の吸着パッドにより前記基板を拘束した状態で前記浮上ステージ部上に浮上した前記基板を基準位置に位置決めすることを特徴とする基板検査装置。
    
11. 請求項１０記載の基板検査装置において、
    前記基板搬送手段は、前記基板が前記位置決め機構により位置決めされた後、前記基板搬送手段の吸着パッドにより前記基板の裏面を吸着保持して前記検査部に搬送することを特徴とする基板検査装置。