JP2021094660A5

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Info

Publication number: JP2021094660A5
Application number: JP2019228056A
Authority: JP
Filing date: 2019-12-18
Publication date: 2022-09-27
Anticipated expiration: 2039-12-18

Claims

基板を支持するための支持面を一方の端部に有する複数の第１支持柱と、
前記複数の第１支持柱の他方の端部と連結される第１ベースと、
前記第１ベースを昇降させる第１昇降機構と、
を含み、
前記支持面は、前記基板をトップリングに受け渡す際および前記基板を前記トップリングから受け取る際に前記基板を支持するように構成され、
前記複数の第１支持柱の少なくとも１つには、真空源に連通し前記支持面に開口する吸引路が形成される、
プッシャ。
前記複数の第１支持柱の少なくとも１つは、前記基板を前記トップリングから受け取る際に前記吸引路を介して前記基板を吸引するように構成される、
請求項１に記載のプッシャ。
前記第１昇降機構は、前記基板を前記トップリングから受け取る際に、前記第１ベースを上昇させて前記支持面を前記基板に接触させ、前記吸引路を介して前記基板を吸引している状態で前記第１ベースを下降させるように構成される、
請求項１または２に記載のプッシャ。
前記支持面上の基板の有無を検知するためのセンサをさらに含み、
前記第１昇降機構は、前記基板を前記トップリングから受け取る際に、前記第１ベースを下降させた状態において前記センサにより基板が無いと検知された場合には、前記第１ベースの昇降を繰り返すように構成される、
請求項３に記載のプッシャ。
前記基板を前記トップリングに受け渡す際および前記基板を前記トップリングから受け取る際に前記トップリングを支持するための支持面を一方の端部に有する複数の第２支持
柱と、
前記複数の第２支持柱の他方の端部と連結される第２ベースと、
前記第１ベースおよび前記第２ベースを昇降させる第２昇降機構と、
をさらに含む、請求項１から４のいずれか１項に記載のプッシャ。
基板を搬送するための基板搬送装置であって、
基板の下面を支持するように構成される複数の第１搬送ローラと、
前記複数の搬送ローラが取り付けられる複数の第１ローラシャフトと、
前記複数の第１ローラシャフトを回転させるためのモータと、
前記複数の第１搬送ローラの上にある基板を持ち上げて前記トップリングに受け渡すとともに前記トップリングから受け取った基板を前記複数の第１搬送ローラの上に置くための請求項１から５のいずれか１項に記載のプッシャと、を有し、
前記プッシャは、前記複数の第１支持柱が前記複数の第１ローラシャフトの間の隙間を通過するように配置される、
基板搬送装置。
前記プッシャは、前記複数の第１支持柱とともに前記複数の第２支持柱が前記複数の第１ローラシャフトの間の隙間を通過するように配置される、
請求項５を引用する請求項６に記載の基板搬送装置。
前記基板の上面を支持するように構成される複数の第２搬送ローラと、
前記複数の第２搬送ローラが取り付けられる複数の第２ローラシャフトと、
をさらに含み、
前記モータは、前記第１ローラシャフトとともに前記第２ローラシャフトを回転させるように構成される、
請求項６または７に記載の基板搬送装置。
前記第２搬送ローラの直径は、前記第１搬送ローラの直径よりも小さい、
請求項８に記載の基板搬送装置。
前記第１ローラシャフトに取り付けられた第１ギアと、
前記第２ローラシャフトに取り付けられ、前記第１ギアの回転に連動して回転する第２ギアと、を含む、
請求項８または９に記載の基板搬送装置。
前記基板の厚みを測定する厚みセンサと、
前記厚みセンサによる測定結果に応じて、前記複数の第１搬送ローラおよび前記複数の第２搬送ローラの少なくとも一方の位置を動かせて前記複数の第１搬送ローラと前記複数の第２搬送ローラとの間の間隔を調整する駆動装置と、
をさらに含む、
請求項８から１０のいずれか１項に記載の基板搬送装置。
前記第２搬送ローラを前記第１搬送ローラの方向に向けて付勢するように構成された弾性部材をさらに含む、
請求項１１に記載の基板搬送装置。
前記第２ローラシャフトの両端部はそれぞれ支持部材に連結されており、
前記第２ローラシャフトの両側に、基板の搬送方向に延びるベースが設けられており、
前記弾性部材は、前記ベースの上面と前記支持部材の下面との間に配置されている、
請求項１２に記載の基板搬送装置。
基板を研磨するための研磨ユニットと、
基板を搬送するための搬送ユニットと、
基板を乾燥させるための乾燥ユニットと、を含み、
前記搬送ユニットは、請求項６から１３のいずれか１項に記載の基板搬送装置を含む、
基板処理装置。