JP2008273672A - 浮上搬送装置における被搬送物制動装置 - Google Patents
浮上搬送装置における被搬送物制動装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】半導体ウエハー或いは液晶ガラス等の板状体よりなる被搬送物を浮上搬送する装置であって、被搬送物下位の搬送路に被搬送物支持手段として、前記搬送路に清浄空気を吹き出すファンフィルターユニットを設け、かつ、搬送路の両側縁それぞれに制動ローラを被搬送物側端縁と対向するよう直立して設け、対向する搬送路側縁の制動ローラ同志をその対向間隔を変更し得るよう、ローラ支持体に支持した
【選択図】図1
Description
また、何等かの原因によって被搬送物が所定の停止位置にまで達せずに停止してしまうような事態が生じたときは、停止位置修正のための適宜の手段が必要となる。
請求項2記載の本発明の特徴とするところは、請求項1の制動装置において、搬送路の両側端縁に対向して設けた制動ローラは、搬送面に対し直立するよう設けられた支軸に支持され、前記支軸は被搬送物側端縁に対して接近離去することを可能に設けたことにある。
請求項3記載の本発明の特徴とするところは、請求項1の制動装置において、搬送路の両側縁に対向して設けた制動ローラは搬送面に対し直立するよう設けられた支軸に支持され、前記支軸は制動ローラを揺動させ得るよう支承部材により支承したことにある。
請求項4記載の本発明の特徴とするところは、請求項1,2,3のいずれか記載の制動装置において、制動ローラには、その回転を制御するモーターを組み込んだことを特徴とする。
請求項5記載の本発明の特徴とするところは、請求項1乃至4のいずれか記載の制動装置において、制動ローラは、その表面にポリテトラフッ化エチレン(テフロン・商標名),ポリアセタール(デルリン・商標名),ポリアセタールコポリマー(ジュラコーン・商標名)のいずれかの樹脂を用いたことを特徴とする。
制動ローラ9及びその支持体7の第1の例を図3A,図4Aに示す。搬送路6の側端縁6aに設けたローラ支持体7はコ字状をなしコ字状に上下に岐出したアームにより支軸8を回転自在に支持している。支軸8は支持体7に垂直に起立したまま支持体7が搬送路6の中心方向に向け移動することにより、搬送路の対向する側端縁に設けられている制動ローラ9,9の間隔を狭くし、その間に被搬送物10をニップすることを可能としている。 上記の被搬送路両側端縁6aの対向する制動ローラ9,9の搬送路6中心方向への移動は同期して行うのが望ましいが、完全に一致する必要はない。
被搬送物10の両側端縁10a,10aに同時に当接するすべきであるが、必しも完全に一致させる必要はない。
ローラ支持体7にローラ支軸8を立てる。ローラ支軸8は、ローラ支持体7に支点17を設け、図示の如く支点17を中心として搬送路6側に倒れることが出来るよう揺動自在に支持されている。支軸8の支点17より下部には支軸8の上部を搬送路中心方向に向け揺動するよう付勢するスプリング20と、支軸8の上部を搬送路外側方向に向け揺動するよう付勢するスプリング21とが設けられそれぞれソレノイド22,23の作動時に牽引されるようにしている。
上記電気的手段による場合、制動ローラ9が被搬送物側端縁10aに接した状態において被搬送物10の制動等を行なわねばならないから、被搬送物10に対し制動ローラ9が接しているか否かを例えばローラ支持体7の位置或いは軸8の倒れ角によって知り、それを制御回路16又は24に入力する必要があり、また、搬送物位置検知手段25の位置も決めた上で制動作用を行なわせるものとする。
本発明浮上搬送装置1は、ファン3を回転することにより外気をファンフィルターユニット2の函体4内に取り込み、外気をヘパフィルター5により清浄空気化しヘパフィルター5上面の搬送路6に吹き出す。この際ヘパフィルター5は清浄空気の吹き出し方向を特定することにより、ヘパフィルター5上面の搬送路6に位置する板状の被搬送物10を搬送路6上に持ち上げると共に搬送方向に押しやり搬送路6上を浮上状態で移動する。この際、被搬送物10の進行方向両側端縁10a,10aは、搬送路6の両側に設けられた制動ローラ9a,9aと対峙することになり、もし被搬送物10の進行方向が右又は左に揺れた場合には左右いずれかのローラと接してガイドされ搬送路6上を浮上状態で移動する。
被搬送物10は板状体よりなっており、その表裏面に制動手段を触れることなく停止させるために、被搬送物10の両側端縁10a,10aに搬送路6の両側に設けた制動ローラ9,9を接触させて被搬送物10を減速させる。
また、逆に制動ローラ9で被搬送物10をニップした状態で制動ローラ9を極少ない回転で所定位置に搬送することも可能である。
2 ファンフィルターユニット
3 ファン
4 函体
5 ヘパフィルター
6 搬送路
6a 搬送路側端縁
7 ローラ支持体
8 支軸
9 ローラ
10 被搬送物
10a 被搬送物端縁
11 ガイド部材
12,13,20,21 スプリング
14,15,22,23 ソレノイド
16,24 制御回路
17 支点
Claims (5)
- 半導体ウエハー或いは液晶ガラス等の板状体よりなる被搬送物を浮上搬送する装置であって、被搬送物下位の搬送路に被搬送物支持手段として、前記搬送路に清浄空気を吹き出すファンフィルターユニットを設け、かつ、搬送路の両側縁それぞれに制動ローラを被搬送物側端縁と対向するよう直立して設け、対向する搬送路側縁の制動ローラ同志をその対向間隔を変更し得るよう、ローラ支持体に支持してなる浮上搬送装置における被搬送物制動装置。
- 搬送路の両側端縁に対向して設けた制動ローラは、搬送面に対し直立するよう設けられた支軸に支持され、前記支軸は被搬送物側端縁に対して接近離去することを可能に設けたことを特徴とする請求項1記載の浮上搬送装置における被搬送物制動装置。
- 搬送路の両側縁に対向して設けた制動ローラは搬送面に対し直立するよう設けられた支軸に支持され、前記支軸は制動ローラを揺動させ得るよう支承部材により支承したことを特徴とする請求項1記載の浮上搬送装置における被搬送物制動装置。
- 制動ローラには、その回転を制御するモーターを組み込んだことを特徴とする請求項1,2,3のいずれか記載の浮上搬送装置における被搬送物制動装置。
- 制動ローラは、その表面にポリテトラフッ化エチレン(テフロン・商標名),ポリアセタール(デルリン・商標名),ポリアセタールコポリマー(ジュラコーン・商標名)のいずれかの樹脂を用いたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか記載の浮上搬送装置における被搬送物制動装置。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010027739A (ja) * | 2008-07-16 | 2010-02-04 | Ihi Corp | 基板移送システム及び基板移送方法 |
JP2012253310A (ja) * | 2010-09-27 | 2012-12-20 | Toray Eng Co Ltd | 基板搬送装置 |
KR101793021B1 (ko) | 2010-09-27 | 2017-11-02 | 도레 엔지니아린구 가부시키가이샤 | 기판 반송 장치 |
CN117276160A (zh) * | 2023-11-21 | 2023-12-22 | 上海隐冠半导体技术有限公司 | 一种气浮刹车装置、运动装置及气浮刹车装置的控制方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101843195B1 (ko) * | 2011-10-24 | 2018-03-29 | 엘지디스플레이 주식회사 | 기판이송장치 |
CN110539394B (zh) * | 2019-09-29 | 2020-12-08 | 博兴战新产业发展有限公司 | 一种石膏板成型过程中利用石膏呼吸特性的输送设备 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61163052A (ja) * | 1985-01-11 | 1986-07-23 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 空気浮上運搬装置 |
JPH02130849A (ja) * | 1988-11-11 | 1990-05-18 | Hitachi Ltd | 搬送装置 |
JPH0537722U (ja) * | 1991-08-13 | 1993-05-21 | 株式会社椿本チエイン | コンベヤの搬送物支持弾性リングの取付構造及び該構造を具えたコンベヤの駆動構造 |
JPH09278181A (ja) * | 1996-04-11 | 1997-10-28 | Canon Inc | ワーク搬送装置及び搬送方法 |
JP2005145651A (ja) * | 2003-11-14 | 2005-06-09 | Daifuku Co Ltd | 搬送装置 |
JP2005178919A (ja) * | 2003-12-16 | 2005-07-07 | Daifuku Co Ltd | 搬送装置 |
JP2005272039A (ja) * | 2004-03-23 | 2005-10-06 | Pentax Corp | 基板の搬送機構 |
-
2007
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61163052A (ja) * | 1985-01-11 | 1986-07-23 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 空気浮上運搬装置 |
JPH02130849A (ja) * | 1988-11-11 | 1990-05-18 | Hitachi Ltd | 搬送装置 |
JPH0537722U (ja) * | 1991-08-13 | 1993-05-21 | 株式会社椿本チエイン | コンベヤの搬送物支持弾性リングの取付構造及び該構造を具えたコンベヤの駆動構造 |
JPH09278181A (ja) * | 1996-04-11 | 1997-10-28 | Canon Inc | ワーク搬送装置及び搬送方法 |
JP2005145651A (ja) * | 2003-11-14 | 2005-06-09 | Daifuku Co Ltd | 搬送装置 |
JP2005178919A (ja) * | 2003-12-16 | 2005-07-07 | Daifuku Co Ltd | 搬送装置 |
JP2005272039A (ja) * | 2004-03-23 | 2005-10-06 | Pentax Corp | 基板の搬送機構 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010027739A (ja) * | 2008-07-16 | 2010-02-04 | Ihi Corp | 基板移送システム及び基板移送方法 |
JP2012253310A (ja) * | 2010-09-27 | 2012-12-20 | Toray Eng Co Ltd | 基板搬送装置 |
KR101793021B1 (ko) | 2010-09-27 | 2017-11-02 | 도레 엔지니아린구 가부시키가이샤 | 기판 반송 장치 |
CN117276160A (zh) * | 2023-11-21 | 2023-12-22 | 上海隐冠半导体技术有限公司 | 一种气浮刹车装置、运动装置及气浮刹车装置的控制方法 |
CN117276160B (zh) * | 2023-11-21 | 2024-02-13 | 上海隐冠半导体技术有限公司 | 一种气浮刹车装置、运动装置及气浮刹车装置的控制方法 |
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