JPH028121A

JPH028121A - ウエハ搬送装置

Info

Publication number: JPH028121A
Application number: JP63153808A
Authority: JP
Inventors: Ryoji Nemoto; 亮二根本
Original assignee: Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1988-06-22
Filing date: 1988-06-22
Publication date: 1990-01-11

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明はウェハ搬送装置に関する。更に詳細には、本発
明はパターン付ウェハの搬送に特に適したウェハ搬送装
置に関する。

［従来の技術］装置から装置へとウェハを送る搬送方式に空気搬送方式
がある。

この搬送方式は第３図に示されるように、搬送路１００
の表面に穿設された空気噴き出し孔１１０より、ウェハ
１２０の裏面側から斜め」二方に空気またはＮ２ガスを
吹き付けてウェハを浮−１ニさせると共に、一方向への
推進力を与えるものである。

この方式は〜１鵬／Ｓという高速搬送が可能なため、装
置内部のみならず、装置と装置の間の長距離搬送にも適
している。また、ウェハが他の部材と接触しないためウ
ェハ裏面の汚れは殆ど発生しない。更に、可動部品が少
ないので故障が少なく、保守が容易であるという特徴を
仔する。

［発明が解決しようとする課題］しかし、この空気搬送方式では、搬送路１００の終端に
ウェハ位置決めステージ１３０が設けられていて、搬送
されてきたウェハ１２０はこの位置決めステージの壁面
に衝突して停止される。

前記のように空気搬送方式はウェハを高速搬送するので
、ウェハの衝突衝撃もかなり大きい。このため、搬送物
がパターン付ウェハである場合、ウェハの外周縁部分の
パターンに割れや欠けなどの損傷が度々発生し、スルー
プットを低下させていた。

位置決めステージの壁面にゴムあるいはスポンジ等の衝
撃吸収材を配設してもパターンの割れや欠けの発生をゼ
ロにすることはできなかった。また、このような衝撃吸
収材は高温雰囲気下におけるウェハ搬送装置には使用で
きない。

更に、ウェハを非接触で前進させるために搬送路に沿っ
て多量の高圧空気を噴き出し続けるので、搬送路周辺の
塵埃等の異物類を巻き上げることがある。これらは空気
中を１？遊した後、ウェハ表面に落ドし、ウェハを不良
品化させ、スループットを低Ｆさせる可能性がある。

従って、本発明の目的は、パターン付ウェハのパターン
に割れや欠けなどの損傷を与える恐れがなく、搬送路周
辺の発塵問題も殆ど起こさないウェハ搬送装置を提供す
ることである。

［課題を解決するための手段］前記目的を達成するために、本発明のウェハ搬送装置に
おいては、ウェハの進行方向に対して斜め方向に空気を
噴き出すための空気噴き出し孔が穿設された第１のプッ
シャーと、ウェハの進行方向に対して直」二方向に空気
を噴き出すための空気噴き出し孔が穿設された、ウェハ
の搬送速度を制御するための第２のプッシャーとから構
成されている。

第１のプッシャーはウェハ搬送方向の後側に位置し、第
２のプッシャーはウェハ搬送方向の前側に位置し、ウェ
ハは第２のプッシャーの壁面に当接しながら搬送される
。

別法として、第１のプッシャーがウェハ搬送方向の前側
に位置し、第２のプッシャーがウェハ搬送方向の後側に
位置し、ウェハを第２のブツシャ−の壁面に当接しなが
ら搬送することもできる。

［作用コ前記のように、本発明のウェハ搬送装置では、ウェハを
前後２個のプッシャーで浮上させ、かっ、搬送方向前方
または後方のプッシャーの側壁面にウェハを当接させ、
前後のプッシャー自体を同速度で移動させることにより
ウェハを搬送するので、従来のような長大なエアーペア
搬送路を設ける７認がなく、噴き出し空気による様送路
周辺における発塵問題も殆ど起こらない。その結果、−
層クリーンなウェハ搬送が実現できる。

また、ウェハを前後２個のプッシャーで浮トさせながら
搬送するので、ウェハ裏面は完全に非接触状態に維持さ
れる。そのため、ウェハ裏面のｔｒ；れは殆ど起こらな
い。

本発明のウェハ搬送装置によれば、長大なエアーペア搬
送路が不要になると共に、ウェハ位置決めステージも原
則的に不要となる。そのため、搬送停止時にパターン付
ウェハが位置決めステージに衝突することは絶対にない
。このため、パターン付ウェハに割れや欠は等の損傷が
発生することも皆無となるのでスループットが著しく同
士、される。

［実施例］以下、図面を参照しながら本発明のウェハ搬送装置の一
例について更に詳細に説明する。

第１図は本発明のウェハ搬送装置の一例を示す概要断面
図である。

図示されているように、本発明のウェハ搬送装置１は、
ウェハ１２０の搬送進行方向に対して斜め前方に空気を
噴き出すための空気噴き出し孔３が穿設された第１のプ
ッシャー５と、ウェハの進行方向に対して直り方向に空
気を噴き出すための空気噴き出し孔７が穿設された、ウ
ェハの搬送速度を制御するための第２のプッシャー９と
からなる。

従って、第１のプッシャ−５はウェハ搬送方向の後側に
位置し、第２のプッシャー９はウェハ搬送方向の前側に
位置する。第１のブツシャ−５の噴き出し孔３が前傾し
ているので、ウェハ１２０は搬送方向前方に押し出され
、第２のプッシャー９の側壁面に当接される。ここで、
第２のプッシャーには直上に空気を噴き出す孔が穿設さ
れているので、ウェハは第２のプッシャーの底面には接
触せず、浮上状態に維持される。噴き出すものは空気に
限定されない。Ｎ２ガスでもよい。

第１のプッシャー５はプッシャーアーム１１に支持され
ており、同様に、第２のプッシャー９はプッシャーアー
ム１３に支持されている。搬送出発点にはプッシャー駆
動アクチュエータ１５が支持台１６に配設されている。

また、搬送終点には遊転輪１７が支持台１８に配設され
ていて、このアクチュエータ１５と遊転輪１７との間に
はタイミングベルト１９が張架されている。ベルト１９
はプッシャーアーム１１およびプッシャーアーム１３に
固着されている。従って、アクチュエータ１５の正転ま
たは逆転により、プッシャーは前後進動作を行う。換ゴ
すれば、プッシャー自体の移動によりウェハは搬送され
る。

ウェハ搬送動作を確実に行うために、プッシャーアーム
１１およびプッシャーアーム１３は上下２本のプッシャ
ーガイド２１．２１に遊嵌状態で通されている。符号２
３は搬送装置のベースである。

プッシャーアーム１１とプッシャーアーム１３との間隔
は、搬送されるウェハのサイズにより変更することがで
きるが、搬送中は−・定間隔に維持されなければならな
い。プッシャーアーム１１とプッシャーアーム１３とを
結ぶ接続手段２５は、アクチュエータに張架されたタイ
ミングベルトでもよいし、あるいは、その他の板状、棒
状など、任意の形状の部材で、その長さを変更できるも
のならば全て使用できる。

本発明のウェハ搬送装置によれば、第２のプッシャー９
のプッシャーアーム１３が遊転輪１７の所にまできた時
点で、ウェハの位置決めが行われる。従って、従来のよ
うな特別な位置決めステージは一般的に不必堡である。

しかし、第２図に示されるように、ブツシャ−からの落
下防■−を図るために、プッシャーの両サイドに従来の
ようなエアベア搬送路３０．３０を補助的に配設するこ
ともできる。エアベア搬送路３０．３０に穿設されたガ
ス噴き出し孔３２は直上向きでも、あるいは、搬送方向
前方向きでもどちらでもよい。このエアベア搬送路の終
点には位置決めステージ３４を設けることもできる。図
示されているように、第２のプッシャー９のプッシャー
アーム１３が支持台１８に当接することによりウェハ１
２０が位置決めされる。第２のプッシャー９により搬送
速度が制御されているので、位置決めステージ３４の側
壁にウェハが衝突してウェハのパターンを損傷すること
はない。

ウェハの搬送進行方向に対して斜め前方に空気を噴き出
すための空気噴き出し孔が穿設された第１のプッシャー
が搬送方向後側にあり、ウェハの進行方向に対して直上
方向に空気を噴き出すための空気噴き出し孔が穿設され
た、ウェハの搬送速度を制御するための第２のプッシャ
ーが搬送方向前側にある例について説明してきたが、プ
ッシャーの配列はこの逆も可能である。従って、第２の
プッシャーが後側で、第１のプッシャーか前側にあるこ
ともできる。この場合、第１のプッシャーの空気噴き出
し孔はウェハの搬送進行方向に対して斜め後方に向いて
いる。

［発明の効果］以上説明したように、本発明のウェハ搬送装置では、ウ
ェハを前後２個のブツシャ−で浮上させ、かつ、搬送方
向前方または後方のブツシャ−の側壁面にウェハを当接
させ、前後のプッシャー自体を同速度で移動させること
によりウェハを搬送するので、従来のような長大なエア
ーペア搬送路を設ける必要がなく、噴き出し空気による
搬送路周辺における発塵問題も殆ど起こらない。その結
果、−層クリーンなウェハ搬送が実現できる。

また、ウェハを前後２個のプッシャーで浮上させながら
搬送するので、ウェハ裏面は完全に非接触状態に維持さ
れる。そのため、ウェハ裏面の汚れは殆ど起こらない。

本発明のウェハ搬送装置によれば、長大なエアーペア搬
送路が不要になると共に、ウェハ位置決めステージも原
則的に不要となる。そのため、搬送停止時にパターン付
ウェハが位置決めステージに衝突することは絶対にない
。このため、パターン付ウェハに割１れや欠は等の損傷
が発生することも皆無となるのでスループットが著しく
向上される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のウェハ搬送装置の一例を示す概要断面
図であり、第２図は本発明のウェハ搬送装置を従来のエ
アーペア搬送路と併用した状態の概要平面図であり、第
３図は従来の空気搬送方式の装置の一例を示す概要斜視
図である。１・・・本発明のウェハ搬送装置。３・・・前領空気噴き出し孔。５・・・第１のプッシャー７・・・直上空気噴き出し孔。９・・・第２のプッシャー１．１３・・・ブツシャ−アーム。５・・・アクチュエータ。６．１８・・・支持台。７・・・遊転輪。９・・・タイミングベルト。１・・・プッシャーガイド。３・・・ベース。５・・・プッシャー接続手段。０・・・エアーペア搬送路。４・・・位置決めステージ。０・・・ウェハ。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ウェハの進行方向に対して斜め方向に空気を噴き
出すための空気噴き出し孔が穿設された第１のプッシャ
ーと、ウェハの進行方向に対して直上方向に空気を噴き
出すための空気噴き出し孔が穿設された、ウェハの搬送
速度を制御するための第２のプッシャーとからなるウェ
ハ搬送装置。
（２）第１のプッシャーはウェハ搬送方向の後側に位置
し、第１のプッシャーに穿設された空気噴き出し孔はウ
ェハの進行方向に対して斜め前方に向いており、第２の
プッシャーはウェハ搬送方向の前側に位置し、ウェハは
第２のプッシャーの壁面に当接しながら搬送される請求
項１記載のウェハ搬送装置。
（３）第１のプッシャーはウェハ搬送方向の前側に位置
し、第１のプッシャーに穿設された空気噴き出し孔はウ
ェハの進行方向に対して斜め後方に向いており、第２の
プッシャーはウェハ搬送方向の後側に位置し、ウェハは
第２のプッシャーの壁面に当接しながら搬送される請求
項１記載のウェハ搬送装置。