JPS6052437A - ウエハ処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［技術分野］ 本発明は、異なる大きさの被搬送物を処理する場合に有
効な技術に関し、たとえば、各種の半導体製造装置に異
なる口径のウェハを混流した状態で搬送し、処理する場
合に利用して有効な技術に関する。

［背景技術］ 半導体装置の製造分野においては、生産性向上のため、
ウェハの大口径化が推進されている。

このため、口径の異なるウェハを混流した状態で搬送し
、処理できる技術の開発が要望されている。

［発明の目的］ 本発明の目的は、サイズの異なる物品を混流した状態で
あっても搬送し、処理できるような技術を提供すること
にある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

［発明の概要］ 本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。

すなわち、ウェハ搬送部の上手でウェハのサイズを検知
し、この検知結果に基づいてウェハ搬送部の両サイドに
おけるガイドの幅を変更調整することにより、サイズが
変更された後も両サイドのガイドによる物品の案内機能
を確保し、サイズの異なる物品を混流した状態番ごて搬
送し、処理できるようにしたものである。

［実施例１］ 第１図は本発明の一実施例であるウェハ処理装置を示す
斜視図、第２図は正断面図、第３図は側断面図である。

このウェハ処理装置はウェハ移動部としての搬送路１を
構成するエアコンベア２を備えており、このコンベア２
は支柱３等によりほぼ水平に敷設されている。エアコン
ベア２は、搬送路１と平行に延びるエア供給路２ａと、
この供給路２ａに接続された多数のエア噴出孔２ｂとを
備え、噴出孔２ｂからエアを上向きにかつ搬送下手方向
に若干傾斜して噴出させることにより、被搬送物である
ウェハを浮き上げつつ搬送するようになっている。

コンベア２の両脇には一対のガイド４が１ｕｌｌ送路１
に沿ってそれぞれ配されており、両ガイド４はコンベア
２の下方に直角に軸架された複数（単数のみ図示）のガ
イドレール５により搬送路と直角方向に移動自在に支持
されている。コンヘア２の下方にはねじ軸６がガイドレ
ール５と平行に延びるようにかつ回転自在に軸架されて
おり、この軸６はサーボモータ７等により正逆回転され
るようになっている。このねじ軸６には左右ねじ６ａ、
６ｂがそれぞれ刻設されており、この左右ねじ６ａ、６
ｂには両ガイド４に突設された雌ねじ部材８ａ、８ｂが
それぞれ進退自在に炊合されている。

コンベア２の上手には、ウェハ外形測定部としてウェハ
の直径りを測定し測定結果に基づきモータ７を制御する
測定装置９が設けられており、この装置９はコンベア２
の搬送路１の延長をなすテーブル１０を備えている。テ
ーブル１ｏは混流されるウェハの最大直径Ｄ…ａＸより
も若干広い幅に離間された一対のサイドガイド１１を立
設されている。テーブルＩＯの上面には、適当な駆動手
段（不図示）により昇降されるストッパ１２が接離自在
になっており、このストッパ１２はウェハをテーブル１
０上の定位置に中心線を一致さ一ロて停止させるように
なっている。テーブルｌＯの中心線上には複数の吸入孔
１３ａ、１３ｂ、１３Ｃがストッパ１２の基準点に対し
それぞれ所定距離を設定されて穿設されており、各吸入
孔はサーボモータ７の制御部に測定結果を入力する真空
式位置センサ１３に接続されている。各吸入孔のストッ
パ１２との間隔はウェハの各規格サイズ（たとえば、７
５．１００．１２５ｎφ）に対応されている。

テーブル１０の上手にはねしジヤツキ等からなるエレベ
ータ１４が設備され、エレベータ１４の上手にはエアシ
リンダ等からなるブツシャ１５が設備されている。エレ
ベータ１４はウェハ１７を複数枚整列保持したマガジン
１６をピッチ送りし得るように構成され、ブツシャ１５
はウェハ１７を１枚ずつマガジン１６からテーブル１０
上に押し出せるように構成されている。

前記可動ガイド４におけるテーブルサイドガイド１１と
の隣接部分には、回動ガイド１８がヒンジ１９により回
動自在に取り付りられ、この回動ガイド１８の自由端は
長穴２０を支柱２１に摺動自在に嵌合されることにより
支持されている。

なお、ウェハ搬送部の一端部には、ウェハ処理部３４、
たとえば、露光装置、レジスト塗布装置等の装置やウェ
ハを検査するための作業ステーション等が接続されてい
る。

次に作用を説明する。

エレベータ１４のラム上にマガジン１６が所定の姿勢で
載置されてテーブル１０との高さ合わせが行われると、
ブツシャ１５がウェハ１７をテーブル１０上に押し出す
。同時に、ストッパ１２が下降されてテーブル１０上に
当接されるため、ウェハ１７はストッパ１２に押接され
て芯出し状態で位置決めされる。この状態で、真空セン
サ１３が働くと、センサ１３はウェハ１７のエッヂが対
向した位置の吸入孔１３ｂを検出し、あらかじめ設定さ
れた吸入孔１３ｂのストッパ１２の基準点からの距離に
よりウェハ１７の直径りをめる。

この測定結果はセンサ１３からサーボモータ７の制御部
に入力され、サーボモータフによりねじ軸６が所定の方
向に所定量回転される。この回転により・左右ねじ６ａ
、６ｂに炊合した雌ねじ部材８ａ、８ｂは互いに反対方
向に移動されて接近または離間される。この移動により
、可動ガイド４．４はコンベア２に対し互いに等しい量
だけ接近または離間され、ウェハ１７の直径りにほぼ等
しい幅が設定される。両ガイド４．４の移動量は等しい
ので、両ガイド４．４の幅方向の中心は移動前と変わら
ずコンヘア２の中心に一致したままである。また、両ガ
イド４の移動により、回動ガイド１８は支柱２１に対し
長穴２０を相対的に摺動しつつ揺動される。

可動ガイド４の幅凋整が終了すると、ストッパ１２が上
昇され、ブツシャ１５によりウェハ１７がエアコンベア
２上に押し出される。このとき、回動ガイド１８がウェ
ハ１７の移送を案内する。

コンヘア２上に移送されると、ウェハ１７は噴出孔２ｂ
からのエア噴出によって浮き上げられた状態で所定方向
に搬送される。このとき、両ガイド４．４がウェハ１７
の直径に対応する幅にかつ中心合わせされて設定されて
いるため、ウェハ１７は横振れ等の遊動を防止されるよ
うに案内され搬送されて行く。したがって、ウェハの蛇
行搬送は防止され、それに伴うウェハの損傷事故等は防
止される。

このような動作が各マガジンまたは各ロフトごとに随時
繰り返されことにより、ウェハの口径変更に対処ずべく
可動ガイド４の幅が自動的かつ迅速に変更調整される。

この変更調整により、異なるサイズのウェハが混流され
ても、サイドガイドによる案内機能は常時維持されるこ
とになり、混流した状態であっても、確実にウェハ処理
部３４にウェハを搬送することができる。

［実施例２］ 第４図は本発明の他の実施例であろウェハ処理装置を示
す底■である。

本実施例において、このウェハ処理装置ば搬送路１を構
成するヘルドコンヘア２２を備え、このコンベア２２は
モータ、減速機構等からなる駆動装置２３により一方向
に走行されて載置されたウェハを搬送するようになって
る。コンヘア２２の両脇には一対のガイド２４が搬送路
１に沿ってそれぞれ配されており、両ガイド２４はコン
ベア２２に下方に直角に軸架された複数（２本のみ図示
）のガイドレール２５により搬送路と直角方向に移動自
在に支持されている。

両ガイド２４．２４間にはパンタグラフ（平行四辺形４
つ棒機構）２６が少なくとも１組（図示例では２組）が
介設されており、このパンタグラフ２６はエアシリンダ
２７等によって少なくとも１つの支点２８を往復動され
ることにより拡縮されるように構成されている。

コンヘア２２の上手には、ウェハの直径を測定し測定結
果に基づきエアシリンダ２７のストローク量を制御する
測定装置２９が設けられており、この装置２９はコンベ
ア２２の搬送路１の延長をなすローラテーブル３０を備
えている。このローラテーブル３０は複数本のローラ３
１から構成され、ローラ３１群ばウェハの中心をテーブ
ルの中心に一致させながら搬送し得るように構成されて
いる。

ローラテーブル３０の中心線上には、たとえば投光器と
受光器とからなる基準点センサ３２が設けられ、このセ
ンサ３２はウェハのエッヂが到達したことを検出するよ
うに構成されている。この基準点センサ３２の上手には
、たとえば投光器と受光器とからなる複数の位置センサ
３３ａ、３３ｂ、３３Ｃが基準点センサ３２に対しそれ
ぞれ所定の距離を設定されて配設されている。

図示しないが、ローラテーブル３０の上流にはウェハ１
７を１枚ずつローラテーブル３０上に押し出すように供
給するウェハ供給装置が設けられている。なお、３４は
ウェハ処理部である。

次に作用を説明する。

ウェハ１７がローラテーブル３０上に供給され、ウェハ
１７の下流側を向いたエッヂが基準点センサ３２に検出
されると、同時に、位置セン号群が作動してウェハの上
流側を向いたエッヂが検出される。この上流側エッヂを
検出した位置センサ３３ａのあらかじめ設定された位置
によりウェハ１７の直径がめられる。

この測定結果はエアシリンダ２７の制御部に入力され、
これに対応するシリンダ２７の伸縮動作によって支点２
８が所定量変位される。この変位により、パンタグラフ
２６が開閉され、両ガイド２４．２４はコンベア２２に
対し互いに等しい量だけ接近または離間される。この両
ガイド２４．２４の移動により、ウェハ１７の直径にほ
ぼ等しい幅が設定される。

両ガイド２４．２４の移動量は等しいので、両ガイドの
幅方向の中心は移動前と変わらずコンベア２２の中心に
一致したままである。

ウェハ１７がローラテーブル３０からベルトコンベア２
２上に乗り移ると、ウェハ１７はベルトの走行に伴って
所定方向に搬送される。このとき、両ガイド２４．２４
がウェハ１７の直径に対応する幅にかつ中心合わせされ
て設定されているため、ウェハの蛇行搬送は防止され、
それに伴う損傷事故等は防止される。

このような動作が繰り返されることにより、ガイドの幅
はウェハの口径変更に応じて自動的かつ迅速に変更調整
され、異なるサイズのウェハが混流した状態であっても
、ウェハ処理部３４にウェハを搬送することができる。

［効果］ （１１，１１１１送路の上流部で被搬送物のサイズを測
定し、この測定結果に基づいて搬送路の両サイドにおけ
るガイドの幅を変更調整することにより、被搬送物のサ
イズに対応したガイド幅が設定できるため、サイズが異
なる物品の混流に自動的に即応して適切な案内機能を維
持した搬送が実現できる。

（２）０両ガイドを搬送路中心に対し対称に移動させる
ように構成することにより、両ガイドの幅方向の中心を
搬送路中心に常時一致させることができる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではな（、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。

たとえば、ガイドは両方とも可動にする必要はなく、片
側だけを可動に構成してもよい。

ガイドの移動駆動装置、被搬送物のサイズ測定装置、被
搬送物供給装置等の具体的構成は前記実施例に限られな
いし、搬送路もエアコンベア、ベルトコンベアで構成す
るに限られない。

［利用分野］ 以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である半導体製造装置ヘウ
エハを搬送し、処理する技術に適用した場合について説
明したが、それに限定されるものではなく、たとえば、
他の分野における薄板等を搬送して処理する技術にも通
用できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は同じ
く正断面図、 第３図は同じく側断面図、 第４図は本発明の他の実施例を示す底面図である。 １・・・搬送路、２・・・エアコンベア、３・・・支柱
、４・・・ガイド、５・・・ガイドレール、６・・・ね
じ軸、７・・・モータ、８ａ、８ｂ・・・雌ねじ部材、
９・・・測定装置、１０・・・テーブル、１１・・・ガ
イド、１２・・・ストッパ、１３・・・真空式位置セン
サ、１３ａ。 １３ｂ、１３ｃ・・・吸入孔、１４・・・エレベータ、
１５・・・ブツシャ、１６・・・マガジン、１７・・・
ウェハ、１８・・・回動ガイド、１９・・・ヒンジ、２
０・・・長穴、２１・・・支柱、２２・・・ベルトコン
ヘア、２３・・・モータ、２４・・・ガイド、２５・・
・ガイドレール、２６・・・パンタグラフ、２７・・・
エアシリンダ、２８・・・支点、２９・・・測定装置、
３０・・・ローラテーブル、３１・・・ローラ、３２・
・・基準点センサ、３３ａ、３３ｂ、３３ｃ　・・−位
置センサ、３４・・・ウェハ処理部。 代理人　弁理士　高　橋　明　夫　−１１″゛Ｖ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ウェハ処理部と、ウェハ外形測定部と、前記ウェハ
   処理部とウェハ外形測定部との間に設けられているウェ
   ハ搬送部を有し、前記ウェハ搬送部は、ウェハが移動す
   るウェハ移動部と、そのウェハ移動部側部に設けられ、
   ウェハ外形測定部において検知したウェハの外形に対応
   して、移動量が規定されているガイドからなることを特
   徴とするウェハ処理装置。 ２、ガイドは、ウェハ搬送部の両側に設けられ、その両
   ガイドが、搬送路の中心に対し対称に移動するように構
   成されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
   載のウェハ処理装置。