JPH07257715A - 浮上搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 薄いワ−クあるいは柔軟性のあるワ−クを空
中に浮上した無接触状態にて、損傷なく搬送する。 【構成】 空気を吹き出すことにより無接触状態にてワ
−ク９を懸垂保持する吸着具４と空気を吹き出すことに
よりワ−ク９を浮上させる浮上具５及び駆動ローラ１２
とにより構成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ワ−クを浮上した状態
で搬送する浮上搬送装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、液晶ガラス基板盤、プラスチ
ック板、積層基板当の製造工程に於いては、工程間の搬
送、あるいは乾燥炉、紫外線照射装置内に於ける搬送が
ある。

【０００３】従来、このような搬送にしようされる搬送
装置としては、ベルト式コンベア装置が知られている。

【０００４】このベルト式コンベア装置は、工程間に回
行式の２本のベルトを掛渡し、ワ−ク両端部をベルトに
乗せ、搬送する方法のものである。

【０００５】又空気を吹き出して無接触状態にてワ−ク
を吸引する吸着具のみ並列させて搬送する方法もある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】このベルト式コンベア
装置は、ワ−クをベルト上に載置する構造であるので、
ベルト上のダストがワ−クに付着したりし、ワ−クの品
質に悪影響を及ぼす。

【０００７】またワ−クの幅が大きく、あるいはワ−ク
が薄い場合あるいは柔軟性のある場合、ワ−ク中央部が
自重により垂れ下がり、落下し、搬送ができないという
問題がある。

【０００８】また空気を吹き出して無接触にてワ−クを
吸引する吸着具のみを並列した搬送装置では、ワ−ク９
が剛性のあるものでは搬送が可能あるが、ワ−クが柔軟
な場合あるいは薄い場合は、ワ−ク先端が垂れ下がって
吸引できなかったり、ワ−ク先端が吸着具に当たりして
損傷したり搬送できないという問題がある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決すべ
く、ワ−クにダストや損傷を与えないために、ワ−クを
無接触状態にて搬送するようにし、かつ薄くあるいは柔
軟なワ−クの先端の垂れ下がりを防止するために、ワ−
ク搬送方向に並設され、各々空気の吹き出すことにより
ワ−クを無接触状態にて吸引する吸着具及び空気を吹く
出すことによりワ−クを浮上さす浮上具とからなる浮上
搬送装置により解決される。

【００１０】

【作用】上記の構成により、本発明ではワ−クは吸着具
の各々から空気の吹き出しにより、吸引されてワ−ク搬
送路内で無接触状態にて保持されるとともに、ワ−ク下
方に設けられた浮上具より上方に吹き出す空気により、
ワ−ク先端を無接触状態にて浮上させ、ワ−ク先端の垂
れ下がりを防ぐ。

【００１１】そしてワ−ク搬送路には、ワ−クの左右方
向の移動を規制するガイドの役目を果たす駆動ローラが
並列しており、ワ−クの搬送路からの左右のとびだしを
防ぐとともに、ワ−クの側端面に接触し、ローラを回転
することによりワ−クを後方へ搬送する。

【００１２】このことにより、ワ−クにダストの付着す
る問題、ワ−クの先端の垂れ下がりによる搬送不能及び
吸着具との接触によるワ−クの損傷の問題は解消され、
ワ−クを無発塵、無損傷にて搬送することが可能とな
る。

【００１３】

【実施例１】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説
明する。

【００１４】図１は、本発明の実施例に係る浮上搬送装
置の全体構成を示しており、この搬送装置は、例えば液
晶ガラス基板棟のワ−ク９を前側（図では左側）から後
側（同右側）に無接触状態にて搬送するものである。

【００１５】図において、１はワ−ク９を供給するワ−
ク供給テーブル、２はワ−ク９を受け取るワ−ク受給テ
ーブルである。

【００１６】この両テーブル１、２間の上方にはワ−ク
９搬送方向（図では左右方向）に水平に延びる搬送路形
成部材３が配設されている。

【００１７】搬送路形成部材３には複数の吸着具４、
４、４・・・、及び浮上具５、５、・・・が前後方向に
吸着具４の前側に浮上具５くるように敷設されている。

【００１８】この吸着具４は、搬送路形成部材３の上面
に開口して、空気を上方部に吹き出す空気噴出口６を備
えており、この空気噴出口６から空気を吹き出させるこ
とで、ワ−ク９を空気流によるベルヌ−イ効果により無
接触状態にて吸引するものである。

【００１９】また浮上具５は、各々吸着具４、４、４、
・・・の前側に配設され、搬送路形成部材３の上面に開
口して、前記吸着具４のフランジ７より下方に設けた空
気を上方に吹き出すノズル８を有しており、ワ−ク９の
下面にノズル８より噴出した空気を当てることにより、
ワ−ク９を無接触状態にて持ち上げる。

【００２０】空気噴出口６、６、６、・・・およびノズ
ル８、８、８、・・・は開閉弁１１、１９を会して１本
の空気管３２に接続され、この空気管３２は、図外の空
気供給源に接続されている。

【００２１】また図２に示すように、吸着具４、浮上具
５の左右側面には、吸着具４のフランジ７より下方まで
延びた駆動ローラ１２がワ−ク９搬送方向に並列されて
おり、吸着具４、４、４、・・により無接触状態にて保
持されているワ−ク９の左右方向の移動を規制するガイ
ドの機能を果たすとともに、側端面に接触して回転する
ことにより、搬送の推進力を与える。

【００２２】この搬送路形成部材３の吸着具４、４、
４、・・・、浮上具５、５、５、・・および駆動ローラ
１２、１２、１２、・・・によりワ−ク搬送路１３が形
成されている。

【００２３】また搬送路形成部材３の先端にはエアシリ
ンダーからなる昇降シリンダー１４が設置されており、
この昇降シリンダー１４の先端のピストンロッド１４ａ
には昇降体１５が取り付けられ、この昇降体１４のワ−
ク供給テーブル１の真上に対応する位置に、上記搬送路
１３の吸着具４と同様の気体噴出口７を有する吸着具１
６が空気供給口１８を介して垂設され、この吸着具１５
が昇降シリンダー１３の伸縮により昇降体１５が上昇端
位置にあるときに、上記搬送路１３にて吸着具４に無接
触状態にて保持されているワ−ク９の位置と同じ位置に
て保持できる位置に停止するようになっている。

【００２４】上記空気供給口１８は開閉弁３１を介して
空気供給源に接続されている。

【００２５】昇降体１５が下降端位置に位置づけられた
とき、開閉弁３１を開弁して、吸着具１６の気体噴出口
１７より空気を噴出することにより、ワ−ク供給テーブ
ル１上のワ−ク９を無接触状態にて吸引するようにして
いる。

【００２６】上記昇降体１５の左右及び後方にはガイド
２０が取り付けられ、上記吸着具１６に吸引されている
ワ−ク９の移動を規制するようになっている。

【００２７】また昇降体１５の前端には、吸着具１６に
吸引されているワ−ク９を押し出す押し出し具（図示せ
ず）が配設されている。

【００２８】上記搬送路形成部材３の後端には、前記吸
着具１６の昇降シリンダー１４と同様の構成を持った昇
降シリンダー２１が設けられており、この昇降シリンダ
ー２１は下方に延びるピストンロッド２１ａを有し、こ
のピストンロッド２１ａの先端には、昇降体２２が取り
付けられている。

【００２９】この昇降体２２のワ−ク受給テーブル２の
真上に対応する位置に、上記搬送路１３の吸着具４と同
様の気体噴出口７を有する吸着具２３が空気供給口２５
を介して垂設され、この吸着具２３が昇降シリンダー２
１の伸縮により昇降体２２が上昇端位置にあるときに、
上記搬送路１３にて吸着具４に無接触状態にて保持され
ているワ−ク９の位置と同じ位置にて保持できる位置に
停止するようになっている。

【００３０】また上記空気供給口２５は、開閉弁２６を
介して空気供給源に接続されており、昇降シリンダー２
１の収縮により、昇降体２２が上昇単位値に位置づけら
れたときに、吸着具２２の気体噴出口２４より空気を吹
き出させることにより、ワ−ク搬送路１３より搬出され
たワ−ク９を受け取って、無接触状態にて吸引保持する
とともに、昇降シリンダー２１の慎重により昇降体２２
を下降させ、その下降端位置で開閉弁２６を閉弁して、
吸着具２３から空気の吹き出しを停止することにより、
ワ−ク９を受給テーブル２上にワ−ク９を載置するよう
にしている。

【００３１】そして昇降体２２の前および左右にはガイ
ド２７が設けられており、ワ−ク９の移動を規制してい
る。

【００３２】開閉弁１１および１９は、ワ−ク９搬送路
１３内に設けられたワ−ク９の通過を関知するセンサー
（図示せず）により、ワ−ク９が各々の吸着具４、４、
４、・・・及び浮上具５、５、５、・・・上を移動して
いるときのみ開き、空気を吹き出している。

【００３３】次に上記浮上搬送装置のワ−ク９搬送作動
に付いて説明する。

【００３４】作動開始状態では、前側及び後側吸着具昇
降シリンダー１４、２１はいづれも収縮していて、昇降
体１５、２２が上昇端位置にある。

【００３５】この状態からまず、図１に示すごとく、前
側の昇降シリンダー１４が伸長して昇降体１５が下降
し、その下降端位置で吸着具１６がワ−ク供給テーブル
１のワ−ク９の真上位置に近接停止する。

【００３６】ついで開閉弁３１が開いて、空気供給源か
ら供給された空気が吸着具１６の気体噴出口１７から吹
き出される。

【００３７】この吸着具１６からの吹き出す空気による
ベルヌ−イ効果により、ワ−ク９を吸着具１６に一定間
隔を開けた無接触状態にて持ち上げられる。

【００３８】この御上記昇降シリンダー１４が収縮して
昇降体１５が上昇し、これにともなって、吸着具１６側
を吸引した状態にて上昇する。

【００３９】そのさいワ−ク９は、吸着具１６により無
接触状態にて吸引されているので、ワ−ク９が側方に飛
び出す恐れがあるが、吸着具１６に装着されているガイ
ド２０及びワ−ク供給テーブル１の後方に設けられたガ
イド２０により、ワ−ク９の移動が規制され、ワ−ク９
が側方に飛び出すことはない。

【００４０】そして昇降体１５が上昇端位置に達する
と、ワ−ク９は搬送路１３と同じ高さの位置に停止し、
ついで吸着具１６の前端に設けてある押し出し具（図示
せず）のシリンダーが伸長し、吸着具１６に無接触状態
にて吸引されてるワ−ク９を後方へ押し出し、ワ−ク９
搬送路１３の前端（始端）に進入する。

【００４１】この搬送路１３では、ワ−ク９の前端が最
初の吸着具４にさしかかると、センサーにより感知し、
開閉弁１１を開け、前記吸着具４から空気を吹き出し、
ベルヌ−イ効果によりワ−ク９を吸着具４に無接触状態
にて吸引されるとともに、吸着具４の左右側方に設けら
れた駆動ローラ１２にワ−ク９端面が接触し、駆動ロー
ラ１２の回転により、ワ−ク９は先に移動させられる。

【００４２】ワ−ク９の吸着具４より前方にある部分で
は、ワ−ク９は自重により下に垂れ下がった状態にな
り、その先端が浮上具５上に到達するとセンサーが感知
し、開閉弁１９を開け、浮上具５のノズル８より空気を
吹き出し、その空気の吹上力により、垂れ下がったワ−
ク９の先端をすぐ後方の吸着具４の側面に当たらない吸
着具４のワ−ク９吸着保持面の高さまで持ち上げる。

【００４３】かようにしてワ−ク９が搬送路１３内を浮
上した状態にて後方へ送られる。

【００４４】ワ−ク９が搬送路１３の後端（終端）に達
したとき、ワ−ク９は搬送路１３から引き続いて後側昇
降シリンダー２１の吸着具２３の下方に移動し、ガイド
２７によりワ−ク９の後方及び側方の移動が規制され、
吸着具２３から空気の吹き出しにより無接触状態吸引さ
れる。

【００４５】そしてこの吸引後、昇降シリンダー２１が
伸長して、昇降体２２が下降する。

【００４６】昇降体２２が下降端位置に停止すると、開
閉弁２１が閉弁し、吸着具２３からの空気の吹き出しが
停止し、その吸引効果の消失により、ワ−ク９は受給テ
ーブル２上に移載される。

【００４７】以上で、１つのワ−ク９に対する搬送動作
が終了し、以後、各ワ−ク９に付いて同様の動作が繰り
返される。

【００４８】このような搬送動作中、ワ−ク９後端が吸
着具４、４、４、・・・及び浮上具５、５、５、・・・
上を通過すると、センサーにて感知し、それぞれの吸着
具４及び浮上具５に接続する開閉弁１１、１１、・・・
及び１９、１９、・・・を閉じ、空気の吹き出しを停止
する。

【００４９】

【実施例２】図３には本発明の別の実施例を示す。

【００５０】図３に於いては、上方に設けた搬送路形成
部材２８より複数の吸着具４、４、４、・・・が空気噴
出口６を下に向けて、前後方向に等間隔を開けて並設さ
れており、また下方に設けられた搬送路形成部材２９よ
り浮上具５、５、５、・・・がノズル８を上に向けて、
気体噴出口６とノズル８とは垂直方向に於いて間隙を持
ち、かつ前後方向に等間隔を開けて並設されている。

【００５１】吸着具４、４、４、・・・の左右には、ワ
−ク９を推進させる駆動ローラ１２が前後方向にはいれ
つされている。

【００５２】そして搬送路形成部材２８の吸着具４、
４、・・、搬送路形成部材２９の浮上具５、５、５、・
・・及び駆動ローラ１２、１２、１２、・・・により搬
送路３０が形成されている。

【００５３】その他の構成は、実施例１と同じである。

【００５４】ワ−ク供給テーブル１より搬送路３０へ送
られてきたワ−ク９は、吸着具４の気体噴出口６より空
気を吹き出すことによりベルヌ−イ効果を生じ、吸着具
４に無接触状態にて垂下される。

【００５５】垂下されているワ−ク９は、側端を駆動ロ
ーラ１２に接触して、駆動ローラ１２の回転推力によ
り、前方に送り出される。

【００５６】ワ−ク９の吸着具４より前方にある部分
は、自重により垂れ下がった状態になり、その先端が浮
上具５上に達すると、ノズル８より空気を吹き出し、ワ
−ク９先端を浮上させ、前方の吸着具４の吸引可能距離
まで持ち上げて、その吸着具４に吸引させる。

【００５７】順次、このようにして搬送路３０無いをワ
−ク９を搬送し、ワ−ク９受給テーブル２へ移載され
る。

【００５８】上記実施例に於いては、推進機構に駆動ロ
ーラ１２を用いているが、吸着具４の気体噴出口６ある
いは浮上具５のノズル８をワ−ク９移送方向に斜めに吹
き出してワ−ク９に推進力を与える機構、回転ベルトで
もよい。

【００５９】また搬送路内に加熱装置、紫外線照射装
置、塗装装置あるいはその他の処理装置を設けて、ワ−
ク９を浮上搬送中に無接触状態にて処理を行なうことも
好適な実施例である。

【００６０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
空気を吹き出すことによりワ−クを無接触状態にて吸引
保持できる吸着具及びワ−クを無接触状態にて浮上させ
る浮上具をそれぞれ複数個前後に並列させることによ
り、薄いワ−ク、柔軟なワ−クを傷やダストの付着が無
く、また損傷することなく搬送させることができ、製造
工程の歩留まりの向上に寄与することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の浮上搬送装置の要部断面図をしめす。

【図２】図１のＡーＡ線断面図をしめす。

【図３】本発明の別の実施例の浮上搬送装置の要部断面
図をしめす。

【図４】図３のＢ−Ｂ線断面図をしめす。

【符号の説明】

１ 供給テーブル ２ 受給テーブル ３、２８、２９ 搬送路形成部材 ４、１６、２３ 吸着具 ５ 浮上具 ６、１７、２４ 気体噴出口 ８ ノズル ９ ワ−ク １２ 駆動ローラ １３、３０ 搬送路 １５、２２ 昇降体 １１、１２、１９、３１ 開閉弁

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ワ−クを浮上させた状態にて搬送する搬送装置であっ
   て、ワ−ク搬送方向に並設され、各々空気の吹き出すこ
   とによりワ−クを無接触状態にて吸引する吸着具及び空
   気を吹く出すことによりワ−クを浮上さす浮上具とから
   なる浮上搬送装置。