JPH01278038A - ウエハ搬送装置 - Google Patents
ウエハ搬送装置Info
- Publication number
- JPH01278038A JPH01278038A JP63107300A JP10730088A JPH01278038A JP H01278038 A JPH01278038 A JP H01278038A JP 63107300 A JP63107300 A JP 63107300A JP 10730088 A JP10730088 A JP 10730088A JP H01278038 A JPH01278038 A JP H01278038A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- speed control
- control means
- sidewall
- transport
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 abstract 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 52
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 23
- 239000011359 shock absorbing material Substances 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明はウェハ搬送装置に関する。更に詳細には、本発
明はパターン付ウェハの搬送に特に適したウェハ搬送装
置に関する。
明はパターン付ウェハの搬送に特に適したウェハ搬送装
置に関する。
［従来の技術］
装置から装置へとウェハを送る搬送機構に空気搬送方式
がある。
がある。
この搬送方式は第３図に示されるように、搬送路１００
の表面に穿設された空気噴き出し孔１１０より、ウェハ
１２０の裏面側から斜め上方に空気を吹き付けてウェハ
を浮上させると共に、一方向への推進力を与えるもので
ある。
の表面に穿設された空気噴き出し孔１１０より、ウェハ
１２０の裏面側から斜め上方に空気を吹き付けてウェハ
を浮上させると共に、一方向への推進力を与えるもので
ある。
この方式は〜ｌ ｍ／ｓという高速搬送が可能なため、
装置内部のみならず、装置と装置の間の長距離搬送にも
適している。また、ウェハが他の材質と接触しないため
発塵がなく、可動部品が少ないので故障が少な（、保守
が容易であるという特徴を有する。
装置内部のみならず、装置と装置の間の長距離搬送にも
適している。また、ウェハが他の材質と接触しないため
発塵がなく、可動部品が少ないので故障が少な（、保守
が容易であるという特徴を有する。
［発明が解決しようとする課題］
しかし、この空気搬送方式では、搬送路１００の終端に
ウェハ位置決めステージ１３０が設けられていて、搬送
されてきたウェハ１２０はこの位置法認ステージの壁面
に衝突して停市される。
ウェハ位置決めステージ１３０が設けられていて、搬送
されてきたウェハ１２０はこの位置法認ステージの壁面
に衝突して停市される。
前記のように空気搬送方式はウエノ１を高速搬送するの
で、ウェハの衝突衝撃もかなり大きい。このため、搬送
物がパターン付つエノ１である場合、ウェハの外周縁部
分のパターンに割れや欠けなどの損傷が度々発生し、ス
ループットを低下させていた。
で、ウェハの衝突衝撃もかなり大きい。このため、搬送
物がパターン付つエノ１である場合、ウェハの外周縁部
分のパターンに割れや欠けなどの損傷が度々発生し、ス
ループットを低下させていた。
位置決めステージの壁面にゴムあるいはスポンジ等の衝
撃吸収材を配設してもパターンの割れや欠けの発生をゼ
ロにすることはできなかった。また、このような衝撃吸
収材は高温雰囲気下におけるウェハ搬送装置には使用で
きない。
撃吸収材を配設してもパターンの割れや欠けの発生をゼ
ロにすることはできなかった。また、このような衝撃吸
収材は高温雰囲気下におけるウェハ搬送装置には使用で
きない。
従って、本発明の［１的はパターン付ウェハのパターン
に割れや欠けなどの損傷を与える恐れのないウェハ搬送
装置を提供することである。
に割れや欠けなどの損傷を与える恐れのないウェハ搬送
装置を提供することである。
［課題を解決するための手段］
前記目的を達成するために、本発明のウェハ搬送装置に
おいては、ウェハの進行方向に対して斜め前方に空気を
噴き出すための空気噴き出し孔が穿設された搬送路と、
ウェハの搬送速度を制御するためのウェハ搬送速度制御
手段とから構成されている。
おいては、ウェハの進行方向に対して斜め前方に空気を
噴き出すための空気噴き出し孔が穿設された搬送路と、
ウェハの搬送速度を制御するためのウェハ搬送速度制御
手段とから構成されている。
ウェハは速度制御手段の壁面に当接しながら搬送される
。
。
搬送路の縦方向中心線に沿って速度制御手段のガイド溝
を刻設することが好ましい。
を刻設することが好ましい。
［作用コ
前記のように、本発明のウェハ搬送装置では、ウェハを
搬送速度制御手段の壁面に予め当接させながら搬送する
ので、位置決めステージ壁面との衝突は全く起こり得な
い。
搬送速度制御手段の壁面に予め当接させながら搬送する
ので、位置決めステージ壁面との衝突は全く起こり得な
い。
このため、パターン付ウェハに割れや欠は等の損傷が発
生することも皆無となるのでスループットが著しく向上
される。
生することも皆無となるのでスループットが著しく向上
される。
［実施例］
以下、図面を参照しながら本発明のウェハ搬送方式の一
例について更に詳細に説明する。
例について更に詳細に説明する。
第１図は本発明のウェハ搬送装置の一例を示す俺安平面
図である。
図である。
図示されているように、本発明のウェハ搬送装置１は搬
送路３を有する。この搬送路の表面には、従来のものと
同様に、所定の間隔で空気噴き出し孔４が配列されてい
る。搬送路の長平方向の中心線に沿ってウェハ搬送速度
制御手段５のガイド溝７が刻設されている。搬送路の進
行方向終端にはウェハ位置決めステージ９が配設されて
いる。位置決めステージ９のウェハ停正側壁１１は、そ
の中央部が切り欠かれている。この切欠き部１３には前
記ウェハ搬送速度制御手段５が係合される。
送路３を有する。この搬送路の表面には、従来のものと
同様に、所定の間隔で空気噴き出し孔４が配列されてい
る。搬送路の長平方向の中心線に沿ってウェハ搬送速度
制御手段５のガイド溝７が刻設されている。搬送路の進
行方向終端にはウェハ位置決めステージ９が配設されて
いる。位置決めステージ９のウェハ停正側壁１１は、そ
の中央部が切り欠かれている。この切欠き部１３には前
記ウェハ搬送速度制御手段５が係合される。
別法として、ウェハ搬送速度制御手段５は切欠き部１３
を通過することもできる。ウェハ１５は前記搬送速度制
御手段５の側壁に当接された状態で搬送される。かくし
て、ウエノ１１５は全く衝撃を受けることなく停止Ｆ側
壁１１に接触し、直ちに位置決めされる。
を通過することもできる。ウェハ１５は前記搬送速度制
御手段５の側壁に当接された状態で搬送される。かくし
て、ウエノ１１５は全く衝撃を受けることなく停止Ｆ側
壁１１に接触し、直ちに位置決めされる。
第２図に示されるように、ウェハ搬送速度制御手段５の
足部１７はガイド溝７に嵌入されていて、ワイヤー、タ
イミングベルト、エアーシリンダ等の慣用手段により進
退可能に構成されている。速度制御手段５の前進速度は
ウェハの搬送速度と路間−または極僅かに遅い程度が好
ましい。搬送路３の内部には空気噴き出し孔４へ高圧空
気を給送するための空気通路１９が設けられており、こ
の空気通路１９は高圧空気供給手段２１に接続されてい
る。
足部１７はガイド溝７に嵌入されていて、ワイヤー、タ
イミングベルト、エアーシリンダ等の慣用手段により進
退可能に構成されている。速度制御手段５の前進速度は
ウェハの搬送速度と路間−または極僅かに遅い程度が好
ましい。搬送路３の内部には空気噴き出し孔４へ高圧空
気を給送するための空気通路１９が設けられており、こ
の空気通路１９は高圧空気供給手段２１に接続されてい
る。
ウェハ１５が位置決めステージ９から別の処理し程へ移
送された後、ウェハ搬送速度制御手段５はウェハ搬送開
始位置まで戻される。この動作が繰り返される。
送された後、ウェハ搬送速度制御手段５はウェハ搬送開
始位置まで戻される。この動作が繰り返される。
本発明のウェハ搬送装置はパターン付つエノ１の搬送に
特に適しているが、これら以外のウェハも当然搬送でき
る。
特に適しているが、これら以外のウェハも当然搬送でき
る。
［発明の効果］
以り説明したように、本発明のウェハ搬送装置では、ウ
ェハを搬送速度制御手段の壁面に予め当接させながら搬
送するので、位置決めステージ壁面との衝突は全く起こ
り得ない。
ェハを搬送速度制御手段の壁面に予め当接させながら搬
送するので、位置決めステージ壁面との衝突は全く起こ
り得ない。
このため、搬送・位置決めの際にパターン付ウェハに割
れや欠は等の損傷が発生することも皆無となるのでスル
ープットが著しく向上される。
れや欠は等の損傷が発生することも皆無となるのでスル
ープットが著しく向上される。
第１図は本発明のウェハ搬送装置の一例を示す概要゛１
４而図面あり、第２図は第１図における■−■線に沿っ
た断面図であり、第３図は従来の空気搬送方式の装置の
一例を示す概要斜視図である。 １・・・本発明のウェハ搬送装置。 ３・・・搬送路。 ４・・・空気噴き出し孔。 ５・・・ウェハ搬送速度制御手段。 ７・・・ガイド溝。 ９・・・位置決めステージ。 １１・・・ウェハ停止上側壁。 １３・・・切欠き部。 １５・・・ウェハ。 １７・・・ウェハ搬送速度制御り段足部。 １９・・・空気通路。 ２１・・・高圧空気供給手段
４而図面あり、第２図は第１図における■−■線に沿っ
た断面図であり、第３図は従来の空気搬送方式の装置の
一例を示す概要斜視図である。 １・・・本発明のウェハ搬送装置。 ３・・・搬送路。 ４・・・空気噴き出し孔。 ５・・・ウェハ搬送速度制御手段。 ７・・・ガイド溝。 ９・・・位置決めステージ。 １１・・・ウェハ停止上側壁。 １３・・・切欠き部。 １５・・・ウェハ。 １７・・・ウェハ搬送速度制御り段足部。 １９・・・空気通路。 ２１・・・高圧空気供給手段
Claims (3)
- （１）ウェハの進行方向に対して斜め前方に空気を噴き
出すための空気噴き出し孔が穿設された搬送路と、ウェ
ハの搬送速度を制御するためのウェハ搬送速度制御手段
とからなるウェハ搬送装置。 - （２）ウェハは速度制御手段の壁面に当接しながら搬送
される請求項（１）記載のウェハ搬送装置。 - （３）搬送路の縦方向中心線に沿って速度制御手段のガ
イド溝が刻設されている請求項（１）記載のウェハ搬送
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63107300A JPH01278038A (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | ウエハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63107300A JPH01278038A (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | ウエハ搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01278038A true JPH01278038A (ja) | 1989-11-08 |
Family
ID=14455600
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63107300A Pending JPH01278038A (ja) | 1988-04-28 | 1988-04-28 | ウエハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01278038A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100487482B1 (ko) * | 1997-05-28 | 2005-08-05 | 삼성전자주식회사 | 반도체검사설비의웨이퍼이송장치 |
| JP2006210393A (ja) * | 2005-01-25 | 2006-08-10 | Dainippon Printing Co Ltd | 基板加工装置、基板搬送装置、基板制御方法 |
| JP2007182305A (ja) * | 2006-01-06 | 2007-07-19 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置、基板搬送方法及びコンピュータプログラム |
| JP2007281285A (ja) * | 2006-04-10 | 2007-10-25 | Olympus Corp | 基板搬送装置 |
-
1988
- 1988-04-28 JP JP63107300A patent/JPH01278038A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100487482B1 (ko) * | 1997-05-28 | 2005-08-05 | 삼성전자주식회사 | 반도체검사설비의웨이퍼이송장치 |
| JP2006210393A (ja) * | 2005-01-25 | 2006-08-10 | Dainippon Printing Co Ltd | 基板加工装置、基板搬送装置、基板制御方法 |
| JP2007182305A (ja) * | 2006-01-06 | 2007-07-19 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置、基板搬送方法及びコンピュータプログラム |
| JP4594241B2 (ja) * | 2006-01-06 | 2010-12-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置、基板搬送方法及びコンピュータプログラム |
| US7993081B2 (en) | 2006-01-06 | 2011-08-09 | Tokyo Electron Limited | Substrate carrying device, substrate carrying method and computer-readable storage medium |
| US8292549B2 (en) | 2006-01-06 | 2012-10-23 | Tokyo Electron Limited | Substrate carrying device, substrate carrying method and computer-readable storage medium |
| JP2007281285A (ja) * | 2006-04-10 | 2007-10-25 | Olympus Corp | 基板搬送装置 |
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