JP2006256846A - 基板受取装置 - Google Patents

Abstract

【課題】基板の表面傷及び基板端部からの樹脂粉の発生を防止する。
【解決手段】基板受取装置１は、基板５の搬送方向に設けて基板を受取可能な基板受取面７を備えた基板受取テーブル９と、基板受取面上に搬送されてきた基板にエアを吹き出して浮上させるために基板受取面に設けた１又は２以上のエア吹出孔１１と、この該孔１１からのエアで浮上している基板５の端面を搬送方向に直交する第１方向で突き当てて位置決めすべく基板受取テーブルの搬送方向の前方端側に設けられ第１突当基準面１９を有した第１突当部材２１と、基板の他の端面を第１突当基準面に直交する第２方向で突き当てて位置決めすべく基板受取テーブルに設けられ第２突当基準面２３を有した第２突当部材２５と、基板を第１突当基準面と第２突当基準面の両方に突き当てるべく基板受取テーブルを傾斜せしめるテーブル傾斜駆動手段２７と、で構成されている。
【選択図】図１

Description

この発明は、基板受取装置に関し、特にプリント基板製造工程において、基板を製造、加工する装置から搬送された基板を受け取るための基板受取装置に関する。

従来、基板受取装置は、製造・加工後、搬送された基板を受け取るために、吸着パットを利用した吸着搬送による方法、搬送物である基板と搬送体との接面抵抗を利用したベルト搬送による方法、あるいはロールとロールで搬送物である基板を挟み込んで搬送する方法などが採用されている。

例えば、従来の基板受取装置としては、吸着パットを有する引き起こしアームを回転可能に支持し、この引き起こしアームを任意の角度積載可能な引き起こし積載を行う斜め積み積載方式と、平積みを行う水平積載方式と、が備えられており、これらの両方式を切り替えスイッチにより切り替え可能に構成されている。搬送ロールで搬送された基板を受け取る際に、上記の引き起こしアームの吸着パットで保持し、引き起こしアームを回転させる。このアームにより適宜、斜め積載ラックに積載、あるいは切り替えによりにより引き起こしアームが１８０°反転し、水平敷板に段積みする水平積載方式として、基板を受け取る（例えば、特許文献１参照）。

一方、プリント基板は完成品における信頼性の確保の点から表面欠陥仕様に厳しい規定があり、基板表面の傷や樹脂粉などの異物の発生は許されないものである。
特開２００３−４０４４９号公報

ところで、従来の基板受取装置においては、プリント基板の受取りの際に、搬送装置の駆動、停止時にベルトあるいは搬送ローラと基板の接触面との間に発生する接触傷、挟み込みロールに挟み込む際に基板の端部から発生する樹脂粉また挟み込みロールに付着した異物が起因となる押し傷などの表面傷が発生してしまうという問題点があった。

さらに、基板が搬送装置により搬送されるときに基板が平面で斜めに傾いてしまい、そのために例えば、特許文献１の基板受取装置で、引き起こしアームの吸着パットで保持する前に、搬送ロール上で、あるいは他の基板載置面で基板の位置決めを行う必要がある場合は、搬送ロールあるいは基板載置面と基板の接触面との間で接触傷が発生してしまうという問題点があった。

この発明は上述の課題を解決するためになされたものである。

この発明の基板受取装置は、搬送される基板の搬送方向に設けて前記基板を受取可能な基板受取面を備えた基板受取テーブルと、
前記基板受取面上に搬送されてきた基板にエアを吹き出して浮上させるために前記基板受取面に設けた１又は２以上のエア吹出孔と、
このエア吹出孔から吹き出すエアで浮上している前記基板受取面上の基板の端面を前記搬送方向に直交する第１方向で突き当てて位置決めすべく前記基板受取テーブルの前記搬送方向の前方端側に設けられ第１突当基準面を有した第１突当部材と、
前記基板受取面上の基板の他の端面を前記第１突当基準面に直交する第２方向で突き当てて位置決めすべく前記基板受取テーブルに設けられ第２突当基準面を有した第２突当部材と、
前記基板受取面上にエアで浮いている基板を前記第１突当基準面と第２突当基準面の両方に突き当てるべく基板受取テーブルを傾斜せしめるテーブル傾斜駆動手段と、
で構成されていることを特徴とするものである。

この発明の基板受取装置は、前記基板受取装置において、前記エア吹出孔が、前記基板受取面の全体に亘って複数個設けられていることが好ましい。

この発明の基板受取装置は、前記基板受取装置において、前記第２突当部材が、第１突当部材を挟んで両側に設けられていることが好ましい。

この発明の基板受取装置は、前記基板受取装置において、前記テーブル傾斜駆動手段が、基板受取テーブルの４隅に設けて独立して上下駆動する上下動駆動装置であることが好ましい。

以上のごとき課題を解決するための手段から理解されるように、この発明によれば、基板は基板受取テーブルの基板受取面の１又は２以上のエア吹出孔から吹き出すエアにより浮き上がるので、基板が基板受取テーブルの基板受取面に直接接触することがないため、基板の表面に傷が発生したり、基板の端部の樹脂粉が発生したりすることを防止できる。しかも、製品としての基板を所定の位置に揃えることができ、製品歩留りを向上させることができる。

以下、この発明の実施の形態について図面を参照して説明する。

図１及び図２を参照するに、この実施の形態に係る基板受取装置１は、例えばベルトコンベアなどの基板搬送装置３により搬送される基板５の搬送方向の前方に設けられており、上記の搬送される基板５を受取可能な基板受取面７を備えた基板受取テーブル９が設けられている。なお、基板搬送装置３には基板５がベルトコンベア上から落ちないように基板５の搬送方向の左右にガイド部材３Ａ（図５、６参照）が設けられている。

また、前記基板受取面７には前記基板受取面７上の基板５にエアを吹き出して浮上させるために１又は２以上のエア吹出孔１１が基板受取テーブル９の裏面に貫通して設けられている。前記エア吹出孔１１は図１及び図２に示すように、前記基板受取面７の全体に亘って複数個設けられていることが好ましい。

また、前記基板受取面７と反対側の裏面側にはエア吹出孔１１からエアを吹き出させるためのエア貯留室１３が設けられている。このエア貯留室１３はロート状に形成されており、エア貯留室１３の下端中央にはエアを供給するためのエア供給口１５が設けられている。このエア供給口１５には図示しないブロワーなどのエア供給源から供給されるエアを供給するためのエア供給ダクト１７が連通されている。

また、前記基板受取テーブル９には、上記の１又は２以上例えば複数個のエア吹出孔１１から吹き出すエアで浮上している基板受取面７上の基板５の端面を、上記の基板５の搬送方向に直交する第１方向で突き当てて位置決めするための第１突当基準面１９を有する第１突当部材２１が基板５の搬送方向の前方端側に設けられている。

さらに、前記基板受取テーブル９には、エアにより基板受取面７上で浮上している基板５の他の端面を、前記第１突当基準面１９に直交する第２方向で突き当てて位置決めするための第２突当基準面２３を有する第２突当部材２５が設けられている。なお、この実施の形態では、上記の第２突当基準面２３が第１突当基準面１９を挟んで基板受取テーブル９の両側に設けてられており、基板５の搬送方向に対して左右のいずれでも第２突当基準面２３で位置決めできるという点で望ましいが、片側だけであっても構わない。

また、基板受取面７上で浮いている基板５を前記第１突当基準面１９と第２突当基準面２３のいずれか一方、あるいは両方に突き当てるために基板受取テーブル９を傾斜せしめるテーブル傾斜駆動手段２７が設けられている。このテーブル傾斜駆動手段２７としては、基板受取テーブル９の少なくとも３箇所に設けて独立して上下駆動する上下動駆動装置としての例えば油圧シリンダ２９が設けられている。この実施の形態では基板受取テーブル９の４隅に合計４つの油圧シリンダ２９がそれぞれ独立して上下動するように設けられている。なお、上記の油圧シリンダ２９は３つあるいは４つに限定されるのではなく、それ以上であっても構わない。

例えば、上記の油圧シリンダ２９が３つの場合は、図１において第１突当部材２１の第１方向の両側の２つの油圧シリンダ２９（図１の実線のもの）は設けないで、基板受取テーブル９の図１において第１突当部材２１の第１方向の長さのほぼ中央に、図１の二点鎖線に示されているように１つの油圧シリンダ２９を設け、基板５が基板受取テーブル９へ搬送される基板搬入口側の２つの油圧シリンダ２９を設けることができる。

この場合、例えば第１突当部材２１に設けた１つの油圧シリンダ２９による基板受取テーブル９の高さを下降せしめて、説明の便宜上、その高さを−２としたとき、基板搬入口側の２つの油圧シリンダ２９のうちの一方側を上昇せしめて、その高さを＋１とし、他方側を下降せしめて、その高さを−１とすると、第１突当基準面１９と第２突当基準面２３のコーナ部分が低くなるように傾斜せしめることができる。

また、基板受取装置１の近傍には、上記の基板受取面７で位置決めされた基板５を取り出して他の場所へ移送するための基板取出装置としての例えば吸着パット３１を備えたロボットアーム３３が上下動並びに左右方向に移動自在に設けられている。

上記構成により、基板搬送装置３により搬送された基板５が、その搬送方向の前方に設けられている基板受取装置１の基板受取テーブル９の基板受取面７へ移送される直前に、予め、エア貯留室１３にはエア供給源からエアが供給されており、エア貯留室１３のエアが基板受取面７の全面に亘って設けた複数個のエア吹出孔１１から基板受取面７の上方に向けて吹き出される。このときの基板受取面７はほぼ水平の状態となっている。

この状態で、図１及び図５に示されているように、基板搬送装置３により搬送された基板５が基板受取面７へ移送されると、図３に示されているように基板５が複数個のエア吹出孔１１からのエアにより基板受取面７から浮上した状態でエア上を滑るようにして図５の二点鎖線で示されているように搬送方向前方へ移動することになる。このとき、図５の実線で示されているように、基板５が基板搬送装置３の上で搬送方向に対して斜めに傾きながら移動することもあり、あるいは、基板５が基板搬送装置３の上で搬送方向に対してほぼ真直ぐな状態で移動することもある。また、基板受取面７の上では、基板５が平面で搬送方向に対して斜めに傾きながら移動することもあり、あるいはそのままの状態で移動することもある。

次いで、例えば、図５の例では、基板受取テーブル９の４つの油圧シリンダ２９のうちの左上と右下の油圧シリンダ２９による基板受取テーブル９の高さはそのままで、説明の便宜上、その高さを０（ゼロ）としたとき、右上の油圧シリンダ２９による基板受取テーブル９の高さを上昇せしめてその高さを＋１とし、左下の油圧シリンダ２９による基板受取テーブル９の高さを下降せしめてその高さを−１とする。

すると、図４に示されているように、基板受取面７は基板受取テーブル９の図５において左下が下降する方向に斜めになるので、基板受取面７から浮上している状態の基板５は、図５において二点鎖線から実線へとエア上を滑るようにして移動し、基板５の搬送方向前方側の端面が第１突当基準面１９に突き当てられると共に基板５の搬送方向右側（図５において左側）の端面が、図５において左側の第２突当基準面２３に突き当てられる。すなわち、第１突当基準面１９と第２突当基準面２３の両方で位置決めされる。このときも、基板５はエアにより基板受取面７から浮上している状態である。

次いで、図１に示されているロボットアーム３３が移動して吸着パット３１により基板受取面７上の基板５を吸着して取り出し、次工程の他の場所へ搬出する。

以上のように、基板５は基板受取テーブル９の基板受取面７に直接接触することがないので、基板５の表面の傷が発生したり、基板５の端部の樹脂粉が発生したりすることを防止できる。しかも、製品としての基板５を所定の位置に揃えることができ、製品の歩留りを向上させることができる。

図６を参照するに、他の例について説明すると、ここでは基板受取装置１が図５と同様の構成であるが、基板受取面７の傾く方向が異なっている。すなわち、基板受取テーブル９の４つの油圧シリンダ２９のうちの右上と左下の油圧シリンダ２９による基板受取テーブル９の高さはそのままで、その高さを０（ゼロ）としたとき、左上の油圧シリンダ２９による基板受取テーブル９の高さを上昇せしめてその高さを＋１とし、右下の油圧シリンダ２９による基板受取テーブル９の高さを下降せしめてその高さを−１とする。

すると、基板受取面７は基板受取テーブル９の図６において右下が下降する方向に斜めになるので、基板受取面７から浮上している状態の基板５は、二点鎖線から実線へとエア上を滑るようにして移動し、基板５の搬送方向前方側の端面が第１突当基準面１９に突き当てられると共に基板５の搬送方向左側（図６において右側）の端面が、図６において右側の第２突当基準面２３に突き当てられる。すなわち、第１突当基準面１９と第２突当基準面２３の両方で位置決めされる。このときも、基板５はエアにより基板受取面７から浮上している状態である。

その後、基板５はロボットアーム３３の吸着パット３１で吸着されて次工程へ搬出される。なお、このときの効果は、上記の図５について説明したのと同様である。

なお、基板５が基板搬送装置３の上で搬送方向に対してほぼ真直ぐな状態で移動し、基板受取面７の上では、平面でそのままの状態で移動して、基板５の前方端面が第１突当基準面１９に突き当った場合は、例えば、図５において左上と左下の油圧シリンダ２９による基板受取テーブル９の高さがそのままで、その高さを０（ゼロ）とし、図５において右上と右下の油圧シリンダ２９による基板受取テーブル９の高さを上昇せしめてその高さを＋１とすれば、基板５は図５において左下側のコーナの第１突当基準面１９と第２突当基準面２３に突き当たって位置決めされる。その逆に、図６において右上と右下の油圧シリンダ２９による基板受取テーブル９の高さがそのままで、その高さを０（ゼロ）とし、図６において左上と左下の油圧シリンダ２９による基板受取テーブル９の高さを上昇せしめてその高さを＋１とすれば、基板５は図６において右下側のコーナの第１突当基準面１９と第２突当基準面２３に突き当たって位置決めされる。

前記複数個のエア吹出孔１１における径、ピッチおよびエア圧力等は、前記基板５の大きさおよび重量によって適宜決められる。しかも、基板受取面７に接触せず、基板受取面７上より浮上せしめればよいものである。

なお、この発明は前述した実施の形態に限定されることなく、適宜な変更を行うことによりその他の態様で実施し得るものである。

この実施の形態ではテーブル傾斜駆動手段として基板受取テーブル９の４隅に上下動駆動装置としての例えば油圧シリンダ２９を設けたことを例にとって説明したが、その他のテーブル傾斜駆動手段であっても構わない。

例えば、テーブル傾斜駆動手段としては、基板受取テーブル９を回転可能とする回転軸が基板受取テーブル９の第１突当基準面１９と第２突当基準面２３を含む直角三角形の斜辺となる線上に設けられ、基板受取テーブル９を上下駆動する上下動駆動装置としての例えば油圧シリンダ２９が上記の回転軸の軸線上の付近を除く他の箇所に設けられても構わない。

この場合、上記の回転軸による基板受取テーブル９の高さはそのままで、油圧シリンダ２９による基板受取テーブル９の高さを上昇せしめて、第１突当基準面１９と第２突当基準面２３のコーナ部分が低くなるように傾斜せしめることができる。

また、他のテーブル傾斜駆動手段としては、基板受取テーブル９の外周側縁の１箇所に、例えば基板受取テーブル９の前方端縁側に第１方向の長さのほぼ中央に、前記基板受取テーブル９を多方向に傾斜自在とするフレキシブルの自在継ぎ手を設け、この自在継ぎ手の位置に対向する他の２箇所に、例えば基板５が基板受取テーブル９へ搬送される基板搬入口側に、前記基板受取テーブル９を上下駆動する２つの上下動駆動装置としての例えば油圧シリンダ２９を設けて構成しても構わない。

この場合、上記の自在継ぎ手による基板受取テーブル９の高さはそのままで、その高さを０（ゼロ）としたとき、基板受取テーブル９の基板搬入口側の油圧シリンダ２９による基板受取テーブル９の高さを一方側を上昇せしめると共に他方側の油圧シリンダ２９による基板受取テーブル９の高さをさらに上昇せしめて第１突当基準面１９と第２突当基準面２３のコーナ部分が低くなるように傾斜せしめることができる。

この発明の実施の形態の基板受取装置の斜視図である。 図１の矢視ＩＩ−ＩＩ線の断面図である。 この発明の実施の形態の動作を説明する矢視ＩＩ−ＩＩ線の断面図である。 この発明の実施の形態の動作を説明する矢視ＩＩ−ＩＩ線の断面図である。 この発明の実施の形態の動作を説明する平面図である。 この発明の実施の形態の動作を説明する平面図である。

符号の説明

１ 基板受取装置
３ 基板搬送装置
３Ａ ガイド部材
５ 基板
７ 基板受取面
９ 基板受取テーブル
１１ エア吹出孔
１３ エア貯留室
１５ エア供給口
１７ エア供給ダクト
１９ 第１突当基準面
２１ 第１突当部材
２３ 第２突当基準面
２５ 第２突当部材
２７ テーブル傾斜駆動手段
２９ 油圧シリンダ（上下動駆動装置）
３１ 吸着パット
３３ ロボットアーム

Claims (4)

1. 搬送される基板の搬送方向に設けて前記基板を受取可能な基板受取面を備えた基板受取テーブルと、
   前記基板受取面上に搬送されてきた基板にエアを吹き出して浮上させるために前記基板受取面に設けた１又は２以上のエア吹出孔と、
   このエア吹出孔から吹き出すエアで浮上している前記基板受取面上の基板の端面を前記搬送方向に直交する第１方向で突き当てて位置決めすべく前記基板受取テーブルの前記搬送方向の前方端側に設けられ第１突当基準面を有する第１突当部材と、
   前記基板受取面上の基板の他の端面を前記第１突当基準面に直交する第２方向で突き当てて位置決めすべく前記基板受取テーブルに設けられ第２突当基準面を有する第２突当部材と、
   前記基板受取面上にエアで浮いている基板を前記第１突当基準面と第２突当基準面の両方に突き当てるべく基板受取テーブルを傾斜せしめるテーブル傾斜駆動手段と、
   で構成されていることを特徴とする基板受取装置。
2. 前記エア吹出孔が、前記基板受取面の全体に亘って複数個設けられていることを特徴とする請求項１記載の基板受取装置。
3. 前記第２突当部材が、第１突当部材を挟んで両側に設けられていることを請求項１又は２記載の基板受取装置。
4. 前記テーブル傾斜駆動手段が、基板受取テーブルの４隅に設けて独立して上下駆動する上下動駆動装置であることを特徴とする請求項１〜３のいずれに記載の基板受取装置。
   
   

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