JP4623443B2 - 浮上搬送装置における被搬送物制動装置 - Google Patents
浮上搬送装置における被搬送物制動装置 Download PDFInfo
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また、何等かの原因によって被搬送物が所定の停止位置にまで達せずに停止してしまうような事態が生じたときは、停止位置修正のための適宜の手段が必要となる。
制動ローラ9及びその支持体7の第1の例を図3A,図4Aに示す。搬送路6の側端縁6aに設けたローラ支持体7はコ字状をなしコ字状に上下に岐出したアームにより支軸8を回転自在に支持している。支軸8は支持体7に垂直に起立したまま支持体7が搬送路6の中心方向に向け移動することにより、搬送路6の対向する側端縁に設けられている制動ローラ9,9の間隔を狭くし、その間に被搬送物10をニップすることを可能としている。 上記の被搬送路両側端縁6aの対向する制動ローラ9,9の搬送路6中心方向への移動は同期して行うのが望ましいが、完全に一致する必要はない。
制動ローラは被搬送物10の両側端縁10a,10aに同時に当接するべきであるが、必しも完全に一致させる必要はない。
ローラ支持体7にローラ支軸8を立てる。ローラ支軸8は、ローラ支持体7に支点17を設け、図示の如く支点17を中心として搬送路6側に倒れることが出来るよう揺動自在に支持されている。支軸8の支点17より下部には支軸8の上部を搬送路中心方向に向け揺動するよう付勢するスプリング20と、支軸8の上部を搬送路外側方向に向け揺動するよう付勢するスプリング21とが設けられそれぞれソレノイド22,23の作動時に牽引されるようにしている。
上記電気的手段による場合、制動ローラ9が被搬送物側端縁10aに接した状態において被搬送物10の制動等を行なわねばならないから、被搬送物10に対し制動ローラ9が接しているか否かを例えばローラ支持体7の位置或いは軸8の倒れ角によって知り、それを制御回路16又は24に入力する必要があり、また、被搬送物位置検知手段25の位置も決めた上で制動作用を行なわせるものとする。
本発明浮上搬送装置1は、ファン3を回転することにより外気をファンフィルターユニット2の函体4内に取り込み、外気をヘパフィルター5により清浄空気化しヘパフィルター5上面の搬送路6に吹き出す。この際ヘパフィルター5は清浄空気の吹き出し方向を特定することにより、ヘパフィルター5上面の搬送路6に位置する板状の被搬送物10を搬送路6上に持ち上げると共に搬送方向に押しやり搬送路6上を浮上状態で移動する。この際、被搬送物10の進行方向両側端縁10a,10aは、搬送路6の両側に設けられた制動ローラ9,9と対峙することになり、もし被搬送物10の進行方向が右又は左に揺れた場合には左右いずれかのローラと接してガイドされ搬送路6上を浮上状態で移動する。
被搬送物10は板状体よりなっており、その表裏面に制動手段を触れることなく停止させるために、被搬送物10の両側端縁10a,10aに搬送路6の両側に設けた制動ローラ9,9を接触させて被搬送物10を減速させる。
また、逆に制動ローラ9で被搬送物10をニップした状態で制動ローラ9を極少ない回転で所定位置に搬送することも可能である。
2 ファンフィルターユニット
3 ファン
4 函体
5 ヘパフィルター
6 搬送路
6a 搬送路側端縁
7 ローラ支持体
8 支軸
9 ローラ
10 被搬送物
10a 被搬送物端縁
11 ガイド部材
12,13,20,21 スプリング
14,15,22,23 ソレノイド
16,24 制御回路
17 支点
25 被搬送物位置検知手段
Claims (1)
- 半導体ウエハー或いは液晶ガラスよりなる板状体の被搬送物を浮上搬送する装置であって、被搬送物下位の搬送路に、被搬送物支持手段として前記搬送路に清浄空気を吹き出すファンフィルターユニット及び、搬送方向に添う複数位置に被搬送物位置検知手段を設け、かつ、搬送路の両側縁それぞれに制動ローラを被搬送物側端縁と対向するよう直立して、対向する搬送路側縁の制動ローラ同志をその対向間隔を変更し得るよう、ローラ支持体に支持してなり、予め選定された被搬送物位置検知手段が被搬送物を検知した際に、前記制動ローラ同志の対向間隔を変更させ被搬送物と制動ローラとを当接し被搬送物を制動することを特徴とする浮上搬送装置における被搬送物制動装置。
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