KR100743466B1

KR100743466B1 - 기판 이송 장치용 기판 감지 장치

Info

Publication number: KR100743466B1
Application number: KR1020010031054A
Authority: KR
Inventors: 이진환; 이기우
Original assignee: 주식회사 케이씨텍
Priority date: 2001-06-04
Filing date: 2001-06-04
Publication date: 2007-07-30
Also published as: KR20020094209A

Abstract

본 발명은 액정 표시 장치의 글래스 기판 등과 같은 기판의 제조 공정에서 공정 및 기판의 이송을 제어하기 위하여 이송되는 기판을 감지하는 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 기판 감지 장치는, 기판 이송 장치에 의해 이송되는 기판(B)의 일측 가장자리에 접촉되는 롤러(220)를 가지며, 롤러가 기판의 가장자리에 접촉될 때 수직 축선을 중심으로 회전되는 회전 부재(210); 롤러가 기판과의 접촉 상태로부터 벗어날 때 회전 부재를 원래 위치로 복귀시키기 위한 복귀부; 및 회전 부재의 회전을 검출하는 자기 센서(250)를 포함한다. 복귀부는 상단이 회전 부재의 타단에 힌지 결합되고 상하 방향을 따라 장공(232)이 형성된 추(230)와, 회전 부재의 반경 방향으로 추의 장공에 삽입되어 회전 부재가 회전될 때 추의 무게 중심이 추의 상단과 반대 방향으로 이동되게 하는 안내핀(240)을 가진다. 자기 센서는 추의 무게 중심의 이동을 통해 회전 부재의 회전을 검출하도록 추의 아래에 위치된다.

LCD, PDP, 기판, 이송, 감지, 센서

Description

기판 이송 장치용 기판 감지 장치{Apparatus for detecting a panel in a panel carrier}

도 1은 종래의 기판 감지 장치가 기판 이송 장치의 일측에 설치된 상태를 도시한 측면도.

도 2a 및 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 감지 장치가 기판 이송 장치의 일측에 설치된 상태를 도시한 정면도.

도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 감지 장치의 작용을 설명하기 위한 사시도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

210 : 회전 부재 220 : 롤러

230 : 추 240 : 안내핀

250 : 자기 센서 B : 기판

본 발명은 액정 표시 장치의 글래스 기판 등과 같은 기판을 이송하기 위한 장치에 관한 것이며, 보다 구체적으로는 공정 및 기판의 이송을 제어하기 위하여 이송되는 기판을 감지하는 장치에 관한 것이다.

액정 표시 장치의 글래스 기판이나 반도체 웨이퍼의 기판 등과 같은 기판을 제조할 때, 기판은 기판 이송 장치에 의해 한 공정으로부터 다른 공정으로 이송된다.

여기서, 각 공정에서의 작업 및 공정 사이에서의 기판 이송이 원활하게 이루어질 수 있도록 이송되는 기판의 이송 시점과 위치를 정확하게 파악하는 것이 필요하다. 이를 위하여, 기판의 이송 시점과 위치를 감지하기 위한 기판 감지 장치가 기판 이송 장치의 적소에 설치되어 있다.

이러한 종래의 기판 감지 장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 기판 이송 장치(10)를 따라 이송되는 기판(B)의 이송 경로 아래에 설치되어 있다. 수평축을 중심으로 회전가능한 수직 부재(22)의 상단에는 기판(B)의 저면과 접촉되는 롤러(24)가 회전가능하게 설치되어 있고, 수직 부재(22)의 하단에는 추(26)가 달려 있다. 추(26)의 아래에는 자기 센서(28, magnetic sensor)가 설치되어 이다. 수직 부재(22) 및 자기 센서(28)는 프레임(21)에 의해 지지되고 있다.

기판 이송 장치(10)를 따라 이송되는 기판(B)이 기판 감지 장치가 설치된 위치를 통과할 때, 기판(B)은 그 저면이 롤러(24)를 밀면서 이송된다. 이에 따라 수직 부재(22)가 회전되며, 수직 부재(22)의 하단에 달린 추(26)는 후측 상방으로 선회된다. 추(26)가 후측 상방으로 선회되는 것에 의해 자기 센서(28)에 자기장의 변화가 발생되며, 그 결과 기판(B)이 기판 감지 장치가 설치된 위치에 도달한 것이 감지된다.

기판(B)이 기판 감지 장치를 통과하면, 기판(B)의 저면에 의해 롤러(24)에 가해지던 힘이 제거된다. 이에 따라, 수직 부재(22)는 추(26)의 무게에 의해 원래 상태로 복귀되며, 이때 자기 센서(28)에 발생되는 자기장의 변화에 의해 기판(B)이 기판 감지 장치를 통과한 것이 검출된다.

한편, 기판의 제조 공정들 중에는 기판의 표면에 기계적인 또는 화학적인 처리를 가하는 공정들이 있으며, 처리된 기판의 표면을 깨끗하게 세정하는 공정이 수반된다.

그런데, 상술한 바와 같이, 상기와 같은 종래의 기판 감지 장치는 기판이 이송되는 기판 이송 장치의 아래에 설치되어 있다. 따라서, 롤러가 기판의 저면에 접촉되기 때문에, 기판의 저면이 롤러와 접촉될 때 기판의 저면에 롤러 자국이 발생될 수 있으며, 기판의 저면과 롤러의 마찰에 의해 파티클(particle)이 발생될 수 있다. 이에 따라 기판의 저면이 롤러에 의해 오염될 수 있으며, 이는 기판의 세정 공정에서 특히 문제가 된다.

또한, 기판 감지 장치가 기판 이송 장치의 아래에 위치되어 있으므로, 기판 감지 장치를 정확하게 정렬하고 유지보수하는 것이 어려운 단점이 있다.

본 발명은, 상기와 같은 점을 감안하여 안출된 것으로, 롤러에 의한 기판의 오염을 방지할 수 있는 기판 이송 장치용 기판 감지 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 기판 감지 장치는, 기판 이송 장치에 의해 이송되는 기판의 일측 가장자리에 접촉되는 롤러를 가지며, 롤러가 기판의 가장자리에 접촉될 때 수직 축선을 중심으로 회전되는 회전 부재; 롤러가 기판과의 접촉 상태로부터 벗어날 때 회전 부재를 원래 위치로 복귀시키기 위한 복귀부; 및 회전 부재의 회전을 검출하는 자기 센서를 포함한다.

복귀부는 상단이 회전 부재의 타단에 힌지 결합되고 상하 방향을 따라 장공이 형성된 추와, 회전 부재의 반경 방향으로 추의 장공에 삽입되어 회전 부재가 회전될 때 추의 무게 중심이 추의 상단과 반대 방향으로 이동되게 하는 안내핀을 가진다.

자기 센서는 추의 무게 중심의 이동을 통해 회전 부재의 회전을 검출하도록 추의 아래에 위치된다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 감지 장치는 도 2a 및 2b에 도시된 바와 같이, 기판 이송 장치의 옆에 설치되어 있다. 또한, 도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 감지 장치를 도시한 사시도이다.

도 2a 내지 도 3a에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 감지 장치는 롤러(220)가 설치된 회전 부재(210)와, 회전 부재(210)를 원래 위치로 복귀시키기 위한 복귀부와, 자기 센서(250)를 포함하고 있으며, 회전 부재(210)와 복귀부와 자기 센서(250)는 대략 'U' 형상의 프레임(260)에 지지되어 있다.

회전 부재(210)는 수직축(212)을 중심으로하여 수평면 상에서 회전가능하게 프레임(260)의 일측벽 상면에 설치되어 있다. 회전 부재(210)의 일단에는 롤러(220)가 회전가능하게 설치되어 있으며, 이 롤러(220)는 기판(B)의 일측 가장자리에 접촉되도록 수직축(212)을 중심으로 회전가능하다.

복귀부는 추(230)와 안내핀(240)을 가지고 있다. 추(230)는 회전 부재(210)의 길이 방향 축선을 중심으로 선회가능하도록 회전 부재(210)의 타단에 그 상단이 힌지 결합되어 있다. 그리고, 추(230)의 중앙부에는 프레임(260)의 타측벽과 대향하는 장공(232)이 상하로 길게 형성되어 있다. 또한, 추(230)의 무게 중심은 하부에 집중되어 있다. 안내핀(240)은 프레임(260)의 타측벽으로부터 추(230)의 장공(232)을 관통하도록 연장하고 있다. 바람직하게는, 안내핀(240)과 추(230)의 장공(232) 내주면과의 마찰로 인한 파티클 발생을 저감시키기 위한 부싱(미도시)이 안내핀(240)의 둘레로 끼워진다. 부싱의 재질로서 예를 들어 폴리프로필렌이 사용될 수 있다.

자기 센서(250)는 추(230)의 아래에서 프레임(260)의 양측벽에 고정되어 있다.

이송되는 기판(B)이 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 감지 장치를 통과할 때, 기판(B)은 일측 가장자리, 즉 그 측면이 롤러(220)에 접촉되어 롤러(220)를 전방으로 민다. 바람직하게는, 기판(B)과 롤러(220)가 접촉될 때 발생되는 충격이 저감되고 및 날카로운 기판에 의한 긁힘이 줄어들도록 롤러(220)와 기판(B)은 대략 5 ∼70°, 바람직하게는 60°로 경사지게 접촉된다.

롤러(220)가 전방으로 밀리는 것에 의해 회전 부재(210)는 타단이 후방으로 이동되도록 회전된다. 이에 따라, 회전 부재(210)의 타단에 힌지 결합된 추(230)도 회전 부재(210)의 타단과 함께 후방으로 이동된다. 그런데, 안내핀(240)이 추(230)의 장공(232)에 삽입되어 있으므로 추(230)의 하부는 회전 부재(210)의 타단을 따라 후방으로 이동되지 않고, 안내핀(240)을 중심으로 하여 전방 상측으로 이동된다. 즉, 추(230)의 무게 중심이 약간 상방으로 들어올려진다(도 3b 참조).

이와 같은 추(230)의 이동에 의해 추(230)의 아래에 설치된 자기 센서(250)에 자기장의 변화가 발생됨으로써, 기판(B)이 기판 감지 장치가 설치된 위치에 도달한 것이 감지된다.

한편, 기판(B)이 기판 감지 장치를 완전히 통과하면, 기판(B)의 가장자리에 의해 롤러(220)에 가해지던 힘이 제거된다. 이에 따라, 무게 중심이 상방으로 들어올려진 추(230)가 중력에 의해 원래 위치로 복귀되고, 추(230)의 상단이 연결된 회전 부재(210)도 도 3a에 도시된 바와 같이, 원래 위치로 복귀된다. 이 과정에서 추(230)의 이동에 이해 자기 센서(250)에 자기장의 변화가 발생됨으로써, 기판(B)이 기판 감지 장치를 통과한 것이 감지된다.

상기된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 감지 장치는 롤러가 기판에서 사용되지 않는 기판의 일측 가장자리, 즉 측면에 접촉된다. 따라서, 롤러가 기판의 저면에 접촉되지 않으므로 기판이 롤러에 의해 오염되는 것을 방지할 수 있 는 장점이 있으며, 그 결과 기판의 수율이 향상된다. 또한, 기판 감지 장치가 기판 이송 장치의 측부에 위치되어 있으므로, 기판 감지 장치를 정확하게 정렬하고 유지 보수하는 것이 매우 용이한 장점도 있다.

이상에서는, 본 발명을 특정의 바람직한 실시예에 대해서 도시하고 설명하였다. 그러나, 본 발명은 상술한 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상의 요지를 벗어남이 없이 얼마든지 다양하게 변경실시할 수 있을 것이다.

Claims

기판 이송 장치에 의해 이송되는 기판의 일측 가장자리에 접촉되는 롤러를 가지며, 상기 롤러가 기판의 가장자리에 접촉될 때 수직 축선을 중심으로 회전되는 회전 부재;

상기 롤러가 기판과의 접촉 상태로부터 벗어날 때 상기 회전 부재를 원래 위치로 복귀시키기 위한 수단; 및

상기 회전 부재의 회전을 검출하는 자기 센서를 포함하는 기판 감지 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 복귀 수단은 상단이 상기 회전 부재의 타단에 힌지 결합되고 상하 방향을 따라 장공이 형성된 추와, 상기 회전 부재의 반경 방향으로 상기 추의 장공에 삽입되어 상기 회전 부재가 회전될 때 상기 추의 무게 중심이 상기 추의 상단과 반대 방향으로 이동되게 하는 안내핀을 가지는 기판 감지 장치.
제 2 항에 있어서, 상기 자기 센서는 상기 추의 무게 중심의 이동을 통해 상기 회전 부재의 회전을 검출하도록 상기 추의 아래에 위치되는 기판 감지 장치.