KR20150076807A - 기판 처리 장치 및 기판 이송 감지 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판의 이송 여부를 감지하는 센서를 구비하는 기판 처리 장치 및 기판 이송 감지 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치는, 기판이 이송되는 제1 방향을 따라 나란하게 배열되며, 기판의 하면과 접촉되는 다수의 롤러가 설치된 회전가능한 복수의 이송 샤프트를 갖는 이송 유닛과, 상기 이송 유닛의 일측에 상부에서 바라볼 때 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 설치되어, 이송되는 기판을 감지하는 감지 센서를 포함하되, 상기 감지 센서는, 몸체와, 상기 몸체의 내부에 수직축을 중심으로 수평 방향으로 회동 가능하게 설치되고, 일단에 자석을 갖는 수평 회동 부재와, 이송되는 기판 측으로 상기 수평 회동 부재의 타단에 설치되어 이송되는 기판과 접촉하여 회전되는 수평 롤러와, 상기 몸체에 배치되어 상기 자석과의 상호작용으로 발생된 척력으로 상기 수평 회동 부재를 회동 상태에서 정지 상태로 복귀시키는 자성체와, 상기 수평 회동 부재의 일단에서 이격되어 상기 몸체에 배치되는 자기센서를 포함하고, 기판이 상기 수평 롤러에 접촉되는 경우 상기 수평 회동 부재는 정지 상태에서 수평 방향으로 회동한다.

Description

기판 처리 장치 및 기판 이송 감지 방법{apparatus for treating substrate and method for sensing substrate transfer}

본 발명은 기판 처리 장치 및 기판 이송 감지 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판의 이송 여부를 감지하는 센서를 구비하는 기판 처리 장치 및 기판 이송 감지 방법에 관한 것이다.

액정 디스플레이와 플라즈마 디스플레이와 같은 디스플레이 장치에는 평판형 글라스 기판이 일반적으로 사용된다. 이러한 평판 기판에 대한 여러 가지 처리 공정을 차례로 진행하는 경우에 기판은 처리실간에 이송된다. 이 경우 처리실간 기판의 이송 여부를 감지하기 위해 진자 센서가 이용되는 것이 종래이다.

그러나, 종래의 진자 센서는 처리실 내부의 중앙 또는 조작측에 수직으로 설치되어 글라스 반송시 기판을 감지한다. 즉, 글라스 감지 센서를 수직으로 설치하며 별도의 세팅용 지그(jig)를 이용한다. 이러한 세팅 불량시 글라스 파손 또는 미감지로 정상적인 프로세스가 진행되지 않고, 특히 경사반송 구조에는 각도에 맞게 추가 조정을 해야하는 번거로움이 있었다.

또한, 종래 글라스 반송 감지 센서는 수직으로 설치하여 글라스와 센서 간에 별도로 높이 세팅을 한다. 센서의 세팅 높이에 따라 글라스의 파손 또는 미감지로 인한 공정불량이 발생하는 문제가 있었다.

본 발명은 설치가 용이하면서도 기판의 이송 여부를 양호하게 감지할 수 있는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 기판의 파손 또는 기판 이송의 미감지로 인한 공정 불량이 발생하는 것을 방지하는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위해 본 발명은 기판 처리 장치를 제공한다. 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치는, 기판이 이송되는 제1 방향을 따라 나란하게 배열되며, 기판의 하면과 접촉되는 다수의 롤러가 설치된 회전가능한 복수의 이송 샤프트를 갖는 이송 유닛과, 상기 이송 유닛의 일측에 상부에서 바라볼 때 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 설치되어, 이송되는 기판을 감지하는 감지 센서를 포함하되, 상기 감지 센서는, 몸체와, 상기 몸체의 내부에 수직축을 중심으로 수평 방향으로 회동 가능하게 설치되고, 일단에 자석을 갖는 수평 회동 부재와, 이송되는 기판 측으로 상기 수평 회동 부재의 타단에 설치되어 이송되는 기판과 접촉하여 회전되는 수평 롤러와, 상기 몸체에 배치되어 상기 자석과의 상호작용으로 발생된 척력으로 상기 수평 회동 부재를 회동 상태에서 정지 상태로 복귀시키는 자성체와, 상기 수평 회동 부재의 일단에서 이격되어 상기 몸체에 배치되는 자기센서를 포함하고, 기판이 상기 수평 롤러에 접촉되는 경우 상기 수평 회동 부재는 정지 상태에서 수평 방향으로 회동한다.

일 예에 의하면, 상기 자성체는, 상기 수평 회동 부재의 회동 운동의 전후 방향에 각각 배치된 제1 자석과 제2 자석을 포함한다.

일 예에 의하면, 상기 제1 자석 및 상기 제2 자석은, 상기 수평 회동 부재의 일단에 구비된다.

또한, 본 발명은 기판 이송 감지 방법을 제공한다. 본 발명의 일실시예에 따른 기판 감지 방법은, 일단에 자석을 갖는 수평 회동 부재의 타단에 설치된 수평 롤러가 이송되는 기판과 접촉하여 상기 수평 회동 부재가 수평 방향으로 회동하고, 상기 수평 회동 부재의 측부에 배치된 자기센서가 상기 자석의 움직임에 따른 자기의 변화를 감지하여 기판의 이송 여부를 센싱하며, 수평 회동시 상기 수평 회동 부재에 자기적 척력을 작용시켜 상기 수평 회동 부재를 초기의 수평 정지 상태로 복원시킨다.

일 예에 의하면, 상기 자기적 척력은 상기 수평 회동 부재의 수평 회동의 전후 방향에서 작용한다.

본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치 및 기판 이송 감지 방법은 설치가 용이하면서도 기판의 이송 여부를 양호하게 감지할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치 및 기판 이송 감지 방법은 기판의 파손 또는 기판 이송의 미감지로 인한 공정 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 전술한 발명의 내용과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치의 개략적인 모습을 도시한 측면도이다.
도 2는 도 1의 기판 처리 장치의 사시도이다.
도 3은 도 2의 수평 회동 부재가 회동하는 모습을 보여주는 도면이다.

이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 처리 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다. 따라서 도면에서의 도시된 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장된 것이다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 장치의 개략적인 모습을 도시한 측면도이고, 도 2는 도 1의 기판 처리 장치의 사시도이고, 도 3은 도 2의 수평 회동 부재가 회동하는 모습을 보여주는 도면이다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 기판 처리 장치(10)는 이송 유닛(100)과 감지 센서(200)를 포함한다.

이송 유닛(100)은 이송 샤프트(140)를 갖는다. 이송 샤프트(140)는 기판(S)이 이송되는 제1 방향(D1)을 따라 서로 나란하게 이격되어 복수개가 배열된다. 각각의 이송 샤프트(140)의 외주면에는 그 길이 방향을 따라 다수의 롤러(120)가 설치된다. 롤러(120)는 이송 샤프트(140)에 균등한 간격으로 배치될 수 있다. 롤러(120)는 이송 샤프트(140)에 고정결합된다. 이송 샤프트(140)는 그 중심축을 기준으로 구동부에 의해 회전된다. 이송 샤프트(140)가 회전하면 복수의 롤러(120)도 함께 회전한다. 구동부에 의해 이송 샤프트(140)와 롤러(120)가 회전되면, 기판(S)은 그 하면이 롤러(120)에 접촉된 상태로 이송 샤프트(140)를 따라 직선 이동된다.

감지 센서(200)는 이송되는 기판(S)을 감지한다. 감지 센서(200)는 이송 유닛(100)의 일측에 상부에서 바라볼 때 제1 방향(D1)과 수직한 제2 방향(D2)으로 설치된다.

감지 센서(200)는 몸체(210), 수평 회동 부재(220), 수평 롤러(230), 자성체(240), 그리고 자기센서(250)를 포함한다.

몸체(210)에는 감지 센서(200)의 각 구성 요소들이 설치된다. 몸체(210)는 일측면이 개구된 직육면체 형상으로 제공될 수 있다. 몸체(210)의 하부에는 결합부재(260)가 배치된다. 결합부재(250)는 이송 샤프트(140)의 일단이 위치되는 프레임(미도시)상에 결합되어 몸체(210)가 프레임상에 설치될수 있도록 한다.

도 3에 도시된 바와 같이, 수평 회동 부재(220)는 몸체(210)의 내부에 수직축(222)을 중심으로 수평 방향으로 회동 가능하게 설치된다. 수평 회동 부재(220)의 일단에는 자석(224)을 갖는다. 자석(224)은 수평 회동 부재(222)의 일단의 양측면에 각각 배치될 수 있다. 또한, 자석(224)은 수평 회동 부재(222)의 일단에 삽입되어 양측면이 외부로 드러나게 위치될 수도 있다.

수평 롤러(230)는 이송되는 기판(S) 측으로 수평 회동 부재(220)의 타단에 설치된다. 도 1을 참조하면, 수평 롤러(230)는 이송되는 기판(S)과 접촉하여 회전된다. 수평 롤러(230)는 먼저 이송되는 기판(S)의 정면과 접촉된 후, 점점 기판(S)이송됨에 따라 수평 회동 부재(22)가 수평 회전과 동시에 기판(S)의 측면과 접촉되면서 회전한다. 수평 롤러(230)는 이송되는 기판(S)과 접촉되는 부분의 폭을 넓게 형성한다. 이는 수평 롤러(230)와 기판(S)의 접촉을 용이하게 하여 감지 센서(200)의 성능을 향상시키기 위함이다.

자성체(240)는 수평 회동 부재(220)에 위치되는 자석(240)과 대응되도록 몸체(210)의 양 측벽에 배치된다. 즉, 자성체(240)는 제1 자석(241)과 제2 자석(242)을 포함한다. 도시된 바와 같이, 제1 자석(241)과 제2 자석(242)은 수평 회동 부재(220)의 회동 운동의 전후 방향에 각각 배치된다. 자성체(240)는 자석(240)과의 상호작용으로 발생된 척력으로 수평 회동 부재를 회동 상태(S2)에서 정지 상태(S1)로 복귀시킨다. 따라서, 제1 자석(241) 및 제2 자석(242)은 수평 회동 부재(220)의 일단에 구비되는 자석(224)의 극성과 동일한 극성을 갖도록 배치된다.

자기센서(250)는 수평 회동 부재(220)의 일단에서 이격되어 몸체(210)에 배치된다. 도 3을 참조하면, 수평 회동 부재(220)가 일측의 수평 방향으로 회전되면(S2), 수평 회동 부재(220)의 일단에 위치한 자석(224)은 타측의 수평 방향으로 회전된다. 자석(224)이 회전됨에 따라 자기센서(250)에 자기장의 변화가 발생되며, 그 결과 기판(S)이 감지 센서(200)가 설치된 위치에 도달한 것이 감지된다.

즉, 감지된 신호는 자기센서(250)에 의해 증폭되어 원거리에 위치한 제어부(미도시)로 전달되고, 상기 제어부에서는 이를 표시장치 등에 표시하여 기판(S)의 이송 여부를 체크할 수 있다.

기판(S)의 이송이 완료되면 수평 회동 부재(220)는 자석(224)과 자성체(240)의 제2 자석(242)의 척력에 의해, 다시 원위치인 정지 상태(S1)로 복귀한다. 제1 자석(241)은 수평 회동 부재(220)가 원래 정지 상태(S1)이상으로 지나치게 복귀되었을 때, 다시 척력을 통해 원래의 정지 상태(S1)에 위치할 수도 있도록 작용한다.

따라서, 본 발명은 수평 회동 부재(220)는 자력에 의해 강제적으로 수평 정지 상태(S1)로 복귀하게 된다.

본 발명에 따라 기판의 이송 여부를 감지하는 방법은 다음과 같다.

먼저, 일단에 자석(224)을 갖는 수평 회동 부재(220)의 타단에 설치된 수평 롤러(230)가 이송되는 기판(S)과 접촉하여 수평 회동 부재(220)가 일측의 수평 방향으로 회동한다. 이후, 상기 수평 회동 부재(220)의 측부에 배치된 자기센서(250)가 자석(224)의 움직임에 따른 자기의 변화를 감지하여 기판의 이송 여부를 센싱한다. 그 다음에는, 수평 회동시 수평 회동 부재(220)에 자성체(240)를 통해 자기적 척력을 발생시켜 수평 회동 부재(220)를 초기의 수평 정지 상태(S1)로 복귀시킨다.

상기 자기적 척력은 수평 회동 부재(220)의 수평 회동의 전후 방향에서 작용한다.

상술한 바와 같이, 본 발명은 기판의 이송 여부를 감지하는 감지 센서(200)를 종래의 수직 설치와 달리, 수평 방향으로 설치하여 기판의 측면을 감지할 수 있도록 한다. 이러한 감지 센서(200)의 수평 배치는 기판 이송의 경사 각도 및 높이에 따른 세팅용 지그가 불필요하며 최단거리 조작측에 설치하여 유지관리가 용이하다. 이와 같이, 본 발명은 설치가 용이하면서도 기판의 이송 여부를 양호하게 감지할 수 있다. 또한, 본 발명은 기판의 파손 또는 기판 이송의 미감지로 인한 공정 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

10 : 기판 처리 장치 100 : 이송 유닛
120 : 롤러 140 : 이송 샤프트
200 : 감지 센서 210 : 몸체
220 : 수평 회동 부재 222 : 수직축
224 : 자석 230 : 수평 롤러
240 : 자성체 241 : 제1 자석
242 : 제2 자석 250 : 자기센서

Claims (2)

1. 기판을 처리하는 장치에 있어서,
   기판이 이송되는 제1 방향을 따라 나란하게 배열되며, 기판의 하면과 접촉되는 다수의 롤러가 설치된 회전가능한 복수의 이송 샤프트를 갖는 이송 유닛과,
   상기 이송 유닛의 일측에 상부에서 바라볼 때 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 설치되어, 이송되는 기판을 감지하는 감지 센서를 포함하되,
   상기 감지 센서는,
   몸체와,
   상기 몸체의 내부에 수직축을 중심으로 수평 방향으로 회동 가능하게 설치되고, 일단에 자석을 갖는 수평 회동 부재와,
   이송되는 기판 측으로 상기 수평 회동 부재의 타단에 설치되어 이송되는 기판과 접촉하여 회전되는 수평 롤러와,
   상기 몸체에 배치되어 상기 자석과의 상호작용으로 발생된 척력으로 상기 수평 회동 부재를 회동 상태에서 정지 상태로 복귀시키는 자성체와,
   상기 수평 회동 부재의 일단에서 이격되어 상기 몸체에 배치되는 자기센서를 포함하고,
   기판이 상기 수평 롤러에 접촉되는 경우 상기 수평 회동 부재는 정지 상태에서 수평 방향으로 회동하는 기판 처리 장치.
2. 제 1항에 있어서,
   상기 자성체는,
   상기 수평 회동 부재의 회동 운동의 전후 방향에 각각 배치된 제1 자석과 제2 자석을 포함하는 기판 처리 장치.

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