KR20080058914A

KR20080058914A - 기판이송용 컨베이어장치

Info

Publication number: KR20080058914A
Application number: KR1020060133130A
Authority: KR
Inventors: 김성호
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2006-12-22
Filing date: 2006-12-22
Publication date: 2008-06-26

Abstract

본 발명은 기판과 접촉하여 회전함에 따라 기판의 위치를 검출하는 컨베이어장치에 관한 것으로, 기판이 놓이며, 회전함에 따라 기판을 이송하는 복수의 롤러와, 상기 롤러의 회전방향을 따라 롤러의 적어도 일측면을 따라 배치되어 수평을 유지하며, 기판이 이송함에 따라 기판과의 접촉에 의해 수평이 깨져 기판의 위치를 검출하는 수평센서로 구성된다.

기판, 컨베이어, 이송, 롤러, 센서, 위치

Description

기판이송용 컨베이어장치{APPARATUS FOR CONVEYING SUBSTRATE}

도 1은 일반적인 액정표시소자의 단면도.

도 2는 액정표시소자를 제조하는 종래의 방법을 나타내는 흐름도.

도 3은 종래 컨베이어장치의 구조를 나타내는 사시도.

도 4은 본 발명에 따른 컨베이어장치의 구조를 나타내는 사시도.

도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 컨베이어장치의 수평센서의 구조를 나타내는 단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

120 : 컨베이어장치 122 : 롤러

130 : 가이드롤러 140 : 수평센서

143 : 회전축 144 : 회전축

145 : 롤러 147 : 헤드

148 : 감지부

본 발명은 기판이송용 컨베이어장치에 관한 것으로, 특히 이송되는 기판의 현재 위치를 정확하게 파악할 수 있는 감지수단을 구비한 기판이송용 컨베이어장치에 관한 것이다.

근래, 핸드폰(Mobile Phone), PDA, 노트북컴퓨터와 같은 각종 휴대용 전자기기가 발전함에 따라 이에 적용할 수 있는 경박단소용의 평판표시장치(Flat Panel Display Device)에 대한 요구가 점차 증대되고 있다. 이러한 평판표시장치로는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등이 활발히 연구되고 있지만, 양산화 기술, 구동수단의 용이성, 고화질의 구현이라는 이유로 인해 현재에는 액정표시소자(LCD)가 각광을 받고 있다.

액정표시소자는 굴절률이방성을 이용하여 화면에 정보를 표시하는 장치이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 액정표시소자(1)는 하부기판(5)과 상부기판(3) 및 상기 하부기판(5)과 상부기판(3) 사이에 형성된 액정층(7)으로 구성되어 있다. 하부기판(5)은 구동소자 어레이(array)기판이다. 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 하부기판(5)에는 복수의 화소가 형성되어 있으며, 각각의 화소에는 박막트랜지스터(thin film transistor)와 같은 구동소자가 형성되어 있다. 상부기판(3)은 컬러필터(color filter)기판으로서, 실제 컬러를 구현하기 위한 컬러필터층이 형성되어 있다. 또한, 상기 하부기판(5) 및 상부기판(3)에는 각각 화소전극 및 공통전극이 형성되어 있으며 액정층(7)의 액정분자를 배향하기 위한 배향막이 도포되어 있다.

상기 하부기판(5) 및 상부기판(3)은 실링재(sealing Material)(9)에 의해 합착되어 있으며, 그 사이에 액정층(7)이 형성되어 상기 하부기판(5)에 형성된 구동 소자에 의해 액정분자를 구동하여 액정층을 투과하는 광량을 제어함으로써 정보를 표시하게 된다.

액정표시소자의 제조공정은 크게 하부기판(5)에 구동소자를 형성하는 구동소자 어레이기판공정과 상부기판(3)에 컬러필터를 형성하는 컬러필터기판공정 및 셀(Cell)공정으로 구분될 수 있는데, 이러한 액정표시소자의 공정을 도 2를 참조하여 설명하면 다음과 같다.

우선, 구동소자 어레이공정에 의해 하부기판(5)상에 배열되어 화소영역을 정의하는 복수의 게이트라인(gate line) 및 데이터라인(data line)을 형성하고 상기 화소영역 각각에 상기 게이트라인과 데이터라인에 접속되는 구동소자인 박막트랜지스터를 형성한다(S101). 또한, 상기 구동소자 어레이공정을 통해 상기 박막트랜지스터에 접속되어 박막트랜지스터를 통해 신호가 인가됨에 따라 액정층을 구동하는 화소전극을 형성한다.

또한, 상부기판(3)에는 컬러필터공정에 의해 컬러를 구현하는 R,G,B의 컬러필터층과 공통전극을 형성한다(S104).

이어서, 상기 상부기판(3) 및 하부기판(5)에 각각 배향막을 도포한 후 상부기판(3)과 하부기판(5) 사이에 형성되는 액정층의 액정분자에 배향규제력 또는 표면고정력(즉, 프리틸트각(pretilt angle)과 배향방향)을 제공하기 위해 상기 배향막을 러빙(rubbing)한다(S102,S105). 그 후, 하부기판(5)에 셀갭(cell gap)을 일정하게 유지하기 위한 스페이서(spacer)를 산포하고 상부기판(3)의 외곽부에 실링재(9)를 도포한 후 상기 하부기판(5)과 상부기판(3)에 압력을 가하여 합착한 다(S103,S106,S107).

한편, 상기 하부기판(5)과 상부기판(3)은 대면적의 유리기판으로 이루어져 있다. 다시 말해서, 대면적의 유리기판에 복수의 패널(panel)영역이 형성되고, 상기 패널영역 각각에 구동소자인 TFT 및 컬러필터층이 형성되기 때문에 낱개의 액정패널을 제작하기 위해서는 상기 유리기판을 절단, 가공해야만 한다(S108). 이후, 상기와 같이 가공된 개개의 액정패널에 액정주입구를 통해 액정을 주입하고 상기 액정주입구를 봉지하여 액정층을 형성한 후 각 액정패널을 검사함으로써 액정패널을 제작하게 된다(S109,S110).

상기와 같은 각 공정들은 각각 별개의 공정라인으로 이루어져 있다. 따라서 하나의 공정이 종료된 기판(3,5)은 이후의 공정라인으로 이송되어 해당 공정이 진행되어야 하는데, 이러한 기판(3,5)의 이송은 주로 컨베이어장치에 의해 이루어진다.

도 3은 종래 기판을 이송하는 컨베이어장치를 나타내는 도면이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 종래 기판이송용 컨베이어장치(20)는 테이블(21)과, 상기 테이블(21) 위에 설치되어 기판의 이송방향으로 회전하는 롤러(22)와, 상기 롤러(22)에 형성되어 실제 기판과 접촉하는 접촉부(24)로 구성된다.

상기 롤러(22)는 도면표시하지 않은 모터에 연결되어 회전되며, 이 회전력에 의해 상기 롤러(22)가 회전하게 된다.

상기와 같이, 구성된 종래 컨베이어장치(20)에서 공정라인에서 공정이 종료되며, 기판이 로딩수단에 의해 상기 컨베이어장치(20) 위에 로딩된다. 로딩된 기판 은 롤러(22)에 형성된 접촉부(24)에 접촉되며, 이 상태에서 모터가 회전하여 롤러(22)가 기판이 이송될 방향으로 회전함으로써 기판이 이송되는 것이다.

그러나, 상기와 같은 구조의 컨베이어장치(20)에서는 다음과 같은 문제가 발생한다.

기판(1)을 이송하는 컨베이어장치(20)는 기판(1)의 이송라인 사이에 설치되어 있다. 또한, 컨베이어장치(20)는 세정라인이나 식각공정의 스트립라인(strip)에 설치되어 기판(1)의 이송과 동시에 기판(1)을 세정하거나 스트립하게 된다. 이와 같이, 기판(1)이 이송과 동시에 세정이나 스트립될 때, 기판(1)의 위치에 따라 세정액의 종류나 세정액의 분사압력 등이 달라지는 등과 같이 세정의 종류가 변하게 되고 복수의 스트립 공정룸에 의한 스트립공정이 달라지게 된다. 따라서, 기판(1)의 위치를 파악하여 현재의 공정과 공정시간 및 기판(1)의 이송속도를 제어해야만 하는데, 현재는 단지 컨베이어장치(20)의 롤러(22)의 회전속도를 검출하여 기판(1)의 위치 및 공정의 진행시간 및 기판(1)의 이송속도를 산출하지만, 이와 같이 산출된 결과로는 정확한 기판(1)의 위치를 검출할 수 없다는 문제가 있었다.

본 발명은 상기한 점을 감안하여 이루어진 것으로, 기판과 접촉하여 기판이 이송함에 따라 기판의 위치를 검출할 수 있는 감지수단을 구비한 기판이송용 컨베이어장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 기판이송용 컨베이어장치는 기판이 놓이며, 회전함에 따라 기판을 이송하는 복수의 롤러와, 상기 롤러의 회전 방향을 따라 롤러의 적어도 일측면을 따라 배치되어 수평을 유지하며, 기판이 이송함에 따라 기판과의 접촉에 의해 수평이 깨져 기판의 위치를 검출하는 수평센서로 구성된다.

상기 수평센서 회전가능한 회전축과, 상기 회전축의 일측에 형성되어 기판과 접촉하는 롤러와, 상기 회전축의 타측에 형성된 헤드와, 상기 헤드와 마주하여 헤드가 움직임에 따라 회전축의 회전을 감지하는 감지부로 이루어지며, 상기 헤드에는 자석이 구비되고 감지부에는 자기센서나 서로 접촉하는 2개의 배선이 구비되어 자석의 자기장 또는 자기력에 의해 회전축의 회전, 즉 기판의 위치를 검출할 수 있게 된다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다.

본 발명에서는 컨베이어장치에 의해 이송되는 기판의 위치를 실시간으로 검출한다. 이를 위해 본 발명에서는 컨베이어장치에 기판의 이송을 감지하는 감지수단을 설치한다. 상기 감지수단은 컨베이어장치에 복수개 설치되어 이송중인 기판의 위치를 실시간으로 검출한다. 특히, 상기 감지수단은 공정라인 및 공정라인 사이에 적어도 2개 설치되어 기판의 입력과 출력을 검출하여 기판의 이송시간 및 이송속도 등을 검출할 수 있게 되어, 이후의 공정라인으로의 기판의 도달시간을 정확히 예측할 수 있을 뿐만 아니라 세정공정이나 스트립공정의 진행상태를 파악 및 조절할 수 있게 된다.

이러한 감지수단으로는 가능한 모든 센서가 사용될 수 있지만, 본 발명에서 는 롤러의 외부에 설치되어 기판이 이동함에 따라 하부로 움직여서 기판을 감지하는 수평센서를 사용한다.

도 4는 본 발명에 따른 수평센서를 구비한 컨베이어장치(120)를 나타내는 도면이다.

도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 기판이송용 컨베이어장치(120)는 공정라인과 공정라인 사이에 설치되는 테이블(121)과, 상기 테이블(121) 위에 설치되어 기판의 이송방향으로 회전하는 복수의 롤러(122)와, 상기 롤러(122)에 형성되어 상기 롤러(122)가 회전함에 따라 회전하고 실제 기판과 접촉하여 기판을 롤러(122)의 회전방향을 따라 이송시키는 접촉부(124)와, 상기 롤러(122)의 측면, 기판이 이송되지 않는 영역에 설치되어 이송되는 기판을 감지하여 기판의 위치를 검출하는 적어도 하나의 수평센서(140)와, 상기 롤러(122)의 회전방향, 즉 기판의 이동방향을 따라 롤러(122)의 양측면에 설치되어 이송되는 기판을 가이드하여 기판이 편향되는 경우 기판을 원래의 설정된 경로로 복원시키는 가이드롤러(130)로 구성된다.

상기 컨베이어장치(120)의 측면에는 모터(140)가 설치되어 있으며, 상기 모터(140)의 구동축의 단부에는 제1기어(141)가 설치된다. 또한, 상기 컨베이어장치(120)의 측면에는 롤러(122)의 배열방향, 즉 롤러(122)가 회전함에 따라 이동하는 기판의 진행방향을 따라 회전축(142)이 설치된다. 상기 회전축(142)에는 제2기어(143)가 설치되어, 상기 모터(140)의 구동축 단부에 설치된 제1기어(141)와 맞물린다. 또한, 상기 롤러(122)에 대응하는 위치의 회전축(142)에는 복수의 제3기 어(146)가 형성되며, 상기 롤러(122)의 단부에는 각각의 제3기어(146)와 맞물리는 제4기어(147)가 설치된다.

서로 맞물리는 제1기어(141) 및 제2기어(143)는 모터(140)의 구동력을 회전축(142)에 전달하고 제3기어(146) 및 제4기어(147)는 회전축(142)의 회전력을 롤러(122)에 전달한다. 결국, 모터(140)가 구동함에 따라 모터(140)의 구동축이 회전하면, 이 구동축의 회전력이 제1기어(141) 및 제2기어(143)를 통해 회전축(142)에 전달되며, 상기 회전축(142)의 회전력은 제3기어(146) 및 제4기어(147)를 통해 롤러(122)에 전달되어, 상기 롤러(122) 위에 놓인 기판이 이송되는 것이다.

서로 맞물리는 제1기어(141) 및 제2기어(143)와 제3기어(146) 및 제4기어(147)은 단순히 일측의 회전력을 타측으로 전달하는 것이 아니라, 회전방향을 전환한 상태로 전달한다. 즉, 제1기어(141) 및 제2기어(143)에 의해 모터(140)의 구동축의 회전력이 상기 구동축과 수직으로 배치된 회전축(142)에 전달되며, 제3기어(146) 및 제4기어(147)에 의해 회전축(142)의 회전력이 상기 회전축과 수직으로 배치된 롤러(122)로 전달된다.

서로 맞물리는 제1기어(141) 및 제2기어(143)는 두 회전축이 서로 수직한 헬리컬기어(hellical gear)로서, 2개의 원통상에 나선형상의 나사산을 형성하여 서로 수직인 회전축에 회전력을 전달한다. 또한, 서로 맞물리는 제3기어(146) 및 제4기어(147) 역시 두 회전축이 서로 수직한 헬리컬기어로 이루어질 수 있다. 이때, 한쌍의 제1기어(141)와 제2기어(143) 및 다른 한쌍의 제3기어(146)와 제4기어(147) 사이의 차이는 회전축의 배치방향이 다를 뿐 그 구조나 구동은 실질적으로 동일하 다. 한편, 본 발명에 사용되는 기어가 상기와 같은 헬리컬기어에만 한정되는 것은 아니다. 본 발명에서 기어가 사용되는 이유는 서로 수직으로 배치된 축사이에 회전력을 전달하여 모터(140)의 구동력에 의해 컨베이어장치(120)의 롤러(122)를 회전시키기 위한 것이다. 따라서, 서로 수직하는 축 사이에 회전력을 전달할 수만 있다면 어떠한 기어라도 사용할 수 있을 것이다. 예를 들어, 베벨기어(bevel gear)나 웜기어(worm gear) 역시 모터(140)의 구동력을 롤러(122)에 전달하는 전달수단으로 훌륭하게 적용될 수 있을 것이다. 또한, 기어 이외에 벨트나 체인과 같은 각종의 동력전달장치를 사용할 수도 있을 것이다.

도 5a에 도시된 바와 같이, 수평센서(140)는 베이스(141)와, 상기 베이스(141)로부터 상부 방향으로 연장된 지지대(142)와, 상기 지지대(142)와 회전핀(143)에 의해 회전가능하게 고정되어 외력이 작용함에 따라 회전하는 회전축(144)과, 상기 회전축(144)의 일단에 설치된 롤러(145)와, 상기 회전축(144)이 타단부에 설치된 헤드(147)와, 상기 헤드(147)의 하부에 설치된 감지부(148)로 구성된다.

상기 수평센서(140)의 베이스(141)는 컨베이어장치(120)의 테이블(121)의 일측 가장자리 영역에 설치된다. 또한, 상기 수평센서(140)의 지지대(142)는 직접 테이블(121)에 설치될 수도 있을 것이다. 즉, 본 발명에 따른 수평센서(140)는 별도의 베이스를 통해 컨베이어장치(120)에 설치될 수도 있고 직접 컨베이어장치(120)에 설치될 수도 있을 것이다.

롤러(145)는 회전축(144)의 단부에 회전가능하게 설치되며, 헤드(147)는 상 기 롤러(145)와는 반대편에 상기 롤러(145)보다 무겁게 형성된다. 따라서, 중력에 의해 상기 헤드(147)가 하부방향으로 움직여서 상기 회전축(144)이 시계방향으로 회전하게 된다. 그러나, 상기 헤드(147)는 감지부(148)와 접촉하게 되는데, 상기 감지부(148)는 헤드(147)가 접촉되어 있을 때 상기 회전축(144)이 수평을 이루는 높이에 설치된다.

상기 헤드(147)는 자석으로 이루어져 있으며, 헤드(147)와 접촉하는 감지부(148)에는 헤드(147)와의 접촉을 감지하는 자기센서가 구비되어 있다. 상기 자기센서는 헤드(147)가 움직임에 따른 자기장의 변화를 감지하여 회전축(144)의 회전을 감지한다. 이때, 상기 자기센서 대신에 자석에 의한 자기력의 인가시 서로 접촉하고 자기력이 제거될 때 서로 이격되는 2개의 신호배선으로 구성된 센서를 사용할 수도 있다. 또한, 상기 헤드(147)의 자석은 영구자석이 사용될 수도 있고 코일이 권선된 전자기석이 사용될 수도 있을 것이다.

도 5b에 도시된 바와 같이, 상기와 같이 구성된 컨베이어장치(120)에서 기판(101)이 컨베이어장치(120)에 입력된 후 롤러(122)의 회전에 의해 이송되어 상기 수평센서(140)가 형성된 영역에 도달하면, 상기 기판(101)의 이송방향 전단면이 상기 수평센서(140)의 롤러(145)와 접촉하게 된다. 상기 수평센서(140) 롤러(145)의 상부 표면은 는 컨베이어장치(120)의 롤러(122)보다 더 높게 설치되지만 수평센서(140) 롤러(145)의 중심은 상기 컨베이어장치(120)의 보다 낮게 설치되므로, 기판(101)의 전단면은 롤러(145)의 중앙보다 상부 표면에 접촉하게 된다.

상기 롤러(145)은 부하가 인가되지 않은 헛도는 상태이므로, 기판(101)이 상 기 롤러(145)의 상부표면과 접촉한 상태에서 계속 이송되면 상기 롤러(145)가 기판(101)의 이송방향으로 회전함과 동시에 하부로 움직이게 되며, 결국 도 5b에 도시된 바와 같이 기판(101)이 상기 롤러(145)를 완전히 넘어서게 된다. 다시 말해서, 회전축(144)이 시계반대방향으로 회전하게 되어 롤러(145)가 하부로 이동하여 기판(101)의 밑면으로과 접촉한 상태로 회전하게 된다. 이 상태에서 기판(101)의 원래의 이송방향을 따라 이송되며, 이 이송중에 수평센서(140)의 롤러(145)는 기판(101)의 밑면과 계속 접촉된 상태로 기판(101)의 이송속도와 동일한 속도로 회전하게 된다.

상기와 같이, 수평센서(140)가 기판(101)과 접촉하여 롤러(145)가 하부로 이동하여 기판(101)의 밑면과 접촉하여 회전함에 따라 상기 회전축(144)이 일정 각도로 시계반대방향으로 회전하게 되어 수평센서(140)의 수평상태가 깨어지게 된다. 상기 회전축이 회전함에 따라 헤드(147)와 감지부(148)가 서로 이격되기 시작하며, 이러한 이격에 의해 헤드(147)의 자석에 의한 자기장의 변화가 발생하는데, 이 자기장의 변화를 상기 감지부(148)의 자기센서가 감지하여 신호를 출력한다. 또한, 상기 감지부(148)에 자기력에 의해 접촉하고 이격하는 2개의 신호배선을 구비한 경우에는 상기 헤드(147)가 감지부(148)로부터 멀어짐에 따라 자기력이 약화되어 서로 접촉되어 있던 2개의 신호배선이 이격되고 이 이격을 신호로서 출력하는 것이다.

도면에는 도시하지 않았지만, 상기 감지부(148)는 신호배선(149)을 통해 외부의 제어시스템과 연결되어 수평센서(140)의 움직임을 제어시스템에 전송하며, 제 어시스템에서는 수평센서(140)의 움직임에 기초하여 기판(101)의 이송위치를 검출할 수 있게 된다.

제어시스템은 컨베이어장치(120) 근처에 설치되어 컨베이어장치(120)를 제어하는 시스템일 수도 있으며, 컨베이어장치(120)와는 원격으로 설치되어 전체 공정라인을 제어하는 시스템일 수도 있을 것이다.

기판(101)이 해당 수평센서(140)가 설치된 영역을 완전히 통과하게 되면, 상기 수평센서(140)의 롤러(145)가 상기 기판(101)의 밑면을 완전히 통과하게 된다. 이와 동시에 상기 헤드(147)의 무게의 의해 상기 회전축(144)이 시계방향으로 회전하게 되어 헤드(147)가 감지부(148)와 다시 접촉하게 되어 상기 수평센서(140)가 다시 수평을 유지하게 된다. 또한, 상기 헤드(147)가 감지부(148)에 접촉함에 따라 자석의 자기장 변화를 상기 감지부(148)가 감지함으로써 기판(101)이 해당 영역을 통과했음을 검출할 수 있게 된다.

상기와 같이, 본 발명에서 기판(101)의 이송을 감지하는 기판검출수단으로서, 수평센서를 이용하는 이유는 다음과 같다.

기판(101)의 이송을 감지하는 수단은 여러가지 있을 수 있다. 예를 들어, 컨베이어장치(120)의 롤러(122) 상부에 설치되어 기판(101)의 이송시 기판(101)의 전단면과 접촉하여 기판(101)의 상부에서 회전함으로써 기판(101)의 위치를 감지하는 회전센서나 롤러(122)의 상부에 배치되어 이송되는 기판(101)에 광을 조사하여 기판(101)을 투과하는 광의 세기를 측정하여 기판(101)의 이송을 감지하는 광센서 등과 같은 다양한 센서를 배치할 수 있다. 그러나, 이러한 대부분의 센서는 롤 러(122)의 상부에 배치되기 때문에, 기판(101)의 이송시 상기 센서에서 이물질이 발생하는 경우 이후의 공정라인으로 이송되는 기판(101) 또는 현재 세정공정이나 스트립공정이 진행중인 기판(101) 상에 이물질이 낙하하게 되어 불량이 발생하게 된다. 특히, 기계적인 회전에 의해 기판(101)의 위치를 검출하는 회전센서의 경우 이러한 이물질이 발생할 확률이 높을 뿐만 아니라 위치검출을 위한 기판과 센서의 충돌시 센서에 충격이 인가되어 센서의 측정정밀도가 저하되는 문제가 있었다.

그러나, 본 발명과 같이 수평센서(140)를 사용하는 경우에는 센서 자체가 기판(101)이 이송되는 경로 상에 위치하는 것이 아니라 그 외부에 위치하게 된다. 따라서, 수평센서(140)에 의해 불순물이 발생하는 경우에도 상기 불순물이 기판(101)에 낙하되는 것이 아니라 컨베이어장치(120)의 외부로 낙하하게 되므로, 상기 불순물에 의한 불량을 방지할 수 있게 된다. 또한, 본 발명의 수평센서(140)에서는 기판(101)과 수평센서(101)의 접촉이 수평센서(101)의 롤러(145)와 이루어지므로, 기판(101)과의 충격에너지가 롤러(145)의 회전에너지로 흡수된다. 따라서, 기판(101)과의 충격에 의한 센서의 흔들임을 최소화할 수 있게 되어 센서의 측정오차를 최소화할 수 있게 되는 것이다.

컨베이어장치(120)에는 복수의 수평센서(140)가 설치된다. 따라서, 상기 수평센서(140)를 기판(101)의 입력위치와 출력위치, 즉 컨베이어장치(120)의 입구 및 출력측에 형성하는 경우, 컨베이어장치(120)에 입력되어 이송되는 기판(101)의 입력 위치와 출력 위치를 파악할 수 있게 된다. 또한, 일정 간격을 두고 배치된 2개의 수평센서(140)에서 입력되는 정보(즉, 2개의 수평센서(140) 사이의 거리, 2개의 수평센서(140)의 측정시간 등)를 기초로 기판(101)의 이송속도를 정확히 산출할 수 있게 된다.

이와 같이, 기판(101)의 위치 및 이송속도 등의 정보에 의해 제어시스템에서는 공정라인으로 입력되는 기판(101)의 입력시점 등을 파악할 뿐만 아니라 세정 및 스트립공정의 현재 상태 파악 및 시간 조절 등이 가능하게 된다.

상술한 바와 같이, 본 발명에서는 기판(101)의 이송에 따라 수평센서(140)의 수평이 깨어지는 것을 검출함으로써 이송되는 기판(101)의 위치를 파악할 수 있게 된다. 상기 수평센서(140)는 기판(101)이 이송함에 따라 회전축(144)의 수평이 깨지게 됨에 부여된 명칭이다. 그러나, 실질적으로 기판(101)의 이송은 헤드(147)에 설치된 자석의 움직임에 의한 자기장이나 자기력의 변화를 검출함으로 이루어진다. 이러한 관점에서 상기 수평센서(140)는 그 자체를 일종의 자기센서라고 칭할 수도 있을 것이다.

또한, 상기 수평센서(140)의 회전축(145)의 수평을 상기 헤드(147)의 자석과 감지부(148)에 의해 감지하지 않고 다른 다양한 방법에 의해 감지할 수도 있을 것이다. 예를 들어, 상기 헤드(147)와 감지부(148)에 서로 접촉함에 따라 신호를 출력하는 접촉센서를 구비할 수도 있고 회전축(144)의 회전을 감지하여 신호를 출력하는 회전센서를 구비할 수도 있을 것이다. 실질적으로 본 발명에서는 상기 회전축(144)의 수평이나 회전을 감지하기 위한 다양한 방법이 제시될 수 있을 것이다.

상기와 같은 본 발명의 컨베이어장치는 기판, 즉 액정표시소자의 구동소자 어레이기판이나 컬러필터기판의 이송에만 한정되는 것이 아니라 구동소자 어레이기 판과 컬러필터기판이 합착된 액정패널의 이송에도 사용될 수 있을 것이다. 특히, 복수의 액정패널이 형성된 합착된 모기판의 이송뿐만 아니라 분리된 단위 액정패널의 이송에도 적용될 수 있을 것이다. 따라서, 이하에서 언급하는 기판이란 용어는 설명의 편의를 위해 사용하는 것으로, 구동소자 어레이기판이나 컬러필터기판, 액정패널, 모기판 및 분리된 단위 기판 등을 모두 통칭하는 것이다.

또한, 본 발명의 기판이송용 컨베이어장치가 상기와 같은 액정표시소자의 제조라인에만 적용되는 것은 아니다. PDP, FED, VFD 등과 같은 평판표시소자의 제조라인에서 기판이나 패널을 이송할 때에도 적용될 수 있으며, 그 이외에 기판과 유사한 형태의 물건을 컨베이어장치를 이용하여 이송할 때에도 훌륭하게 사용할 수 있을 것이다.

따라서, 본 발명의 권리의 범위는 상술한 상세한 설명에 의해 결정되는 것이 아니라 첨부한 특허청구범위에 의해 결정되어야만 할 것이다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 컨베이어장치에서는 기판 검출수단을 설치함으로써 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.

첫째, 기판이 이송되는 롤러의 진행방향을 따라 복수의 감지수단을 구비하여 컨베이어장치를 이송하는 기판의 현재 위치 및 이송속도를 정확히 검출할 수 있게 된다.

둘째, 상기 기판의 위치 및 이송속도를 정확하게 검출함에 따라 기판이 입력되는 공정라인의 입력 시점 등을 파악하여 공정라인을 적절히 제어하며 세정이나 스트립공정을 정밀하게 제어할 수 있게 된다.

셋째, 컨베이어장치의 기판 이송경로 외부에 수평센서를 설치함으로써 센서로부터 발생하는 이물질이 기판상에 낙하하여 발생하는 불량을 방지할 수 있다.

넷째, 롤러를 구비하여 기판과 접촉시킴으로써 기판과의 충격을 최소화하여 센서의 측정 이상을 최소화함에 따라 항상 정확한 기판의 위치 측정이 가능하게 된다.

Claims

기판이 놓이며, 회전함에 따라 기판을 이송하는 복수의 롤러; 및

상기 롤러의 회전방향을 따라 롤러의 적어도 일측면을 따라 배치되어 수평을 유지하며, 기판이 이송함에 따라 기판과의 접촉에 의해 수평이 깨져 기판의 위치를 검출하는 수평센서로 구성된 컨베이어장치.
제1항에 있어서, 상기 수평센서,

회전가능한 회전축;

상기 회전축의 일측에 형성되어 기판과 접촉하는 롤러;

상기 회전축의 타측에 형성된 헤드; 및

상기 헤드와 마주하여 헤드가 움직임에 따라 회전축의 회전을 감지하는 감지부로 이루어진 것을 특징으로 하는 컨베이어장치.
제2항에 있어서, 상기 헤드에는 자석이 구비되고 감지부에는 자기센서가 구비된 것을 특징으로 하는 컨베이어장치.
제2항에 있어서, 상기 헤드에는 자석이 구비되고 감지부에는 자기력에 의해 접촉하는 2개의 배선을 구비하는 것을 특징으로 하는 컨베이어장치.
제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 자석은 영구자석인 것을 특징으로 하는 컨베이어장치.
제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 자석은 전자석인 것을 특징으로 하는 컨베이어장치.
제2항에 있어서, 상기 헤드는 롤러보다 무거워서 회전축이 수평을 유지하여 헤드와 감지부가 접촉하며, 기판과 롤러가 접촉하는 경우 롤러가 하부로 이동하여 회전축이 회전하는 것을 특징으로 하는 컨베이어장치.
제1항에 있어서, 상기 롤러의 회전방향을 따라 롤러의 적어도 일측면을 따라 배치되어 기판을 가이드하는 가이드롤러를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 컨베이어장치.
제1항에 있어서, 상기 기판은 액정표시소자의 컬러필터기판 또는 박막트랜지스터 기판인 것을 특징으로 하는 컨베이어장치.
제1항에 있어서, 상기 기판은 액정패널인 것을 특징으로 하는 컨베이어장치.