KR20070071280A

KR20070071280A - 기판공급장치

Info

Publication number: KR20070071280A
Application number: KR1020050134598A
Authority: KR
Inventors: 윤성환
Original assignee: 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date: 2005-12-29
Filing date: 2005-12-29
Publication date: 2007-07-04
Also published as: US7708515B2; KR101003580B1; US20070154293A1

Abstract

본 발명에 따른 액정표시소자의 기판공급장치는 카세트에 수납된 기판을 신속하게 공정장비로 공급하기 위한 것으로, 복수의 기판을 수납하는 카세트가 상승 및 하강가능하도록 위치하는 포트와, 카세트로부터 취출된 기판이 공급되어 공정을 진행하는 공정장비와, 상기 포트와 공정장비 사이에 위치하여 카세트로부터 취출된 기판을 공정장비로 공급하는 제1컨베이어와, 상기 포트에 설치되어 카세트에 수납된 기판을 취출하여 제1컨베이어로 이송하는 제2컨베이어로 구성된다.

액정표시소자, 카세트, 기판, 공급, 포트, 컨베이어

Description

기판공급장치{APPARATUS FOR LOADING SUBSTRATE}

도 1은 일반적인 액정표시소자의 단면도.

도 2는 액정표시소자를 제조하는 종래의 방법을 나타내는 흐름도.

도 3은 종래 액정표시소자의 기판공급장치를 나타내는 도면.

도 4는 본 발명에 따른 액정표시소자의 기판공급장치의 구조를 나타내는 평면도.

도 5는 본 발명에 따른 액정표시소자의 기판공급장치의 구조를 나타내는 측면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

10 : 기판 120 : 카세트

124 : 취출부재 126 : 샤프트

130 : 포트 140 : 가이드레일

150 : 피더 152,156,158 : 롤러

160 : 공정장비

본 발명은 액정표시소자의 기판공급장치에 관한 것으로, 특히 카세트의 기판취출높이와 공정장비로의 기판공급높이를 동일하게 함으로써비용을 절감하고 공정을 신속하게 진행할 수 있는 액정표시소자의 기판공급장치에 관한 것이다.

근래, 핸드폰(Mobile Phone), PDA, 노트북컴퓨터와 같은 각종 휴대용 전자기기가 발전함에 따라 이에 적용할 수 있는 경박단소용의 평판표시장치(Flat Panel Display Device)에 대한 요구가 점차 증대되고 있다. 이러한 평판표시장치로는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등이 활발히 연구되고 있지만, 양산화 기술, 구동수단의 용이성, 고화질의 구현이라는 이유로 인해 현재에는 액정표시소자(LCD)가 각광을 받고 있다.

액정표시소자는 굴절률이방성을 이용하여 화면에 정보를 표시하는 장치이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 액정표시소자(1)는 하부기판(5)과 상부기판(3) 및 상기 하부기판(5)과 상부기판(3) 사이에 형성된 액정층(7)으로 구성되어 있다. 하부기판(5)은 구동소자 어레이(Array)기판이다. 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 하부기판(5)에는 복수의 화소가 형성되어 있으며, 각각의 화소에는 박막트랜지스터(Thin Film Transistor)와 같은 구동소자가 형성되어 있다. 상부기판(3)은 컬러필터(Color Filter)기판으로서, 실제 컬러를 구현하기 위한 컬러필터층이 형성되어 있다. 또한, 상기 하부기판(5) 및 상부기판(3)에는 각각 화소전극 및 공통전극이 형성되어 있으며 액정층(7)의 액정분자를 배향하기 위한 배향막이 도포되어 있다.

상기 하부기판(5) 및 상부기판(3)은 실링재(Sealing Material)(9)에 의해 합 착되어 있으며, 그 사이에 액정층(7)이 형성되어 상기 하부기판(5)에 형성된 구동소자에 의해 액정분자를 구동하여 액정층을 투과하는 광량을 제어함으로써 정보를 표시하게 된다.

액정표시소자의 제조공정은 크게 하부기판(5)에 구동소자를 형성하는 구동소자 어레이기판공정과 상부기판(3)에 컬러필터를 형성하는 컬러필터기판공정 및 셀(Cell)공정으로 구분될 수 있는데, 이러한 액정표시소자의 공정을 도 2를 참조하여 설명하면 다음과 같다.

우선, 구동소자 어레이공정에 의해 하부기판(5)상에 배열되어 화소영역을 정의하는 복수의 게이트라인(Gate Line) 및 데이터라인(Data Line)을 형성하고 상기 화소영역 각각에 상기 게이트라인과 데이터라인에 접속되는 구동소자인 박막트랜지스터를 형성한다(S101). 또한, 상기 구동소자 어레이공정을 통해 상기 박막트랜지스터에 접속되어 박막트랜지스터를 통해 신호가 인가됨에 따라 액정층을 구동하는 화소전극을 형성한다.

또한, 상부기판(3)에는 컬러필터공정에 의해 컬러를 구현하는 R,G,B의 컬러필터층과 공통전극을 형성한다(S104).

이어서, 상기 상부기판(3) 및 하부기판(5)에 각각 배향막을 도포한 후 상부기판(3)과 하부기판(5) 사이에 형성되는 액정층의 액정분자에 배향규제력 또는 표면고정력(즉, 프리틸트각(Pretilt Angle)과 배향방향)을 제공하기 위해 상기 배향막을 러빙(Rubbing)한다(S102,S105). 그 후, 하부기판(5)에 셀갭(Cell Gap)을 일정하게 유지하기 위한 스페이서(Spacer)를 산포하고 상부기판(3)의 외곽부에 실링재 (9)를 도포한 후 상기 하부기판(5)과 상부기판(3)에 압력을 가하여 합착한다(S103,S106,S107).

한편, 상기 하부기판(5)과 상부기판(3)은 대면적의 유리기판으로 이루어져 있다. 다시 말해서, 대면적의 유리기판에 복수의 패널(Panel)영역이 형성되고, 상기 패널영역 각각에 구동소자인 TFT 및 컬러필터층이 형성되기 때문에 낱개의 액정패널을 제작하기 위해서는 상기 유리기판을 절단, 가공해야만 한다(S108). 이후, 상기와 같이 가공된 개개의 액정패널에 액정주입구를 통해 액정을 주입하고 상기 액정주입구를 봉지하여 액정층을 형성한 후 각 액정패널을 검사함으로써 액정패널을 제작하게 된다(S109,S110).

상기와 같은 각 공정들은 각각 별개의 공정라인으로 이루어져 있다. 따라서 하나의 공정이 종료된 기판(3,5)은 이후의 공정라인으로 이송되어 해당 공정이 진행되어야 하는데, 이러한 기판(3,5)의 이송은 주로 카세트에 수납된 상태로 이송된다. 카세트에 수납된 상태로 이송된 기판(3,5)은 포트에 위치되며, 이 카세트에서 기판이 취출되어 해당 공정장비에 공급됨에 따라 해당 공정이 진행되는 것이다

도 3은 카세트(20)에 수납된 기판(1)을 취출하여 공정장비에 공급하는 종래 기판공급장치를 나타내는 도면이다.

도 3에 도시된 바와 같이, 복수의 기판(1)을 수납하는 카세트(20)는 포트(30)에 위치해 있다. 이때, 카세트(30)는 상기 포트(30)에 상승 및 하강 가능하게 고정되어 기판(1)위 취출시 하강한다. 상기 카세트(20)의 전면에는 로보트(50)가 설치된다. 상기 로보트(50)는 가이드레일(40) 위에 형성되어 상기 가이드레일(40) 을 따라 이동하는 베이스(51)와, 상기 베이스(51)에 설치되어 상승함과 동시에 회전하는 샤프트(54)와, 상기 샤프트(54)에 설치되고 연장되어 단부에 기판(1)이 재치되는 로보트암(52)으로 구성된다.

또한, 상기 가이드레일(40)을 따라 포트(30)의 반대측에는 카세트(30)에서 취출되는 기판(1)이 공급되어 공정을 진행하는 공정장비(60)가 구비되어 있다.

상기와 같이 구성된 기판공급장치에서는 로보트(50)의 암(52)이 설정 높이(x2)에 위치하여 카세트(20) 내부로 연장되어 있다. 이 상태에서 카세트(20) 맨 하단의 기판(1)이 로보트암(52)에 재치되어 취출되고 취출된 상태에서 로보트(50)가 가이드레일(40)을 따라 이동한 후 취출된 기판(1)을 공정장비(60)로 공급하게 된다.

이와 같이 하나의 기판(1)이 취출되면, 카세트(20)는 하부로 하강한다. 이때, 카세트(20)의 이동거리는 카세트(20) 내부에 수납된 간격과 동일하므로, 결국 기판(1)은 로보트암(52)이 입력되는 높이(x2)에 위치하게 되는 것이다. 이 상태에서 전과 동일한 과정을 반복하여 기판(1)을 공정장비(60)에 공급하는 것이다.

이러한 동작은 카세트(20)에 수납된 기판(1)이 모두 취출될 때까지 반복된다. 즉, 카세트(20) 맨위의 기판(1)이 취출될 때까지 계속되는 것이다. 카세트(20)의 맨위에 수납된 기판(1)을 취출하는 경우 카세트(20)는 완전히 하강한 상태, 즉 카세트(20)가 바닥에 닿아 있는 상태를 유지하며, 이상태에서 맨 상단의 기판(1)이 로보트암(52)에 재치되는 것이다. 따라서, 로보트암(52)의 위치(x2)가 바닥에서 상기 카세트(20) 맨위에 수납된 기판(1)까지의 높이(x1)보다 작게 되면, 카세트(20) 가 완전히 하강한 상태에서도 카세트(20) 맨위의 기판(1)이 로보트암(52)에 재치되지 않게 되어 기판(1)의 취출이 불가능하게 되는 것이다.

다시 말해서, 로보트암(52)의 높이(x2)는 바닥에서 상기 카세트(20) 맨위에 수납된 기판(1)까지의 높이(x1) 보다는 커야(즉, x2≥x1) 모든 기판(1)을 카세트(20)로부터 취출할 수 있는 것이다.

한편, 공정장비(60)의 출입구(62)의 높이(x3)는 통상적으로 로보트암(52)의 높이(x2)보다는 낮다(x2〉x3). 따라서, 카세트(20)로부터 취출된 기판(1)을 공정장비(60)로 공급하기 위해서는 로보트암(52)이 x2-x3의 거리를 하강해야만 한다. 이와 같이, 종래 기판공급장치에서는 카세트(20)로부터 기판(1)을 취출하여 공정장비(60)로 공급하기 위해 로보트암(52)의 수차례 하강 및 상승을 반복해야만 하는데, 이러한 로보트암(52)의 동작은 공정을 지연시키는 중요한 원인이 된다. 더욱이, 근래, 많은 수의 기판(1)을 수납하기 위해 카세트(20)의 높이가 증가하고 있으며, 그 결과 로보트암(52)이 상승 및 하강해야할 거리가 증가하게 되어 더 많은 공정지연이 발생하게 된다.

본 발명은 상기한 점을 감안하여 이루어진 것으로, 카세트로부터의 기판취출높이와 공정장비로의 기판공급높이를 동일하게 하여 공정장비로 기판을 신속하게 공급할 수 있는 액정표시소자의 기판공급장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 액정표시소자의 기판공급장치는 복수의 기판을 수납하는 카세트가 상승 및 하강가능하도록 위치하는 포트와, 카세트로부터 취출된 기판이 공급되어 공정을 진행하는 공정장비와, 상기 포트와 공정장비 사이에 위치하여 카세트로부터 취출된 기판을 공정장비로 공급하는 제1컨베이어와, 상기 포트에 설치되어 카세트에 수납된 기판을 취출하여 제1컨베이어로 이송하는 제2컨베이어로 구성된다.

상기 포트와 공정장비 사이에는 가이드레일이 설치되어 상기 제1컨베이어가 가이드레일을 따라 이동하여 취출된 기판을 공정장비로 로딩시킨다. 또한, 상기 포트에는 제2컨베이어를 상승 및 하강시키는 샤프트가 설치되어 카세트가 바닥에 닿은 겨우 제2컨베이어를 상승시켜 기판을 취출하고 다시 이를 하강하여 제1컨베이어로 이송한다. 이때, 제1컨베이어 및 제2컨베이어와 공정장비에 설치되는 제3컨베이어는 동일한 높이로 설치되어 기판의 취출 및 공급을 위한 별도의 상승 및 하강동작이 필요없게 된다.

본 발명에서는 기판을 공정장비로 공급할 때 공정지연이 발생하지 않는 기판공급장치를 제공한다. 이를 위해 본 발명에서는 로보트 대신에 피더(feeder)를 설치하여 공정장비에 기판을 공급한다. 특히, 본 발명에서는 피더의 기판 취출위치를 공정장비의 출입구와 동일하게 함으로써 피더가 상하운동을 하지 않도록 한다. 피더는 컨베이어로 이루어지는데, 이 컨베이어는 카세트는 위치하는 포트로부터 공정장비까지 연장되어 카세트의 기판이 상기 컨베이어를 통해 공정장비로 공급된다.

이러한 기판공급장치는 단지 구동소자 어레이기판이나 컬러필터가 형성된 컬러필터기판을 공정장비로 공급하는데에만 사용되는 것이 아니라 구동소자 어레이기 판 및 컬러필터기판이 합착된 액정패널을 공급하는데에도 사용될 수 있을 것이다. 따라서, 이후의 설명에서는 공급대상이 기판이라고 기술하지만 이러한 기판은 단지 구동소자 어레이기판과 컬러필터기판만을 의미하는 것이 아니라 액정패널도 포함할 것이다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 액정표시소자 기판공급장치를 상세히 설명한다.

도 4는 본 발명에 따른 액정표시소자 기판공급장치를 나타내는 평면도이다.

도 4에 도시된 바와 같이, 기판공급장치는 이전 공정이 종료된 복수의 기판이 수납된 카세트가 위치하는 포트(130)와, 기판이 공급되어 공정을 진행하는 공정장비(160)와, 상기 포트(130)와 공정장비(160) 사이에 설치되어 카세트로부터 취출된 기판을 공정장비(160)로 이송하는 가이드레일(140)과, 상기 가이드레일(140)을 따라 이동하는 기판피더(150)로 구성된다. 기판피더(150)는 가이드레일(140)을 따라 이동하는 베이스(151)와, 상기 베이스(151) 위에 형성된 복수의 제1롤러(152)와, 상기 포트(120)에 형성되어 카세트의 기판을 베이스(151)로 이송하는 제2롤러(156)로 구성된다.

베이스(151)가 이동함에 따라 제1롤러(152)도 이동하고 그 위에 재치되는 기판도 이동하게 되며, 이 이동된 기판이 제1롤러(152)와 공정장비(160)에 형성된 제3롤러(158)를 통해 공정장비(160)로 공급된다.

도 5는 본 발명에 따른 액정표시소자 공급장치의 측면도로서, 이를 참조하여 본 발명의 액정표시소자 공급장치를 더욱 상세히 설명한다.

도 5에 도시된 바와 같이, 포트(130)에는 이전 공정이 종료된 복수의 기판(101)이 수납된 카세트(120)가 위치한다. 이때, 도면에는 자세히 도시하지 않았지만, 상기 포트(130)에는 가이드바가 설치되어 상기 카세트(120)를 상승 및 하강시킨다. 상기 카세트(120)의 전면에는 가이드레일(140)이 설치되고 그 위에 가이드레일(140)을 따라 이동하는 베이스(151)가 배치되며, 상기 베이스(151) 위에는 복수의 제1롤러(152)가 설치되어 있다. 통상적으로 롤러는 컨베이어를 형성한다. 따라서, 상기 베이스(151) 위에 설치된 제1롤러(152)를 제1컨베이어라고 칭할 수도 있을 것이다. 이후에서 언급되는 롤러나 컨베이어는 각각 컨베이어나 롤러의 의미를 포함한다.

상기 포트(120)내에는 카세트(120)가 하강함에 따라 기판(101)이 취출되는 취출부재(124)와 상기 취출부재(124)에 형성된 제2롤러(156), 즉 제2컨베이어가 구비되어 있다. 상기 제2롤러(156)는 제1롤러(152)와 같은 높이로 형성되어 카세트(120)로부터 취출된 기판(101)을 상기 제1롤러(152) 및 제2롤러(126)가 구동함에 따라 상기 베이스(151)로 이동시킨다. 한편, 상기 취출부재(124)에는 샤프트(126)가 설치되어 상기 취출부재(124)를 상승 및 하강시킨다.

상기 포트(120)의 반대측에는 공정장비(160)가 위치한다. 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 포트(120)와 공정장비(160)는 일정 거리 이격되어 가이드레일(140)에 의해 연결되지만, 상기 포트(120)와 공정장비(160)가 실질적으로 대향하게 설치될 수도 있을 것이다.

상기 공정장비(160)내에도 작업테이블(162) 위에 상기 제1롤러(152)와 동일 한 높이를 갖는 제3롤러(158)가 설치된다. 이 제3롤러(158)는 가이드레일(140)을 따라 이송되어온 기판(101)을 공정장비(160)로 로딩하기 위한 것이다. 그러나, 베이스(151) 위에 재치되어 이송되어온 기판(101)을 다른 수단에 의해 공정장비(160)로 로딩하는 것도 물론 가능하다.

상기와 같은 구성의 기판공급장치에서는 복수의 기판(101)이 수납된 카세트(120)가 포트(130)에 일정 높이로 고정된 후 하강하면, 맨하단의 기판(101)이 취출부재(126)에 형성된 제2롤러(156)에 재치된다. 이때, 카세트(120)는 통상적으로 바닥이 개방되기 때문에, 상기 취출부재(124)가 직접 하단이 기판(101)과 접촉하는 것이다. 상기 취출부재(124)의 제2롤러(156)에 재치된 기판(101)은 제2롤러(156) 및 제1롤러(152)가 구동함에 따라 베이스(151)로 이동하고, 기판(101)이 베이스(151) 위(엄밀하게 말하면 제1롤러(152) 위)에 위치한 상태에서 베이스(151) 및 제1롤러(152)가 가이드레일(140)을 따라 이동하여 공정장비(160)의 출입구(162)에 도착하게 된다.

기판(101)이 공정장비(160)의 출입구(162)에 도착하면, 제1롤러(152)와 제3롤러(158)가 구동하여 기판(101)이 공정장비(160)의 작업테이블(162)로 로딩되는 것이다.

이와 같이, 카세트(120) 맨아래의 기판(101)이 공정장비(160)로 공급되면, 상기 베이스(151)와 제1롤러(152)가 다시 카세트(120)측으로 이동하고 동시에 카세트(120)가 일정 거리(즉, 카세트(120)에 수납된 기판(101) 사이의 간격) 하강하여 다음의 기판(101)이 제2롤러(156)에 재치되는 것이다. 이와 같은 공정을 반복하여 기판(101)을 공정장비(160)에 공급한다.

이러한 본 발명의 가장 큰 특징은 가이드롤러(140)을 이동하는 베이스(151), 즉 제1롤러(152)의 높이(y1)와 카세트(120)로부터 기판(101)을 취출하는 제2롤러(156)의 높이 및 공정장비(160)로 기판(101)을 로딩시키는 제3롤러(158)의 높이가 동일하다는 것이다. 이것은 종래에 로보트의 기판 취출높이와 실제 공정장비에 기판이 로딩되는 높이가 다르기 때문에 발생하는 로보트의 상하운동이 필요없다는 것을 의미한다. 따라서, 본 발명에서는 신속한 공정이 가능하게 된다.

한편, 카세트(120)의 높이(y2)가 제2롤러(156)의 기판 취출높이(y1) 보다 높기 때문에, 기판(101)의 공급을 반복하다가 카세트(120)의 하부가 바닥에 도달하게 되어도 y2-y1 위의 높이 보다 높은 곳의 카세트(120)에 수납된 기판(101)을 취출할 수 없게 된다. 이것은 더 이상 카세트(120)가 하강할 수 없기 때문이다. 이때에는 상기 취출부재(124)와 연결된 샤프트(126)가 상승하여 그 위의 기판(101)을 취출한 후 샤프트(126)가 y1의 높이까지 하강하여 기판(101)을 공정장비(160)에 공급하는 것이다.

상기한 바와 같이, 본 발명에서는 피더(150)가 공정장비(160)의 기판공급높이와 동일한 높이에서 기판(101)을 카세트(120)로부터 취출한 후 이를 공정장비(160)에 공급하게 된다. 상기한 설명에서는 카세프(120)부터의 기판(101)의 취출 및 공정장비(160)로의 기판(101)의 공급을 롤러, 즉 컨베이어에 의해 실행하지만, 본 발명이 이러한 특정한 구조에 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 가장 큰 특징은 기판(101)의 취출과 기판(101)의 공급을 동일한 높이에서 실행한다는 것으로, 이러 한 특징을 만족시킬 수만 있다면 실제 기판을 취출하고 공급하는 수단은 어떠한 수단이라도 사용할 수 있을 것이다.

따라서, 본 발명의 권리의 범위는 상술한 상세한 설명에 의해 결정되는 것이 아니라 첨부한 특허청구범위에 의해 결정되어야만 할 것이다.

상술한 바와 같이, 본 발명에서는 카세트로부터의 기판의 취출과 공정장비로의 기판의 공급을 동일한 높이에서 실행하기 때문에, 신속한 공정이 가능하게 되어 공정지연을 방지할 수 있게 된다.

Claims

복수의 기판을 수납하는 카세트가 상승 및 하강가능하도록 위치하는 포트;

카세트로부터 취출된 기판이 공급되어 공정을 진행하는 공정장비;

상기 포트와 공정장비 사이에 위치하여 카세트로부터 취출된 기판을 공정장비로 공급하는 제1컨베이어; 및

상기 포트에 설치되어 카세트에 수납된 기판을 취출하여 제1컨베이어로 이송하는 제2컨베이어로 구성된 액정표시소자의 기판공급장치.
제1항에 있어서, 상기 제1컨베이어 하부에 설치된 베이스를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 기판공급장치.
제1항에 있어서, 상기 포트와 공정장비 사이에 설치되어 상기 제1컨베이어가 이동하는 가이드레일을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 기판공급장치.
제1항에 있어서, 상기 포트에 설치되어 제2컨베이어를 상승 및 하강시키는 샤프트를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 기판공급장치.
제1항에 있어서, 상기 제1컨베이어 및 제2컨베이어는 동일한 높이에 위치하 는 것을 특징으로 액정표시소자의 기판공급장치.
제5항에 있어서, 상기 카세트에 수납된 기판은 카세트가 하강함에 따라 하단부터 차례로 제2컨베이어에 취출되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 기판공급장치.
제6항에 있어서, 상기 카세트가 바닥에 닿는 경우 상기 제2컨베이어가 상승 및 하강하여 카세트의 기판을 취출하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 기판공급장치.
제1항에 있어서, 상기 공정장비내에 설치되어 제1컨베이어의 기판을 공정장비내로 이송하는 제3컨베이어를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 기판공급장치.
제8항에 있어서, 상기 제1컨베이어 및 제3컨베이어는 동일한 높이에 위치하는 것을 특징으로 액정표시소자의 기판공급장치.
제1항에 있어서, 상기 기판은 상기 기판은 구동소자 어레이기판 또는 컬러필터기판인 것을 특징으로 액정표시소자의 기판공급장치.
제1항에 있어서, 상기 기판은 구동소자 어레이기판 또는 컬러필터기판가 합착된 액정패널인 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 기판공급장치..
제1항 또는 제8항에 있어서, 상기 제1컨베이어, 제2컨베이어 및 제3컨베이어는 복수의 롤러로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 기판공급장치.
복수의 기판을 수납하는 카세트가 상승 및 하강가능하도록 위치하는 포트;

카세트로부터 취출된 기판이 공급되어 공정을 진행하는 공정장비; 및

상기 포트 및 공정장비의 출입구와 동일한 높이로 이루어져 카세트의 기판을 취출하여 공정장비로 공급하는 피더로 구성된 액정표시소자의 기판공급장치.
제13항에 있어서, 상기 피더는,

상기 포트와 공정장비 사이에 위치하는 제1컨베이어; 및

상기 포트에 설치되어 카세트에 수납된 기판을 취출하여 제1컨베이어로 이송사하는 제2컨베이어로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 기판공급장치.
제14항에 있어서, 상기 제2컨베이어는 카세트의 높이에 따라 상승 및 하강하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 기판공급장치.
제14항에 있어서, 상기 포트와 공정장비는 서로 대향하는 것을 특징으로 하 는 액정표시소자의 기판공급장치.
제14항에 있어서, 상기 포트와 공정장비는 설정 거리로 이격된 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 기판공급장치.
제17항에 있어서, 상기 포트와 공정장비 사이에 설치되어 취출된 기판을 공정장비로 이송하는 가이드레일을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 기판공급장치.
제18항에 있어서, 상기 가이드레일을 따라 제1컨베이어가 이동하는 것을 특징으로 하는 기판공급장치.