KR100978262B1

KR100978262B1 - 액정표시소자 검사장치

Info

Publication number: KR100978262B1
Application number: KR1020050134591A
Authority: KR
Inventors: 김범수; 정재민
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2005-12-29
Filing date: 2005-12-29
Publication date: 2010-08-26
Also published as: KR20070071273A

Abstract

본 발명의 액정표시소자 검사장치는 항상 정확한 액정표시소자의 중력불량을 검사하기 위한 것으로, 카세트에 수납된 복수의 액정패널을 가열하는 히팅챔버와, 상기 히팅챔버의 근처에 설치되어 히팅챔버에 의해 가열된 액정패널의 불량을 검사하는 검사부와, 상기 히팅챔버에 카세트를 공급하는 컨베이어로 구성되며, 상기 컨베이어는 경사지게 설치되어 히팅챔버 내에 카세트를 경사지게 반입하는 것을 특징으로 한다.

액정패널, 중력불량, 검사, 히팅챔버, 카세트

Description

액정표시소자 검사장치{APPARATUS FOR TESTING LIQUID CRYSTAL DISPALY DEVCE}

도 1은 일반적인 액정표시소자의 단면도.

도 2는 액정표시소자를 제조하는 종래의 방법을 나타내는 흐름도.

도 3은 본 발명에 따른 액정패널 검사장치의 구조를 개략적으로 나타내는 측면도

도 4는 본 발명에 따른 액정패널 검사장치의 히팅챔버 구조를 나타내는 사시도

도 5는 본 발명에 따른 액정패널 검사장치의 패널반송부를 나타내는 사시도.

도 6는 본 발명에 따른 액정패널 검사장치의 패널반송부의 액정패널 파지동작을 나타내는 도면.

도 7은 본 발명에 따른 액정패널 검사장치의 컨베이어구조를 나타내는 도면.

도 8a∼도 8e는 본 발명에 따른 액정패널 검사장치를 이용하여 액정패널의 중력불량을 검사하는 방법을 나타내는 도면.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호설명 *

100 : 히팅 챔버 110 : 요입부

111 : 패널 출입구 112 : 카세트 출입구

120 : 이송부 150 : 히터부

200 : 검사부 300 : 패널 반송부

310 : 핸드부 313 : 파지부

500 : 컨베이어

본 발명은 액정패널의 검사 장치에 관한 것으로, 특히 가열된 액정패널을 신속하게 검사장치에 공급함으로써 균일한 온도에서 액정패널의 중력불량을 검사할 수 있는 액정표시소자의 검사장치에 관한 것이다.

근래, 핸드폰(Mobile Phone), PDA, 노트북컴퓨터와 같은 각종 휴대용 전자기기가 발전함에 따라 이에 적용할 수 있는 경박단소용의 평판표시장치(Flat Panel Display Device)에 대한 요구가 점차 증대되고 있다. 이러한 평판표시장치로는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등이 활발히 연구되고 있지만, 양산화 기술, 구동수단의 용이성, 고화질의 구현이라는 이유로 인해 현재에는 액정표시소자(LCD)가 각광을 받고 있다.

액정표시소자는 굴절률이방성을 이용하여 화면에 정보를 표시하는 장치이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 액정표시소자(1)는 하부기판(5)과 상부기판(3) 및 상기 하부기판(5)과 상부기판(3) 사이에 형성된 액정층(7)으로 구성되어 있다. 하부기판 (5)은 구동소자 어레이(Array)기판이다. 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 하부기판(5)에는 복수의 화소가 형성되어 있으며, 각각의 화소에는 박막트랜지스터(Thin Film Transistor)와 같은 구동소자가 형성되어 있다. 상부기판(3)은 컬러필터(Color Filter)기판으로서, 실제 컬러를 구현하기 위한 컬러필터층이 형성되어 있다. 또한, 상기 하부기판(5) 및 상부기판(3)에는 각각 화소전극 및 공통전극이 형성되어 있으며 액정층(7)의 액정분자를 배향하기 위한 배향막이 도포되어 있다.

상기 하부기판(5) 및 상부기판(3)은 실링재(Sealing Material)(9)에 의해 합착되어 있으며, 그 사이에 액정층(7)이 형성되어 상기 하부기판(5)에 형성된 구동소자에 의해 액정분자를 구동하여 액정층을 투과하는 광량을 제어함으로써 정보를 표시하게 된다.

액정표시소자의 제조공정은 크게 하부기판(5)에 구동소자를 형성하는 구동소자 어레이기판공정과 상부기판(3)에 컬러필터를 형성하는 컬러필터기판공정 및 셀(Cell)공정으로 구분될 수 있는데, 이러한 액정표시소자의 공정을 도 2를 참조하여 설명하면 다음과 같다.

우선, 구동소자 어레이공정에 의해 하부기판(5)상에 배열되어 화소영역을 정의하는 복수의 게이트라인(Gate Line) 및 데이터라인(Data Line)을 형성하고 상기 화소영역 각각에 상기 게이트라인과 데이터라인에 접속되는 구동소자인 박막트랜지스터를 형성한다(S101). 또한, 상기 구동소자 어레이공정을 통해 상기 박막트랜지스터에 접속되어 박막트랜지스터를 통해 신호가 인가됨에 따라 액정층을 구동하는 화소전극을 형성한다.

또한, 상부기판(3)에는 컬러필터공정에 의해 컬러를 구현하는 R,G,B의 컬러필터층과 공통전극을 형성한다(S104).

이어서, 상기 상부기판(3) 및 하부기판(5)에 각각 배향막을 도포한 후 상부기판(3)과 하부기판(5) 사이에 형성되는 액정층의 액정분자에 배향규제력 또는 표면고정력(즉, 프리틸트각(Pretilt Angle)과 배향방향)을 제공하기 위해 상기 배향막을 러빙(Rubbing)한다(S102,S105). 그 후, 하부기판(5)에 셀갭(Cell Gap)을 일정하게 유지하기 위한 스페이서(Spacer)를 산포하고 상부기판(3)의 외곽부에 실링재(9)를 도포한 후 상기 하부기판(5)과 상부기판(3)에 압력을 가하여 합착한다(S103,S106,S107).

한편, 상기 하부기판(5)과 상부기판(3)은 대면적의 유리기판으로 이루어져 있다. 다시 말해서, 대면적의 유리기판에 복수의 패널(Panel)영역이 형성되고, 상기 패널영역 각각에 구동소자인 TFT 및 컬러필터층이 형성되기 때문에 낱개의 액정패널을 제작하기 위해서는 상기 유리기판을 절단, 가공해야만 한다(S108). 이후, 상기와 같이 가공된 개개의 액정패널에 액정주입구를 통해 액정을 주입하고 상기 액정주입구를 봉지하여 액정층을 형성한 후 각 액정패널을 검사함으로써 액정패널을 제작하게 된다(S109,S110).

액정패널의 검사는 통상적으로 외관검사, 전기적 점등검사 및 중력불량검사로 구분할 수 있다. 점등검사는 완성된 액정패널에 신호를 인가하여 각종 전기소자들이 이상없이 작동하는 지를 검사하는 것이고 외관검사는 작업자가 육안으로 액정패널을 검사하여 액정패널의 불량여부를 검사하는 것이다. 또한, 중력불량검사는 중력에 의해 액정이 액정패널의 하부에 몰리는 것을 검사하는 것이다.

중력불량은 액정패널을 제작했을 때 액정패널의 내부에 형성된 액정층이 온도상승에 의해 부피가 증가하기 때문에 발생하는 것으로, 액정패널의 셀갭이 스페이서보다 커지게 되며 이에 따라 액정이 중력에 의해 하부로 이동하여 액정패널의 셀갭이 불균일하게 되므로 액정표시소자의 품질저하의 원인이 된다.

이러한 중력불량검사는 통상적으로 액정패널에 광을 투과시킨 후 액정패널 하부의 화상을 작업자가 직접 눈으로 관찰함으로써 이루어진다. 즉, 작업자가 액정패널 하부의 화상을 관찰하여 화상에 이상이 발생하는 경우 중력불량이 발생하였음을 판단하는 것이다.

이러한 중력불량검사는 완성된 액정패널을 고온으로 유지한 상태에서 진행된다. 이를 위해, 중력불량은 액정패널은 히팅챔버에서 가열된 후 이루어지는데, 이러한 액정패널은 가열은 검사의 효율을 위해 통상적으로 카세트단위로 이루어진다. 즉, 카세트에 복수의 액정패널을 수납한 후 히팅챔버에 의해 액정패널을 고온으로 가열한다. 가열된 액정패널은 별도의 이송수단에 의해 검사기로 이송되어 검사가 진행되는 것이다.

그러나, 이러한 중력불량검사장치에서는 검사기가 히팅챔버로부터 일정 거리 떨어져 있기 때문에, 상기 히팅챔버 내의 카세트로부터 반출된 액정패널이 상기 검사장치로 반송되는 도중 외기에 노출되어 온도가 하강하게 되어 정확한 검사가 불가능하게 되는 문제가 있었다.

또한, 종래의 중력불량 검사장치에서는 상기 히팅챔버 내의 카세트로부터 액 정패널을 반출할 때 히팅챔버의 내부가 외부로 노출되어 외부의 기류가 상기 히팅챔버 내부로 유입되어 상기 히팅챔버 내의 온도가 불균일하게 된다는 문제가 있었다.

또한, 종래의 중력불량 검사기에서는 히팅챔버로부터 검사기로 액정패널을 이송하는 수단, 즉 로보트와 같은 고가의 이송장치가 필요하게 되므로 제조비용을 상승시키는 원인이 된다.

본 발명의 상기한 점을 감안하여 이루어진 것으로, 가열된 액정패널의 온도를 저하시키지 않은 상태에서 중력불량을 검사함으로써 항상 정확한 검사를 진행할 수 있는 액정표시소자 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 다른 목적은 히팅챔버에 소정 각도로 안착되는 카세트를 공급하는 컨베이어를 상기 카세트의 경사각도와 동일하게 하여 히팅챔버의 제조비용을 절감하고 공간을 절약할 수 있는 액정표시소자 검사장치를 제공하는 것이다.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 액정표시소자 검사장치는 카세트에 수납된 복수의 액정패널을 가열하는 히팅챔버와, 상기 히팅챔버의 근처에 설치되어 히팅챔버에 의해 가열된 액정패널의 불량을 검사하는 검사부와, 상기 히팅챔버에 카세트를 공급하는 컨베이어로 구성되며, 상기 컨베이어는 경사지게 설치되어 히팅챔버 내에 카세트를 경사지게 반입하는 것을 특징으로 한다.

검사부는 히팅챔버에 형성된 요입부에 위치하여 히팅챔버의 액정패널 출입구와 검사부의 액정패널 유입구가 대향하며, 패널반송부에 의해 카세트의 액정패널이 상기 출입구와 유입구를 통해 검사부에 공급된다.

상기 컨베이어는 회전함에 따라 카세트를 이송하는 복수의 롤러와, 상기 롤러 일측에 설치되어 롤러를 경사지게 하는 지지대와, 상기 롤러의 상부에 설치되어 경사지게 이동하는 카세트를 지지하는 측면지지대와, 측면지지대에 설치되어 상기 카세트의 측면과 접촉하는 가이드롤러로 구성된다.

본 발명에서는 히팅챔버와 중력불량 검사기를 근접시켜 설치하고 히팅챔버의 액정패널 출입구와 중력불량 검사기의 유입구를 근접 대향시켜 히팅챔버로부터 추출되는 액정패널이 바로 중력불량 검사기로 입력가게 한다. 이와 같이, 히팅챔버로부터 중력불량 검사기로 액정패널이 이송되는 거리를 최소화함으로써 이송에 따른 액정패널의 온도저하를 방지할 수 있게 된다.

한편, 액정패널의 중력불량검사는 작업자가 직접 눈으로 확인하거나 카메라로 촬영한 후 화상을 처리하여 이루어진다. 따라서, 검사되는 액정패널은 그 표면이 작업자의 시야와 수직으로 되도록 지면에 대하여 일정한 각도로 놓이게 된다. 따라서, 상기 중력불량 검사기로 입력되는 액정패널은 상기 각도로 입력되어야만 하므로, 액정패널이 수납된 카세트가 액정패널이 중력불량 검사기에 놓이는 액정패널의 각도와 대응하여 일정한 각도로 히팅챔버내에 안착되며, 이 히팅챔버로 이송하는 컨베이어도 지면과 동일한 각도로 기울어져 공정의 신속함과 공간절약을 도모한다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 액정표시소자의 중력불량 검 사장치를 상세히 설명한다.

도 3은 본 발명에 따른 액정표시소자 중력불량 검사장치를 나타내는 측면도이고 도 4는 본 발명에 따른 액정표시소자 중력불량 검사장치의 히팅챔버의 사시도이다.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 액정패널 중력불량 검사장치는 크게 히팅챔버(100)와, 검사부(200) 및 패널반송부(300)를 포함하여 구성된다. 히팅챔버(100)는 검사대상인 액정패널을 가열하며 검사부(200)는 가열된 액정패널이 로딩되어 실제 중력불량을 검사한다. 특히, 본 발명에서는 히팅챔버(100)를 검부(200) 근처에 설치하고 히팅챔버(100)의 액정패널을 패널반송부(300)에 신속하게 검사부(200)에 입력시킴으로써 가열된 액정패널의 온도 저하를 방지할 수 있게 된다.

상기 히팅챔버(100)는 다수의 액정패널(1)이 적층된 카세트(10)를 공급받아 상기 액정패널(1)을 설정 온도에까지 이르게 가열하도록 구성된 장치로서, 대략 내부가 빈 박스형으로 형성되어 내부 후방측에 카세트(10)가 안착된다. 상기 히팅챔버(100)의 전방측 하부에는 내측으로 요입된 요입부(110)가 형성되어 검사부(200)가 위치하며, 상기 요입부(110)의 상면에는 액정패널(1)이 출입되는 패널출입구(111)가 형성된다. 이때, 상기 패널출입구(111)는 상기 액정패널(1)이 원활히 출입될 수 있을 정도의 크기로 형성된다. 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 패널출입구(111)에는 개폐도어를 설치하여 필요한 경우를 제외하고는 히팅챔버(100) 내부를 항상 밀폐된 상태로 유지할 수 있게 된다.

또한, 상기 히팅챔버(100)의 측면 후방측에는 상기 카세트(10)의 반입/반출을 위한 카세트출입구(112)가 더 형성되고, 상기 히팅챔버(100)의 후방측 저면에는 상기 카세트출입구(112)를 통해 상기 카세트(10)가 반입/반출되도록 구동되는 이송부(120)가 더 구비된다. 물론, 상기 카세트 출입구(112)에도 그의 선택적인 개폐를 위한 개폐도어(도시는 생략됨)가 더 구비됨이 바람직하다. 이때, 상기 개폐도어는 상기 이송부(120)가 설치된 부위는 제외하고 상기 카세트출입구(112)를 폐쇄하도록 구성됨이 가장 바람직하다. 이때, 상기 이송부(120)는 다양한 구조로 이루어질 수 있지만 본 발명의 실시예에서는 상기 이송부(120)가 컨베이어(conveyor)로 구성된다. 또한, 상기 히팅챔버(100)의 전방측 상면에는 상기 히팅챔버(100) 내부의 공정 진행 사항을 작업자가 확인할 수 있도록 투시창(130)을 형성되어 있다.

상기 히팅챔버(100)에는 카세트(10)에 수납된 액정패널을 가열하는 히터부(150)가 구비된다. 이때, 상기 히터부(150)는 상기 히팅챔버(100)의 벽면 내부에 설치되는 것이 바람직하지만, 상기 히팅챔버(100)의 내부 공간에 설치될 수도 있다. 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 히터부(150)는 상기 히팅챔버(100)와는 별도로 설치되어 덕트 등의 유입수단에 의해 고온의 열기를 상기 히팅챔버(100) 내부로 유입하도록 할 수도 있을 것이다.

상기 검사부(200)는 상기 히팅챔버(100)에 의해 가열된 액정패널(1)을 제공받아 액정패널의 중력불량을 검사하는 장치로서, 상기 히팅챔버(100)의 요입부(110) 내에 배치되고, 액정패널 유입측(210)은 상기 히팅챔버(100)의 패널 출입구(111)와 대향되도록 형성되어 히팅챔버(100)에서 추출된 액정패널(1)이 곧바로 검 사부(200)에 입력된다.

도 5는 히팅챔버(100)의 액정패널을 검사부(200)로 반송하는 패널반송부(300)를 나타내는 도면으로, 이러한 패널반송부(300)를 도 3∼도 5를 참조하여 설명하면 다음과 같다.

도 5에 도시된 바와 같이, 상기 패널반송부(300)는 핸드부(310)와, 전후 이동부(320)와, 승강이동부(330)로 구성된다. 이때, 상기 핸드부(310)는 몸체(311)와 다수의 핑거(312)로 구성되며, 상기 몸체(311)의 상단은 상기 히팅챔버(100)의 상측 외부로 노출되게 설치된다. 이때, 상기 각 핑거(312)의 끝단에는 파지부(313)가 형성되어 상기 액정패널(1)을 선택적으로 파지할 수 있다. 상기한 파지부(313)는 액정패널(1)의 표면에 긁힘을 방지하기 위해 테플론(Teflon) 수지나 혹은, 그에 준하는 수지재질 등으로 형성됨이 바람직하다.

도 6에 도시된 바와 같이, 상기 파지부(313)는 전방측(혹은, 후방측)을 향해 절곡된 후 다시 상부를 향해 절곡된 다단 절곡구조를 이루도록 형성되어 상기 액정패널(1)의 저부를 파지하게 된다. 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 파지부(313)의 내면(액정패널과 맞닿는 면)에는 그에 의해 파지되는 액정패널(1)의 유동을 방지하기 위해 별도의 단턱이 더 형성됨이 바람직하다.

또한, 상기 핸드부(310)에는 첨부된 도 5 및 도 6와 같이 상기 액정패널(1)의 상부를 파지하는 승강파지부(314)가 더 구비됨이 바람직하다. 상기 승강파지부(314)는 상기 핸드부(310)를 따라 선택적으로 승강하면서 액정패널(1)의 상부 둘레를 파지하도록 형성되며, 상기 액정패널(1)이 반송 도중 유동됨을 방지하는 역할을 한다. 이때, 상기 승강 파지부(314)는 스텝 모터나 액츄에이터 등의 구동수단(도면표시하지 않음)에 의해 승강 가능하게 구성됨이 바람직하다.

전후이동부(320)는 상기 핸드부(310)의 몸체(311)를 상기 히팅챔버(100)의 전후 방향을 따라 이동시키도록 구성된 것으로, 제1레일(321)과 제1동작부(322)를 포함하여 구성된다. 이때, 상기 제1레일(321)은 상기 히팅챔버(100) 상면의 전후 방향을 따라 설치된다.

또한, 상기 제1동작부(322)는 그 일단이 상기 제1레일(321)의 지지를 받아 전후방향으로 이동 가능하게 설치되고, 타단은 후술되는 승강이동부(330)의 제2레일(331)과 결합된다. 이때, 상기 제1동작부(322)의 이동을 위한 구성은 스텝 모터(323)가 사용된다. 물론, 액츄에이터를 사용할 수도 있을 것이다.

상기 승강 이동부(330)는 상기 핸드부(310)의 몸체(311)를 상기 히팅 챔버(100)의 상하방향을 따라 이동시키도록 구성된 것으로, 제2레일(331)과 제2동작부(332)를 포함하여 구성된다. 상기 제2레일(331)은 상기 히팅챔버(100) 내의 상하 방향을 따라 설치되며, 상기 전후이동부(320)를 구성하는 제1동작부(322)과 결합된다. 즉, 상기 제2레일(331)은 상기 제1동작부(322)와 함께 상기 히팅챔버(100)의 전후 방향을 따라 이동되는 것이다.

상기 제2동작부(332)는 일단이 상기 제2레일(331)의 지지를 받아 상하방향으로 이동 가능하게 설치되고 타단은 상기 핸드부(310)의 몸체(311) 상단에 고정된다. 이때, 상기 제1동작부(322)의 이동을 위한 구성은 스텝 모터(도면표시하지 않음)가 사용된다. 물론, 액츄에이터를 사용할 수도 있을 것이다.

한편, 본 발명에 따른 액정표시소자 중력불량 검사장치는 핸드부(310)와 히팅 챔버(100) 내로 반송되는 카세트(10)가 그의 전면이 하부로 갈수록 전방측을 향해 소정 각도(θ)로 경사지게 설치됨이 바람직하다. 그 이유는 검사부(200)에 유입되어 액정패널(1)이 소정 각도(θ)로 경사진 상태에서 검사가 진행되기 때문이다. 다시 말해서, 검사시 요구되는 경사진 각도(θ)로 검사부(200)에 액정패널(1)을 공급하기 위한 것이다.

이때, 상기 카세트(10)를 소정의 각도(θ)로 경사시키기 위해 별도의 리프트를 형성하여 카세트(10)의 일측을 상승시킬 수도 있다. 그러나, 이 경우 리프트를 별도로 제작하기 위한 비용이 추가될 뿐만 아니라 리프트의 설치공간에 의해 히팅챔버(100)의 공간이 증가하게 되어 설비비용이 증가하게 된다.

따라서, 본 발명에서는 이송부(120) 자체를 경사지게 하여 카세트(10)를 소정의 각도(θ)로 경사지게 한다. 이러한 이송부(120)의 경사는 단지 히팅챔버(100)내에서만 이루어지는 것이 아니다. 만약, 이전의 공정에서 종료된 액정패널(1)이 수납된 카세트(10)가 경사지지 않고 지면과 수평인 상태로 히팅챔버(100)에 공급되면, 히팅챔버(100)에 안착하기 전에 카세트(10)를 일정 각도(θ)로 경사지게 해야하므로 이 경우에도 별도의 리프트를 필요로 하게 된다. 따라서, 가장 바람직한 것은 카세트(10)를 이송할 때부터 카세트(10)를 원하는 각도(θ)로 경사시킨 상태로 이송하는 것이 바람직하다.

도 7에 이전 공정이 종료된 액정패널(또는 공정이 종료되어 일시적으로 저장된)을 수납하는 카세트(10)를 히팅챔버(100)로 이송하는 컨베이어(500)를 나타내는 도면이다. 도 7에 도시된 바와 같이, 컨베이어(500)는 회전함에 따라 액정패널(1)이 수납되는 카세트(10)를 이송시키는 복수의 롤러(520)와, 상기 롤러(520) 상부의 카세트(10)가 기울어지는 측면에 설치되어 경사지는 카세트(10)를 지지하는 측면지지대(530)와, 상기 측면지지대(530)에 회전 가능하게 형성되어 카세트(10)의 측면과 접촉하는 가이드롤러(537)로 구성된다.

상기 롤러(520)가 설치된 컨베이어(500)의 하부 일측에는 지지대(511)가 설치되어 상기 롤러(520)를 일정 각도(θ)로 경사지게 하며, 이 롤러(520)가 경사짐에 따라 롤러(520) 위에 놓인 카세트(10)도 경사지게 된다. 또한, 상기 카세트(10)가 경사짐에 따라 카세트(10) 내에 형성된 패널고정부(11)에 고정되는 액정패널(1)도 역시 일정 각도(θ)로 경사지는 것이다.

가이드롤러(537)는 회전 가능하지만, 모터와 같은 외부의 구동수단에 의해 회전되는 것이 아니라 외부의 힘이 인가되어 회전하게 된다. 따라서, 이 가이드롤러(537)의 회전속도는 카세트(10)의 이동속도와 동일하게 되며, 그 결과 이동시 경사진 카세트(10)가 측면지지대(530) 등과의 마찰에 의해 충격을 받는 것을 방지할 수 있게 된다.

상기와 같이 구성된 컨베이어(500)가 이전 공정 또는 물류저장장치로부터 히팅챔버(100)까지 연장 설치되어 액정패널(1)이 수납된 카세트(10)가 경사진 상태로 히팅챔버(100)로 이송, 안착되는 것이다.

한편, 도 3에 도시된 바와 같이, 히팅챔버(100)의 상부에는 밀폐부(400)가 형성되어 있다. 상기 밀폐부(400)는 상기 핸드부(310)가 이동할 수는 있는 공간을 확보하지만, 히팅챔버(100)의 상면에 개구되는 부위는 밀폐되도록 구성된 것이다. 즉, 히팅챔버(100) 내부가 밀폐된 상태를 이룰 수 있도록 함으로써 외기노출로 인한 온도 변화를 방지할 수 있도록 한 것이다.

이때, 상기한 밀폐부(400)는 다단 접힘이 가능한 주름식 커튼의 형상으로 형성된다. 이와 함께, 상기 밀폐부(400)의 양단은 상기 히팅챔버(100)의 상면 전방측 및 후방측에 각각 고정되고, 내측 부위는 상기 핸드부(310)를 구성하는 몸체(311)의 둘레면을 감싸도록 형성된다.

만일, 첨부된 도 8과 같이 상기 핸드부(310)의 각 핑거(312)가 상기 히팅 챔버(100)의 외부로 노출되도록 구성될 경우 상기 밀폐부(400)에는 상기 각 핑거(312)의 출입이 가능한 별도의 출입구(410)가 더 형성됨이 바람직하다.

이하, 상기한 구성의 액정패널 중력불량 검사장치를 이용하여 액정패널의 중력불량을 검사하는 방법을 설명한다.

우선, 도 8a에 도시된 바와 같이, 다수의 액정패널(1)이 적층된 카세트(10)가 히팅챔버(100)와 이전의 공정라인 또는 물류저장장치 사이에 설치된 컨베이어(500)와 이송부(120)를 통해 소정의 각도(θ)로 경사진 상태로 히팅챔버(100) 내부로 반입되어 안착된다. 이때, 상기 히팅챔버(100)의 개폐 도어는 카세트출입구(112)가 개방되도록 동작되며, 안착이 종료되면 상기 카세트 출입구(112)가 폐쇄된다.

이 상태에서 히터부(150)가 작동하여 상기 히팅챔버(100)가 가열되어 설정된 온도(예컨대, 대략 50∼70℃ 정도)에 도달하면, 패널반송부(300)가 구동하게 된다. 이때, 전후이동부(320)를 구성하는 제1동작부(322)는 상기 패널반송부(300)의 핸드부(310)가 상기 카세트(10)의 상부 중 취출하고자 하는 액정패널(이하, “대상 패널”이라 함)(1)의 위치에 위치되도록 구동되고, 승강이동부(330)를 구성하는 제2동작부(332)는 상기 핸드부(310)의 각 핑거(312)를 하향 이동시켜 상기 각 핑거(312)가 상기 카세트(10) 내의 대상패널(1)을 취출하는 위치에 이르도록 동작된다.

이어서, 도 8b에 도시된 바와 같이, 상기 제1동작부(322)가 구동하여 상기 각 핑거(312)가 상기 대상 패널(1)의 배면을 받치게 되고, 동시에 상기 대상패널(1)의 저부는 상기 각 핑거(312)의 끝단에 형성된 파지부(313)와 대향되게 위치된다.

이러한 상태에서 제2동작부(332)의 구동에 의해 상기 핸드부(310)의 각 핑거(312)가 상향 이동되면 상기 대상패널(1)의 저부는 상기 파지부(313)에 파지된 상태를 이룸과 동시에 상기 대상 패널(1)의 배면은 상기 각 핑거(312)에 기댄 상태를 이루면서 카세트(10)로부터 취출된다.

상기 카세트(10)로부터의 대상패널(1)의 취출이 완료되면, 도 8c 및 도 8d에 도시된 바와 같이, 상기 핸드부(310)가 카세트(10)에 의해 이동에 간섭을 받지 않는 높이에까지 상승한 후 제1동작부(322)의 구동에 의해 상기 핸드부(310)는 히팅 챔버(100)의 패널출입구(111)와 대향되는 위치까지 이동된다.

이후, 도 8e에 도시된 바와 같이, 제2동작부(332)의 구동에 의해 상기 핸드부(310)가 하부로 이동하여 각 핑거(312) 및 그에 얹힌 대상패널(1)이 상기 패널출입구(111)를 통과한 후 검사부(200)로 입력된다. 이어서, 상기 검사부(200)가 상기 대상패널(1)만을 고정하게 되면, 상기 각 핑거(312)는 제1동작부(322) 및 제2동작부(332)의 순차적인 구동에 의해 상기 대상 패널(1)을 남겨둔 채 상기 패널 출입구(111)를 통해 반출된다.

이와 같이, 대상패널(1)이 검사부(200)에 입력된 상태에서 액정패널(1)의 중력불량검사가 진행되며, 중려불량검사가 종료되면 상술한 일련의 과정과는 역순으로 상기 검사 완료된 대상 패널(1)이 상기 검사부(200)로부터 취출된 후 다시 카세트(10) 내에 안착된다. 이러한 공정은 상기 카세트(10) 내에 수납된 모든 액정패널(1)의 검사가 완료될 때까지 연속적으로 진행되며, 카세트(10) 내에 수납된 모든 액정패널(1)의 검사가 완료되었다면 카세트 출입구(112)가 개방된 후 상기 카세트(10)가 반출됨과 동시에 또 다른 카세트(불량 검사를 진행할 액정패널이 수납된 카세트)가 반입되어 전술한 일련의 과정을 반복한다.

이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경할 수 있다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.

상기와 같은 본 발명의 실시예에 따른 액정패널 검사장치는 카세트 내의 액정패널이 검사부로 반송되는 과정이 밀폐된 상태의 히팅 챔버 내에서 진행된다.

이로 인해, 상기 액정패널의 온도 변화가 최소화되며, 이로 인해 상기 액정패널의 불량 검사가 정확히 진행될 수 있다는 효과를 가진다. 또한, 상기 히팅 챔 버 내의 온도 변화가 최소화될 수 있다는 효과 역시 가진다.

Claims

카세트에 수납된 복수의 액정패널을 가열하는 히팅챔버;

상기 히팅챔버의 근처에 설치되어 히팅챔버에 의해 가열된 액정패널의 불량을 검사하는 검사부; 및

상기 히팅챔버에 카세트를 공급하는 컨베이어로 구성되며,

상기 컨베이어는 경사지게 설치되어 히팅챔버 내에 카세트를 경사지게 반입하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
제1항에 있어서, 상기 검사부는 카세트와 동일한 각도를 경사진 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
제1항에 있어서, 상기 히팅챔버의 일측에는 검사부가 위치하는 요입부가 형성되는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
제1항에 있어서, 상기 히팅챔버에는 액정패널의 출입구가 형성되고 검사부에는 상기 출입구와 대향하는 액정패널 유입구가 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
제1항에 있어서, 상기 카세트 내의 액정패널을 취출하여 검사부로 제공하는 패널반송부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사 장치.
제5항에 있어서, 상기 패널반송부는 카세트와 동일한 각도로 경사진 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
제1항에 있어서, 상기 히팅 챔버의 측면 후방측에는 상기 카세트의 반입 및 반출시키는 카세트출입구가 형성됨을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
제1항에 있어서, 상기 히팅챔버 내에 형성되어 상기 카세트출입구를 통해 상기 카세트가 반입 및 반출되는 이송부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
제1항에 있어서, 상기 히팅 챔버는 내부의 공정진행사항을 확인하는 투시창이 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
제5항에 있어서, 상기 패널반송부는

액정패널을 선택적으로 파지할 수 있도록 구성되며, 상단은 상기 히팅챔버의 상측 외부로 노출되는 핸드부;

상기 핸드부를 히팅챔버의 전후 방향을 따라 이동시키는 전후이동부; 및

일단은 전후이동부에 고정되고, 타단은 상기 핸드부를 상하방향을 따라 승강 시키는 승강이동부로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
제10항에 있어서, 상기 패널반송부는 핸드부의 하측 끝단에 형성되어 상기 액정패널의 저부를 파지하는 파지부가 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
제10항에 있어서, 상기 전후 이동부는,

상기 히팅챔버 상면의 전후 방향을 따라 설치되는 제1레일; 및

일단은 상기 제1레일의 지지를 받아 전후 방향으로 이동 가능하게 설치되고, 타단은 상기 승강이동부에 고정되는 제1동작부로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
제10항에 있어서, 상기 승강이동부는,

상기 히팅챔버 내의 상하 방향을 따라 설치되는 제2레일; 및

상단이 상기 제2레일의 지지를 받아 상하 방향으로 이동 가능하게 설치되고, 타단은 상기 핸드부에 고정되는 제2동작부로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
제10항에 있어서, 상기 패널반송부는 히팅 챔버의 상면에 형성되어 핸드부가 이동하는 히팅챔버의 개구부를 밀폐하는 밀폐부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
제14항에 있어서, 상기 밀폐부는 주름식 커튼의 형상으로 형성되어 그 양단이 상기 히팅챔버의 상면 전방측 및 후방측에 각각 고정되고 내측 부위는 상기 핸드부의 둘레면을 감싸도록 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
제1항에 있어서, 상기 컨베이어는,

회전함에 따라 카세트를 이송하는 복수의 롤러; 및

상기 롤러 일측에 설치되어 롤러를 경사지게 하는 지지대로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
제16항에 있어서, 상기 컨베이어는,

상기 롤러의 상부에 설치되어 경사지게 이동하는 카세트를 지지하는 측면지지대; 및

상기 측면지지대에 설치되어 상기 카세트의 측면과 접촉하는 가이드롤러를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
제17항에 있어서, 상기 가이드롤러는 회전가능하게 형성되어 카세트와 접촉하여 회전하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 검사장치.
제1항에 있어서, 상기 컨베이어의 경사각도와 카세트의 경사각도는 동일한 것을 특징으로 하는 액정표시소자 검사장치.
제5항에 있어서, 상기 패널반송부, 카세트 및 검사부는 동일한 각도로 경사진 것을 특징으로 하는 액정표시소자 검사장치.