CN1978287A - 卡匣、机械手臂和工艺设备 - Google Patents
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Abstract
一种卡匣，其适于容置至少一个基板。卡匣包括壳体和至少一个传送单元。此传送单元适于设置于壳体内，且传送单元包括多个滚轴和至少一个磁性导螺杆。其中，这些滚轴适用于承载基板，而此磁性导螺杆与这些滚轴中的一个电连接。当磁性导螺杆转动时便会带动相对应的滚轴转动使基板移动。此外，本发明亦披露一种机械手臂和工艺设备。
Description
技术领域
本发明涉及一种卡匣、机械手臂和工艺设备，且特别涉及一种使用磁性导螺杆的卡匣、机械手臂和工艺设备。
背景技术
薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor Liquid CrystalDisplay，TFT-LCD)为现今显示器市场的重要主流，其主要包括液晶显示面板(liquid crystal display panel)及背光模块(back light module)。其中液晶显示面板由彩色滤光基板(Color Filter，C/F)、薄膜晶体管阵列基板(thin film transistor array)以及设置于此两基板间的液晶层所构成。薄膜晶体管阵列基板会通过多道工艺，于玻璃基板上制造多个用以驱动液晶层的阵列排列的薄膜晶体管(TFT)。以下就传送及存放玻璃基板的装置进行说明。
图1为公知用以容置基板的卡匣示意图，而图2A和图2B分别为公知的两叉式机械手臂与基板移出的示意图。图3为公知的工艺设备的负载/卸载腔室示意图。请先参照图1、图2A与图2B，一般在工艺中，基板S通常是存放在卡匣(Cassette)100中，而此卡匣100包括多个侧向式支承臂(side-bearing arm)110，其设置于卡匣100内的两侧，用以承载基板S。为简化说明，图1中仅表示出一个基板S与其相对应的侧向式支承臂110。在此公知的卡匣100中，为了让机械手臂(Mechanical Arm)120能够移出或置入基板S(如图2A所示)，侧向式支承臂110的尺寸不能太大，且这些侧向式支承臂110会造成机械手臂120在定位上的困难。此外，近日来玻璃基板的大尺寸化，不仅使得侧向式支承臂110容易发生变形，也使玻璃基板容易发生变形。
承上所述，两叉式(two-fork)的机械手臂120先伸入至基板S下方，再将基板S提起。接着，承载基板S的机械手臂120自卡匣100中退出(如图2B所示)，并将基板S移动送至工艺设备200内(如图3所示)。同样地，随着玻璃基板的大尺寸化，机械手臂120所需的结构强度也就越高，才能避免机械手臂120本身发生变形。
图3中，工艺设备(Process Apparatus)200包括负载/卸载腔室210，与连接至负载/卸载腔室210的反应腔室220。其中，在负载/卸载腔室210内设置有多个支承针脚(bearing pins)212，用以承载机械手臂120所送来的基板S。之后，基板S再送入工艺设备200的反应腔室220中进行所需的半导体工艺(Semiconductor Process)。完成半导体工艺的基板S再依序由机械手臂120承接，并送回卡匣100中。
值得注意的是，上述用来负载基板S的支承针脚212必须加以适当的设计，使机械手臂120能够取出或置入基板S。然而，支承针脚212的设置位置若设计不当会造成机械手臂120在定位上的困难。此外，当支承针脚212与基板S接触时，支承针脚212与基板S之间也可能产生静电放电，而对于基板S上的电子元件造成损伤。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的是提供一种卡匣，以改善公知的卡匣所发生的支承臂变形与基板变形的现象。
此外，本发明的再一目的是提供一种机械手臂，以改善公知的机械手臂定位的困难度。
另外，本发明的又一目的是提供一种工艺设备，以改善基板上的电子元件受到静电放电而产生损坏的现象。
基于上述目的或其他目的，本发明提出一种卡匣，其适于容置至少一个基板。此卡匣包括壳体和至少一个传送单元。传送单元设置于壳体内，且传送单元包括适于承载基板的多个滚轴和至少一个磁性导螺杆。其中，此磁性导螺杆与这些滚轴中的一个电连接，且磁性导螺杆转动时带动相对应的滚轴转动使基板移动。
依照本发明实施例，磁性导螺杆可以是位于对应的滚轴的一端。
依照本发明实施例，磁性导螺杆与对应的滚轴可以是互相垂直。
依照本发明实施例，这些滚轴可以是水平排列。
基于上述目的或其他目的，本发明提出一种机器手臂，其适于传送基板。此机器手臂包括主体和传送单元。此传送单元与主体连接，且传送单元包括适于承载基板的多个滚轴和至少一个磁性导螺杆。其中，此磁性导螺杆与这些滚轴中的一个电连接，且磁性导螺杆转动时带动相对应的滚轴转动使基板移动。
依照本发明实施例，磁性导螺杆可以是位于对应的滚轴的一端。
依照本发明实施例，磁性导螺杆与对应的滚轴可以是互相垂直。
依照本发明实施例，这些滚轴可以是水平排列。
基于上述目的或其他目的，本发明提出一种工艺设备，其适于对于基板进行半导体工艺。此工艺设备包括反应腔室、负载/卸载腔室与传送单元，其中负载/卸载腔室与反应腔室连接。传送单元设置于负载/卸载腔室内，且传送单元包括适于承载基板的多个滚轴和至少一个磁性导螺杆。其中，此磁性导螺杆与这些滚轴中的一个电连接，且磁性导螺杆转动时带动相对应的滚轴转动使基板移动。
依照本发明实施例，磁性导螺杆可以是位于对应的滚轴的一端。
依照本发明实施例，磁性导螺杆与对应的滚轴可以是互相垂直。
依照本发明实施例，这些滚轴可以是水平排列。
基于上述，本发明的卡匣因采用以滚轮和磁性导螺杆所组成的传送单元来承载基板，因此基板变形的情况能够获得改善，且机械手臂的定位困难度也可以降低。此外，依照本发明的工艺设备的负载/卸载腔室的设计也可以被简化，且能够改善基板上的电子元件受到静电放电而破坏的现象。
为让本发明的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合附图，作详细说明如下。
附图说明
图1为公知的用于容置基板的卡匣示意图。
图2A为公知的二叉式机械手臂示意图。
图2B为公知的基板取出的示意图。
图3为公知的工艺设备的负载/卸载腔室示意图。
图4A与图4B分别为依据本发明实施例的卡匣的俯视图与侧视图。
图5A与图5B分别为依据本发明实施例的机械手臂的俯视图与立体示意图。
图6A为依据本发明实施例的工艺设备俯视图。
图6B为本发明实施例的卡匣、机械手臂与工艺设备同时使用的示意图。
主要元件标记说明
100：公知的卡匣
110：侧向式支承臂
120：两叉式机械手臂
200、500：工艺设备
210、530：负载/卸载腔室
220：支承针脚
300：卡匣
310：壳体
320、420、520：传送单元
322、422、522：滚轴
324、424、524：磁性导螺杆
400：机械手臂
410：主体
430：调整基座
500：工艺设备
510：反应腔室
S：基板
具体实施方式
图4A与图4B分别为依据本发明实施例的卡匣的俯视图与侧视图。请参照图4A与图4B。在半导体工艺中，待进行工艺或已完成工艺的基板S可存放于如图4A所示卡匣300，此卡匣300包括壳体310和传送单元320。此传送单元320设置于壳体310内，且传送单元320可用以承载一个基板S。当然，本实施例的卡匣300可包括多个传送单元320，以承载多个基板S，如图4B所示。然而为了简化说明，本实施例仅以单一传送单元320进行说明。
在本实施例中，传送单元320包括多个滚轴322和多个磁性导螺杆324，其中这些滚轴322为水平排列，以承载基板S。此外，每个磁性导螺杆324各自与相对应的滚轴322的一端电连接。当磁性导螺杆324转动时，就会带动相对应的滚轴322转动，以使得基板S移动。简单说，在图4B中，基板S以各传送单元320承载，并于需要使用时以滚轴322带动基板S移动而送出卡匣300。此外，更详细而言，磁性导螺杆324与对应的滚轴322可以是互相垂直。值得注意的是，虽然本实施例的传送单元320具有多个磁性导螺杆324，但在使用单一磁性导螺杆324的情况下，也可以使得基板S移动。
接着，请参照图5A与图5B，其分别为依据本发明实施例的机械手臂的俯视图与立体示意图。从卡匣300传送出来的基板S，会以一个机械手臂400来承接和运送。机器手臂400包括主体410和传送单元420，其中传送单元420与主体410连接。此外，本实施例的传送单元420与上述卡匣300中的传送单元320可以是相同，而此传送单元420可包括多个滚轴422与多个磁性导螺杆424。同样地，这些滚轴422为水平排列以承载和传送基板S，而每个磁性导螺杆424各自与相对应的滚轴422的一端电连接。举例而言，磁性导螺杆424与对应的滚轴422可以是互相垂直。另外，值得一提的是，主体410可设置于调整基座430上，其能用以调整传送单元420的垂直高度以对应卡匣300承接其内传送单元320上的基板S，且适于导引基板S传送的方向。
简单来说，当要传送基板S时，机械手臂400的传送单元420便会承接由卡匣300中传送单元320所传送出来基板S。之后，借着传送单元420的磁性导螺杆424转动而带动相对应的滚轴422转动，以传送基板S。换言之，机械手臂400不仅可用以承接基板S外，还可以传送基板S。
之后，再由机械手臂400将基板S传送至工艺设备500内。图6A为依据本发明实施例的工艺设备俯视图，而图6B为本发明实施例的卡匣、机械手臂与工艺设备同时使用的示意图。请参照图6A与图6B，工艺设备500包括反应腔室510、传送单元520与负载/卸载腔室530，其中负载/卸载腔室530与反应腔室510连接，而传送单元520设置于负载/卸载腔室530内。此外，传送单元520与前述传送单元320可以是相同，而传送单元520包括多个滚轴522与多个磁性导螺杆524。其中，这些滚轴522和磁性导螺杆524的设置与电连接方式都与前述相同，不再重复说明。
因而，机械手臂400所承载的基板S即送入负载/卸载腔室530内，然后由传送单元520将基板S送入反应腔室510中，以进行半导体工艺。在工艺完成后，基板S再依序经由传送单元520与机械手臂400的传送，而传回至卡匣300中存放。由此可知，本发明使用同样的传送单元，因而能连续地进行基板的储放、运送和工艺的运作流程。
值得注意的是，本实施例并不限定卡匣300、机械手臂400与工艺设备500需同时使用，而卡匣300、机械手臂400与工艺设备500也可以独立使用。
综上所述，本发明至少具有下列优点：
一、本发明将由滚轮以及磁性导螺杆所组合的传送单元应用至卡匣、机械手臂或工艺设备中，因此这种卡匣、机械手臂或工艺设备能够承载大尺寸基板。
二、与公知技术相比，本发明的卡匣所能承载基板的数量更多，且机械手臂的定位也能简化。
三、与公知技术相比，本发明不仅能够简化负载/卸载腔室，更可改善基板上的电子元件受到静电放电而破坏的现象。
虽然本发明已以较佳实施例披露如上，然其并非用以限定本发明，任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与改进，因此本发明的保护范围当视权利要求所界定者为准。
Claims (12)
1.一种卡匣，适于容置至少一个基板，其特征是该卡匣包括：
壳体；
至少一个传送单元，设置于该壳体内，该传送单元包括：
多个滚轴，适于承载该基板；以及
至少一个磁性导螺杆，该磁性导螺杆与上述这些滚轴中的一个电连接，在该磁性导螺杆转动时，该磁性导螺杆带动对应的该滚轴转动，以使该基板移动。
2.根据权利要求1所述的卡匣，其特征是该磁性导螺杆位于对应的该滚轴的一端。
3.根据权利要求1所述的卡匣，其特征是该磁性导螺杆与对应的该滚轴垂直。
4.根据权利要求1所述的卡匣，其特征是上述这些滚轴为水平排列。
5.一种机器手臂，适于传送基板，其特征是该机器手臂包括：
主体；
传送单元，连接至该主体，该传送单元包括：
多个滚轴，适于承载该基板；以及
至少一个磁性导螺杆，该磁性导螺杆与上述这些滚轴中的一个电连接，在该磁性导螺杆转动时，该磁性导螺杆带动对应的该滚轴转动，以使该基板移动。
6.根据权利要求5所述的机器手臂，其特征是该磁性导螺杆位于对应的该滚轴的一端。
7.根据权利要求5所述的机器手臂，其特征是该磁性导螺杆与对应的该滚轴垂直。
8.根据权利要求5所述的机器手臂，其特征是上述这些滚轴为水平排列。
9.一种工艺设备，适于对于基板进行半导体工艺，其特征是该工艺设备包括：
反应腔室；
负载/卸载腔室，连接至该反应腔室；
传送单元，设置于该负载/卸载腔室内，该传送单元包括：
多个滚轴，适于承载该基板；以及
至少一个磁性导螺杆，该磁性导螺杆与上述这些滚轴中的一个电连接，在该磁性导螺杆转动时，该磁性导螺杆带动对应的该滚轴转动，以使该基板移动。
10.根据权利要求9所述的工艺设备，其特征是该磁性导螺杆位于对应的该滚轴的一端。
11.根据权利要求9所述的工艺设备，其特征是该磁性导螺杆与对应的该滚轴垂直。
12.根据权利要求9所述的工艺设备，其特征是上述这些滚轴为水平排列。
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102050330A (zh) * | 2010-11-05 | 2011-05-11 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 机械手臂及具有该机械手臂的搬运装置 |
| CN105059804A (zh) * | 2015-07-17 | 2015-11-18 | 济南大学 | 一种棒料自动仓库 |
| CN107552467A (zh) * | 2017-09-24 | 2018-01-09 | 安徽海拓志永智能装备股份有限公司 | 适用于玻璃清洗的上线系统 |
| CN108196149A (zh) * | 2018-01-02 | 2018-06-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | 传输轴及传输装置 |
| CN115938998A (zh) * | 2022-02-28 | 2023-04-07 | 长沙瑶华半导体科技有限公司 | 一种改善基板封装翘曲的方法 |
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Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102050330A (zh) * | 2010-11-05 | 2011-05-11 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 机械手臂及具有该机械手臂的搬运装置 |
| CN102050330B (zh) * | 2010-11-05 | 2013-02-06 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 机械手臂及具有该机械手臂的搬运装置 |
| CN105059804A (zh) * | 2015-07-17 | 2015-11-18 | 济南大学 | 一种棒料自动仓库 |
| CN107552467A (zh) * | 2017-09-24 | 2018-01-09 | 安徽海拓志永智能装备股份有限公司 | 适用于玻璃清洗的上线系统 |
| CN108196149A (zh) * | 2018-01-02 | 2018-06-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | 传输轴及传输装置 |
| CN115938998A (zh) * | 2022-02-28 | 2023-04-07 | 长沙瑶华半导体科技有限公司 | 一种改善基板封装翘曲的方法 |
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