CN102050330B - 机械手臂及具有该机械手臂的搬运装置 - Google Patents

机械手臂及具有该机械手臂的搬运装置 Download PDF

Info

Publication number
CN102050330B
CN102050330B CN201010536877.4A CN201010536877A CN102050330B CN 102050330 B CN102050330 B CN 102050330B CN 201010536877 A CN201010536877 A CN 201010536877A CN 102050330 B CN102050330 B CN 102050330B
Authority
CN
China
Prior art keywords
mechanical arm
cavity
bearing carrier
described cavity
light source
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201010536877.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102050330A (zh
Inventor
王贇
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TCL China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Original Assignee
Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd filed Critical Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority to CN201010536877.4A priority Critical patent/CN102050330B/zh
Priority to US13/000,165 priority patent/US20120132829A1/en
Priority to PCT/CN2010/079154 priority patent/WO2012058831A1/zh
Publication of CN102050330A publication Critical patent/CN102050330A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102050330B publication Critical patent/CN102050330B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/067—Sheet handling, means, e.g. manipulators, devices for turning or tilting sheet glass
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/068—Stacking or destacking devices; Means for preventing damage to stacked sheets, e.g. spaces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/02—Controlled or contamination-free environments or clean space conditions
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T74/00—Machine element or mechanism
    • Y10T74/20—Control lever and linkage systems
    • Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element
    • Y10T74/20305—Robotic arm
    • Y10T74/20329—Joint between elements

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

本发明公开一种机械手臂，其包括一承载构件、一腔体及一伸缩元件。所述腔体具有一闸门，且所述腔体容纳所述承载构件。该伸缩元件连接于该承载构件，驱动所述承载构件经由所述闸门伸出所述腔体外或收回至所述腔体内。本发明还公开一种具有该机械手臂的搬运装置，本发明的机械手臂及具有该机械于臂的搬运装置通过该腔体的设置达成了确保该板件在搬运过程中的洁净度。

Description

机械手臂及具有该机械手臂的搬运装置
技术领域
本发明是有关于一种机械手臂及具有该机械手臂的搬运装置，且特别是有关于一种用于搬运液晶显示面板的机械手臂及具有该机械手臂的搬运装置。
背景技术
在液晶显示面板的制作过程中，大致可分为前段阵列(Array)制程、中段成盒(Cell)制程及后段模组组装(Module)制程。前段的阵列制程为生产薄膜晶体管（Thin Film Transistor,TFT）基板及彩色滤光片(color filter,CF)基板。中段成盒制程则负责将TFT基板与彩色滤光片基板组合，并在两者之间注入液晶之与切割合乎产品尺寸之面板。后段组装制程则负责将组合后的面板与背光模块、面板驱动电路、外框等做组装的制程。
在中段成盒制程中，首先于彩色滤光片基板上进行TFT基板与彩色滤光片基板组合所需之框胶涂布(Sealant Dispense)，而后于彩色滤光片基板上滴上所需之液晶量。利用机械手臂搬运TFT基板与彩色滤光片基板至贴合机内，在真空之环境下进行TFT基板与彩色滤光片基板之组合而后进行对位及贴合的制程，随后再由机械手臂搬运贴合后的面板至框胶硬化炉、热固化炉等进行框胶硬化及热固化等制程。
然而随着面板尺寸的逐渐增大，机械手臂的尺寸和运动范围、速度也日益增大。众所周知，液晶面板的良率同环境中的尘埃粒子有着密不可分的关系。高速及大幅度的动作，势必会造成扬尘现象，且对于整个搬送通道中的洁净度要求也越来越高。高世代液晶面板生产线，势必增加对洁净房的要求。
此外，传统的机械手臂收取基板及搬运基板均暴露在外面，当进行保养等维护作业时，容易发生人员或器具触碰基板而造成基板破裂。
另一方面，随着近期可视光框胶的出现，目前多采用可视光（波长为420nm以上）的光波对框胶进行硬化，而不采用传统的紫外线灯(UV Lamp)，以节省了光罩的费用，且完全避免了365纳米波长的紫外线对于液晶的影响。然而，由于可视光框胶对于可视光的敏感，所以当机械手臂在搬运TFT基板与彩色滤光片基板的过程中，框胶长时间暴露在可视光下将导致不必要的硬化，而造成液晶泄漏等品质问题。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的在于提供一种具有腔体的机械手臂，用以解决上述问题。
本发明的另一目的在于提供一种具有该机械手臂的搬运装置，用以同时搬运TFT基板与彩色滤光片基板并解决上述问题。
为达上述的目的，本发明提供了一种机械手臂，其包括一承载构件、一腔体及一伸缩元件。所述承载构件用于承载一板件。所述腔体具有一闸门，所述腔体容纳所述承载构件以及所述板件。所述伸缩元件连接于所述承载构件，驱动所述承载构件经由所述闸门伸出所述腔体外或收回至所述腔体内。
在本发明较佳实施例中，所述腔体设有一风机滤网单元，空气经风机过滤网单元处理后送入所述腔体内。此外，所述腔体内设有一光源，且所述光源所发出光线的波长位于可视光范围内。更进一步的说，所述机械手臂进一步包括一点灯控制器，用以控制所述光源的点亮或关闭。所述点灯控制器在机械手臂运动过程中点亮所述光源。
值得注意的是，所述伸缩元件是一伸缩杆。所述机械手臂进一步包括一支撑架构，用以支撑所述腔体。
为达上述的另一目的，本发明另提供一种具有该机械手臂的搬运装置。所述搬运装置包含有至少一个机械手臂。每个所述机械手臂包括一承载构件、一腔体、一伸缩元件。所述承载构件用于承载一板件。所述腔体具有一闸门，且所述腔体容纳所述承载构件以及所述板件。所述伸缩元件连接于所述承载构件，驱动所述承载构件经由所述闸门伸出所述腔体外或收回至所述腔体内。如前所述，所述腔体设有一风机滤网单元，空气经风机过滤网单元处理后送入所述腔体内。
根据本发明的机械手臂及具有该机械手臂的搬运装置，其可用于在成盒制程中搬运TFT基板与彩色滤光片基板，并将TFT基板与彩色滤光片基板容纳于所述腔体内。由于所述腔体内空间远小于洁净室的空间，因此在里面可以达到很高的洁净度，解决了传统机械手臂将TFT基板与彩色滤光片基板暴露在外面的洁净度不足以及基板容易损伤的缺点。此外，通过所述腔体设有光源，不仅解决了框胶对对于可视光的敏感的问题，进一步还可在搬运过程中对框胶进形照光以完成硬化步骤，减少运送至框胶硬化炉进行硬化的制程，进而降低了成本。
为让本发明的上述内容能更明显易懂，下文特举较佳实施例，幷配合所附图式，作详细说明如下：
附图说明
图1为本发明较佳实施例的机械手臂的立体示意图。
图2为本发明较佳实施例的伸缩元件伸出的立体示意图。
图3为本发明较佳实施例的搬运装置。
具体实施方式
请参照图1，图1为本发明较佳实施例的机械手臂的立体示意图。本较佳实施例的机械手臂100装设在一座体200上。所述机械手臂100用以搬运一板件(未图示)，其中所述板件玻璃基板或为上述的TFT基板与彩色滤光片基板，或以完成贴合后的面板，特别是大尺寸的面板。所述机械手臂100包括若干个臂体110、一承载构件120、一腔体140及一伸缩元件160。所述若干个臂体110是透过多个关节（未图示）组合而成，并可通过电脑控制臂体110的运作。
所述承载构件120用于承载所述板件。较佳的，所述承载构件120为若干个柱体排列而成，并装设在一基座125。此外，所述若干个柱体亦可与所述基座125一体成形。
为了清楚说明，所述腔体140是以透视图表现。所述腔体140装设在臂体110上。所述腔体140用以容纳所述承载构件120以及所述板件，并且可随着臂体110移动位置。具体来说，所述腔体140为一不透光的扁平形容器。所述腔体140具有一闸门142，并且所述闸门142是常闭的，用以密封所述板件，例如密封上述的TFT基板与彩色滤光片基板以防止尘埃粒子掉落在上面。另外，所述闸门142可以打开，具有足够的宽度使所述承载构件120可以伸出于所述腔体140外。
在此较佳实施例中，所述腔体140设有一风机滤网单元(Fan Filter Unit,FFU)(未图示)在所述腔体140的顶面上，空气经风机过滤网单元处理后送入所述腔体140内，以保持所述腔体140内的洁净度。确切地说，所述风机滤网单元是一种自带动力、具有过滤功效的末端送风装置。风机从风机滤网单元的顶部将空气吸入并经初效、高效微粒滞留阻捕（High Efficiency ParticulateArresting,HEPA）过滤器过滤，过滤后的洁净空气均匀的传送到腔体140内，提高腔体140内空气的洁净度，甚至可使腔体140内每立方英尺内粒径大于0.3微米的粉尘的数量小于10颗。
在此较佳实施例中，所述腔体140还设有光源，例如灯具180装设在所述腔体140内的顶面上。所述光源所发出光线的波长位于可视光范围内，例如为可视光灯管，如T5灯管（380nm以上波长）。所述光源所发出光线的波长除了位于可视光范围内之外，也可以是紫光灯（波长380nm～470nm）。除此之外，所述机械手臂110还包括一点灯控制器(未图示)，所述点灯控制器电性连接于所述光源（如灯具180），用以控制所述光源的发光时间，以及控制所述光源（如灯具180）的点亮或关闭，使得所述腔体140除了具有类似暗箱的作用之外，还具有硬化框胶的作用。
本发明的机械手臂100运用在可视光框胶的制程中，在框胶涂布之后，由于机械手臂100将TFT基板与彩色滤光片基板收取于腔体140（此时光源为关闭，腔体140类似暗箱）之中，可以避免外界光线对于框胶的影响，可大幅的避免提早框胶硬化的问题。此外，当TFT基板与彩色滤光片基板贴合之后，可以将腔体140上方的灯具180（如T5灯管）点亮，使得框胶在可视光波长的照射下，逐渐硬化，以防止在搬运至框胶硬化炉过程中，框胶被大气冲破，造成液晶泄露的发生。更进一步的说，本发明的机械手臂100通过所述点灯控制器控制可视光灯管的照射时间，在搬运途中的期间（例如20～30秒）对面板进行照射，即可完成框胶硬化，从而送入热固化炉，省却了框胶紫外光硬化炉的成本及节省了空间。
请参考图1及图2，图2为本发明较佳实施例的伸缩元件160伸出的立体示意图。为清楚说明，图2未绘示所述腔体140及承载构件120，所述腔体140及承载构件120可参考图1所示。所述伸缩元件160连接于所述承载构件120，驱动所述承载构件120经由所述闸门142伸出所述腔体140外或收回至所述腔体140内。所述伸缩元件160用于伸出所述承载构件120于所述闸门142外，以取放所述板件。具体而言，所述伸缩元件160可装设在臂体110上，或装设于所述臂体110内，一端连接于所述臂体110，另一端连接于所述基座125。
在此较佳实施例中，所述伸缩元件160是一伸缩杆，所述伸缩杆具有若干个由大到小的套筒1601、1602、1603、1604所组成，最大的套筒1601一端连接于所述臂体110，最小的套筒1604一端连接于所述基座125。所述套筒1601、1602、1603、1604彼此互相滑动，而可推动所述基座125将承载构件120推出于腔体140外，进行收取所述板件的工作。本发明之伸缩元件160也可以是一种油压设备(未图示)，所述油压设备具有一油压缸连接于所述基座125，用于将承载构件120推出。
请再参考图1，在此较佳实施例中，所述机械手臂100进一步包括一支撑架构170，用以支撑所述腔体140设置于所述臂体110上，以稳固整个腔体140。然而本创作并不限于如图1的支撑架构170，其他的支撑架构皆可实施。
请参考图3，图3为本发明较佳实施例的搬运装置。以下将说明一种具有本发明的机械手臂的搬运装置300，其中与上述的机械手臂100相同的元件则不再赘述。所述搬运装置300包含有至少一个前述的机械手臂100，用以搬运若干个板件(未图示)。每个所述机械手臂100包括一承载构件120、一腔体140及一伸缩元件160。所述腔体140具有一闸门142，且所述腔体140用以容纳所述承载构件120。所述伸缩元件160连接于所述承载构件120，驱动所述承载构件120经由所述闸门142伸出所述腔体140外或收回至所述腔体140内。如前所述，所述腔体140分别设有一风机滤网单元，空气经风机过滤网单元处理后送入所述腔体内。
可以理解的是，本发明的搬运装置300可以同时设置两个或两个以上相同的机械手臂100在同一座体上200，藉以同时搬运多片板件，相同的元件的说明请参考前述及图1及图2，在此不予赘述。
综上所述，本发明的机械手臂可用于在成盒制程中搬运TFT基板与彩色滤光片基板，并将TFT基板与彩色滤光片基板容纳于所述腔体内，由于所述腔体内空间狭小，因此在里面就可以达到很高的洁净度，解决了传统机械手臂将TFT基板与彩色滤光片基板暴露在外面的洁净度不足以及基板容易损伤的缺点。此外，通过所述腔体设有灯具，不仅解决了框胶对于可视光的敏感的问题，进一步还可在搬运过程中对框胶进形照光以完成硬化步骤，减少运送至框胶硬化炉进行硬化的制程，进而降低了成本。
以上为本发明的较佳实施例，并非用以限定本发明，本发明所属技术领域中的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰，因此本发明的保护范围应以权利要求书所界定的为准。

Claims (10)

1.一种机械手臂，其特征在于：所述机械手臂包括，
一承载构件，用于承载一板件；
一腔体，具有一闸门，所述腔体容纳所述承载构件以及所述板件；
一伸缩元件，连接于所述承载构件，驱动所述承载构件经由所述闸门伸出所述腔体外或收回至所述腔体内。
2.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于：所述腔体设有一风机滤网单元，空气经风机过滤网单元处理后送入所述腔体内。
3.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于：所述腔体内设有一光源。
4.根据权利要求3所述的机械手臂，其特征在于：所述光源所发出光线的波长位于可视光范围内。
5.根据权利要求3或4所述的机械手臂，其特征在于：所述机械手臂进一步包括一点灯控制器，用以控制所述光源的点亮或关闭。
6.根据权利要求5所述的机械手臂，其特征在于：所述点灯控制器在机械手臂运动过程中点亮所述光源。
7.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于：所述伸缩元件是一伸缩杆。
8.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于：所述机械手臂进一步包括一支撑架构，用以支撑所述腔体。
9.一种搬运装置，包含有至少一个机械手臂，其特征在于：每个所述机械手臂包括，
一承载构件，用于承载一板件；
一腔体，具有一闸门，所述腔体容纳所述承载构件以及所述板件；
一伸缩元件，连接于所述承载构件，驱动所述承载构件经由所述闸门伸出所述腔体外或收回至所述腔体内。
10.根据权利要求9所述的搬运装置，其特征在于：所述腔体设有一风机滤网单元，空气经风机过滤网单元处理后送入所述腔体内。
CN201010536877.4A 2010-11-05 2010-11-05 机械手臂及具有该机械手臂的搬运装置 Expired - Fee Related CN102050330B (zh)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201010536877.4A CN102050330B (zh) 2010-11-05 2010-11-05 机械手臂及具有该机械手臂的搬运装置
US13/000,165 US20120132829A1 (en) 2010-11-05 2010-11-26 Robotic arm and transporting device with the same
PCT/CN2010/079154 WO2012058831A1 (zh) 2010-11-05 2010-11-26 机械手臂及具有该机械手臂的搬运装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201010536877.4A CN102050330B (zh) 2010-11-05 2010-11-05 机械手臂及具有该机械手臂的搬运装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102050330A CN102050330A (zh) 2011-05-11
CN102050330B true CN102050330B (zh) 2013-02-06

Family

ID=43955220

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201010536877.4A Expired - Fee Related CN102050330B (zh) 2010-11-05 2010-11-05 机械手臂及具有该机械手臂的搬运装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US20120132829A1 (zh)
CN (1) CN102050330B (zh)
WO (1) WO2012058831A1 (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI513559B (zh) * 2013-12-03 2015-12-21 Hiwin Tech Corp 機械手臂之臂長調整裝置
TWI558524B (zh) * 2014-11-21 2016-11-21 財團法人工業技術研究院 可調整長度之機械手臂

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103007636B (zh) * 2012-11-23 2014-11-05 深圳市华星光电技术有限公司 一种搬送装置及防尘罩
CN105209146B (zh) * 2013-04-05 2017-12-08 日科微米株式会社 局部型洁净空气供给装置
JP6127728B2 (ja) * 2013-05-30 2017-05-17 三星ダイヤモンド工業株式会社 脆性材料基板の搬送ヘッド
CN103287852B (zh) * 2013-06-18 2015-06-03 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃面板堆垛系统及堆垛方法
US9255896B2 (en) 2013-06-18 2016-02-09 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd Glass panel stocking system and stocking method
CN103752107B (zh) * 2014-01-20 2015-04-22 河南龙成煤高效技术应用有限公司 一种除尘器滤芯破损封堵装置
EP3481560A4 (en) * 2016-07-08 2020-07-22 MacDonald, Dettwiler and Associates Inc. SYSTEM AND PROCESS FOR AUTOMATED VISCOUS FLUID DISTRIBUTION GUIDED BY ARTIFICIAL VISION, INTENDED FOR CALFATTING AND SEALING OPERATIONS

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1648015A (zh) * 2005-03-04 2005-08-03 友达光电股份有限公司 基板搬运架
CN1978287A (zh) * 2005-12-02 2007-06-13 中华映管股份有限公司 卡匣、机械手臂和工艺设备
CN101197302A (zh) * 2006-04-28 2008-06-11 友达光电股份有限公司 一种用于消除静电的系统
WO2010013549A1 (ja) * 2008-07-29 2010-02-04 日本電気硝子株式会社 板状ワークの移送設備および移送方法
JP2010069552A (ja) * 2008-09-17 2010-04-02 Rexxam Co Ltd ダブルアーム型ロボット

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3348465A (en) * 1964-11-20 1967-10-24 Smithcraft Corp Lighting and ventilating troffer assembly
DE2052335C3 (de) * 1970-10-24 1979-08-30 Interatom Internationale Atomreaktorbau Gmbh, 5060 Bergisch Gladbach Sicherheitsbehältersystem für natriumgekfihlte Kernreaktoren
JP2000195921A (ja) * 1998-12-25 2000-07-14 Tokyo Electron Ltd 搬送装置
JP2002137181A (ja) * 2000-08-21 2002-05-14 Ten Aroozu:Kk 関節型ロボット装置
JP4733281B2 (ja) * 2001-03-06 2011-07-27 富士機械製造株式会社 対フィーダ作業支援装置
JP4328496B2 (ja) * 2001-06-26 2009-09-09 株式会社日立プラントテクノロジー 枚葉基板の移載装置
KR100479494B1 (ko) * 2002-09-18 2005-03-30 삼성전자주식회사 기판 반송 로봇
JP4276440B2 (ja) * 2003-01-06 2009-06-10 東京エレクトロン株式会社 基板検出方法及び装置並びに基板処理装置
CN1268443C (zh) * 2003-02-08 2006-08-09 广辉电子股份有限公司 液晶显示装置元件组装自动气浴清洁方法
JP4524132B2 (ja) * 2004-03-30 2010-08-11 東京エレクトロン株式会社 真空処理装置
JP4806165B2 (ja) * 2004-04-28 2011-11-02 東京エレクトロン株式会社 基板搬送装置及びその洗浄方法、並びに基板処理システム
US20060090703A1 (en) * 2004-11-01 2006-05-04 Tokyo Electron Limited Substrate processing method, system and program
JP2006310724A (ja) * 2004-11-10 2006-11-09 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置および基板処理方法
JP4828137B2 (ja) * 2005-03-10 2011-11-30 株式会社日立プラントテクノロジー 移載機におけるテレスコピックアームの支持構造
CN101058369A (zh) * 2006-04-19 2007-10-24 叶祺成 基板移运装置
US20070262597A1 (en) * 2006-05-11 2007-11-15 Nicholas Ramos Reaching apparatus with telescoping handles
US20080003091A1 (en) * 2006-06-22 2008-01-03 Bonora Anthony C Method and apparatus for transporting, queuing, and loading of large area substrates in multi-tool processing operations
US20080175694A1 (en) * 2007-01-19 2008-07-24 Dong-Seok Park Unit and method for transferring substrates and apparatus and method for treating substrates with the unit
JP4896899B2 (ja) * 2007-01-31 2012-03-14 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置およびパーティクル付着防止方法
US20080247857A1 (en) * 2007-04-05 2008-10-09 Ichiro Yuasa End effector and robot for transporting substrate
JP5006409B2 (ja) * 2007-12-05 2012-08-22 平田機工株式会社 基板搬送装置及び基板搬送装置の制御方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1648015A (zh) * 2005-03-04 2005-08-03 友达光电股份有限公司 基板搬运架
CN1978287A (zh) * 2005-12-02 2007-06-13 中华映管股份有限公司 卡匣、机械手臂和工艺设备
CN101197302A (zh) * 2006-04-28 2008-06-11 友达光电股份有限公司 一种用于消除静电的系统
WO2010013549A1 (ja) * 2008-07-29 2010-02-04 日本電気硝子株式会社 板状ワークの移送設備および移送方法
JP2010030744A (ja) * 2008-07-29 2010-02-12 Nippon Electric Glass Co Ltd 板状ワークの移送設備および移送方法
JP2010069552A (ja) * 2008-09-17 2010-04-02 Rexxam Co Ltd ダブルアーム型ロボット

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI513559B (zh) * 2013-12-03 2015-12-21 Hiwin Tech Corp 機械手臂之臂長調整裝置
TWI558524B (zh) * 2014-11-21 2016-11-21 財團法人工業技術研究院 可調整長度之機械手臂

Also Published As

Publication number Publication date
CN102050330A (zh) 2011-05-11
WO2012058831A1 (zh) 2012-05-10
US20120132829A1 (en) 2012-05-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102050330B (zh) 机械手臂及具有该机械手臂的搬运装置
WO2015131321A1 (zh) 高精度液晶屏幕贴合机
TWI311678B (zh)
CN101813846B (zh) 硬化设备和液晶显示面板的制造方法
CN101866078B (zh) 密封装置
CN104084368B (zh) 紫外led光源及oled器件的固化封装装置与方法
CN105467777A (zh) 曝光机及光罩洁净设备
CN104362243A (zh) 基板的封装方法及封装结构
CN102184935B (zh) Oled显示屏封装设备及压合封装的方法
CN103323971A (zh) 贴合玻璃面板的方法及使用该方法的真空贴合机
CN208745487U (zh) 一种oca光学胶换膜贴合机
US20120125539A1 (en) Curing device and display panel assembly apparatus using the same
CN103246113A (zh) 偏振光照射装置
CN109407359A (zh) 机械手
CN103920631B (zh) 一种固化装置
CN1333292C (zh) 制作液晶显示器的方法
CN204934063U (zh) 自动贴膜机的擦洗装置
CN102636913A (zh) 密封方法及其装置
CN203705754U (zh) 一种液晶显示面板检测装置
US9588427B2 (en) Light exposure system comprising a plurality of moving stages and light exposure process
US20190265555A1 (en) Panel manufacturing device
CN101833179B (zh) 检测治具与检测方法
CN103487996A (zh) 一种用于液晶显示器的阵列基板与彩膜基板的对组方法
US20120276801A1 (en) Transporting device and display panel assembly apparatus and method using the same
CN105487352B (zh) 曝光机及曝光灯的更换方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right

Denomination of invention: Mechanical arm and transport device provided with same

Effective date of registration: 20190426

Granted publication date: 20130206

Pledgee: Bank of Beijing Limited by Share Ltd. Shenzhen branch

Pledgor: SHENZHEN CHINA STAR OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY Co.,Ltd.

Registration number: 2019440020032

PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right
PC01 Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right

Date of cancellation: 20201016

Granted publication date: 20130206

Pledgee: Bank of Beijing Limited by Share Ltd. Shenzhen branch

Pledgor: Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co.,Ltd.

Registration number: 2019440020032

PC01 Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20130206

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee