CN103323971A - 贴合玻璃面板的方法及使用该方法的真空贴合机 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种贴合玻璃面板的方法及使用该方法的真空贴合机，该方法包括：步骤1、提供待贴合的薄膜晶体管基板（240）及彩色滤光片基板（220），所述彩色滤光片基板（220）涂布有密封胶（204），所述薄膜晶体管基板（240）上滴有液晶（402）；步骤2、在真空环境下将所述薄膜晶体管基板（240）与彩色滤光片基板（220）进行对位贴合，完成贴合制程；步骤3、利用UV光穿过薄膜晶体管基板（240）对贴合在一起的所述彩色滤光片基板（220）与薄膜晶体管基板（240）之间的密封胶（204）进行UV固化，完成UV固化制程；步骤4、将经过UV固化制程后的贴合在一起的彩色滤光片基板（220）与薄膜晶体管基板（240）从真空环境中取出。
Description
技术领域
本发明涉及液晶面板生产领域，尤其涉及一种贴合玻璃面板的方法及使用该方法的真空贴合机。
背景技术
液晶显示装置（Liquid Crystal Display，LCD）具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用，如移动电话、个人数字助理（PDA）、数字相机、计算机屏幕或笔记本电脑屏幕等。
现有市场上的液晶显示装置大部分为背光型液晶显示装置，其包括壳体、设于壳体内的液晶面板及设于壳体内的背光模组（Backlight module）。传统的液晶面板的结构是由一彩色滤光片基板（Color Filter）、一薄膜晶体管阵列基板（Thin Film Transistor Array Substrate，TFT Array Substrate）以及一配置于两基板间的液晶层（Liquid Crystal Layer）所构成，其工作原理是通过在两片玻璃基板上施加驱动电压来控制液晶层的液晶分子的旋转，将背光模组的光线折射出来产生画面。由于液晶面板本身不发光，需要借由背光模组提供的光源来正常显示影像，因此，背光模组成为液晶显示装置的关键组件之一。背光模组依照光源入射位置的不同分成侧入式背光模组与直下式背光模组两种。直下式背光模组是将发光光源例如阴极萤光灯管(Cold CathodeFluorescent Lamp，CCFL)或发光二极管(Light Emitting Diode，LED)设置在液晶面板后方，直接形成面光源提供给液晶面板。而侧入式背光模组是将背光源LED灯条（Light bar）设于液晶面板侧后方的背板边缘处，LED灯条发出的光线从导光板（Light Guide Plate，LGP）一侧的入光面进入导光板，经反射和扩散后从导光板出光面射出，再经由光学膜片组，以形成面光源提供给液晶面板。
请参阅图1，为现有的液晶显示装置的立体分解示意图，其包括：背光模组100、设于背光模组100上的胶框300、设于胶框300上的液晶显示面板500及设于液晶显示面板500上的前框700，所述背光模组100为液晶显示面板500提供光照均匀的面光源，所述胶框300用于承载液晶显示面板500，所述前框700用于将液晶显示面板500固定于胶框300上。
液晶显示面板的成型工艺一般包括：前段阵列（Array）制程（薄膜、黄光、蚀刻及剥膜）、中段成盒（Cell）制程（TFT基板与CF基板贴合）及后段模组组装制程（驱动IC与印刷电路板压合）。其中，前段Array制程主要是形成TFT基板，以便于控制液晶分子的运动；中段Cell制程主要是在TFT基板与CF基板之间添加液晶；后段模组组装制程主要是驱动IC压合与印刷电路板的整合，进而驱动液晶分子转动，显示图像。
现有的在TFT基板与CF基板之间添加液晶的制程，称为液晶滴下制程（One Drop Filling，ODF），其主要工艺流程为：在已涂布PI膜（聚酰亚胺薄膜）的TFT基板上滴入一定量的液晶，在已涂布PI膜的CF基板上用框胶涂布出指定的图形，再同时送入真空贴合机内进行对组，然后进行UV光照射使框胶部分固化，最后再进入烤炉内使框胶完全固化，即完成整个ODF制程。其中，真空贴合与UV固化制程对产品品质尤为重要。
请参阅图2至图5，为现有真空贴合与UV固化制程示意图，其制程具体为：首先，在真空的真空室（Chamber）内将TFT基板502与CF基板504进行贴合对组，贴合精度偏差要求在±5um内，有些高端产品则要求在±3um以内，否则将会导致显示器漏光，不良品降等或直接报废；接着，通过反转机构（Turn overstage）503将贴合的TFT基板502与CF基板504进行翻转，以免在后续UV固化制程中CF基板504上的黑色矩阵（BM）542层会遮挡住UV光而导致UV光无法照射到密封（Seal）胶508上；最后，使用UV光源（Lamp）505与UV掩模板（Mask）507对密封胶508区域进行照射，以固化密封胶508，UV掩模板507将有液晶506的区域遮住，以免UV光对液晶性能造成影响。
此传统流程具有以下缺点：
1、TFT基板与CF基板刚贴合完到进行UV照射前由于密封胶未固化，在进行翻转的时候由于基板的形变，对组的精度会发生较大变异，UV光照射后的贴合精度偏差会超过5um，导致产品降等或报废；
2、同样是由于刚贴合完到UV光照射前的基板由于密封胶未固化，若长时间（一般为10分钟左右）未进行UV光照射，密封胶内的分子会进入到液晶引起污染，影响显示效果；此间隔时间若再长一些，则会导致液晶穿刺密封胶，产品直接报废，这种情况一般发生在搬送设备异常或者UV照射机异常时；
3、由于UV照射机使用的照射方式为非平行光照射，如果UV掩模板上的开口大小和位置设计不合理会导致密封胶附近的液晶受到UV光照射而发生反应，在后续的生产制程进行液晶配向时无法达到设计的预倾角，导致产品配向异常。
发明内容
本发明的目的在于提供一种贴合玻璃面板的方法，其将玻璃面板贴合制程与UV固化制程集成在一起，有效提高生产良率及降低生产成本。
本发明的另一目的在于提供一真空贴合机，其结构简单，成本低，有效提高液晶显示面板的生产效率及生产良率。
为实现上述目的，本发明提供一种贴合玻璃面板的方法，包括以下步骤：
步骤1、提供待贴合的薄膜晶体管基板及彩色滤光片基板，所述彩色滤光片基板涂布有密封胶，所述薄膜晶体管基板上滴有液晶；
步骤2、在真空环境下将所述薄膜晶体管基板与彩色滤光片基板进行对位贴合，完成贴合制程；
步骤3、利用UV光穿过薄膜晶体管基板对贴合在一起的所述彩色滤光片基板与薄膜晶体管基板之间的密封胶进行UV固化，完成UV固化制程；
步骤4、将经过UV固化制程后的贴合在一起的彩色滤光片基板与薄膜晶体管基板从真空环境中取出。
所述步骤2具体包括：提供真空室、上定盘与下定盘，所述下定盘由石英玻璃制成，用上定盘吸附彩色滤光片基板，用下定盘吸附薄膜晶体管基板，于真空室内相对移动上定盘与下定盘，至彩色滤光片基板与薄膜晶体管基板对位贴合。
所述上定盘由金属材料制成，该上定盘对彩色滤光片基板的吸附方式为粘性吸附或静电吸附；制成所述下定盘的石英玻璃的羟基含量小于或等于60ppm；所述下定盘对薄膜晶体管基板的吸附方式为真空吸附。
所述步骤3具体包括：提供UV光源、导光板与UV掩模板，该UV光源设于真空室外，该导光板与UV掩模板设于真空室内，该UV光源发出UV光，该UV光进入导光板内转化成面光源，然后依次穿过UV掩模板、下定盘及薄膜晶体管基板照射到密封胶上，实现对密封胶的固化。
所述步骤3进一步包括：提供棱镜片，从导光板出来的UV光线通过棱镜片后沿与导光板垂直的方向射向UV掩模板，然后穿过下定盘及薄膜晶体管基板照射到密封胶上，实现对密封胶的固化。
本发明还提供一种真空贴合机，包括：真空室、安装于真空室内相对设置且能够相对运动的上定盘与下定盘、安装于下定盘远离上定盘表面的UV掩模板、安装于真空室内位于UV掩模板下方的棱镜片、安装于真空室内位于棱镜片下方的导光板、设于真空室外位于导光板侧边的UV光源、及设于导光板外围的数个反射板，所述上定盘用于吸附彩色滤光片基板，所述下定盘由透明材料制成，用于吸附薄膜晶体管基板，所述上定盘与下定盘相对运动，将彩色滤光片基板与薄膜晶体管基板贴合在一起，UV光源发出UV光依次经由导光板、棱镜片、UV掩模板、下定盘与薄膜晶体管基板后对彩色滤光片基板与薄膜晶体管基板之间的密封胶进行固化，进而完成彩色滤光片基板与薄膜晶体管基板的真空贴合及UV固化制程。
所述上定盘由金属材料制成，该上定盘对彩色滤光片基板的吸附方式为粘性吸附或静电吸附；所述下定盘由石英玻璃制成，该石英玻璃的羟基含量小于或等于60ppm；所述下定盘对薄膜晶体管基板的吸附方式为真空吸附；所述UV掩模板通过真空吸附的方式安装于所述下定盘上。
所述UV光源包括UV发射器及设于UV发射器外围的反射罩，所述反射罩的两端分别位于导光板的上下两侧。
所述导光板由石英玻璃制成，该石英玻璃的羟基含量小于或等于60ppm；所述导光板包括：朝向棱镜片的出光面、与出光面相对设置的底面及位于出光面与底面之间的数个侧面，该数个侧面中包括至少一个入光面，该导光板的底面均匀排布有数个光学结构；所述光学结构为内凹的半球形结构；所述棱镜片由石英玻璃制成，该石英玻璃的羟基含量小于或等于60ppm，该棱镜片的上表面为锯齿状结构，UV光经由该棱镜片过滤后，沿竖直方向射出。
所述导光板具有一个入光面，所述UV光源设于导光板的入光面侧，所述反射板的数量为四个，分别位于导光板的除入光面的其余三个侧面侧及导光板的底面侧。
本发明的有益效果：本发明的贴合玻璃面板的方法及使用该方法的真空贴合机，有效地降低生产成本，提高产品良率，具体通过在真空贴合机下定盘的下方设置UV光源模组，在彩色滤光片基板与薄膜晶体管基板真空贴合后直接进行UV光照射，以固化密封胶，避免了现有技术中需要将贴合的彩色滤光片基板与薄膜晶体管基板取出，并翻转后再进行UV光照射所造成的基板变形，进而导致产品降等或报废的情况发生；同时，有效缩短从贴合到进行UV光照射之间的间隔时间，避免由于两个制程时间间隔过长而导致的密封胶污染液晶或液晶穿刺密封胶的状况发生；并，通过设置棱镜片对UV光进行过滤，使得照射到薄膜晶体管基板的光线均垂直薄膜晶体管基板，避免由于UV掩模板开口大小和位置设计不合理会导致密封胶附近的液晶受到UV光照射而发生反应，在后续的生产制程进行液晶配向时无法达到设计的预倾角，导致的产品配向异常。
为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。
附图说明
下面结合附图，通过对本发明的具体实施方式详细描述，将使本发明的技术方案及其它有益效果显而易见。
附图中，
图1为现有的液晶显示装置的立体分解示意图；
图2至图5为现有真空贴合与UV固化制程示意图；
图6为本发明贴合玻璃面板的方法的流程图；
图7为本发明真空贴合机对彩色滤光片基板与薄膜晶体管基板进行贴合的制程示意图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。
请参阅图6，并参考图7，本发明提供一种贴合玻璃面板的方法，具体包括以下步骤：
步骤1、提供待贴合的薄膜晶体管基板240及彩色滤光片基板220，所述彩色滤光片基板220涂布有密封胶204，所述薄膜晶体管基板240上滴有液晶402。
步骤2、在真空环境下将所述薄膜晶体管基板240与彩色滤光片基板220进行对位贴合，完成贴合制程。
所述步骤2具体包括：提供真空室2、上定盘22与下定盘24，所述下定盘24由石英玻璃制成，用上定盘22吸附彩色滤光片基板220，用下定盘24吸附薄膜晶体管基板240，于真空室2内相对移动上定盘22与下定盘24，至彩色滤光片基板220与薄膜晶体管基板240对位贴合。
优选的，所述上定盘22由金属材料制成，该上定盘22对彩色滤光片基板220的吸附方式为粘性吸附或静电吸附；所述下定盘24优选由石英玻璃制成，该石英玻璃的羟基（-OH）含量小于或等于60ppm，可使紫外线的透过率大于等于90%，且有效使用时间超过2000小时透过率降低到初始时的80%，不影响UV光的透过率；所述下定盘24对薄膜晶体管基板240的吸附方式为真空吸附，即在下定盘24上均匀开一些小孔（未图示），并与真空管路连接，以真空电磁阀（未图示）控制是否吸附薄膜晶体管基板240。
步骤3、利用UV光穿过薄膜晶体管基板240对贴合在一起的所述彩色滤光片基板220与薄膜晶体管基板240之间的密封胶204进行UV固化，完成UV固化制程。
所述步骤3具体包括：提供UV光源29、导光板28与UV掩模板26，该UV光源29设于真空室2外，该导光板28与UV掩模板26设于真空室2内，该UV光源29发出UV光，该UV光进入导光板28内转化成面光源，然后依次穿过UV掩模板26、下定盘24及薄膜晶体管基板240照射到密封胶204上，实现对密封胶204的固化。
所述步骤3进一步包括：提供棱镜片27，从导光板28出来的UV光线通过棱镜片27后沿与导光板28垂直的方向射向UV掩模板26，然后穿过下定盘24及薄膜晶体管基板240照射到密封胶204上，实现对密封胶204的固化。
优选的，所述导光板28由石英玻璃制成，该石英玻璃的羟基含量小于或等于60ppm；所述导光板28包括：朝向棱镜片27的出光面281、与出光面281相对设置的底面283及位于出光面281与底面283之间的数个侧面285，该数个侧面285中包括至少一个入光面，该导光板28的底面283均匀排布有数个光学结构282，用于对经由反射板280反射的UV光进行散射，使其朝向导光板28的出光面281射出。在本实施例中，所述光学结构282为内凹的半球形结构。
所述棱镜片27由石英玻璃制成，该石英玻璃的羟基含量小于或等于60ppm，该棱镜片27的上表面为锯齿状结构，UV光经由该棱镜片27过滤后，沿竖直方向射出，使得该光线垂直射向UV掩模板26，提高精度，防止密封胶204附近的液晶402受到UV光照射而发生反应。
步骤4、将经过UV固化制程后的贴合在一起的彩色滤光片基板220与薄膜晶体管基板240从真空环境中取出。
通过机械手将贴合在一起的述彩色滤光片基板220与薄膜晶体管基板240由真空室2内取出，并将其运送到加热炉，对密封胶204进行进一步固化。
本发明的贴合玻璃面板的方法，在贴合彩色滤光片基板220与薄膜晶体管基板240后，不需要对其进行翻转就可以进行密封胶204的UV固化，有效避免避免了现有技术中需要将贴合的彩色滤光片基板与薄膜晶体管基板取出，并翻转后才能进行UV光照射所造成的基板变形，进而导致产品降等或报废的情况发生；同时，有效缩短从贴合到进行UV光照射之间的间隔时间，避免由于两个制程时间间隔过长而导致的密封胶污染液晶或液晶穿刺密封胶的状况发生。
请参阅图7，本发明还提供一种真空贴合机，包括：真空室2、安装于真空室2内相对设置且能够相对运动的上定盘22与下定盘24、安装于下定盘24远离上定盘22表面的UV掩模板26、安装于真空室2内位于UV掩模板26下方的棱镜片27、安装于真空室2内位于棱镜片27下方的导光板28、设于真空室2外位于导光板28侧边的UV光源29、及设于导光板28外围的数个反射板280。在完成分别吸附于上、下定盘22、24的彩色滤光片基板220与薄膜晶体管基板240的真空贴合后，所述UV光源29发出的UV光经由导光板28、棱镜片27及UV掩模板26后对彩色滤光片基板220与薄膜晶体管基板240之间的密封胶204进行固化，进而完成彩色滤光片基板220与薄膜晶体管基板240的UV固化。本发明有效地将UV固化装置集成于现有的真空贴合机中，可在该真空贴附机内完成真空贴附及UV固化两个制程，有效缩短制程时间，降低生产成本的同时，提高产品质量。
在本实施例中，所述上定盘22由金属材料制成，用于吸附彩色滤光片基板220；所述下定盘24由透明材料制成，用于吸附薄膜晶体管基板240，所述下定盘24优选由石英玻璃制成，该石英玻璃的羟基（-OH）含量小于或等于60ppm，可使紫外线的透过率大于等于90%，且有效使用时间超过2000小时透过率降低到初始时的80%，不影响UV光的透过率。所述上定盘22与下定盘24相对运动，将吸附于其上的彩色滤光片基板220与薄膜晶体管基板240贴合在一起，完成真空贴合制程。
优选的，该上定盘22对彩色滤光片基板220的吸附方式为粘性吸附或静电吸附；所述下定盘24对薄膜晶体管基板240的吸附方式为真空吸附，即在下定盘24上均匀开一些小孔（未图示），并与真空管路连接，以真空电磁阀（未图示）控制是否吸附薄膜晶体管基板240。
所述UV掩模板26根据液晶显示面板的尺寸设有不同的规格。所述UV掩模板26通过真空吸附的方式安装于所述下定盘24上，从而可以根据不同尺寸的液晶显示面板进行调换对应的UV掩模板26，拆装方便。
所述导光板28由石英玻璃制成，该石英玻璃的羟基含量小于或等于60ppm；所述导光板包括：朝向棱镜片27的出光面281、与出光面281相对设置的底面283及位于出光面281与底面283之间的数个侧面285，该数个侧面285中包括至少一个入光面，该导光板28的底面283均匀排布有数个光学结构282，用于对经由反射板280反射的UV光进行散射，使其朝向导光板28的出光面281射出。在本实施例中，所述光学结构282为内凹的半球形结构。
所述棱镜片27由石英玻璃制成，该石英玻璃的羟基含量小于或等于60ppm，该棱镜片27的上表面为锯齿状结构，UV光经由该棱镜片27过滤后，沿竖直方向射出，使得该光线垂直射向UV掩模板26，提高精度，防止密封胶204附近的液晶402受到UV光照射而发生反应。
所述UV光源29设于真空室2外，且与真空室2密封连接，以避免UV光源29在工作时发热量较大，引起温度升高，会导致基板形变量较大而影响贴合精度，该UV光源29包括UV发射器292及设于UV发射器292外围的反射罩294，所述反射罩294为弧形，其两端分别位于导光板28的上下两侧，将UV发射器292发出的UV光反射至导光板28的入光面，以提高UV光的利用率。
所述UV光源29及反射板280的个数可根据实际需要进行调整，在本实施例中，所述导光板28具有一个入光面，所述UV光源29为一个，该UV光源29设于该入光面的一侧，所述反射板280的数量为四个，分别位于导光板28除入光面的其余三个侧面285侧及底面283侧，进而光线反射回去，使得光线最后从出光面射出，进而提高UV光的利用率。
综上所述，本发明贴合玻璃面板的方法及使用该方法的真空贴合机，有效地降低生产成本，提高产品良率，具体通过在真空贴合机下定盘的下方设置UV光源模组，在彩色滤光片基板与薄膜晶体管基板真空贴合后直接进行UV光照射，以固化密封胶，避免了现有技术中需要将贴合的彩色滤光片基板与薄膜晶体管基板取出，并翻转后才能进行UV光照射所造成的基板变形，进而导致产品降等或报废的情况发生；同时，有效缩短从贴合到进行UV光照射之间的间隔时间，避免由于两个制程时间间隔过长而导致的密封胶污染液晶或液晶穿刺密封胶的状况发生；并，通过设置棱镜片对UV光进行过滤，使得照射到薄膜晶体管基板的光线均垂直薄膜晶体管基板，避免由于UV掩模板开口大小和位置设计不合理会导致密封胶附近的液晶受到UV光照射而发生反应，在后续的生产制程进行液晶配向时无法达到设计的预倾角，导致的产品配向异常。
以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。
Claims (10)
1.一种贴合玻璃面板的方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1、提供待贴合的薄膜晶体管基板（240）及彩色滤光片基板（220），所述彩色滤光片基板（220）涂布有密封胶（204），所述薄膜晶体管基板（240）上滴有液晶（402）；
步骤2、在真空环境下将所述薄膜晶体管基板（240）与彩色滤光片基板（220）进行对位贴合，完成贴合制程；
步骤3、利用UV光穿过薄膜晶体管基板（240）对贴合在一起的所述彩色滤光片基板（220）与薄膜晶体管基板（240）之间的密封胶（204）进行UV固化，完成UV固化制程；
步骤4、将经过UV固化制程后的贴合在一起的彩色滤光片基板（220）与薄膜晶体管基板（240）从真空环境中取出。
2.如权利要求1所述的贴合玻璃面板的方法，其特征在于，所述步骤2具体包括：提供真空室（2）、上定盘（22）与下定盘（24），所述下定盘（24）由石英玻璃制成，用上定盘（22）吸附彩色滤光片基板（220），用下定盘（24）吸附薄膜晶体管基板（240），于真空室（2）内相对移动上定盘（22）与下定盘（24），至彩色滤光片基板（220）与薄膜晶体管基板（240）对位贴合。
3.如权利要求2所述的贴合玻璃面板的方法，其特征在于，所述上定盘（22）由金属材料制成，该上定盘（22）对彩色滤光片基板（220）的吸附方式为粘性吸附或静电吸附；制成所述下定盘（24）的石英玻璃的羟基含量小于或等于60ppm；所述下定盘（24）对薄膜晶体管基板（240）的吸附方式为真空吸附。
4.如权利要求3所述的贴合玻璃面板的方法，其特征在于，所述步骤3具体包括：提供UV光源（29）、导光板（28）与UV掩模板（26），该UV光源（29）设于真空室（2）外，该导光板（28）与UV掩模板（26）设于真空室（2）内，该UV光源（29）发出UV光，该UV光进入导光板（28）内转化成面光源，然后依次穿过UV掩模板（26）、下定盘（24）及薄膜晶体管基板（240）照射到密封胶（204）上，实现对密封胶（204）的固化。
5.如权利要求4所述的贴合玻璃面板的方法，其特征在于，所述步骤3进一步包括：提供棱镜片（27），从导光板（28）出来的UV光线通过棱镜片（27）后沿与导光板（28）垂直的方向射向UV掩模板（26），然后穿过下定盘（24）及薄膜晶体管基板（240）照射到密封胶（204）上，实现对密封胶（204）的固化。
6.一种真空贴合机，其特征在于，包括：真空室（2）、安装于真空室（2）内相对设置且能够相对运动的上定盘（22）与下定盘（24）、安装于下定盘（24）远离上定盘（22）表面的UV掩模板（26）、安装于真空室（2）内位于UV掩模板（26）下方的棱镜片（27）、安装于真空室（2）内位于棱镜片（27）下方的导光板（28）、设于真空室（2）外位于导光板（28）侧边的UV光源（29）、及设于导光板（28）外围的数个反射板（280），所述上定盘（22）用于吸附彩色滤光片基板（220），所述下定盘（24）由透明材料制成，用于吸附薄膜晶体管基板（240），所述上定盘（22）与下定盘（24）相对运动，将彩色滤光片基板（220）与薄膜晶体管基板（240）贴合在一起，UV光源（29）发出UV光依次经由导光板（28）、棱镜片（27）、UV掩模板（26）、下定盘（24）与薄膜晶体管基板（240）后对彩色滤光片基板（220）与薄膜晶体管基板（240）之间的密封胶（204）进行固化，进而完成彩色滤光片基板（220）与薄膜晶体管基板（240）的真空贴合及UV固化制程。
7.如权利要求6所述的真空贴合机，其特征在于，所述上定盘（22）由金属材料制成，该上定盘（22）对彩色滤光片基板（220）的吸附方式为粘性吸附或静电吸附；所述下定盘（24）由石英玻璃制成，该石英玻璃的羟基含量小于或等于60ppm；所述下定盘（24）对薄膜晶体管基板（240）的吸附方式为真空吸附；所述UV掩模板（26）通过真空吸附的方式安装于所述下定盘（24）上。
8.如权利要求6所述的真空贴合机，其特征在于，所述UV光源（29）包括UV发射器（292）及设于UV发射器（292）外围的反射罩（294），所述反射罩（294）的两端分别位于导光板（28）的上下两侧。
9.如权利要求6所述的真空贴合机，其特征在于，所述导光板（28）由石英玻璃制成，该石英玻璃的羟基含量小于或等于60ppm；所述导光板（28）包括：朝向棱镜片（27）的出光面（281）、与出光面（281）相对设置的底面（283）及位于出光面（281）与底面（283）之间的数个侧面（285），该数个侧面（285）中包括至少一个入光面，该导光板（28）的底面（283）均匀排布有数个光学结构（282）；所述光学结构（282）为内凹的半球形结构；所述棱镜片（27）由石英玻璃制成，该石英玻璃的羟基含量小于或等于60ppm，该棱镜片（27）的上表面为锯齿状结构，UV光经由该棱镜片（27）过滤后，沿竖直方向射出。
10.如权利要求9所述的真空贴合机，其特征在于，所述导光板（28）具有一个入光面，所述UV光源（29）设于导光板（28）的入光面侧，所述反射板（280）的数量为四个，分别位于导光板（28）的除入光面的其余三个侧面（285）侧及导光板（28）的底面（283）侧。
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