KR20130077053A - 기판 이송용 컨베이어 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 영상 표시장치의 제조시 이송되는 기판들을 가이드 하는 가이드 롤러나 가이드 핀들의 정렬 상태를 실시간 모니터링할 수 있도록 함으로써, 가이드 롤러나 가이드 핀들의 정렬 상태가 보다 효율적으로 유지 및 보수될 수 있도록 한 기판 이송용 컨베이어 장치에 관한 것으로, 회전에 의해 복수의 기판을 수평한 방향으로 순차 이송하는 복수의 회전 이송 부재; 상기 복수의 회전 이송 부재를 상기 기판의 이송 방향으로 회전시키는 구동부; 상기 복수의 회전 이송 부재 사이 또는 상기 복수의 회전 이송 부재 측면에 배치되어 상기 이송되는 기판들을 가이드 하는 복수의 가이드 부재; 상기 복수의 가이드 부재에 중 적어도 두 개의 가이드 부재에 각각 부착되어 상기 부착된 각 가이드 부재의 진동 레벨에 따라 진동 신호를 실시간으로 출력하는 복수의 진동 센싱 부재; 및 상기 복수의 진동 센싱 부재로부터 출력된 복수의 진동 신호에 각각 대응하여 실시간으로 상기 진동 센싱 부재들이 부착된 가이드 부재들의 진동 상태를 표시하는 모니터링 유닛을 구비한 것을 특징으로 한다.
Description
본 발명은 영상 표시장치의 제조시 기판을 이송하는 기판 이송용 컨베이어 장치에 관한 것으로, 이송되는 기판들을 가이드 하는 가이드 롤러나 가이드 핀들의 정렬 상태를 실시간 모니터링하고 가이드 롤러나 가이드 핀들의 정렬 상태가 보다 효율적으로 유지 및 보수될 수 있도록 한 기판 이송용 컨베이어 장치에 관한 것이다.
최근 들어, 평판형의 영상 표시장치로 액정 표시장치(Liquid Crystal Display), 전계방출 표시장치(Field Emission Display), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel) 및 유기 발광 다이오드 표시장치(Organic Light Emitting Diode Display) 등이 대두 되고 있다.
평판형의 영상 표시장치들을 제조하기 위해서는 글래스 또는 웨이퍼(이하 '기판'이라 함)에 박막을 증착하는 박막 증착공정, 감광성 물질을 사용하여 선택된 영역을 노출 또는 은폐시키는 포토 리소그라피 공정, 선택된 영역들을 제거하여 패터닝하는 식각공정, 기판을 세정하는 세정공정 등이 수행된다.
이러한 기판의 공정 라인들 간에는 기판을 이송하기 위한 기판 이송장치들이 사용되는데 통상적으로, 기판들을 수평 방향으로 순차 이동시키는 수평형 이송장치와 적층 형으로 이루어져 수직으로 이동시키는 수직형 이송 장치 등이 알려져 있다. 이 중, 수평형 이동장치로는 벨트형태나 롤러형태로 연결되어 기판을 수평하게 이송하는 컨베이어 장치가 주로 이용된다.
컨베이어 장치는 기판의 이송 방향으로 회전하는 벨트나 롤러들이 기판의 이송 방향으로 배열되어 순차적으로 로딩되는 기판들을 순차적으로 이송시키는 원리로 동작하게 된다. 이때, 컨베이어 장치에는 회전하는 벨트나 롤러를 통해 이송되는 기판이 이송 경로에서 어긋나지 않도록 즉, 회전하는 벨트나 롤러 상에서 벗어나지 않도록 하기 위해 가이드 롤러나 가이드 핀들이 형성된다. 따라서, 벨트나 롤러 상에서 이송되는 기판들은 순차적으로 배열된 가이드 롤러나 가이드 핀들과 접촉되며 이송 경로대로 이송된다.
하지만, 수많은 기판들이 연속적으로 가이드 롤러나 가이드 핀들과 접촉되며 연속적으로 이송하기 때문에 가이드 롤러나 가이드 핀들의 정렬 상태나 마모 상태는 변할 수밖에 없게 된다. 이에, 이송하는 기판들이 변모된 가이드 롤러나 가이드 핀들의 상태에 따라 필요 이상의 마찰이나 충격을 받을 수밖에 없었고, 기판을 비롯한 컨베이어 장치 등이 파손되는 문제가 발생하게 되었다. 특히, 미세하게 파손되며 기판들이 이송된 경우에는 기판들이 파손된 위치를 찾아내기 어렵기 때문에 전체적으로 검수를 수행해야 하는 등 공정 시간과 제조 비용적인 측면에서 많은 손해를 감수해야 했다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 영상 표시장치의 제조시 이송되는 기판들을 가이드 하는 가이드 롤러나 가이드 핀들의 정렬 상태를 실시간 모니터링할 수 있도록 함으로써, 가이드 롤러나 가이드 핀들의 정렬 상태가 보다 효율적으로 유지 및 보수될 수 있도록 한 기판 이송용 컨베이어 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송용 컨베이어 장치는 회전에 의해 복수의 기판을 수평한 방향으로 순차 이송하는 복수의 회전 이송 부재; 상기 복수의 회전 이송 부재를 상기 기판의 이송 방향으로 회전시키는 구동부; 상기 복수의 회전 이송 부재 사이 또는 상기 복수의 회전 이송 부재 측면에 배치되어 상기 이송되는 기판들을 가이드 하는 복수의 가이드 부재; 상기 복수의 가이드 부재에 중 적어도 두 개의 가이드 부재에 각각 부착되어 상기 부착된 각 가이드 부재의 진동 레벨에 따라 진동 신호를 실시간으로 출력하는 복수의 진동 센싱 부재; 및 상기 복수의 진동 센싱 부재로부터 출력된 복수의 진동 신호에 각각 대응하여 실시간으로 상기 진동 센싱 부재들이 부착된 가이드 부재들의 진동 상태를 표시하는 모니터링 유닛을 구비한 것을 특징으로 한다.
상기 각각의 회전 이송 부재는 프레임에 양측이 지지되며 서로 동일하거나 서로 다른 간격으로 각각 배열된 복수의 회전 롤러로 구성되거나, 서로 동일하거나 다른 간격의 적어도 두 수평 회전 축을 벨트 형태로 감싼 복수의 벨트로 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 복수의 가이드 부재는 상기 복수의 회전 롤러나 벨트들의 사이에 적어도 한 회전 롤러나 벨트 간격으로 각각 배치되거나 상기 적어도 하나의 회전 롤러나 벨트들의 측면에 배치되어, 상기 각 회전 롤러나 벨트들을 따라 이송되는 기판들의 측면과 접촉하여 상기 기판들을 가이드 하는 것을 특징으로 한다.
상기 복수의 가이드 부재 각각은 상기 프레임에 고정된 지지부와 상기 지지부의 상부 측면에 회전 가능하게 형성되어 상기 이송하는 기판들의 측면과 마찰력에 의해 회전하는 회전부로 구성되거나, 상기 프레임에 고정된 원통형의 핀 형태로 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 각각의 진동 센싱 부재는 상기 가이드 부재의 진동 레벨에 따라 진동 신호를 검출 적어도 하나의 진동 센서나 가속도 센서, 및 상기 검출된 진동 신호를 유선 또는 무선으로 송신하기 위한 유/무선 송신기를 구비한 것을 특징으로 한다.
싱기 모니터링 유닛은 상기 복수의 유/무선 송신기로부터의 진동 신호들을 실시간 수신하는 복수의 유/무선 수신기, 상기 수신된 복수의 진동 신호 각각에 따라 실시간으로 상기 진동 센싱 부재들이 부착된 가이드 부재들의 진동 상태를 표시하는 정보 표시패널, 및 상기 각각의 진동 신호에 따라 경고음을 발생하는 경고 부재를 구비한 것을 특징으로 한다.
상기 정보 표시패널은 실시간 수신된 각각의 진동 신호들에 따라 상기 진동 센싱 부재들이 부착된 가이드 부재들의 진동 상태를 수치적으로 각각 표시하거나, 상기 진동 센싱 부재들이 부착된 가이드 부재들의 진동 상태를 연속된 그래프 형태로 각각 표시하는 것을 특징으로 한다.
상기 경고 부재는 상기 각각의 진동 신호들 중 적어도 어느 한 진동 신호의 레벨이 미리 설정된 레벨 이상으로 변하면 경고음을 발생하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 다양한 기술적 특징들을 갖는 본 발명의 기판 이송용 컨베이어 장치는 이송되는 기판들을 가이드 하는 가이드 롤러나 가이드 핀들의 정렬 상태를 실시간 모니터링할 수 있도록 한다. 이에 따라, 가이드 롤러나 가이드 핀들의 정렬 상태를 보다 효율적으로 유지 및 보수할 수 있으며, 전체적인 공정 시간을 줄이고 제품 가격을 절감할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송용 컨베이어 장치를 나타낸 구성도.
도 2a 내지 도 2c는 도 1의 가이드 부재와 진동 센싱 부재 및 모니터링 유닛을 구체적으로 도시한 도면.
도 3은 기판 이송 과정에서 각 가이드 부재의 진동 검출 과정을 나타낸 도면.
도 4a 및 도 4b는 모니터링 유닛을 통해 표시되는 각 가이드 부재의 진동 상태를 도시한 그래프.
도 2a 내지 도 2c는 도 1의 가이드 부재와 진동 센싱 부재 및 모니터링 유닛을 구체적으로 도시한 도면.
도 3은 기판 이송 과정에서 각 가이드 부재의 진동 검출 과정을 나타낸 도면.
도 4a 및 도 4b는 모니터링 유닛을 통해 표시되는 각 가이드 부재의 진동 상태를 도시한 그래프.
이하, 상기와 같은 특징을 갖는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송용 컨베이어 장치를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 이송용 컨베이어 장치를 나타낸 구성도이다.
도 1의 기판 이송용 컨베이어 장치는 회전에 의해 복수의 기판(1)을 수평한 방향으로 순차 이송하는 복수의 회전 이송 부재(2); 복수의 회전 이송 부재(2)를 기판(1)의 이송 방향으로 회전시키는 구동부(4); 복수의 회전 이송 부재(2) 사이 또는 복수의 회전 이송 부재(2) 측면에 각각 배치되어 이송되는 기판(1)들을 가이드 하는 복수의 가이드 부재(6); 복수의 회전 이송 부재(2)와 구동부(4) 및 복수의 가이드 부재(6)를 지지하는 프레임; 복수의 가이드 부재(6)에 중 적어도 두 개의 가이드 부재(6)에 각각 부착되어 부착된 각 가이드 부재(6)의 진동 레벨에 따라 진동 신호를 실시간으로 출력하는 복수의 진동 센싱 부재(8); 및 복수의 진동 센싱 부재(8)로부터 출력된 복수의 진동 신호에 각각 대응하여 실시간으로 진동 센싱 부재(8)들이 부착된 가이드 부재(6)들의 진동 상태를 표시하는 모니터링 유닛(10)을 구비한다.
복수의 회전 이송 부재(2)는 프레임 상에 서로 동일하거나 서로 다른 다양한 간격으로 배열되어 동일한 속도로 회전함으로써 순차적으로 로딩된 기판(1)들을 순차적으로 이송한다. 이러한 각각의 회전 이송 부재(2)는 프레임에 양측이 지지되도록 서로 동일하거나 서로 다른 다양한 간격으로 배열된 복수의 회전 롤러로 구성되거나, 서로 동일하거나 서로 다른 다양한 간격의 적어도 두 수평 회전축을 벨트 형태로 감싼 복수의 벨트로 구성 수 있다. 하지만, 이하에서는 복수의 회전 롤러로 구성된 방식을 예로 설명하기로 한다.
구동부(4)는 도시되지 않은 별도의 제어부 제어에 따라 복수의 회전 롤러(2)를 기판(1)의 이송 방향으로 회전시킨다. 이러한 구동부(4)는 서브 모터 등의 동력 발생수단을 구비하여 회전 동력을 발생하고 이를 복수의 회전 롤러(2)로 전달한다. 이러한 구동부(4)는 프레임의 어느 한 측면이나 내부에 장착될 수 있다.
도시되지 않은 프레임은 적어도 사각 또는 다각의 박스 형태나 다양한 브릿지 형태로 구성되어 회전하는 각 회전 롤러(2)들의 측면부를 지지하면서도 구동부(4)와 복수의 가이드 부재(6)들이 고정되도록 한다.
도 2a 내지 도 2c는 도 1의 가이드 부재와 진동 센싱 부재 및 모니터링 유닛을 구체적으로 도시한 도면이다. 구체적으로, 도 2a는 가이드 부재(6)와 가이드 부재(6)의 측면에 부착된 진동 센싱 부재(8)를 나타낸 도면이고, 도 2b는 진동 센싱 부재(8)의 내부 구조를 도시한 도면이다. 그리고, 도 2c는 진동 센싱 부재(8)들을 통해 검출된 가이드 부재(6)들의 진동 상태를 표시하는 모니터링 유닛(10)을 나타낸 도면이다.
도 1과 함께 도 2a 내지 도 2c를 각각 참조하면, 복수의 진동 센싱 부재(6)는 적어도 한 회전 롤러(2)나 벨트들의 사이 또는 적어도 한 회전 롤러(2)나 벨트들의 측면에 각각 배치되어 각각의 회전 롤러(2)를 따라 이송되는 기판(1)들을 가이드 한다.
구체적으로, 복수의 가이드 부재(6)는 복수의 회전 롤러(2)나 벨트들의 사이에 적어도 한 회전 롤러(2)나 벨트 간격으로 각각 배치되거나 적어도 하나의 회전 롤러(2)나 벨트들의 측면에 배치되어, 각 회전 롤러(2)나 벨트들을 따라 이송되는 기판(1)들의 측면과 접촉하여 기판(1)들을 가이드 하게 된다.
복수의 가이드 부재(6) 각각은 프레임에 고정된 지지부와 지지부의 상부 측면에 회전 가능하게 형성되어 이송하는 기판(1)들의 측면과 마찰력에 의해 회전하는 회전부로 구성될 수 있으며, 단순히 프레임에 고정된 원통형의 핀 형태로 구성될 수도 있다.
복수의 진동 센싱 부재(8)는 복수의 가이드 부재(6)에 중 적어도 두 개의 가이드 부재(6)에 각각 부착되어 부착된 각 가이드 부재(6)의 진동 레벨에 따라 진동 신호를 실시간으로 출력한다. 이를 위해, 각각의 진동 센싱 부재(8)는 가이드 부재(6)의 진동 레벨에 따라 진동 신호를 검출 적어도 하나의 진동 센서나 가속도 센서 및 검출된 진동 신호를 유선 또는 무선으로 송신하기 위한 유/무선 송신기를 구비한다. 이에, 복수의 진동 센싱 부재(8)는 적어도 하나의 진동 센서나 가속도 센서를 이용하여 부착된 각 가이드 부재(6)의 진동 레벨에 따라 진동 신호를 실시간으로 검출하고, 실시간으로 검출된 진동 신호를 유선 또는 무선으로 상기의 모니터링 유닛(10)으로 송신한다.
모니터링 유닛(10)은 복수의 진동 센싱 부재(8)로부터의 진동 신호들을 실시간 수신하는 복수의 유/무선 수신기, 수신된 복수의 진동 신호 각각에 따라 실시간으로 진동 센싱 부재(8)들이 부착된 가이드 부재(6)들의 진동 상태를 표시하는 정보 표시패널, 및 각각의 진동 신호에 따라 경고음을 발생하는 경고 부재를 구비한다. 이에, 모니터링 유닛(10)은 실시간 수신된 각각의 진동 신호들에 따라 진동 센싱 부재(8)들이 부착된 가이드 부재(6)들의 진동 상태를 수치적으로 각각 표시하거나, 그래프 형태로 각각 표시한다. 그리고 각각의 진동 신호들 중 적어도 어느 한 진동 신호의 레벨이 미리 설정된 레벨 이상으로 변하면 경고음을 발생하게 된다.
도 3은 기판 이송 과정에서 각 가이드 부재의 진동 검출 과정을 나타낸 도면이다. 그리고, 도 4a 및 도 4b는 모니터링 유닛을 통해 표시되는 각 가이드 부재의 진동 상태를 도시한 그래프이다.
도 3과 같이, 각각의 진동 센싱 부재(8)는 기판(1)의 이송 과정에서 자신이 부착된 각 가이드 부재(6)의 진동 상태에 따라 진동 신호를 실시간으로 검출하고, 실시간으로 검출된 진동 신호를 유선 또는 무선으로 상기의 모니터링 유닛(10)으로 송신한다. 각각의 기판(1)은 각 가이드 부재(6)들과 마찰을 일으키며 이송하기 때문에 각각의 가이드 부재(6)는 기판(1)으로부터의 충격을 받거나 소정의 압력을 받게 된다. 특히, 복수의 가이드 부재(6) 중 어느 한 가이드 부재(6)의 정렬 상태만 변하더라도 인접하게 배치된 가이드 부재(6)들은 서로 다른 충격과 압력을 받기 때문에 정렬 상태들은 더욱 많이 변할 수 있다. 이에, 각각의 진동 센싱 부재(8)는 자신이 부착된 각 가이드 부재(6)의 진동 상태에 따라 진동 신호를 실시간으로 검출하여 모니터링 유닛(10)으로 송신한다.
모니터링 유닛(10)은 실시간 수신된 각각의 진동 신호들에 따라 진동 센싱 부재(8)들이 부착된 가이드 부재(6)들의 진동 상태를 수치적으로 각각 표시할 수도 있고, 도 4a와 같이 연속된 그래프 형태로 각각 표시함과 아울러, 각각의 진동 신호들 중 적어도 어느 한 진동 신호의 레벨이 미리 설정된 레벨 이상으로 변하면 경고음을 발생하게 된다. 이에, 관리자는 진동 센싱 부재(8)들이 부착된 가이드 부재(6)들의 진동 상태를 실시간으로 파악하고, 문제가 되거나 문제가 될 수 있는 가이드 부재(6)의 위치를 빠르고 정확하게 찾을 수 있게 된다. 이렇게 관리자는 가이드 부재(6)인 가이드 롤러나 가이드 핀들의 정렬 상태를 보다 효율적으로 유지 및 보수할 수 있으며, 전체적인 공정 시간을 줄이고 제품 가격을 절감할 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
Claims (8)
- 회전에 의해 복수의 기판을 수평한 방향으로 순차 이송하는 복수의 회전 이송 부재;
상기 복수의 회전 이송 부재를 상기 기판의 이송 방향으로 회전시키는 구동부;
상기 복수의 회전 이송 부재 사이 또는 상기 복수의 회전 이송 부재 측면에 배치되어 상기 이송되는 기판들을 가이드 하는 복수의 가이드 부재;
상기 복수의 가이드 부재에 중 적어도 두 개의 가이드 부재에 각각 부착되어 상기 부착된 각 가이드 부재의 진동 레벨에 따라 진동 신호를 실시간으로 출력하는 복수의 진동 센싱 부재; 및
상기 복수의 진동 센싱 부재로부터 출력된 복수의 진동 신호에 각각 대응하여 실시간으로 상기 진동 센싱 부재들이 부착된 가이드 부재들의 진동 상태를 표시하는 모니터링 유닛을 구비한 것을 특징으로 하는 기판 이송용 컨베이어 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 각각의 회전 이송 부재는
프레임에 양측이 지지되며 서로 동일하거나 서로 다른 간격으로 각각 배열된 복수의 회전 롤러로 구성되거나, 서로 동일하거나 다른 간격의 적어도 두 수평 회전 축을 벨트 형태로 감싼 복수의 벨트로 구성된 것을 특징으로 하는 기판 이송용 컨베이어 장치. - 제 2 항에 있어서,
상기 복수의 가이드 부재는
상기 복수의 회전 롤러나 벨트들의 사이에 적어도 한 회전 롤러나 벨트 간격으로 각각 배치되거나 상기 적어도 하나의 회전 롤러나 벨트들의 측면에 배치되어, 상기 각 회전 롤러나 벨트들을 따라 이송되는 기판들의 측면과 접촉하여 상기 기판들을 가이드 하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 컨베이어 장치. - 제 3 항에 있어서,
상기 복수의 가이드 부재 각각은
상기 프레임에 고정된 지지부와 상기 지지부의 상부 측면에 회전 가능하게 형성되어 상기 이송하는 기판들의 측면과 마찰력에 의해 회전하는 회전부로 구성되거나, 상기 프레임에 고정된 원통형의 핀 형태로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 컨베이어 장치. - 제 4 항에 있어서,
상기 각각의 진동 센싱 부재는
상기 가이드 부재의 진동 레벨에 따라 진동 신호를 검출 적어도 하나의 진동 센서나 가속도 센서, 및
상기 검출된 진동 신호를 유선 또는 무선으로 송신하기 위한 유/무선 송신기를 구비한 것을 특징으로 하는 기판 이송용 컨베이어 장치. - 제 5 항에 있어서,
싱기 모니터링 유닛은
상기 복수의 유/무선 송신기로부터의 진동 신호들을 실시간 수신하는 복수의 유/무선 수신기,
상기 수신된 복수의 진동 신호 각각에 따라 실시간으로 상기 진동 센싱 부재들이 부착된 가이드 부재들의 진동 상태를 표시하는 정보 표시패널, 및
상기 각각의 진동 신호에 따라 경고음을 발생하는 경고 부재를 구비한 것을 특징으로 하는 기판 이송용 컨베이어 장치. - 제 6 항에 있어서,
상기 정보 표시패널은
실시간 수신된 각각의 진동 신호들에 따라 상기 진동 센싱 부재들이 부착된 가이드 부재들의 진동 상태를 수치적으로 각각 표시하거나, 상기 진동 센싱 부재들이 부착된 가이드 부재들의 진동 상태를 연속된 그래프 형태로 각각 표시하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 컨베이어 장치. - 제 7 항에 있어서,
상기 경고 부재는
상기 각각의 진동 신호들 중 적어도 어느 한 진동 신호의 레벨이 미리 설정된 레벨 이상으로 변하면 경고음을 발생하는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 컨베이어 장치.
Priority Applications (1)
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