CN101010580A - 运送检查装置及运送装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种可在运送中进行缺陷检查的运送检查装置，还提供一种即使运送对象物为透明材料也可在非接触状态的运送中进行缺陷检查的运送检查装置。该运送检查装置包括控制向电极面施加的电压并以非接触状态运送薄形构件5的运送装置2、在运送中对前述薄形构件5的缺陷进行检查的缺陷检查装置3。在运送装置2中，在电极面的一部分上设置用于透过光线的光线透过部如缺口部15为佳。借由利用该光线透过部15设置缺陷检查装置3，即使运送对象物为透明材料，也可在非接触状态的运送中进行缺陷检查。

Description

运送检查装置及运送装置
技术领域
本发明关于一种以非接触状态运送薄形构件且进行缺陷检查的运送检查装置及其所利用的运送装置。
背景技术
在现有习知技术中，作为用于可靠地传送玻璃等薄形材料的传送装置，例如，有一种采用了利用多列滚轮的驱动滚轮方式的玻璃纵向运送机被付诸实用(例如日本设备工业社的玻璃纵向运送机)。
但是，在应运送的构件为薄膜电晶体(TFT)、液晶显示器(LCD)、等离子体显示器(PDP)、玻璃基板等的情况下，最好有一种冲击和与其他构件的接触尽可能少的运送装置。
在这种情况下，提出了一种利用静电力在非接触的状态下运送薄形构件的静电保持装置(例如参照日本专利早期公开的特开平9-322564号公报)。如利用该静电悬浮运送装置，则在利用静电力的静电悬浮系统中，具有在绝缘基板上形成导电体的电极图案的定子、与该定子相对且与定子非接触保持的运送对象物、用于检测定子和运送对象物间的间隙的邻近开关、供给直流电压的电源、用于进行向定子电极的施加电压的开关动作的开关电路，并借由根据邻近开关所发出的开/关信号，由开关电路使来自电源的直流电压在前述定子的电极图案上进行开关，从而使运送对象物稳定地悬浮。
而且，还提出有一种利用这种静电保持装置，将作为运送对象物的薄形构件以倾斜的状态进行运送的薄形构件的运送方法及运送装置(例如参照日本专利早期公开的特开平2001-108759号公报)。
如根据日本专利早期公开的特开平2001-108759号公报所记述的运送装置，可揭示一种借由具有用于支持玻璃板等薄形构件的一侧边缘的传送带，并利用传送带对一侧边缘进行支持且利用静电保持装置使薄形构件的面被非接触地吸引，从而使薄形构件以倾斜的状态被保持且进行运送的运送装置。
如根据日本专利早期公开的特开平2001-108759号公报所揭示的运送装置，可以实质上非接触薄板材料的状态将作为运送对象物的薄形构件进行运送，所以适于使无干扰度提高而进行运送。而且，如根据日本专利早期公开的特开平2001-108759号公报所示的运送装置，能够进行纵向运送(在倾斜状态下的运送)，所以适于以小的设置面积而运送大型玻璃材料。
这里，作为运送对象物的玻璃材料，在实际的工厂中以适当的工序，使用照相机对异物的有无等进行检查为佳。因此，作为运送装置，最好能利用运送时间同时并列进行这些缺陷检查。
但是，在日本专利早期公开的特开平2001-108759号公报所揭示的运送装置中，不能在运送中检查缺陷。
而且，在日本专利早期公开的特开平2001-108759号公报所揭示的运送装置中只装备缺陷检查装置的构成中，当运送对象物为透明时，有时由利用线路传感器等的照相机的图像处理，难以对缺陷进行检查。
这是因为，作为保持装置的电极表面和薄形构件的间隔距离非常狭小，在数百μm以下，所以即使保持装置和运送对象物为非接触状态，当运送对象物为透明材料时，在利用照相机所摄影的图像中，位于运送对象物的背面的电极表面作为背面被摄影，且其形成干扰，无法充分地进行精度良好的缺陷检查。
发明内容
因此，本发明的第一目的是提供一种在运送中也可进行缺陷检查的运送检查装置。而且，本发明的另一目的是提供一种即使运送对象物为透明材料，也可在非接触状态的运送中进行缺陷检查的运送检查装置。
本发明者等发现，借由对控制向电极面施加的电压并以非接触的状态运送薄形构件的运送装置，装备在运送中检查薄形构件的缺陷的缺陷检查装置，从而可提供一种在运送中也可进行缺陷检查的运送检查装置。而且，本发明者等发现，借由在构成该传送装置的电极面的一部分上设置用于透过光线的光线透过部，并利用该光线透过部设置缺陷检查装置，可提供一种即使运送对象物为透明材料，也可在非接触状态的运送中进行缺陷检查的运送检查装置。
即，本发明为一种包括控制向电极面施加的电压并以非接触状态运送薄形构件的运送装置、在运送中对前述薄形构件的缺陷进行检查的缺陷检查装置的运送检查装置。
如采用这种构成，可一面进行缺陷检查一面以非接触的状态运送薄形构件。
在本发明中，在前述电极面的一部分上设置用于透过光线的光线透过部，并使前述缺陷检查装置利用前述光线透过部而设置为佳。
如采用这种构成，由于缺陷检查装置利用光线透过部被设置，所以即使运送对象物为透明材料，在为了缺陷检查而由照相机被摄影的图像中形成干扰的电极表面也不会作为背景被摄影。借此，可在传送中进行精度良好的缺陷检查。
另外，本发明为一种控制向电极面施加的电压，而将薄形构件以非接触的状态进行运送的运送装置，其特征在于：在前述电极面的一部分上设置用于透过光线的光线透过部。
如采用这种构成，该运送装置借由利用光线透过部而设置缺陷检查装置，可作为一种即使运送对象物为透明材料，在为了缺陷检查由照相机被摄影的图像中形成干扰的电极表面也不会作为背景被摄影的运送检查装置而加以利用。借此，能够提供一种在运送中可进行精度良好的缺陷检查的运送检查装置。
用于保持薄形构件的电极面，由多个电极面面积小的电极单元平面邻接配置而构成，如前述光线透过部是由作为前述电极单元的一单元或数单元欠缺的缺口部而形成，则可使运送检查装置的构成变得简易。而且，如光线透过部为缺口部，则即使长期使用，也不会因光线透过部发生劣化，或产生变色，或弄脏，或附着尘埃等，而在为了缺陷检查被摄影的图像中形成干扰。
这些多个电极单元如配备使各电极单元间彼此独立且控制与薄形构件的间隔的控制机构，则即使在运送对象物为柔软或易破损的物品的情况下，也能提供一种廉价的运送检查装置。例如，借由减小电极单元的面积并增加其数目，即使薄形构件为柔软或易破损的，也能稳定且轻柔地进行传送或检查。而且，借由增大电极单元的面积并减少其数目，可降低整体的成本。用于使各电极单元彼此独立且控制与薄形构件的间隔的控制机构，可采用与各电极单元对应地设置感测器，并依据感测器输出而控制向各电极单元施加的电压，对该间隔进行控制的构成。
该缺陷检查装置例如线路传感器照相机或区域感测器照相机。
如该缺陷检查装置为区域感测器照相机，且前述运送装置采用配备有间歇式运送薄形构件的运送机构，并在该运送机构停止的状态下使前述区域感测器照相机动作并摄影检查所需的图像的构成，则作为运送对象物的薄形构件即使在厚度方向上产生位置变动，也可在不向平面方向移动的状态下在照相机的聚焦深度范围内摄影图像，所以不会对图像的摄影精度带来影响，能够高精度地检查缺陷。
如使前述缺陷检查装置还具有照相机移动装置，并可利用该照相机移动装置使区域感测器照相机沿与前述电极面平行的平面方向且与运送方向交叉的方向进行移动，则借由使区域感测器照相机沿与运送方向交叉的方向进行移动，即使照相机的视野狭窄，也可不增加照相机台数而对幅面宽大的薄形构件进行检查。
附图说明
图1为用于说明关于本发明的实施形态的运送检查装置的构成的侧面图。
图2为用于说明图1的运送检查装置的照相单元17和纵向运送装置2的关系的平面图。
图3为用于说明构成关于本发明的实施形态的电极基极7的电极单元9的一个例子的斜视图。
图4为用于说明关于本发明的实施形态的电极基极7的构成的部分斜视图。
图5为用于说明关于本发明的实施形态的电极基极7的构成的变形例的部分斜视图。
图6为用于说明关于本发明的实施形态的运送检查装置的运送装置2和照相单元17的位置关系的正面观察透视图。
图7为关于变形例的运送检查装置中的照相单元17的照相装置的移动方向的说明图。
具体实施方式
下面参照图示对本发明的具体实施形态进行说明。
图1及图2为本发明的运送检查装置的构成的说明图，该发明的运送检查装置1包括纵向运送装置2和缺陷检查装置3。
纵向运送装置2包括配备有对运送对象物5进行静电吸引的电极面的电极基极(定子)7、配置于该电极基极7的下方，并以电极面对非接触状态(例如间隔一定的距离而被吸引的状态)的运送对象物5的下侧边缘5a进行静电支持，而将运送对象物5进行运送的传送带等运送装置8。而且，该电极基极7对装置主体4以与垂直方向(纵方向)成θ度的倾斜角而调整自如地被固定。
本发明的实施形态的一个例子的电极基极7，由图3所示的电极单元9构成。这里，该实施形态的电极单元9其电极面面积为例如100×100、200×200(单位mm)等的俯视方形，但并不限定于这些。例如，大小是自由的，而且形状也不局限于方形，也可为例如俯视、圆形、六角形等。
该电极单元9的面积由运送对象物的刚性决定，刚性越低，电极单元9的面积分割得越细，可将作用于运送对象物5的各局部的静电吸收力分割为多块进行控制。借由增加电极单元9的数目，并采用使各个电极10、11各自独立的分散控制的形式，而且与该电极单元9的数目成比例地增加邻近开关(开关电路内的开关和反转元件的数目等)，可轻柔且稳定地对运送对象物5进行处理。
而且，各电极单元9为了对运送对象物5付以静电力，在表面(电极面)上配备有形成图案状的一对电极10、11，并从未图示的电压电路向各电极10、11供给彼此相反极性的电压。
这里，在本发明的实施形态中，为了使运送对象物5的电位维持0V，在外侧所配置的电极10和内侧所配置的电极11之间设置由绝缘体构成的分离带12，并使各电极10、11的面积彼此相等。
而且，在电极11的内侧的中央配置有用于检测运送对象物5的位置的感测器，例如邻近开关13。该邻近开关13具有依据运送对象物5和邻近开关13的间隔距离，开关向电极10、11施加的电压的开关机能(进行向各电极10、11的施加电压的开关动作的开关电路)。
在本发明的实施形态中，如图4或图5所示，这些多个电极单元9由含有框体14的支撑体(未图示)被支撑，并与电极面(表面)形成齐平面而设置，但在其一部分中呈交错状配置有缺口部15。该缺口部15为未设置电极单元9的空间，并构成本发明所述的光线透过部。
缺陷检查装置3包括具有作为照相装置的照相机16(例如2维CCD照相机或区域传感器)等的多个检查单元17。各检查单元17至少包括用于摄影运送对象物5的图像的照相装置(照相机16)，但在该实施形态中，为了照明运送对象物5的检查部位的表面，还包括环形照明等照明装置17a。各检查单元17的光轴以对运送对象物5的表面形成直角的形态进行配置。也可在其间介入光学构件，用于扩散照明光，或调整照明光量，或照射所需波长的照明光。
总之，该检查单元17需要利用该缺口部15进行设置。这里，所说的利用缺口部15，是指在该实施形态这样的照相机16从表面侧对运送对象物5进行照相的情况下，使缺口部15位于检查部位的背面，例如图6所示那样进行配置。借此，在照相机16所摄影的图像中，电极基极7不会作为背景被摄影。
如利用以上这种构成的缺陷检查装置3，作为运送对象物5的透明材料，借由在使其下端边缘5a载置于运送装置8上的状态下，根据来自邻近开关13的开/关信号，利用开关电路使来自电源的直流电压在电极单元9的电极10、11上呈图案状进行开关，可使运送对象物5和邻近开关13(电极面)的距离维持一定的目标值(例如300μm～500μm的一定值)，并使运送对象物5被非接触保持。
这里，将例如厚0.7mm、宽1500mm、长1800mm的透明玻璃板作为运送对象物5，并在θ＝5度的略接近垂直的状态下以使运送对象物5的下端边缘5a在运送装置8上被支撑的状态，使间隙形成300μm～500μm范围的一定值，而进行施加电压的控制并运送。
借由在该状态下驱动运送装置8，可使运送对象物5沿箭形符号方向进行移动。
接着，在运送对象物5的检查部位配置于照相机16的照相范围内的状态下，停止运送装置8并利用照相机16摄影图像。借此，所摄影的图像被发送到适当的图像处理装置(未图示)，并进行检查以判定有无擦痕、裂纹、气泡、薄壳(shell)、孔洞、侧划痕等异物。该摄影的图像由于在运送对象物5的背面配置有缺口部15，所以即使运送对象物为透明的，背景也不会形成干扰。
而且，在该图像摄影中，运送对象物5以小节距沿厚度方向进行振动，但由于照相机16的光轴0与运送对象物5直交，所以只要该小节距的振动在照相机16的聚焦深度范围内，就不会形成干扰。
在图像摄影后，运送装置移动相当于照相机视野的距离并停止，进行下一照相。借此，如利用这种缺陷检查装置，可进行无干扰且精度良好的缺陷检查。
变形例
在该变形例中，如图7所示，除了采用可使检查单元17的照相机16沿与运送对象物5的表面平行，且与运送方向交叉(例如直交)的a方向移动的构成以外，与发明的实施形态相同。
如采用这种构成，可借由在摄影照相机视野18a的图像之后，使照相机沿a方向移动而移动到照相机视野18b进行照相。如进行了照相机视野18a及18b的图像摄影，可驱动运送装置8使玻璃只移动照相机视野大小的距离，进行下一图像的摄影。
借此，即使在照相机视野狭小的情况下，也可不增加照相机的设置台数，而对宽度方向大的运送物5进行检查。
以上利用图示对本发明的实施形态进行了详细说明，但具体的构成并不局限于该实施形态，即使有不脱离本发明的主旨的范围的设计变更，也包含于本发明中。
例如，关于运送物件5和电极基极7间的相对位置关系，是对具有使运送对象物5与电极基极7形成平行关系的间隔的情况进行了说明，但运送对象物5也可对电极基极形成倾斜关系。例如，在发明的实施形态中，在下端边缘5a与电极基极7邻近，但越向上部距离越是增大。即，也可保持一种向上方打开的形态。
而且，照明装置17a是从运送对象物5的表面侧进行照明，但也可从背面侧进行照明。在这种情况下，照明装置17a利用缺口部15进行配置。
而且，缺陷检查装置3是从运送对象物5的表面侧进行照相的，但也可利用缺口部15而从运送对象物5的背面侧进行照相。在这种情况下，照明装置17a同样不管是从表面侧照明，还是从背面侧照明都可以。
而且，在以上的发明的实施形态中，是利用邻近开关13，但也可替换邻近开关而使用位移感测器。也可采用由位移感测器感觉电极面和运送对象物5间的间隙，并将信号发送到控制器等，控制器对应该间隙控制向各电极单元的施加电压，而将间隙维持在设定值的构成。作为施加电压的控制方式，开关控制装置是最廉价的。
而且，在以上的发明的实施形态中，缺陷检查装置利用了区域感测器，但也可为线路传感器。在这种情况下，纵向运送装置8可间歇式地运送，而且也可连续地运送。
而且，运送装置所例示的为纵向运送装置8，如果设置面积允许，则运送装置也不限定于纵向。
而且，在以上的发明的实施形态中，光线透过部是作为缺口部而形成的，但由于是能透过光线即可，所以也可利用透明材料形成。
而且，在以上的发明的实施形态中，运送装置和检查装置形成一体，但运送装置和检查装置也可各成一体。例如，也可为配置了可在光线透过部上进行定位设置的照相机装置用安装部的运送装置。借由在该安装部上安装市场销售的检查用的照相机装置，可提供一种按照本发明的运送检查装置。
如以上所说明的，利用本发明，则可发挥提供能够在以非接触状态运送LCD、PDP、玻璃基板等运送对象物的过程中进行缺陷检查的运送检查装置，且可提供即使运送对象物为透明材料也可在非接触状态的运送中进行缺陷检查的运送检查装置这些产业上的有益效果。

Claims (11)

1、一种运送检查装置，其特征在于包括：具有电极面的运送装置，该运送装置控制向该电极面施加的电压且以非接触状态运送薄形构件；以及在运送中对该薄形构件的缺陷进行检查的缺陷检查装置。
2、根据权利要求1所述的运送检查装置，其特征在于：在该电极面的一部分上设置用于透过光线的光线透过部，且利用该光线透过部设置该缺陷检查装置。
3、根据权利要求2所述的运送检查装置，其特征在于：该电极面由较该电极面面积小的多数个电极单元平面邻接排列而构成，且该光线透过部是由上述电极单元中欠缺的一缺口部或多数个缺口部而形成。
4、根据权利要求3所述的运送检查装置，其特征在于：上述多数个电极单元包括可使各该电极单元间彼此独立且控制与该薄形构件的间距的控制机构。
5、根据权利要求2～4中的任一项所述的运送检查装置，其特征在于：该缺陷检查装置为线路传感器照相机或区域感测器照相机。
6、根据权利要求2～4中的任一项所述的运送检查装置，其特征在于：
该缺陷检查装置为一区域感测器照相机，
该运送装置包括间歇运送该薄形构件的运送机构，
在该运送机构停止的状态下，使该区域感测器照相机动作而摄像检查所需的图像。
7、根据权利要求6所述的运送检查装置，其特征在于：该缺陷检查装置还具有照相机移动装置，并可利用该照相机移动装置而使该区域感测器照相机沿与该电极面平行的平面方向，且与运送方向交叉的方向进行移动。
8、根据权利要求6所述的运送检查装置，其特征在于：该区域感测器照相机的聚焦深度，满足该薄板构件的厚度加上该薄板构件在利用静电力被保持的状态下沿厚度方向的振动的范围。
9、一种运送装置，用以控制向电极面施加的电压，而将薄形构件以非接触的状态进行运送，其特征在于：在该电极面的一部分上设置用于透过光线的光线透过部。
10、根据权利要求9所述的运送装置，其特征在于：
该电极面由较该电极面面积小的多数个电极单元平面邻接排列而构成，且
该光线透过部是由上述电极单元中欠缺的一缺口部或多数个缺口部而形成。
11、根据权利要求10所述的运送装置，其特征在于：
上述电极单元包括可使各该电极单元间彼此独立且控制与该薄形构件的间距的控制机构。
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