CN102621155B - 光学检测装置 - Google Patents

光学检测装置 Download PDF

Info

Publication number
CN102621155B
CN102621155B CN201110169871.2A CN201110169871A CN102621155B CN 102621155 B CN102621155 B CN 102621155B CN 201110169871 A CN201110169871 A CN 201110169871A CN 102621155 B CN102621155 B CN 102621155B
Authority
CN
China
Prior art keywords
mentioned
support plate
detector
roller set
scanner
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201110169871.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102621155A (zh
Inventor
郭上鲲
蔡荣华
李小麟
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to CN201510172339.4A priority Critical patent/CN104865266A/zh
Publication of CN102621155A publication Critical patent/CN102621155A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102621155B publication Critical patent/CN102621155B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60VEHICLES IN GENERAL
    • B60QARRANGEMENT OF SIGNALLING OR LIGHTING DEVICES, THE MOUNTING OR SUPPORTING THEREOF OR CIRCUITS THEREFOR, FOR VEHICLES IN GENERAL
    • B60Q7/00Arrangement or adaptation of portable emergency signal devices on vehicles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60VEHICLES IN GENERAL
    • B60QARRANGEMENT OF SIGNALLING OR LIGHTING DEVICES, THE MOUNTING OR SUPPORTING THEREOF OR CIRCUITS THEREFOR, FOR VEHICLES IN GENERAL
    • B60Q1/00Arrangement of optical signalling or lighting devices, the mounting or supporting thereof or circuits therefor
    • B60Q1/26Arrangement of optical signalling or lighting devices, the mounting or supporting thereof or circuits therefor the devices being primarily intended to indicate the vehicle, or parts thereof, or to give signals, to other traffic
    • B60Q1/50Arrangement of optical signalling or lighting devices, the mounting or supporting thereof or circuits therefor the devices being primarily intended to indicate the vehicle, or parts thereof, or to give signals, to other traffic for indicating other intentions or conditions, e.g. request for waiting or overtaking
    • B60Q1/525Arrangement of optical signalling or lighting devices, the mounting or supporting thereof or circuits therefor the devices being primarily intended to indicate the vehicle, or parts thereof, or to give signals, to other traffic for indicating other intentions or conditions, e.g. request for waiting or overtaking automatically indicating risk of collision between vehicles in traffic or with pedestrians, e.g. after risk assessment using the vehicle sensor data
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F21LIGHTING
    • F21VFUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F21V27/00Cable-stowing arrangements structurally associated with lighting devices, e.g. reels 
    • F21V27/005Cable-stowing arrangements structurally associated with lighting devices, e.g. reels  for portable lighting devices
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N2021/9513Liquid crystal panels
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S362/00Illumination

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

本发明提供一种光学检测装置,上述装置包含平台,其在第一方向上延伸的;传送单元,用于在上述第一方向上由其输入埠输送至少一载板至输出埠,上述至少一载板的每一个用于支撑要被检测的至少一物件其中之一;第一探测器,其设置在上述平台之上,并在与上述第一方向垂直的第二方向上延伸,用于检测在上述至少一载板上的上述至少一物件,上述第一探测器包括第一扫描仪,其在上述第二方向上延伸于上述输入埠与上述输出埠之间;以及第一滚轮组,其位于上述第一扫描仪与上述输入埠之间,用于施加力量至上述至少一物件的每一个的表面上。

Description

光学检测装置
技术领域
本发明总体涉及光学检测,特别涉及一种用于检测相关物件的缺陷或特征的装置。
背景技术
例如液晶显示器(Liquidcrystaldisplay,「LCD」)装置的显示装置,是用于电子式显示包括文字、影像及动画的信息。LCD可以包括一些迭层,例如可判定上述LCD的质量的偏光滤光板、玻璃基板、彩色滤光板、液晶及反射表面。为了检查LCD是否合格,也就是说,上述LCD是否具有少于预定数量的缺陷,有时候采用肉眼来检测。但是,肉眼检测在LCD的大量生产中代表耗时、耗工及不准确。再者,随着半导体制造的进步,由肉眼检测来检验具较小尺寸特征的LCD产品变得更为困难。因此,已经开发出用于自动检测LCD面板的检测系统或装置。然而,一些自动扫描系统可能无法辨识,除非在特定方向上观看才能看到或探测到的光学特性的缺陷。另外,在检测程序期间,外来物质(例如尘土或灰尘等)可能被错认为缺陷。再者,在检测之前可能需要手动开启面板,这使得这种扫描系统并非如此自动化。
因此需要提供一种能够辨识光学特性的缺陷,且在检测期间能够移除面板表面上的外来物质的装置。另外,还需要提供一种能够供应电力给检测中的面板的装置。
发明内容
本发明的目的在于提供一种光学检测装置。上述装置包含平台,其在第一方向上延伸的;传送单元,用于在上述第一方向上由其输入埠输送至少一个载板至输出埠,上述至少一载板的每一个用于支撑要被检测的至少一物件其中之一个;第一探测器,其设置在上述平台之上,并在与上述第一方向垂直的第二方向上延伸,用于检测在上述至少一个载板上的上述至少一物件,上述第一探测器包括第一扫描仪,其在上述第二方向上延伸于上述输入埠与上述输出埠之间;以及第一滚轮组,其位于上述第一扫描仪与上述输入埠之间,用于施加力量至上述至少一物件的每一个的表面上。
本发明的实例也可提供一种光学检测装置。上述装置包括第一装置单元,其包含:第一平台,其在第一方向上延伸;第一传送单元,用于在上述第一方向上由其一第一输入埠输送载板至第一输出埠;以及第一探测器,其设置在上述第一平台之上,并在与上述第一方向垂直的第二方向上延伸,用于纵向地检测在上述载板上的物件;以及第二装置单元,其包含:第二平台,其在上述第二方向上延伸;第二传送单元,用于在上述第二方向上由其第二输入埠输送上述载板至第二输出埠;以及第二探测器,其设置在上述第二平台之上,并在上述第一方向上延伸,用于横向地检测在上述载板上的上述物件。
本发明的实例另可以提供一种光学检测装置。上述装置包括平台,其在第一方向上延伸;第一探测器,其设置在上述平台之上,并在与上述第一方向垂直的第二方向上延伸,用于检测物件;以及传送单元,用于在上述第一方向上由其输入埠输送载板至输出埠,其中上述载板具有第一表面以支撑在其上的上述物件,及第二表面,在其上提供电力控制单元以控制对上述物件的电力供应,上述载板包括在上述第二表面上的一对导电轨,用于在检测期间当上述载板由上述传送单元输送时,通过上述传送单元电气连接上述电力控制单元至电源。
于下文的说明中将部份提出本发明的其它特点与优点,而且从上述说明中将了解本发明其中一部份,或者通过实施本发明也可得知。凭借随附的权利要求中特别列出的元件与组合将可了解且达成本发明的特点与优点。
应该了解的是,上文的概要说明以及下文的详细说明都仅供作示例与解释,其并未限制本文所主张的发明。
附图说明
结合以下附图进行阅读,即可更好地了解本发明的上述详细说明。为达到本发明的说明目的,各附图中图绘有实施例。应当了解本发明并不限于实施例中所示的精确排置方式及设备装置。
图1为根据本发明一个实施例的光学检测装置的示意图;
图2为图1所示的装置的清洗器的放大图;
图3A为图1所示的装置的探测器的俯视图;
图3B为图3A所示的装置的探测器的后视立面图;
图3C为图1所示的装置的左侧示意图;
图3D为根据本发明另一个实施例如图1所示的装置的左侧示意图;
图3E为根据本发明一个实施例的滚轮调整机构的示意图;
图3F为根据本发明另一个实施例的滚轮调整机构的示意图;
图3G为根据本发明又另一个实施例的滚轮调整机构的示意图;
图4为根据本发明另一个实施例的光学检测装置的示意图;
图5A及5B为根据本发明又另一个实施例的光学检测装置的示意俯视图;
图6A为图1所示的光学检测装置中载板的俯视立面图;
图6B为图6A所示的载板的底视图;
图7-1到7-6为其中可应用根据本发明的载板的不同尺寸的面板的示意图;
图8A为显示根据本发明一个实施例中当其上固定有第一物件的载板的俯视立面图;
图8B为显示根据本发明一个实施例中当其上固定有第二物件的上述载板的俯视立面图;
图8C为显示根据本发明一个实施例中当其上固定有第三物件的上述载板的俯视立面图;
图9A为图8A所示的上述第一物件的底视图;以及
图9B为显示当其上固定有上述第一物件的上述载板的底视图。
主要元件符号说明
20光学检测装置
21平台
22探测器
22A第三调整工具
22H第一调整工具
22R第二调整工具
220支撑结构
221第一扫描仪
222第二扫描仪
227滚轮支撑
227R滚轮支撑单元
228第一组滚轮
229第二组滚轮
23清洗器
23R第四调整工具
231离子移除器
232空气刀
24传送单元
241输送带
242输入埠
243输出埠
25-1载板
25-2载板
25-3载板
251第一开口
252第二开口
253第三开口
254连接器
25t上方或第一表面
25b底面或第二表面
26b底表面
26-1物件
26-2物件
26-3物件
27控制器
30光学检测装置
32探测器
327滚轮支撑
328单一滚轮
329直线沟槽
428单一滚轮
429对角线沟槽
50光学检测装置
51第一装置单元
52第二装置单元
60电力控制单元
61,62导电轨
81插头
82可挠性电路板
83夹钳
92条形码
Xl第一轴
X2第二轴
S3第三传感器
y1缺陷
y2缺陷
具体实施方式
现将详细参照于本发明的实施例,其实施例的图解在说明书附图中。尽其可能,所有附图中将依相同元件符号以代表相同或类似的部件。
图1为根据本发明一个实施例的光学检测装置20的示意图。请参照图1,装置20可包括平台21、探测器22、清洗器23、传送单元24、复数个载板25-1、25-2与25-3用于在检测时分别承载物件26-1、26-2与26-3、及控制器27。
平台21可作为光学检测用的工作台。在根据本发明的一个实施例中,平台21可包括金属架构,并延伸于第一方向上。此外,平台21的长度可设计成允许排列例如六个物件。
传送单元24可包括一组输送带241及导轨(图中未表示),用于在上述第一方向上由其输入埠242输送物件26-1到26-3至输出埠243。
探测器22可包括一个或多个扫描仪用于检测物件26-1到26-3。上述扫描仪可包括由CooperS.K.Kuo与RonTsai(与本申请的发明人相同)在2010年3月26日申请的美国专利,申请编号12/732,586(名为「检测系统(InspectionSystem)」)中描述与示例的扫描仪。探测器22可以设置在平台21之上,并在实质上与上述第一方向垂直的第二方向上延伸。
清洗器23可用于移除外来物质,例如由于环境因素而在检测时附着在物件的表面上的灰尘或尘土。这些外来物质如果没有经过适当地移除会被探测器22探测到,并会在检测时被误认为是上述物件的缺陷,其在当需要高的缺陷辨识率时不能允许的。清洗器23可设置在输入埠242与探测器22之间,并可延伸于第二方向上。
图2为图1所示的装置20的清洗器23的放大图。请参照图2,清洗器23可包括离子移除器231与空气刀232。离子移除器231设置在输入埠242与空气刀232之间,其可在当物件26-1在第一方向上朝向探测器22传送时,在检测时去离子化物件上所不需要的或外来的物质,例如物件26-1。然后,上述上述这些去离子化的粒子可由来自空气刀232的气流轻易地移除。在根据本发明的一个实施例中,离子移除器231可包括但不限于HAUGIonizationTM所生产的离子化棒「EIRN」,而空气刀232可包括但不限于NEXFLOWTM所生产的「silentx-streamTMairbladeTM」空气刀。
回到图1,载板25-1到25-3的尺寸适合于支撑物件26-1到26-3,并配合在例如传送单元24的导轨内。在根据本发明的一个实施例中,其还在以下的讨论,物件26-1到26-3可包括但不限于液晶显示器(LCD)面板,其尺寸例如为13”、14”及15”。载板25-1到25-3的尺寸可配合不同尺寸的LCD面板。此外,也如以下将讨论的,载板25-1到25-3可由外部电源通过传送单元24来供电,从而开启上述这些LCD面板来促进检测。
控制器27可连接于清洗器23、探测器22与一组传感器(图中未表示),用来控制检测的进行。上述组传感器可设置在平台21中所需的位置处以便于检测。另外,控制器27可配置成由探测器22收集有关于物件的已扫描的数据,分析上述已扫描的数据,并实时地在屏幕(图中未表示)上显示特定物件的检测结果。
在操作时,第一物件26-1和第一载板25-1在它们共同放置在输入埠242处之前被定位在第一载板25-1上。然后第一物件26-1由传送单元24在第一方向上朝向输出埠243传送。以帮助第一传感器(图中未表示),第一物件26-1在当其靠近清洗器23漏出时被探测到,然后控制器27可响应于要到达的第一物件26-1而使清洗器23运作。接着,第一物件26-1可由探测器22进行扫描。以助于第二探测器(图中未表示),可辨识出将第一物件26-1与其它物件区分出来的有关于第一物件26-1的第一条形码(图中未表示)。上述已扫描的数据与上述已辨识出的条形码可由控制器27收集。在根据本发明的一个实施例中,当第一物件26-1继续行进到输出埠243时,可同时显示第一物件26-1的上述已扫描的数据。另外,控制器27可使警报装置(图中未表示)在当物件的缺陷数目超过预定值时发出警示声音或灯号。
第二物件26-2和第二载板25-2可在当第一物件26-1沿着第一方向进行时被放置在输入埠242处。例如,第二物件26-2可在当第一物件26-1到达清洗器23或探测器22时被放置在输入埠242处。同样地,第三物件26-3可在当第二物件26-2在稍后到达清洗器23或探测器22时被放置在输入埠242处。另外,物件在当到达输出埠243时将被拾取,以预留空间给后续物件。
图3A为图1所示的装置20的探测器22的俯视图。参照图3A,探测器22可包括第一扫描仪221与第二扫描仪222,其由支撑结构220固持在平台21之上所需的高度处。第一与第二扫描仪221、222可延伸于上述第二方向,且如本实施例所示,当物件26-1在第一方向上行进时纵向地扫描物件26-1。第一与第二扫描仪221、222的每一个可包括配置在第二方向上的一些扫描单元,其足以覆盖物件26-1的宽度。
图3B为图1所示的装置20的探测器22的后视立面图。参照图3B,装置20还可包括第一调整工具22H来调整探测器22相对于平台21或物件的高度。具体而言,探测器22可被调整成向上或向下移动到在实质上与上述第一方向和上述第二方向垂直的第三方向上的所需的高度处。
此外,装置20也可包括第二调整工具22R,用于调整一组滚轮(图中未表示)在检测时施加于物件的表面上的力量,其将在以下参照图3C中进行讨论。另外,装置20仍可包括一个或多个第三调整工具22A,来调整第一与第二扫描仪221、222在检测时相对于物件的表面的法线方向的角度。
图3C为图1所示的装置20的左侧示意图。参照图3C,设置在支撑结构220(如虚线所示)处的第三传感器S3可探测与物件26-1的表面的距离D1。距离D1可由控制器27分析,以判定探测器22是否到达所需要的高度。如果否,探测器22以及第一与第二扫描仪221、222可通过第一调整工具22H被调整到所需要的高度。在一个实施例中,第一调整工具22H可允许手动调整。在另一个实施例中,第一调整工具22H可允许通过输入命令到控制器27从而由控制器27进行调整。
关于探测器22的第一组滚轮228可配置在输入埠242与第一扫描仪221之间以压住物件26-1的表面,以便于在检测程序中的后续扫描。在扫描之前按压物件可降低将良好的像素点误认为缺陷(反之亦然)的风险,特别是在当物件由于例如制造因素而有翘曲表面的情况。此外,须要通过外力才能显像的异物,也能通过第一组滚轮228对于物件26-1的表面所施加的压力来显像,而被第一扫描仪221探测到。另外,利用来自第一组滚轮228的压力,在物件内的缺陷在被压住的区域中可更容易地与正常的像素辨识和区别出来。在本实施例中,在第一组滚轮228与第一扫描仪221之间被压住的区域中的缺陷y1可变得更容易探测。此外,为了均匀地按压物件的表面,第一组滚轮228可被配置成延伸于第二方向上,并覆盖在第一方向上纵向行进的上述物件的宽度。滚轮228施加于物件26-1的表面上的力量或压力可由控制器27分析,并通过第二调整工具22R进行调整,其可由手动或由控制器27进行。
图3D为根据本发明另一个实施例如图1所示的装置20的左侧示意图。参照图3D,探测器22还可包括设置在第二扫描仪222与传送单元24的输出埠243之间的第二组滚轮229。在本发明的一个实施例中,第二组滚轮229和第二扫描仪222之间的缺陷y2可变得更容易探测。另外,第二组滚轮229可由第四调整工具23R以类似于第一组滚轮228的方式固持与调整。
图3E为根据本发明一个实施例的滚轮调整机构的示意图。参照图3E,上述滚轮调整机构可包括第二调整工具22R与第一组滚轮228。第二调整工具22R可包括滚轮支撑227用于支撑第一组滚轮228。在本实施例中,滚轮支撑227包括一组滚轮支撑单元227R,其每一个支撑第一组滚轮228中相对应者。另外,每个滚轮支撑单元227R可为伸缩状,所以可调整相对于物件26-1的对应滚轮的高度以及上述对应滚轮施加于物件26-1的表面上的力量。在如图3E所示的非平面表面的情况下,通过调整滚轮支撑单元227R的每一个,即可达到横跨上述非平面表面的均匀压力。
图3F为根据本发明另一个实施例的滚轮调整机构的示意图。参照图3F,上述滚轮调整机构可包括滚轮支撑327与单一滚轮328。滚轮328可采用圆柱形,在其上具有多个直线沟槽329。滚轮327施加在物件26-1上的力量可由滚轮支撑327在第三方向上的伸缩移动来控制。
图3G为根据本发明又另一个实施例的滚轮调整机构的示意图。参照图3G,上述滚轮调整机构可包括单一滚轮428,在其上具有对角线沟槽429。
回头参照图3C,第一扫描仪221可被固持于第三调整工具22A其中之一个当中。第一扫描仪221与物件26-1的表面的法线方向(在本实施例中为第三方向)之间的角度可通过相关的第三调整工具22A调整。具体而言,第一扫描仪221可环绕第一轴X1被旋转至第一需要角度,其可由手动或通过控制器27进行。
同样地,第二扫描仪222可被固持于第三调整工具22A的另一个中。第二扫描仪222与物件26-1的表面的法线方向之间的角度可通过相关的第三调整工具22A调整。具体而言,第二扫描仪222可环绕第二轴X2被旋转到第二需要角度,其可由手动或通过控制器27进行。在根据本发明的一个实施例中,每个扫描仪221、222可旋转的角度的范围由大约负30度到正30度(±30o)。例如,第一扫描仪221相对于法线LN可在范围由0到30度的第一角度A1内旋转,而第二扫描仪222相对于法线LN可在范围由0到-30度的第二角度A2内旋转,上述视角调整可便于进行全方向的探测,所以可以特定角度来探测像灰尘或具有光学方向的刮痕的缺陷。
图4为根据本发明另一个实施例的光学检测装置30的示意图。参照图4,装置30可类似于参照图1所描述及示例的装置20,除了例如加入另一个探测器32。具体而言,装置30包括输入埠242与输出埠243之间的第一扫描仪221,及第一探测器22与输出埠242之间的第二探测器32。另外,第二探测器32的结构与功能可类似或相同于第一探测器22,因此不做进一步讨论。装置30可应用于当被检测中的物件具有多个相关层时的方案,其中需要对物件进行冗余扫描,或需要快速扫描。在快速扫描方案中,第一和第二探测器22、32可一次扫描两个物件。例如,在如图4所示的输送顺序中,第二探测器32可被指定扫描第一物件26-1,而指定第一探测器22扫描第二物件26-2,由此加倍扫描速率。本领域技术人员将了解,根据本发明的装置可在当检测程序允许时装设有三个或更多的探测器。
图5A及5B为根据本发明又另一个实施例的光学检测装置50的示意俯视图。参照图5A,装置50可包括第一装置单元51和第二装置单元52。在本实施例中,第一装置单元51可包括清洗器和一对探测器,且其结构与功能可类似或相同于图4所示的装置30。另外,第二装置单元52可包括一对探测器,且其结构与功能可类似于图4所示的装置30,除了第二装置单元52并未包括如第一装置单元51的清洗器,因为在检测时可附着在物件表面上的外来物质可能已经由第一装置单元51的清洗器所移除。在另一个实施例中,第一与第二装置单元51、52其每一个包括一个单一探测器,并可与图1所示的装置20类似或相同,除了第二装置单元52可不包括如第一装置单元51的清洗器。
第一装置单元51可配置成在第一方向上传送物件26-1到26-3,并纵向地扫描它们。因此,由于窄光束照射或者由于仅可沿着第一方向看到和探测到的缺陷可由第一装置单元51的上述对探测器或单一探测器的扫描仪探测到。另一方面,第二装置单元52可配置成在与上述第一方向垂直的第二方向上传送物件26-1到26-3,并横向地扫描它们。因此,仅有沿着第二方向可看到与探测到的缺陷可由第二装置单元52之上述对探测器或单一探测器的扫描仪探测到。为了便于这种扫描,第一装置单元51和第二装置单元52可配置成在互相垂直的方向上延伸,将第一装置单元51的输出埠243连接于或作为第二装置单元52的输入埠242。
在操作时,物件26-1到26-3可放置在第一装置单元51的输入埠242处,其每一个的宽度侧面向第一装置单元51的输出埠243,使得物件26-1到26-3在当它们行进在第一装置单元51的第一方向上时纵向地进行扫描。参照图5B,当第一物件26-1到达第一装置单元51的输出埠243时,将其长度侧面向第二装置单元52的输入埠242、物件26-1以及后续的物件26-2与26-3即可在当其行进在第二装置单元52的第二方向上时横向地进行扫描。
图6A为图1所示的光学检测装置20中载板25-1的俯视立面图。参照图6A,载板25-1具有复数个第一开口251、复数个第二开口252、复数个第三开口253与复数个连接器254。第一开口251可由助插头而配置成使得载板25-1可被应用到不同尺寸的面板的样式。图7-1到7-6为其中可应用根据本发明的载板25-1的不同尺寸的面板的示意图。上述这些面板可包括但不限于13”、14”与15”面板。具体而言,如图7-1到7-3所示的上述这些面板的长宽比为16∶9,而图7-4到7-6所示的上述这些面板的长宽比为4∶3。
回头参照图6A,第二开口252的形式为在第一方向上延伸的长方形通孔,其可以连接于产品信息的位置的样式(例如印刷在面板的底面上的面板条形码)来配置。上述条形码位置可随着面板尺寸不同而不同。因此,根据面板尺寸,第二开口252其中之一个可露出一特定尺寸的面板的条形码。
第三开口253可用于将面板固定到载板25-1上。类似于第一开口251,第三开口253可将面板保持在定位,所以上述面板在检测期间不会相对于载板25-1移动。在载板25-1上面板的位移可能造成检测错误,例如探测到的缺陷与其坐标之间的不符。
连接器254可包括配置在载板25-1的上方或第一表面25t上的导电垫,用以在检测期间通过传送单元24维持和外部电源的电气连接。
图6B为图6A所示的载板25-1的底视图。参照图6B,载板25-1还可包括电力控制单元60,及在载板25-1的底面或第二表面25b上的一对导电轨61、62。电力控制单元60可控制对面板的电力供应,例如光源(像是上述面板的背光源)。至少在检测周期期间,需要电力控制单元60来开启上述背光源,以便于上述面板的扫描,并使得像是亮点或暗点的缺陷可被看到和探测到。此外,延伸于第一方向上的导电轨61、62可接触传送单元24,以通过连接器254与传送单元24电气连接电力控制单元60至上述外部电源。
图8A为显示根据本发明一个实施例中当其上固定有第一物件26-1的载板25-1的俯视立面图。参照图8A,一些插头81的每一个的尺寸能够紧密配合在第一开口251之内,并被插入到第一开口251的第一选出的群组中,以将第一尺寸的第一物件26-1固定于载板25-1的第一表面25t上。另外,电气连接于第一物件26-1的光源的可挠性电路板(Flexiblecircuitboard,「FCB」)82可连接至连接器254的一选出的组合,来开启上述这些光源来便于光学检测。此外,上述这些光源每一个可包括内含于磁性金属外壳中的冷阴极荧光灯(Coldcathodefluorescencelamp,「CCFL」)。在上述实施例中,插头81可由磁性材料制成,以更稳定地固定第一物件26-1。
图8B为显示根据本发明一个实施例中当其上固定有第二物件26-2的载板25-1的俯视立面图。参照图8B,一些插头81可被插入到第一开口251的第二选出的群组中,以将第二尺寸的第二物件26-2固定于载板25-1的第一表面25t上。与图8A所示的第一物件26-1比较,上述第二尺寸小于上述第一尺寸。因此,以有利于插头81和通过选择预定样式的第一开口251的适当组合,载板251可适用于支撑不同尺寸的面板。
图8C为显示根据本发明一个实施例中当其上固定有第三物件26-3的载板25-1的俯视立面图。参照图8C,一些插头81可被插入到第一开口251的第三选出的群组中,以将第三尺寸的第三物件26-3固定在载板25-1的第一表面25t上。此外,第三物件26-3的上述这些光源每一个可包括可由塑料罩所覆盖的发光二极管(Lightemittingdiode,「LED」)串。在上述实施例中,其一側在第三开口253中的夹钳83,即可利用其另一側将第三物件26-3固定在载板25-1的第一表面25t上。
图9A为图8A所示的第一物件26-1的底视图。参照图9A,条形码92可沿着第一方向印刷在物件26-1的底表面26b上。条形码92可以用于区别26-1和其它物件。为了辨识面板的条形码,如前所述,可在平台21的适当位置处装设第二传感器。
图9B为显示当其上固定有第一物件26-1的载板25-1的底视图。参照图9B,预定样式的第二开口252其中之一个可露出第一物件26-1的条形码92。条形码92可由上述第二传感器探测到,然后传送至控制器27。
本领域技术人员应当了解可对上述各项实施例进行变化,而不悖离其广义的发明概念。因此,应当了解本发明并不限于上述具体实施例,而为涵盖归属各项权利要求所定义的本发明精神及在其范围内的修饰。
进一步地,在说明本发明的代表性实施例时,本说明书可将本发明的方法及/或工艺表示为特定的步骤顺序;不过,由于上述方法或工艺的范围并不在于本文所提出的特定的步骤顺序,故上述方法或工艺不应受限于所述的特定步骤顺序。作为本领域技术人员应当会了解其它步骤顺序也是可行的。所以,不应将本说明书所提出的特定步骤顺序视为对申请专利范围的限制。此外,也不应将有关本发明的方法及/或工艺的权利要求范围仅限制在以书面所记载的步骤顺序的实施,本领域技术人员易于了解,上述这些顺序也可加以改变,并且仍涵盖在本发明的精神和范畴之内。

Claims (18)

1.一种光学检测装置,其特征在于,上述装置包含:
平台,其延伸于第一方向上;
传送单元,用于在上述第一方向上由其输入埠输送至少一个载板至输出埠,上述至少一个载板的每一个用于支撑要被检测的至少一个物件其中之一个;
第一探测器,其设置于上述平台之上,并延伸于与上述第一方向垂直的第二方向上,用于检测在上述至少一个载板上上述至少一个物件,上述第一探测器包括第一扫描仪,其在上述第二方向上延伸于上述输入埠与上述输出埠之间,上述第一探测器包括第二扫描仪,其在上述第二方向上延伸于上述第一扫描仪与上述输出埠之间,其还包含位在上述第二扫描仪与上述输出埠之间的第二滚轮组,以施加力量至上述至少一物件的每一个的表面上,上述第一探测器还包含第一角度调整工具或第二角度调整工具的至少其中之一个,上述第一角度调整工具用以相对于上述至少一物件的每一个的上述表面的法线方向调整上述第一扫描仪的角度工具,上述第二角度调整工具,用以相对于上述每一物件的每一个的上述表面的法线方向调整上述第二扫描仪的角度工具;以及
第一滚轮组,其位于上述第一扫描仪与上述输入埠之间,且所述第一滚轮组进一步位于所述传送单元的上方,所述第一滚轮组于一第三方向施加一向下的力量至上述至少一个物件的每一个的上述表面上,其中所述第三方向与所述第一方向和所述第二方向垂直。
2.如权利要求1所述的装置,其特征在于,其中上述至少一个物件的每一个包括液晶显示器面板,且其中上述至少一个载板的每一个均具有在其第一表面上的复数个第一开口,以允许上述每一个载板可支撑不同尺寸的面板。
3.如权利要求2所述的装置,其特征在于,其中上述至少一个载板的每一个具有在上述第一表面上的复数个第二开口,以暴露上述面板的条形码。
4.如权利要求2所述的装置,其特征在于,其中上述至少一个载板的每一个包括在其第二表面上的电力控制单元,以控制对上述面板的电力供应。
5.如权利要求4所述的装置,其特征在于,其中上述至少一个载板的每一个包括在上述第二表面上的一对导电轨,以在当上述每一个载板由上述传送单元输送时,通过上述传送单元电气连接上述电力控制单元至电源。
6.如权利要求1所述的装置,其特征在于,其中上述第一滚轮组或上述第二滚轮组中至少一个被允许在与上述第一方向和上述第二方向垂直的第三方向上移动。
7.如权利要求1所述的装置,其特征在于,其中上述第一滚轮组或上述第二滚轮组中至少一个包括单一滚轮,其具有在滚轮表面上的直线沟槽与对角线沟槽中的一种。
8.如权利要求1所述的装置,其特征在于,其中上述第一滚轮组或上述第二滚轮组中至少一个包括复数个滚轮,其每一个被允许在与上述第一方向及上述第二方向垂直的第三方向上移动。
9.如权利要求1所述的装置,其特征在于,还包含清洗器,其设置在上述传送单元的上述输入埠与上述第一探测器的上述第一扫描仪之间的上述平台之上,并延伸于上述第二方向上。
10.如权利要求1所述的装置,其特征在于,还包含第二探测器,其设置在上述输入埠与上述第一探测器之间的上述平台之上,并延伸于上述第二方向上。
11.一种光学检测装置,其特征在于,上述装置包含:
平台,其延伸于第一方向上;
第一探测器,其设置于上述平台之上,并延伸于与上述第一方向垂直的第二方向上,用于检测物件,上述第一探测器包括第一扫描仪,其在上述第二方向上延伸于输入埠与输出埠之间,以及第二扫描仪,其在上述第二方向上延伸于上述第一扫描仪与上述输出埠之间,上述第一探测器还包含第一角度调整工具或第二角度调整工具的至少一个,上述第一角度调整工具以相对于上述物件的表面的法线方向调整上述第一扫描仪的角度工具,上述第二角度调整工具用以相对于上述物件的上述表面的法线方向调整上述第二扫描仪的角度的第二角度调整工具中至少一个;
传送单元,用于在上述第一方向上由上述输入埠输送载板至上述输出埠,其中上述载板具有第一表面用于在其上支撑上述物件,及第二表面,在其上提供电力控制单元用于控制对上述物件的电力供应,上述载板包括在上述第二表面上的一对导电轨,用以在检测期间当上述载板由上述传送单元输送时,通过上述传送单元电气连接上述电力控制单元至电源;
第一滚轮组,其位于上述输入埠与上述第一探测器之间,且所述第一滚轮组进一步位于所述传送单元的上方,所述第一滚轮组于一第三方向施加一向下的力量至上述物件的上述表面上,其中所述第三方向与所述第一方向和所述第二方向垂直;以及
第二滚轮组,其位于上述输出埠与上述第一探测器之间,且所述第二滚轮组进一步位于所述传送单元的上方,所述第二滚轮组于一第三方向施加一向下的力量至上述物件的上述表面上,其中所述第三方向与所述第一方向和所述第二方向垂直。
12.如权利要求11所述的装置,其特征在于,其中上述物件包括液晶显示器面板,且其中上述载板具有在上述第一表面上的复数个第一开口,以允许上述载板可支撑不同尺寸的面板。
13.如权利要求12所述的装置,其特征在于,其中上述载板具有在上述第一表面上的复数个第二开口,以暴露上述面板的条形码。
14.如权利要求11所述的装置,其特征在于,其中上述第一滚轮组或上述第二滚轮组中至少一个被允许在与上述第一方向及上述第二方向垂直的第三方向上移动。
15.如权利要求11所述的装置,其特征在于,其中上述第一滚轮组或上述第二滚轮组中至少一个包括单一滚轮,其具有在滚轮表面上的直线沟槽与对角线沟槽中的一种。
16.如权利要求11所述的装置,其特征在于,其中上述第一滚轮组或上述第二滚轮组中至少一个包括复数个滚轮,其每一个被允许在与上述第一方向及上述第二方向垂直的第三方向上移动。
17.如权利要求11所述的装置,其特征在于,还包含清洗器,其设置在上述传送单元的上述输入埠与上述第一探测器的上述第一扫描仪之间的上述平台之上,并延伸于上述第二方向上。
18.如权利要求11所述的装置,其特征在于,还包含第二探测器,其设置在上述输入埠与上述第一探测器之间的上述平台之上,并延伸于上述第二方向上。
CN201110169871.2A 2011-02-01 2011-06-23 光学检测装置 Active CN102621155B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510172339.4A CN104865266A (zh) 2011-02-01 2011-06-23 光学检测装置

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201161438527P 2011-02-01 2011-02-01
US61/438,527 2011-02-01
US13/051,874 US8502967B2 (en) 2011-02-01 2011-03-18 Apparatus for optical inspection
US13/051,874 2011-03-18

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510172339.4A Division CN104865266A (zh) 2011-02-01 2011-06-23 光学检测装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102621155A CN102621155A (zh) 2012-08-01
CN102621155B true CN102621155B (zh) 2016-04-20

Family

ID=44510054

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510172339.4A Pending CN104865266A (zh) 2011-02-01 2011-06-23 光学检测装置
CN201110169871.2A Active CN102621155B (zh) 2011-02-01 2011-06-23 光学检测装置

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510172339.4A Pending CN104865266A (zh) 2011-02-01 2011-06-23 光学检测装置

Country Status (7)

Country Link
US (2) US8502967B2 (zh)
EP (1) EP2482059B1 (zh)
JP (1) JP5328847B2 (zh)
KR (2) KR101314664B1 (zh)
CN (2) CN104865266A (zh)
MY (1) MY179047A (zh)
TW (1) TWI443328B (zh)

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101117629B1 (ko) * 2011-12-16 2012-03-16 주식회사 선일기연 롤형fpcb와 시트형fpcb를 선택적으로 검사 가능한 fpcb 검사장치
US20130215419A1 (en) * 2012-02-22 2013-08-22 Cooper S. K. Kuo Optical inspection device
CN102879405B (zh) * 2012-09-29 2014-09-24 肇庆中导光电设备有限公司 紧凑型的检测台以及应用该检测台的检测方法
KR20150056713A (ko) 2013-11-15 2015-05-27 삼성전자주식회사 영상표시장치의 비파괴 검사 시스템 및 방법과 이를 위한 비파괴 검사 장치
CN103616167B (zh) * 2013-12-05 2016-03-09 福州大学 一种背光源发光均匀性自动检测系统
CN103728319B (zh) * 2013-12-25 2016-08-17 惠州市中和自动化设备有限公司 一种电路板光学自动检测装置
US9908158B2 (en) 2014-03-10 2018-03-06 Ametek, Inc. Air flow mechanism for image capture and vision systems
JP6390355B2 (ja) * 2014-11-06 2018-09-19 オムロン株式会社 給電装置および給電方法
JP6390354B2 (ja) * 2014-11-06 2018-09-19 オムロン株式会社 端子固定装置および端子固定方法
CN104678619A (zh) 2015-03-23 2015-06-03 合肥鑫晟光电科技有限公司 一种滚压机及其滚压方法
EP4235539A3 (en) * 2015-09-11 2023-09-27 Berkshire Grey Operating Company, Inc. Robotic systems and methods for identifying and processing a variety of objects
CN105388642B (zh) * 2015-11-14 2019-01-15 合肥骇虫信息科技有限公司 一种液晶面板异物检验系统
US9937532B2 (en) 2015-12-18 2018-04-10 Berkshire Grey Inc. Perception systems and methods for identifying and processing a variety of objects
CN107462177B (zh) * 2017-09-25 2019-11-05 武汉华星光电技术有限公司 一种液晶盒厚度测量装置及测量方法
FR3075374A1 (fr) * 2017-12-19 2019-06-21 Saint-Gobain Glass France Systeme d'inspection de vitrage ameliore
KR102137401B1 (ko) * 2018-03-06 2020-07-24 주식회사 엘지화학 판형유리 크랙 예측 방법
KR102112053B1 (ko) * 2018-08-01 2020-05-18 주식회사 뷰온 이미지 센서를 이용한 표면결함 검사장치 및 검사방법
CN108956629B (zh) * 2018-09-29 2024-04-16 苏州精濑光电有限公司 一种基板检测设备
TWI696379B (zh) * 2019-03-27 2020-06-11 佳世達科技股份有限公司 光學檢測裝置
CN112798609A (zh) * 2021-04-19 2021-05-14 深圳市罗博威视科技有限公司 一种屏幕模组外观检测设备及检测方法
CN114690262A (zh) * 2022-03-04 2022-07-01 杭州睿影科技有限公司 扫描成像装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1580875A (zh) * 2003-08-08 2005-02-16 光子动力学公司 传送和约束大型扁平柔性介质的高精度气浮轴承分轴台

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6180064A (ja) * 1984-09-27 1986-04-23 Sharp Corp 液晶セルの評価装置
JPS63293581A (ja) * 1987-05-26 1988-11-30 富士通株式会社 液晶パネルの試験方法
US5184217A (en) * 1990-08-02 1993-02-02 Doering John W System for automatically inspecting a flat sheet part
JP2000009661A (ja) * 1998-06-26 2000-01-14 Ntn Corp フラットパネル検査装置
JP3553460B2 (ja) * 1999-04-23 2004-08-11 ディーイー、エンド、ティー 株式会社 Lcdテスト装置
US6359686B1 (en) * 1999-06-29 2002-03-19 Corning Incorporated Inspection system for sheet material
JP4403229B2 (ja) * 2000-04-12 2010-01-27 国際技術開発株式会社 基板検査装置
JP3725774B2 (ja) * 2000-10-30 2005-12-14 株式会社平和 遊技盤検査装置
KR100354103B1 (ko) * 2001-02-05 2002-09-28 메카텍스 (주) 액정디스플레이패널 검사장치의 패널수평반송장치
KR20060044032A (ko) * 2004-11-11 2006-05-16 삼성전자주식회사 표시패널용 검사 장치 및 이의 검사 방법
JP4563847B2 (ja) * 2005-03-17 2010-10-13 オリンパス株式会社 基板検査装置
JP2006275547A (ja) * 2005-03-28 2006-10-12 Seiko Epson Corp マトリクス構造の欠陥検出装置およびマトリクス構造の欠陥検出方法
JP2008076171A (ja) * 2006-09-20 2008-04-03 Olympus Corp 基板検査装置
TW200821247A (en) * 2006-09-22 2008-05-16 Olympus Corp Substrate inspecting apparatus
JP2009141152A (ja) * 2007-12-06 2009-06-25 Sharp Corp パネル搬送装置およびパネル搬送方法
JP5144241B2 (ja) * 2007-12-17 2013-02-13 パナソニック液晶ディスプレイ株式会社 液晶表示装置の製造方法および検査システム
JP4404159B2 (ja) * 2008-01-21 2010-01-27 凸版印刷株式会社 検査方法
JP2010014419A (ja) * 2008-07-01 2010-01-21 Sharp Corp 異物検出方法および異物検出装置
CN201251553Y (zh) * 2008-07-19 2009-06-03 浙江永吉木业有限公司 一种木地板检验工作台
CN102062584A (zh) * 2010-12-18 2011-05-18 深圳市瑞摩特科技发展有限公司 遥控器自动检测生产线

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1580875A (zh) * 2003-08-08 2005-02-16 光子动力学公司 传送和约束大型扁平柔性介质的高精度气浮轴承分轴台
CN101441337A (zh) * 2003-08-08 2009-05-27 光子动力学公司 传送和约束大型扁平柔性介质的高精度气浮轴承分轴台

Also Published As

Publication number Publication date
US20120194806A1 (en) 2012-08-02
EP2482059B1 (en) 2019-01-16
KR101362454B1 (ko) 2014-02-11
CN102621155A (zh) 2012-08-01
US8305569B2 (en) 2012-11-06
KR20130020709A (ko) 2013-02-27
MY179047A (en) 2020-10-26
KR20120089176A (ko) 2012-08-09
US20120242986A1 (en) 2012-09-27
TW201233992A (en) 2012-08-16
US8502967B2 (en) 2013-08-06
EP2482059A2 (en) 2012-08-01
JP2012159489A (ja) 2012-08-23
KR101314664B1 (ko) 2013-10-07
CN104865266A (zh) 2015-08-26
JP5328847B2 (ja) 2013-10-30
TWI443328B (zh) 2014-07-01
EP2482059A3 (en) 2017-11-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102621155B (zh) 光学检测装置
CN204256323U (zh) 自动化检测机台
KR101362330B1 (ko) 디스플레이용 패널의 검사장치
KR100948734B1 (ko) 표시 패널의 제조 방법 및 제조 장치
CN102043266B (zh) 检测薄膜场效应晶体管阵列基板的设备及方法
CN101842300A (zh) 用于在超净室中传送对冲击敏感的玻璃板的装置和方法
JP4326528B2 (ja) 安全なガラスの製造又は処理工程を制御するための方法及び装置
CN104570411A (zh) 多工位点灯aoi系统
CN102472788A (zh) 导电图检查装置及检查方法
CN100538345C (zh) 玻璃基板的颗粒测定方法
CN101299125A (zh) 阵列测试器
KR101663755B1 (ko) 인덱스형 액정 셀 검사장치
JP7012575B2 (ja) 検査装置及び検査方法
KR100911331B1 (ko) 어레이 테스트 장치 및 상기 어레이 테스트 장치의 기판 일지점 위치 측정 방법
CN105954900A (zh) 基板检测方法及基板检测设备
CN2864893Y (zh) 具精密定位单元的平面显示面板检测仪
KR101126687B1 (ko) 디스플레이용 패널의 검사장치
CN111811443A (zh) 一种玻璃检测设备及工艺
KR101235624B1 (ko) 기판 접촉감지 시스템
KR20130013286A (ko) 연성기판 검사장치
CN109445334A (zh) DeMura设备控制系统
KR101546508B1 (ko) 턴테이블이 구비된 패널 영상검사 장치
CN117697422A (zh) 一种遥控器自动组装线
CN102629436A (zh) 面板模块组装装置
KR20190071140A (ko) 어레이 테스트 장치

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant