KR20150056713A - 영상표시장치의 비파괴 검사 시스템 및 방법과 이를 위한 비파괴 검사 장치 - Google Patents
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Abstract
개시된 발명은 영상표시장치의 비파괴 검사 시스템 및 방법과 이를 위한 비파괴 검사 장치에 관한 것으로서, 광원으로부터 발생되는 광을 분할하여 기준부와 샘플부로 출사하고, 기준부와 샘플부로부터 반사되어 입사되는 광을 결합시켜 간섭된 간섭광을 생성하여 검출부로 전달하는 광 커플러; 광 커플러로부터 입사되는 광을 고속으로 위상 스캔하여 반사시키는 기준부; 광 커플러로부터 입사되는 광을 검사 대상인 영상표시장치에 조사하고 영상표시장치로부터 반사되는 광을 스캔하여 반사시키는 샘플부; 광 커플러로부터 입사되는 간섭광으로부터 영상표시장치의 영상 신호를 획득하는 검출부; 및 검출부로부터 전송되는 영상표시장치의 영상 신호를 기초로 영상표시장치의 영상을 생성하여 이물질을 감지하고, 이송부의 동작을 제어하는 제어부;를 포함할 수 있다.
Description
실시간 광단층 영상기술을 이용한 영상표시장치의 비파괴 검사 시스템 및 방법과 이를 위한 비파괴 검사 장치에 관한 것이다.
최근 스마트폰이나 탭과 같은 휴대용 전자제품의 소요가 급증하면서 키보드와 같은 입력장치의 편의성과 직관적인 사용자 인터페이스를 제공하는 터치스크린패널이 활성화되고 있다. 터치스크린패널 시작은 전 세계적으로 고속 성장하고 있으며, 각종 디스플레이 소자 및 패널은 갈수록 고다층화, 초박막화, 초미세 패턴화 및 칩-패키지 일체화로 발전하고 있어 그 제조기술 또한 많은 성장을 거듭하고 있다.
그러나, 이러한 성장에도 불구하고 초박형 터치스크린패널의 불량을 검사하거나, 공정을 모니터링 하여 불량의 원인을 규명하는 검사법은 여전히 작업자에 의한 육안검사나 파괴검사로 이루어지고 있는 상태이다.
과거에는 수작업을 통해 검사가 가능하였으나, 현 터치스크린의 기술은 반도체 제조공정과 거의 유사하여 공정 과정을 실시간으로 모니터링하여 완제품의 신뢰성을 향상시키기 위한 방법을 모색하는 것이 요구되고 있는 실정이다.
영상표시장치의 비파괴 검사 시스템 및 방법과 이를 위한 비파괴 검사 장치의 일 측면은 다층을 이루고 있는 터치스크린패널과 이를 적용한 영상표시장치의 생산 및 제조 공정상의 불량을 비파괴적으로 검사하기 위한 영상표시장치의 비파괴 검사 시스템 및 방법과 이를 위한 비파괴 검사 장치를 제공하기 위한 것이다.
개시된 발명의 일 측면에 따른 비파괴 검사 장치는, 광을 발생시키는 광원; 상기 광원으로부터 발생되는 광을 분할하여 기준부와 샘플부로 출사하고, 상기 기준부와 상기 샘플부로부터 반사되어 입사되는 광을 결합시켜 간섭된 간섭광을 생성하여 검출부로 전달하는 광 커플러; 상기 광 커플러로부터 입사되는 광을 고속으로 위상 스캔하여 반사시키는 기준부; 상기 광 커플러로부터 입사되는 광을 검사 대상인 영상표시장치에 조사하고 상기 영상표시장치로부터 반사되는 광을 스캔하여 반사시키는 샘플부; 상기 광 커플러로부터 입사되는 간섭광으로부터 영상표시장치의 영상 신호를 획득하는 검출부; 상기 영상표시장치가 기 설정된 스캔영역에 위치하도록 제어부의 제어에 따라 상기 샘플부의 위치를 상하 이동시키는 이송부; 및 상기 검출부로부터 전송되는 영상표시장치의 영상 신호를 기초로 영상표시장치의 영상을 생성하여 이물질을 감지하고, 상기 이송부의 동작을 제어하는 제어부;를 포함할 수 있다.
또한, 샘플부는, 입사되는 광을 평행광으로 변환시키는 제1 콜리메이팅 렌즈; 상기 영상표시장치의 촬영 영역에 광을 조사하기 위해 상기 제1 콜리메이팅 렌즈로부터 입사되는 상기 평행광을 반사시키는 스캐너; 및 상기 스캐너를 통해 조사된 상기 평행광을 하나로 모이도록 포커스를 조정하는 스캐닝 렌즈;를 포함할 수 있다.
또한, 스캐너는, 상기 제1 콜리메이팅 렌즈에서 출력된 상기 평행광을 방사 방향으로 조절하여 영상표시장치의 X축 방향 및 Y축 방향으로 스캔할 수 있다.
또한, 검출부는, 상기 스캐너의 평행광의 방사 방향 조절에 따라 순차적으로 입사되는 복수의 간섭광을 기초로 2차원 영상 신호를 획득할 수 있다.
또한, 스캐너는 갈바노 스캔 미러일 수 있다.
또한, 제어부는, 상기 검출부로부터 전달되는 영상 신호를 기초로 1차원 단면형태의 영상표시장치 영상, 2차원 단층형태의 영상표시장치 영상 및 3차원 형태의 영상표시장치 영상을 생성할 수 있다.
또한, 제어부는, 상기 1차원 단면형태의 영상표시장치 영상을 통해 이물질 존재여부를 파악하고, 상기 2차원 단층형태의 영상표시장치 영상을 통해 각 층간의 이물질 포함여부와 이물질 크기를 파악하며, 상기 3차원 형태의 영상표시장치 영상을 통해 이물질의 부피와 이물질의 크기를 파악할 수 있다.
또한, 기준부는, 입사되는 광을 평행광으로 변환시키는 제2 콜리메이팅 렌즈; 상기 제2 콜리메이팅 렌즈를 투과한 평행광을 하나로 모이도록 포커스를 조절하는 제1 포커싱 렌즈; 및 상기 제1 포커싱 렌즈로부터 입사되는 광을 반사시키기 위해 광 경로를 가변시키는 레퍼런스 미러;를 포함할 수 있다.
또한, 검출부는, 상기 광 커플러를 통해 입사되는 간섭광을 평행광으로 변환시키는 제3 콜리메이팅 렌즈; 상기 평행광을 파장별로 분산시키는 회절격자; 분산된 상기 평행광을 각 파장별로 하나의 포커스로 모이도록 상기 평행광의 포커스를 조절하는 제2 포커싱 렌즈; 및 상기 제2 포커싱 렌즈로부터 입사되는 광을 라인상태로 스캔하여 영상신호로 생성하는 스펙트로미터;를 포함할 수 있다.
또한, 스펙트로미터는 씨모스(Complementary Oxide Semiconductor) 카메라와 씨씨디(Charge Coupled Device) 카메라를 비롯한 라인 스캔 카메라를 포함할 수 있다.
또한, 비파괴 검사 장치는, 검사대에 위치하는 상기 영상표시장치로부터 상부 방향으로 이격된 위치에 위치하여 상기 영상표시장치의 표면을 촬영하여 상기 영상표시장치 상의 이물질 추정 영역을 1차적으로 감지하기 위한 촬영부;를 더 포함할 수 있다.
또한, 영상표시장치는, 터치 스크린 패널 또는 상기 터치 스크린 패널이 적용된 디스플레이 장치일 수 있다.
개시된 발명의 다른 측면에 따른 비파괴 검사 시스템은, 비파괴 검사 장치와 연결되어 영상표시장치의 이물질을 감지하기 위한 시스템으로서, 상기 비파괴 검사 장치로부터 전달되는 전기적 신호 형태의 영상 신호로부터 영상표시장치의 영상을 생성하는 영상 신호 처리부; 상기 영상표시장치의 영상을 기 저장된 기준 영상과 비교하여 이물질의 존재를 파악하고, 파악된 이물질의 크기를 연산하여 기 설정된 이물질 크기기준와 비교하여 상기 기 설정된 이물질 크기기준을 초과하는 경우, 결함으로 판단하는 이물질 감지부; 및 상기 영상 신호 처리부 상에서 생성된 상기 영상표시장치의 실시간 모니터링 상태를 표시하기 위한 표시부;를 포함할 수 있다.
또한, 비파괴 검사 장치는 상기 영상표시장치로 광을 조사하기 위한 샘플부와 상기 샘플부의 위치를 상하 이동시키는 이송부를 포함하며, 상기 샘플부가 상기 영상표시장치를 스캔함에 따라, 획득된 상기 영상표시장치 영상의 특정 영역의 밝기를 밝기기준과 비교하여, 비교 결과에 따라 상기 이송부를 통해 상기 샘플부의 상하 위치를 제어하는 포커싱 조절부;를 더 포함할 수 있다.
또한, 포커싱 조절부는, 상기 영상표시장치 영상의 특정 영역의 밝기가 상기 밝기기준을 초과하는 경우, 상기 샘플부의 위치를 현재 상태로 고정시키고, 상기 영상표시장치 영상의 특정 영역의 밝기가 상기 밝기기준 이하인 경우, 상기 샘플부의 위치를 상하 이동시킬 수 있다.
또한, 영상 신호 처리부는, 상기 비파괴 검사 장치로부터 출력된 아날로그 형태의 영상 신호를 디지털 형태의 영상 신호로 변환하는 A/D 변환부; 및 상기 디지털 형태의 영상 신호를 기초로 영상표시장치 영상으로 생성하되, 상기 디지털 신호를 기초로 1차원 단면형태의 영상표시장치 영상과 2차원 단층형태의 영상표시장치 영상을 생성하고, 생성된 상기 2차원 단층형태의 영상표시장치 영상을 기초로 상기 영상표시장치의 각 층별 3차원 영상표시장치 영상을 생성하는 영상 생성부;를 포함할 수 있다.
또한, 이물질 감지부는, 상기 영상표시장치 영상을 기 저장된 기준 영상과 비교하여 이물질을 감지하고, 상기 영상표시장치 영상으로부터 이물질의 위치좌표를 통해 상기 이물질의 크기를 연산하는 이물질 크기 연산부; 및 상기 이물질 크기 연산부를 통해 연산된 상기 이물질의 크기가 기 설정된 이물질 크기기준을 초과하는 경우, 결함으로 판정하는 이물질여부 판단부;를 포함할 수 있다.
또한, 영상표시장치는, 터치 스크린 패널 또는 상기 터치 스크린 패널이 적용된 디스플레이 장치일 수 있다.
개시된 발명의 또 다른 측면에 따른 비파괴 검사 방법은, 비파괴 검사 장치가 광원으로부터 출사된 광을 분할하여 기준부와 샘플부로 출사하는 단계; 상기 기준부가 상기 광 커플러에 의해서 입사된 광을 고속 위상 스캐닝하여 반사하는 단계; 상기 샘플부가 상기 광 커플러에 의해서 입사된 광을 검사 대상인 영상표시장치로 조사하여 반사되는 광을 스캐닝하여 반사하는 단계; 상기 기준부와 상기 샘플부로부터 입사된 광을 기초로 1차원 영상표시장치의 영상을 생성하는 단계; 순차적으로 획득되는 영상 신호를 기초로 2차원 영상표시장치의 영상을 생성하는 단계; 및 상기 2차원 영상표시장치의 영상을 기초로 3차원 영상표시장치의 영상을 생성하는 단계;를 포함할 수 있다.
또한, 광을 분할하여 기준부와 샘플부로 출사하는 단계 이전에, 상기 영상표시장치의 표면 상에서 존재하는 이물질 추정 영역을 1차로 파악하는 단계;를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 광을 검사 대상인 영상표시장치로 조사하여 반사되는 광을 스캐닝하여 반사하는 단계에서, 상기 영상표시장치로 광을 조사할 때, 상기 이물질 추정 영역을 기준으로 기 설정된 관측 범위에 따라 광을 조사할 수 있다.
또한, 기 설정된 관측 범위에 따라 광을 조사할 때, 단일 점에 광을 조사할 수 있다.
또한, 3차원 영상표시장치의 영상을 생성하는 단계 이후에, 상기 2차원 영상표시장치 영상으로부터 이물질의 크기를 연산하는 단계; 및 연산된 이물질의 크기가 기 설정된 이물질 크기기준을 초과하는 경우, 결함으로 판단하는 단계;를 더 포함할 수 있다.
또한, 광을 분할하여 기준부와 샘플부로 출사하는 단계 이전에, 검사 대상인 상기 영상표시장치가 기 설정된 스캔 영역에 위치하도록 상기 샘플부를 상하로 이동시키는 단계;를 더 포함할 수 있다.
영상표시장치의 비파괴 검사 시스템 및 방법과 이를 위한 비파괴 검사 장치의 일 측면에 의하면, 터치스크린패널과 이를 적용한 영상표시장치 제조 시 비 파괴적으로 이물질의 크기와 위치를 실시간으로 제공하여 제조 공정상의 효율성과 신뢰성을 확보할 수 있다는 효과를 기대할 수 있다.
또한, 실시간 광단층 영상기술을 적용하여 영상표시장치를 검사하기 때문에, 결함이 발생할 때, 1차원 영상, 2차원 영상 및 3차원 영상을 통해 이물질의 크기를 비롯하여 각 층간의 이물질 포함여부 및 이물질의 부피와 같은 이물질 상세 정보를 파악할 수 있다는 것이다.
도 1은 비파괴 검사 장치의 외관을 나타내는 도면이다.
도 2는 비파괴 검사 장치의 구성을 나타내는 블럭도이다.
도 3은 비파괴 검사 장치의 일부 구성을 상세하게 나타내는 도면이다.
도 4는 비파괴 검사 시스템의 구성을 나타내는 도면이다.
도 5는 영상 신호 처리부의 구성을 나타내는 도면이다.
도 6은 이물질 감지부의 구성을 나타내는 도면이다.
도 7 및 도 8은 비파괴 검사 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 9는 검사 대상인 터치 스크린 패널의 구조를 나타내는 도면이다.
도 10은 비파괴 검사를 통해 획득한 1차원 단면 이미지의 예를 나타내는 도면이다.
도 11은 비파괴 검사를 통해 획득한 2차원 단층 이미지의 예를 나타내는 도면이다.
도 12는 비파괴 검사를 통해 획득한 3차원 렌더링 이미지의 예를 나타내는 도면이다.
도 2는 비파괴 검사 장치의 구성을 나타내는 블럭도이다.
도 3은 비파괴 검사 장치의 일부 구성을 상세하게 나타내는 도면이다.
도 4는 비파괴 검사 시스템의 구성을 나타내는 도면이다.
도 5는 영상 신호 처리부의 구성을 나타내는 도면이다.
도 6은 이물질 감지부의 구성을 나타내는 도면이다.
도 7 및 도 8은 비파괴 검사 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 9는 검사 대상인 터치 스크린 패널의 구조를 나타내는 도면이다.
도 10은 비파괴 검사를 통해 획득한 1차원 단면 이미지의 예를 나타내는 도면이다.
도 11은 비파괴 검사를 통해 획득한 2차원 단층 이미지의 예를 나타내는 도면이다.
도 12는 비파괴 검사를 통해 획득한 3차원 렌더링 이미지의 예를 나타내는 도면이다.
본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다. 본 명세서에서, 제1, 제2 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위해 사용되는 것으로, 구성요소가 상기 용어들에 의해 제한되는 것은 아니다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시형태를 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 비파괴 검사 장치의 외관을 나타내는 도면이다.
도 1에서 도시하는 바와 같이, 비파괴 검사 장치(10)는 검사 대상인 영상표시장치(S)를 위치시키는 검사대(11), 상기 영상표시장치(S)의 표면을 촬영하여 1차적으로 이물질 추정 영역을 감지하는 촬영부(13) 및 광단층 영상기술을 통해 영상표시장치(S)의 1차원 단면형태의 영상표시장치 영상, 2차원 단층형태의 영상표시장치 영상 및 3차원 렌더링 형태의 영상표시장치 영상을 획득하여 이물질을 감지하는 광 간섭 단층 촬영장치(15)를 포함할 수 있다. 이때, 이물질 추정 영역은 이물질이 존재하는 것으로 예상되는 영역을 의미하는 것으로, 촬영부(13)를 통해 획득된 영상을 통해 감지할 수 있다.
또한, 광 간섭 단층 촬영장치(Optical Coherence Tomography, OCT)(15)는 획득된 1차원, 2차원 및 3차원 형태의 영상을 통해 이물질의 존재여부뿐만 아니라, 이물질의 크기, 이물질이 존재하는 해당층의 위치, 이물질의 부피 등을 파악할 수 있다. 또한, 검사 대상인 영상표시장치는 다층으로 이루어진 터치 스크린 패널 또는 상기 터치 스크린 패널이 적용된 휴대폰, 개인휴대단말기(PDA), 휴대용 멀티미디어 단말기(PMP) 및 노트북과 같은 디스플레이 장치일 수 있으며, 이에 한정되지 않고, 터치 스크린 패널과 같이 다층으로 이루어진 구성, 또는 터치 스크린 패널이 적용된 텔레비전, 냉장고 등을 비롯한 가전을 포함하는 것도 가능할 것이다. 이때, 영상표시장치가 플렉서블 디스플레이(Flexible Display)를 포함하는 것은 당연하다 할 것이다.
상술한 비파괴 검사 장치(10)는 터치 스크린 패널을 제조하는 공정 또는 터치 스크린 패널을 영상표시장치에 접합하는 공정을 비롯한 영상표시장치(S)의 제조 공정상에서, 공기방울이나 미세먼지 등과 같은 이물질이 발생할 수 있는 결함을 실시간으로 획득되는 1차원, 2차원 및 3차원 형태의 영상을 통해 파악하는 것이다.
도 2는 비파괴 검사 장치의 구성을 나타내는 블럭도이며, 도 3은 비파괴 검사 장치의 일부 구성을 상세하게 나타내는 도면이다.
이하에서는, 검사 대상인 터치 스크린 패널의 구조를 나타내는 도 9, 비파괴 검사를 통해 획득한 1차원 단면 이미지의 예를 나타내는 도 10, 비파괴 검사를 통해 획득한 2차원 단층 이미지의 예를 나타내는 도 11 및 비파괴 검사를 통해 획득한 3차원 렌더링 이미지의 예를 나타내는 도 12를 참조하여 설명하기로 한다.
도 2에서 도시하는 바와 같이, 비파괴 검사 장치(10)는 광을 발생시키는 광원(100), 광 커플러(200), 샘플부(300), 기준부(400), 이송부(500), 검출부(600) 및 제어부(700)를 포함할 수 있다. 이때, 광원(100), 광 커플러(200), 샘플부(300), 기준부(400), 이송부(500) 및 검출부(600)는 광 간섭 단층 촬영장치(Optical Coherence Tomography, OCT)(15) 내에 구현될 수 있으며, 이에 한정되지 않는다.
보다 상세히 설명하면, 광 커플러(200)는 광원(100)으로부터 발생되는 광(L1)을 분할(L2, L3의 광으로 분할)하여 기준부(400)와 샘플부(300)로 출사하고, 기준부(400)와 샘플부(300)로부터 반사되어 입사되는 광(L2, L3)을 결합시켜 간섭된 간섭광(L4)을 생성하여 검출부(600)로 전달할 수 있다. 상기 광 커플러(200)는 광대역 소스(Broadband Source)를 50:50으로 분리할 수 있으며, 이에 한정되지 않는다.
샘플부(300)는 광 커플러(200)로부터 입사되는 광(L2)을 검사 대상인 영상표시장치(도 3의 350)에 조사하고 영상표시장치(350)로부터 반사되는 광을 스캔하여 반사시킬 수 있다. 이때, 영상표시장치(350)는, 다층으로 이루어진 터치 스크린 패널(예를 들어, 도 9의 Polarizer/Glass/Cell/Glass/Polarizer와 같은 순서로 다층을 이루는 터치 스크린 패널) 또는 상기 터치 스크린 패널이 적용된 디스플레이 장치일 수 있으며, 이에 한정되지 않고, 터치 스크린 패널이 적용된 텔레비전, 냉장고 등을 비롯한 가전을 포함하는 것도 가능할 것이다.
도 3에서 도시하는 바와 같이, 샘플부(300)는 입사되는 광을 평행광으로 변환시키는 제1 콜리메이팅 렌즈(310), 영상표시장치(350)의 촬영 영역에 광을 조사하기 위해 제1 콜리메이팅 렌즈(310)로부터 입사되는 평행광을 반사시키는 스캐너(320) 및 스캐너(320)를 통해 조사된 평행광을 하나로 모이도록 포커스를 조정하는 스캐닝 렌즈(330)를 포함할 수 있다. 또한, 샘플부(300)는 광 커플러(200)와 제1 콜리메이팅 렌즈(310) 사이에 위치하여 편광된 광을 출력하는 편광 제어기(340)를 더 포함할 수 있다. 또한, 스캐너(320)는 갈바노 스캔 미러일 수 있다.
즉, 샘플부(300)는 제1 콜리메이팅 렌즈(310)에서 광 커플러(200)로부터 출력된 광을 평행광으로 변환하여 스캐너(320) 및 스캐닝 렌즈(330)를 통해 집광된 빔을 검사 대상인 영상표시장치(350)에 방사하는 것이다. 그리고, 영상표시장치(350)의 산란체에 의해 후방산란된 반사광은 다시 스캐닝 렌즈(330), 스캐너(320) 및 제1 콜리메이팅 렌즈(310)를 거쳐 광 커플러(200)로 입사되는 것이다.
이때, 스캐너(320)는 제1 콜리메이팅 렌즈(310)에서 출력된 평행광을 방사 방향으로 조절하여 영상표시장치(350)의 X축 방향(가로방향) 및 Y축 방향(세로방향)으로 스캔할 수 있다. 이에 따라, 검출부(600)는 스캐너(320)의 평행광의 방사 방향 조절에 따라 순차적으로 입사되는 복수의 간섭광을 기초로 2차원 영상 신호를 획득할 수 있다. 즉, 스캐너(320)가 이동하면서 순차적으로 획득한 복수의 간섭광의 연결을 통해 2차원 단층형태의 영상표시장치 영상을 획득할 수 있는 것이다. 이렇게 획득된 2차원 영상 신호를 기초로 3차원 영상 신호를 획득하는 것이다.
기준부(400)는 광 커플러(200)로부터 입사되는 광(L3)을 고속으로 위상 스캔하여 반사시킬 수 있다.
도 3에서 도시하는 바와 같이, 기준부(400)는 입사되는 광을 평행광으로 변환시키는 제2 콜리메이팅 렌즈(410), 제2 콜리메이팅 렌즈(410)를 투과한 평행광을 하나로 모이도록 포커스를 조절하는 제1 포커싱 렌즈(420) 및 제1 포커싱 렌즈(420)로부터 입사되는 광을 반사시키기 위해 광 경로를 가변시키는 레퍼런스 미러(430)를 포함할 수 있다. 이때, 기준부(400)는 광 커플러(200)와 제2 콜리메이팅 렌즈(410) 사이에 위치하여 편광된 광을 출력하는 편광 제어기(440)를 더 포함할 수 있다.
검출부(600)는 광 커플러(200)로부터 입사되는 간섭광(L3)으로부터 영상표시장치(350)의 영상 신호를 획득할 수 있다. 이때, 검출부(600)는 광 간섭 단층 촬영 기능을 갖는 촬영장치를 포함할 수 있다. 이로 인해, 검출부(600)는 촬영장치의 픽셀에 따른 픽셀 정보를 획득할 수 있다. 이는, 영상표시장치 영상으로부터 이물질의 크기 등을 파악할 때 이용될 수 있다.
도 3에서 도시하는 바와 같이, 검출부(600)는 광 커플러(200)를 통해 입사되는 간섭광(L4)을 평행광으로 변환시키는 제3 콜리메이팅 렌즈(610), 평행광을 파장별로 분산시키는 회절격자(620), 분산된 평행광을 각 파장별로 하나의 포커스로 모이도록 평행광의 포커스를 조절하는 제2 포커싱 렌즈(630) 및 제2 포커싱 렌즈(630)로부터 입사되는 광을 라인상태로 스캔하여 영상신호로 생성하는 스펙트로미터(640)를 포함할 수 있다.
상기 스펙트로미터(640)는 씨모스(Complementary Oxide Semiconductor) 카메라와 씨씨디(Charge Coupled Device) 카메라를 비롯한 라인 스캔 카메라를 포함할 수 있다.
이송부(500)는 영상표시장치(350)가 기 설정된 스캔영역에 위치하도록 제어부(700)의 제어에 따라 샘플부(300)의 위치를 상하 이동시킬 수 있다. 도 1을 참조하면, 이송부(500)는 제어부(700)의 제어에 따라, 검사대(도 1의 11)에 위치하는 영상표시장치(도 1의 S)와 샘플부(300)의 헤드부(OCT(Optical Coherence Tomography) 헤드) 간의 이격거리(I)를 조정하여 자동으로 포커싱이 이루어질 수 있도록 하는 것이다. 이에, 영상표시장치의 이물질 검사와 관련된 일련의 동작이 자동으로 이루어질 수 있고, 영상 획득을 위한 포커싱이 보다 세밀하게 이루어질 수 있기 때문에, 영상표시장치의 이물질 검사 결과에 대한 신뢰성이 향상될 수 있다는 효과를 기대할 수 있는 것이다.
제어부(700)는 검출부(600)로부터 전송되는 영상표시장치(350)의 영상 신호를 기초로 영상표시장치의 영상을 생성하여 이물질을 감지하고, 이송부(500)의 동작을 제어할 수 있으며, 이에 한정되지 않고, 비과피 검사 장치(10)의 전체 동작을 제어할 수 있다.
보다 상세히 설명하면, 제어부(700)는 검출부(600)로부터 전달되는 영상 신호를 기초로 1차원 단면형태의 영상표시장치 영상(도 10 참조), 2차원 단층형태의 영상표시장치 영상(도 11 참조) 및 3차원 형태의 영상표시장치 영상(도 12 참조)을 생성할 수 있다. 이때, 2차원 단층형태의 영상표시장치 영상은 샘플부(300)의 스캐너(320)가 방향을 조정하면서 영상표시장치(350)로 조사하여 반사되는 광을 순차적으로 스캔함에 따라 획득되는 간섭광을 통해 생성할 수 있다.
예를 들어, 도 9에서 도시하는 바와 같이, 터치 스크린 패널을 비롯한 이를 적용한 영상표시장치는 각기 다른 재질의 다층(Polarizer/Glass/Cell/Glass/Polarizer)으로 이루어져 있어, 도 10에서 도시하는 바와 같이, 1차원 단면 상에서 서로 다른 굴절률(N)을 나타낼 수 있다. 또한, 터치 스크린 패널 및 자외선 접착제의 강도(Intensity) 또한 다르게 나타낼 수 있다. 이러한 원리를 통해 검사 대상의 재질별 굴절률 등의 기준치를 초과하는 영역이 발생하는 경우, 해당 영역에 이물질이 존재하는 것으로 판단하는 것이다.
또한, 제어부(700)는 1차원 단면형태의 영상표시장치 영상을 통해 이물질 존재여부를 파악하고, 상기 2차원 단층형태의 영상표시장치 영상을 통해 각 층간의 이물질(도 11의 A) 포함여부와 이물질 크기를 파악하며, 상기 3차원 형태의 영상표시장치 영상을 통해 이물질(도 12의 B1, B2, B3)의 부피와 이물질의 형태를 파악할 수 있다. 본 발명에 의한 2차원 단층형태의 영상표시장치 영상은 도 11의 A와 같이, 이물질이 표시되며, 3차원 형태의 영상표시 장치 영상은 도 12의 B1, B2 및 B3와 같이 이물질의 형태가 표시될 수 있다.
도 1에서 도시하는 바와 같이, 비파괴 검사 장치(10)는 검사대(11)에 위치하는 영상표시장치(S)로부터 상부 방향으로 이격된 위치에 위치하여 영상표시장치(S)의 표면을 촬영하여 영상표시장치 상의 이물질 추정 영역을 1차적으로 감지하기 위한 촬영부(13)를 더 포함할 수 있다. 이로 인해, 샘플부(300)가 영상표시장치(350)로 광을 조사할 때, 이물질 추정 영역을 기준으로 기 설정된 관측 범위에 따라 광을 조사할 수 있다. 이때, 기 설정된 관측 범위에 따라 광을 조사할 때, 단일 점에 광을 조사할 수 있다.
도 4는 비파괴 검사 시스템의 구성을 나타내는 도면이고, 도 5는 영상 신호 처리부의 구성을 나타내는 도면이며, 도 6은 이물질 감지부의 구성을 나타내는 도면이다. 이하에서 개시하는 비파괴 검사 시스템(800)은 상술한 도 2의 제어부(700)를 보다 상세히 개시하는 구성으로, 상술한 도면을 참조하여 설명하기로 한다.
도 4에서 도시하는 바와 같이, 비파괴 검사 장치와 연결되어 영상표시장치의 이물질을 감지하기 위한 비파괴 검사 시스템(800)은 영상 신호 처리부(810), 이물질 감지부(820), 표시부(830), 포커싱 조절부(840) 및 데이터베이스(850)를 포함할 수 있다.
보다 상세히 설명하면, 영상 신호 처리부(810)는 비파괴 검사 장치(10)로부터 전달되는 전기적 신호 형태의 영상 신호로부터 영상표시장치의 영상을 생성할 수 있다. 상기 영상표시장치(도 3의 350)는 터치 스크린 패널 또는 상기 터치 스크린 패널이 적용된 디스플레이 장치일 수 있다.
도 5에서 도시하는 바와 같이, 영상 신호 처리부(810)는 비파괴 검사 장치(10)로부터 출력된 아날로그 형태의 영상 신호를 디지털 형태의 영상 신호로 변환하는 A/D 변환부(811) 및 디지털 형태의 영상 신호를 기초로 영상표시장치 영상으로 생성하되, 디지털 신호를 기초로 1차원 단면형태의 영상표시장치 영상과 2차원 단층형태의 영상표시장치 영상을 생성하고, 생성된 상기 2차원 단층형태의 영상표시장치 영상을 기초로 상기 영상표시장치의 각 층별 3차원 영상표시장치 영상을 생성하는 영상 생성부(813)를 포함할 수 있다.
이물질 감지부(820)는 영상표시장치의 영상을 기 저장된 기준 영상과 비교하여 이물질의 존재를 파악하고, 파악된 이물질의 크기를 연산하여 기 설정된 이물질 크기기준와 비교하여 상기 기 설정된 이물질 크기기준을 초과하는 경우, 결함으로 판단할 수 있다.
도 6에서 도시하는 바와 같이, 이물질 감지부(820)는 영상표시장치 영상을 기 저장된 기준 영상과 비교하여 이물질을 감지하고, 영상표시장치 영상으로부터 이물질의 위치좌표를 통해 이물질의 크기를 연산하는 이물질 크기 연산부(821) 및 이물질 크기 연산부(821)를 통해 연산된 이물질의 크기가 기 설정된 이물질 크기기준을 초과하는 경우, 결함으로 판정하는 이물질여부 판단부(823)를 포함할 수 있다.
표시부(830)는 영상 신호 처리부(810) 상에서 생성된 영상표시장치의 실시간 모니터링 상태를 표시할 수 있다.
포커싱 조절부(840)는 샘플부(도 2의 300)가 영상표시장치(350)를 스캔함에 따라, 획득된 영상표시장치 영상의 특정 영역의 밝기를 밝기기준과 비교하여, 비교 결과에 따라 이송부(도 2의 500)를 통해 샘플부(200)의 상하 위치를 제어할 수 있다.
만약, 포커싱 조절부(840)는 영상표시장치 영상의 특정 영역의 밝기가 밝기기준을 초과하는 경우, 샘플부(300)의 위치를 현재 상태로 고정시키고, 영상표시장치 영상의 특정 영역의 밝기가 상기 밝기기준 이하인 경우, 샘플부(300)의 위치를 상하 이동시킬 수 있다. 즉, 포커싱 조절부(840)는 양질의 영상표시장치 영상 획득을 위해 영상표시장치(350)로 광을 조사하는 샘플부(300)의 OCT 헤드(도 1참조)와 영상표시장치(350)의 이격 거리를 조정하도록 제어하는 것이다.
도 7 및 도 8은 비파괴 검사 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
먼저, 도 7에서 도시하는 바와 같이, 비파괴 검사 장치(10)는 검사 대상인 영상표시장치(350)가 기 설정된 스캔 영역에 위치하도록 샘플부(300)를 상하로 이동시킬 수 있다(S101).
이를 보다 상세히 설명하면, 비파괴 검사 장치(10)는 샘플부(300)와 검사대(11)에 위치하는 영상표시장치(350) 간의 거리를 초기 세팅하고, 샘플부(300)를 통해 영상표시장치(350)를 스캐닝하여 영상표시장치 영상을 획득할 수 있다. 비파괴 검사 장치(10)는 영상표시장치 영상의 특정 영역의 밝기를 밝기기준과 비교하여, 영상표시장치 영상의 특정 영역의 밝기가 밝기기준을 초과하는 경우, 샘플부(300)의 위치를 현재 상태로 고정시키고, 영상표시장치 영상의 특정 영역의 밝기가 상기 밝기기준 이하인 경우, 샘플부(300)의 위치를 상하 이동시켜 샘플부(300)의 위치를 세팅하는 것이다.
다음, 비파괴 검사 장치(10)는 광원(100)으로부터 출사된 광을 분할하여 기준부(400)와 샘플부(300)로 출사할 수 있다(S103).
다음, 기준부(400)가 광 커플러(200)에 의해서 입사된 광을 고속 위상 스캐닝하여 반사할 수 있다(S105).
다음, 샘플부(300)가 광 커플러(200)에 의해서 입사된 광을 검사 대상인 영상표시장치(350)로 조사하여 반사되는 광을 스캐닝하여 반사할 수 있다(S107).
상술한 단계 S105와 단계 S107은 서로 동시에 이루어지거나, 또는 단계 S107이 단계 S105 이전에 이루어지는 것 또한 가능하다 할 것이다.
다음, 기준부(400)와 샘플부(300)로부터 입사된 광을 기초로 영상표시장치의 영상을 생성할 수 있다(S109).
단계 S109를 보다 상세히 설명하면, 비파괴 검사 장치(10)는 기준부(400)와 샘플부(300)로부터 입사된 광을 기초로 1차원 영상표시장치의 영상을 생성하고, 순차적으로 획득되는 영상 신호를 기초로 2차원 영상표시장치의 영상을 생성하며, 상기 2차원 영상표시장치의 영상을 기초로 3차원 영상표시장치의 영상을 생성할 수 있다.
한편, 도시하지 않았지만, 상기 광을 분할하여 기준부와 샘플부로 출사하는 단계 S103 이전에, 비파괴 검사 장치(10)는 촬영부(도 1의 13)를 통해 영상표시장치(350)의 표면 상에서 존재하는 이물질 추정 영역을 1차로 파악할 수 있다.
이로 인해, 상술한 단계 S107에서, 영상표시장치(350)로 광을 조사할 때, 이물질 추정 영역을 기준으로 기 설정된 관측 범위에 따라 광을 조사할 수 있다. 이때, 기 설정된 관측 범위에 따라 광을 조사할 때, 단일 점에 광을 조사할 수 있다. 이렇게, 이물질 추정 영역 주위를 관측 범위로 하여 집중적으로 이물질 검사를 수행하는 것은 검사 대상의 전체면에 광을 조사하는 것에 비해 이물질 감지를 신속하고 정확하게 처리할 수 있다는 효과를 기대할 수 있다.
단계 S109 이후에는 도 8의 흐름도에 의한 과정을 수행할 수 있다.
먼저, 단계 S109에 해당하는 기준부(400)와 샘플부(300)로부터 입사된 광을 기초로 영상표시장치의 영상을 생성할 수 있다(S201).
다음, 비파괴 검사 장치(10)는 2차원 영상표시장치 영상으로부터 이물질의 크기를 연산할 수 있다(S203).
보다 상세히 설명하면, 비파괴 검사 장치(10)는 영상표시장치 영상을 기 저장된 기준 영상과 비교하여 이물질을 감지하고, 영상표시장치 영상으로부터 이물질의 위치좌표를 통해 이물질의 크기를 연산하는 것이다.
다음, 연산된 이물질의 크기가 기 설정된 이물질 크기기준을 초과하는지 여부를 확인하고(S205), 확인 결과 연산된 이물질의 크기가 이물질 크기기준을 초과하는 경우, 결함으로 판단할 수 있다(S207).
개시된 비파괴 검사 장치를 통한 영상표시장치의 결함 검사 방법은 기존에 제품의 표면 검사만을 수행하는 기술에 비해 영상표시장치의 각 단층에 대한 이물질 존재 여부를 비롯하여, 2차원 및 3차원 영상을 통해 이물질이 존재하는 해당 층을 파악하고, 이물질의 크기 및 부피를 파악할 수 있기 때문에, 결함 검사 결과에 대한 신뢰성을 향상시킬 수 있다는 효과가 있다. 또한, 이물질이 존재하는 층을 파악하는 것이 가능하기 때문에, 결함 발생 시 해당 영역만을 교체함으로 인해 제품 전체를 폐기하는 것에 비해 생산성 향상 및 생산 비용 절감을 이룰 수 있다는 것이다.
이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.
본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.
10 : 비파괴 검사 장치
11 : 검사대
13 : 촬영부 15 : 광 간섭 단층 촬영장치
100 : 광원 200 : 광 커플러
300 : 샘플부 400 : 기준부
500 : 이송부 600 : 검출부
700 : 제어부 800 : 비파괴 검사 시스템
810 : 영상 신호 처리부 811 : A/D 변환부
813 : 영상 생성부 820 : 이물질 감지부
821 : 이물질 크기 연산부 823 : 이물질여부 판단부
830 : 표시부 840 : 포커싱 조절부
850 : 데이터베이스 860 : 제어부
13 : 촬영부 15 : 광 간섭 단층 촬영장치
100 : 광원 200 : 광 커플러
300 : 샘플부 400 : 기준부
500 : 이송부 600 : 검출부
700 : 제어부 800 : 비파괴 검사 시스템
810 : 영상 신호 처리부 811 : A/D 변환부
813 : 영상 생성부 820 : 이물질 감지부
821 : 이물질 크기 연산부 823 : 이물질여부 판단부
830 : 표시부 840 : 포커싱 조절부
850 : 데이터베이스 860 : 제어부
Claims (24)
- 광을 발생시키는 광원;
상기 광원으로부터 발생되는 광을 분할하여 기준부와 샘플부로 출사하고, 상기 기준부와 상기 샘플부로부터 반사되어 입사되는 광을 결합시켜 간섭된 간섭광을 생성하여 검출부로 전달하는 광 커플러;
상기 광 커플러로부터 입사되는 광을 고속으로 위상 스캔하여 반사시키는 기준부;
상기 광 커플러로부터 입사되는 광을 검사 대상인 영상표시장치에 조사하고 상기 영상표시장치로부터 반사되는 광을 스캔하여 반사시키는 샘플부;
상기 광 커플러로부터 입사되는 간섭광으로부터 영상표시장치의 영상 신호를 획득하는 검출부;
상기 영상표시장치가 기 설정된 스캔영역에 위치하도록 제어부의 제어에 따라 상기 샘플부의 위치를 상하 이동시키는 이송부; 및
상기 검출부로부터 전송되는 영상표시장치의 영상 신호를 기초로 영상표시장치의 영상을 생성하여 이물질을 감지하고, 상기 이송부의 동작을 제어하는 제어부;
를 포함하는 비파괴 검사 장치.
- 청구항 1에 있어서,
상기 샘플부는,
입사되는 광을 평행광으로 변환시키는 제1 콜리메이팅 렌즈;
상기 영상표시장치의 촬영 영역에 광을 조사하기 위해 상기 제1 콜리메이팅 렌즈로부터 입사되는 상기 평행광을 반사시키는 스캐너; 및
상기 스캐너를 통해 조사된 상기 평행광을 하나로 모이도록 포커스를 조정하는 스캐닝 렌즈;
를 포함하는 비파괴 검사 장치.
- 청구항 2에 있어서,
상기 스캐너는,
상기 제1 콜리메이팅 렌즈에서 출력된 상기 평행광을 방사 방향으로 조절하여 영상표시장치의 X축 방향 및 Y축 방향으로 스캔하는 비파괴 검사 장치.
- 청구항 3에 있어서,
상기 검출부는,
상기 스캐너의 평행광의 방사 방향 조절에 따라 순차적으로 입사되는 복수의 간섭광을 기초로 2차원 영상 신호를 획득하는 비파과 검사 장치.
- 청구항 2에 있어서,
상기 스캐너는 갈바노 스캔 미러인 비파괴 검사 장치.
- 청구항 1에 있어서,
상기 제어부는,
상기 검출부로부터 전달되는 영상 신호를 기초로 1차원 단면형태의 영상표시장치 영상, 2차원 단층형태의 영상표시장치 영상 및 3차원 형태의 영상표시장치 영상을 생성하는 비파괴 검사 장치.
- 청구항 6에 있어서,
상기 제어부는,
상기 1차원 단면형태의 영상표시장치 영상을 통해 이물질 존재여부를 파악하고, 상기 2차원 단층형태의 영상표시장치 영상을 통해 각 층간의 이물질 포함여부와 이물질 크기를 파악하며, 상기 3차원 형태의 영상표시장치 영상을 통해 이물질의 부피와 이물질의 형태를 파악하는 비파괴 검사 장치.
- 청구항 1에 있어서,
상기 기준부는,
입사되는 광을 평행광으로 변환시키는 제2 콜리메이팅 렌즈;
상기 제2 콜리메이팅 렌즈를 투과한 평행광을 하나로 모이도록 포커스를 조절하는 제1 포커싱 렌즈; 및
상기 제1 포커싱 렌즈로부터 입사되는 광을 반사시키기 위해 광 경로를 가변시키는 레퍼런스 미러;
를 포함하는 비파괴 검사 장치.
- 청구항 1에 있어서,
상기 검출부는,
상기 광 커플러를 통해 입사되는 간섭광을 평행광으로 변환시키는 제3 콜리메이팅 렌즈;
상기 평행광을 파장별로 분산시키는 회절격자;
분산된 상기 평행광을 각 파장별로 하나의 포커스로 모이도록 상기 평행광의 포커스를 조절하는 제2 포커싱 렌즈; 및
상기 제2 포커싱 렌즈로부터 입사되는 광을 라인상태로 스캔하여 영상신호로 생성하는 스펙트로미터;
를 포함하는 비파괴 검사 장치.
- 청구항 1에 있어서,
상기 스펙트로미터는 씨모스(Complementary Oxide Semiconductor) 카메라와 씨씨디(Charge Coupled Device) 카메라를 비롯한 라인 스캔 카메라를 포함하는 비파괴 검사 장치.
- 청구항 1에 있어서,
검사대에 위치하는 상기 영상표시장치로부터 상부 방향으로 이격된 위치에 위치하여 상기 영상표시장치의 표면을 촬영하여 상기 영상표시장치 상의 이물질 추정 영역을 1차적으로 감지하기 위한 촬영부;
를 더 포함하는 비파괴 검사 장치.
- 청구항 1에 있어서,
상기 영상표시장치는, 터치 스크린 패널 또는 상기 터치 스크린 패널이 적용된 디스플레이 장치인 비파괴 검사 장치.
- 비파괴 검사 장치와 연결되어 영상표시장치의 이물질을 감지하기 위한 시스템으로서,
상기 비파괴 검사 장치로부터 전달되는 전기적 신호 형태의 영상 신호로부터 영상표시장치의 영상을 생성하는 영상 신호 처리부;
상기 영상표시장치의 영상을 기 저장된 기준 영상과 비교하여 이물질의 존재를 파악하고, 파악된 이물질의 크기를 연산하여 기 설정된 이물질 크기기준와 비교하여 상기 기 설정된 이물질 크기기준을 초과하는 경우, 결함으로 판단하는 이물질 감지부; 및
상기 영상 신호 처리부 상에서 생성된 상기 영상표시장치의 실시간 모니터링 상태를 표시하기 위한 표시부;
를 포함하는 영상표시장치의 비파괴 검사 시스템.
- 청구항 13에 있어서,
상기 비파괴 검사 장치는 상기 영상표시장치로 광을 조사하기 위한 샘플부와 상기 샘플부의 위치를 상하 이동시키는 이송부를 포함하며,
상기 샘플부가 상기 영상표시장치를 스캔함에 따라, 획득된 상기 영상표시장치 영상의 특정 영역의 밝기를 밝기기준과 비교하여, 비교 결과에 따라 상기 이송부를 통해 상기 샘플부의 상하 위치를 제어하는 포커싱 조절부;
를 더 포함하는 영상표시장치의 비파괴 검사 시스템.
- 청구항 14에 있어서,
상기 포커싱 조절부는,
상기 영상표시장치 영상의 특정 영역의 밝기가 상기 밝기기준을 초과하는 경우, 상기 샘플부의 위치를 현재 상태로 고정시키고,
상기 영상표시장치 영상의 특정 영역의 밝기가 상기 밝기기준 이하인 경우, 상기 샘플부의 위치를 상하 이동시키는 영상표시장치의 비파괴 검사 시스템.
- 청구항 13에 있어서,
상기 영상 신호 처리부는,
상기 비파괴 검사 장치로부터 출력된 아날로그 형태의 영상 신호를 디지털 형태의 영상 신호로 변환하는 A/D 변환부; 및
상기 디지털 형태의 영상 신호를 기초로 영상표시장치 영상으로 생성하되, 상기 디지털 신호를 기초로 1차원 단면형태의 영상표시장치 영상과 2차원 단층형태의 영상표시장치 영상을 생성하고, 생성된 상기 2차원 단층형태의 영상표시장치 영상을 기초로 상기 영상표시장치의 각 층별 3차원 영상표시장치 영상을 생성하는 영상 생성부;
를 포함하는 영상표시장치의 비파괴 검사 시스템.
- 청구항 13에 있어서,
상기 이물질 감지부는,
상기 영상표시장치 영상을 기 저장된 기준 영상과 비교하여 이물질을 감지하고, 상기 영상표시장치 영상으로부터 이물질의 위치좌표를 통해 상기 이물질의 크기를 연산하는 이물질 크기 연산부; 및
상기 이물질 크기 연산부를 통해 연산된 상기 이물질의 크기가 기 설정된 이물질 크기기준을 초과하는 경우, 결함으로 판정하는 이물질여부 판단부;
를 포함하는 영상표시장치의 비파괴 검사 시스템.
- 청구항 13에 있어서,
상기 영상표시장치는, 터치 스크린 패널 또는 상기 터치 스크린 패널이 적용된 디스플레이 장치인 비파괴 검사 시스템.
- 비파괴 검사 장치가 광원으로부터 출사된 광을 분할하여 기준부와 샘플부로 출사하는 단계;
상기 기준부가 상기 광 커플러에 의해서 입사된 광을 고속 위상 스캐닝하여 반사하는 단계;
상기 샘플부가 상기 광 커플러에 의해서 입사된 광을 검사 대상인 영상표시장치로 조사하여 반사되는 광을 스캐닝하여 반사하는 단계;
상기 기준부와 상기 샘플부로부터 입사된 광을 기초로 1차원 영상표시장치의 영상을 생성하는 단계;
순차적으로 획득되는 영상 신호를 기초로 2차원 영상표시장치의 영상을 생성하는 단계; 및
상기 2차원 영상표시장치의 영상을 기초로 3차원 영상표시장치의 영상을 생성하는 단계;
를 포함하는 영상표시장치의 비파괴 검사 방법.
- 청구항 19에 있어서,
상기 광을 분할하여 기준부와 샘플부로 출사하는 단계 이전에,
상기 영상표시장치의 표면 상에서 존재하는 이물질 추정 영역을 1차로 파악하는 단계;
를 더 포함하는 영상표시장치의 비파괴 검사 방법.
- 청구항 20에 있어서,
상기 광을 검사 대상인 영상표시장치로 조사하여 반사되는 광을 스캐닝하여 반사하는 단계에서,
상기 영상표시장치로 광을 조사할 때, 상기 이물질 추정 영역을 기준으로 기 설정된 관측 범위에 따라 광을 조사하는 영상표시장치의 비파괴 검사 방법.
- 청구항 21에 있어서,
상기 기 설정된 관측 범위에 따라 광을 조사할 때, 단일 점에 광을 조사하는 영상표시장치의 비파괴 검사 방법.
- 청구항 20에 있어서,
상기 3차원 영상표시장치의 영상을 생성하는 단계 이후에,
상기 2차원 영상표시장치 영상으로부터 이물질의 크기를 연산하는 단계; 및
연산된 이물질의 크기가 기 설정된 이물질 크기기준을 초과하는 경우, 결함으로 판단하는 단계;
를 더 포함하는 영상표시장치의 비파괴 검사 방법.
- 청구항 20에 있어서,
상기 광을 분할하여 기준부와 샘플부로 출사하는 단계 이전에,
검사 대상인 상기 영상표시장치가 기 설정된 스캔 영역에 위치하도록 상기 샘플부를 상하로 이동시키는 단계;
를 더 포함하는 영상표시장치의 비파괴 검사 방법.
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