KR20190081918A - 카메라 렌즈 모듈 검사용 스웹트 소스 광간섭 단층 촬영기기 - Google Patents

카메라 렌즈 모듈 검사용 스웹트 소스 광간섭 단층 촬영기기 Download PDF

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Abstract

본 발명의 카메라 렌즈 모듈 검사용 스웹트 소스 광간섭 단층 촬영기기는, 스웹트 소스를 생성하는 스웹트 소스 생성기; 상기 스웹트 소스의 일부인 제1일부광을 분할하여 제1광 및 제2광으로 분할출력하고, 외부로부터 제공되는 기준광 및 샘플광을 결합한 광과 상기 스웹트 소스의 나머지 일부인 제2일부광에 대한 광 경로 차이에 따른 광간섭 단층 촬영신호를 출력하는 마이컬슨 간섭계부; 상기 마이컬슨 간섭계부로부터 제1광을 제공받아 기준광을 생성하는 기준단부; 상기 마이컬슨 간섭계부로부터 제2광을 제공받아 샘플에 조사하고 샘플로부터 반환되는 광을 샘플광으로 출력하는 샘플단; 및 상기 광간섭 단층 촬영신호를 디지털 변환하여 광간섭 단층 촬영정보를 생성하여 출력하는 디지타이저;를 구비함을 특징으로 한다.

Description

카메라 렌즈 모듈 검사용 스웹트 소스 광간섭 단층 촬영기기{Swept source Optical Coherence Tomography for test of camera lens module}
본 발명은 카메라 렌즈 모듈 검사 기술에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 다수의 렌즈가 적층되어 형성된 카메라 렌즈 모듈의 단층내 이물질 유무를 검사하는 카메라 렌즈 모듈 검사용 스웹트 소스 광간섭 단층 촬영기기에 관한 것이다.
최근 들어 휴대폰, 스마트폰, PDA(Personal Digital Assistant), 태블릿 PC 등의 휴대용 단말기는 기술의 발전과 더불어 단순한 전화기능뿐만 아니라, 음악, 영화, TV, 게임 등의 멀티 컨버전스로 사용되고 있다.
이렇게 휴대용 단말기로 멀티 컨버전스를 사용하기 위한 것 중 하나로 카메라 렌즈 모듈(Camera Lense Module)이 가장 대표적이라고 할 수 있다. 상기 카메라 렌즈 모듈 산업은 첨단 기술력이 요구되는 부가가치산업으로서, 스마트폰 등 휴대용 단말기의 고사양화 및 첨단화로 인해 휴대용 단말기에 설치되는 카메라 렌즈 모듈의 중요성이 부각되고 있다.
또한 스마트폰 및 태블릿 PC 등의 수요가 증가함과 동시에 교체 주기가 점차 빨라지고 있을 뿐만 아니라, 스마트폰 및 태블릿 PC의 영상 및 이미지의 사용이 증가되고 있으며, 최근 들어 블랙박스 및 차량용 후방 카메라 등의 장착 의무화로 카메라 렌즈 모듈의 수요가 점차 확대되고 있는 추세이다.
한편 카메라 렌즈 모듈을 구성하는 카메라 렌즈(Lens)는 표면 형태에 따라 구면 렌즈와 비구면 렌즈로 구분하고, 비구면 렌즈는 구면 렌즈 대비 표면 곡률이 다양하여 렌즈의 매수를 줄일 수 있으며, 휴대용 단말기에 설치시 카메라 렌즈 모듈의 전면 렌즈는 영상통화 기능을 수행하고, 후면 렌즈는 촬영을 위한 용도로 사용된다.
상술한 바와 같은 카메라 렌즈 모듈의 경우, 다수개의 렌즈를 적층하여 제조하며 이 과정에서 렌즈 사이에 먼지나 티끌 등의 이물질이 유입되어 렌즈에 부착되는 문제가 발생하였다. 이렇게 렌즈에 부착된 이물질에 의해 렌즈를 통과하는 빛의 양이 감소하는 등 조도차를 유발하여 촬영된 사진 또는 동영상의 촬영 색상의 선명도가 저하됨과 동시에 이미지를 왜곡시킬 수 있다는 문제점이 있었다.
또한 카메라 렌즈 모듈의 렌즈에 이물질이 부착된 부위가 검게 보임과 동시에 사진 또는 동영상 촬영 시 이물질이 부착된 부위가 검게 촬영되는 등 화면 상에 이물질이 부착된 부위가 검게 보여 촬영된 사진 또는 동영상의 이미지 및 품질을 저하시킨다는 문제점이 있었다.
상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 카메라 렌즈 모듈 제작시 렌즈 또는 렌즈와 렌즈 사이에 먼지, 티끌 등의 이물질이 유입 및 인입되었는지 여부를 검사하는 공정이 추가되었으나, 이러한 검사공정의 경우, 작업자가 육안으로 카메라 렌즈 모듈을 수작업에 의해 직접 확인하면서 카메라 렌즈 모듈의 이물질 유입 및 인입 여부를 검사하였다.
그러나 카메라 렌즈 모듈내의 이물질 존재 여부 및 이로 인한 이상 유, 무에 따른 검사가 작업자의 육안 및 수작업에 의존하기 때문에 카메라 렌즈의 검사를 위한 숙련자가 요구된다는 문제점이 있었다. 또한 카메라 렌즈의 검사를 작업자의 육안에 의존함으로써 검사작업 생산성 효율이 낮고 작업자의 부주의로 인해 불량제품이 생산 및 출하되어 완제품의 불량을 유발할 수도 있어 검사 작업에 한계가 있었다.
상술한 바와 같은 문제점으로 인하여 카메라 렌즈 모듈의 제조시 카메라 렌즈 모듈 내로 유입 및 인입되어 이물질이 부착되는 렌즈를 검출 및 검사하기 위한 자동 공정이 요구되고 있는 실정이다
대한민국 특허등록 제1014691580000호 대한민국 특허공개 제1020170138096호 대한민국 특허공개 제1020160043233호 대한민국 특허공개 제1017941810000호
본 발명은 다수의 렌즈가 적층되어 형성된 카메라 렌즈 모듈을 광간섭 단층 촬영하여 카메라 렌즈 모듈의 단층내 이물질을 검출하는 카메라 렌즈 모듈 검사용 스웹트 소스 광간섭 단층 촬영기기를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 카메라 렌즈 모듈 검사용 스웹트 소스 광간섭 단층 촬영기기는, 스웹트 소스를 생성하는 스웹트 소스 생성기; 상기 스웹트 소스의 일부인 제1일부광을 분할하여 제1광 및 제2광으로 분할출력하고, 외부로부터 제공되는 기준광 및 샘플광을 결합한 광과 상기 스웹트 소스의 나머지 일부인 제2일부광에 대한 광 경로 차이에 따른 광간섭 단층 촬영신호를 출력하는 마이컬슨 간섭계부; 상기 마이컬슨 간섭계부로부터 제1광을 제공받아 기준광을 생성하는 기준단부; 상기 마이컬슨 간섭계부로부터 제2광을 제공받아 샘플에 조사하고 샘플로부터 반환되는 광을 샘플광으로 출력하는 샘플단; 및 상기 광간섭 단층 촬영신호를 디지털 변환하여 광간섭 단층 촬영정보를 생성하여 출력하는 디지타이저;를 구비함을 특징으로 한다.
상기한 본 발명은 카메라 렌즈 모듈을 광간섭 단층 촬영하여 카메라 렌즈 모듈의 단층내 이물질을 검출함으로써 검사 신뢰도를 향상시킴은 물론이며 검사 작업의 속도를 개선할 수 있는 효과를 야기한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따르는 카메라 렌즈 모듈 검사용 스웹트 소스 광간섭 단층 촬영기기의 구성도.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따르는 갈보 스캐너의 동작을 예시한 도면.
도 3 및 도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따르는 스웹트 소스 광간섭 단층 촬영정보를 예시한 도면.
도 6은 본 발명에 따르는 스캐닝 각도 조절에 대한 설명을 위해 백 리플렉션 현상을 예시한 도면.
본 발명은 카메라 렌즈 모듈을 광간섭 단층 촬영하여 렌즈가 적층되어 형성된 카메라 렌즈 모듈의 단층내 이물질을 검출함으로써 검사 신뢰도를 향상시킴은 물론이며 검사 작업의 속도를 개선할 수 있다.
즉, 본 발명은 수 마이크로 미터의 해상도를 가지는 비침습적 단층촬영기기기인 SS-OCT (Swept Source Optical Coherence Tomography)로 적층된 카메라 렌즈 모듈의 단층내의 이물이나 얼룩을 찾아냄으로써 검사 신뢰도를 높여 제조 공정에서 수율을 획기적으로 향상시킬 수 있다.
좀더 설명하면, 본 발명은 스웹트 소스(Swept source)를 사용하여 광이 적층 렌즈를 투과하여 산란되어 오는 샘플광과 기준단에 반사되어 오는 기준광 사이의 간섭 현상을 이용하여 수 마이크로미터의 해상도를 제공할 수 있다.
또한 본 발명은 1550nm 대역의 광을 사용하여 비파괴 결함 검출 기술을 적용하므로 제품을 변형시키지 않고 기능에 영향을 주지 않는 효과를 야기한다.
이러한 본 발명은 카메라 렌즈 모듈과 관련한 제품을 생산 및 납품하는 업체에 적용될 수 있으며, 스마트폰 사업의 확장, 듀얼 카메라 적용의 상승세, 생체인식용 광학기기의 성장, CCTV 등 보안용 카메라 시장의 성장, 무인항공기 및 드론 시장에서의 카메라 모듈의 적용, 자율주행 자동차 및 성장하는 스마트 카 시장에 적용되어 시장성이 매우 큰 가치가 있다.
이러한 본 발명의 바람직한 실시예에 따르는 카메라 렌즈 모듈 검사용 스웹트 소스 광간섭 단층 촬영기기의 구성 및 동작을 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
<카메라 렌즈 모듈 검사용 스웹트 소스 광간섭 단층 촬영기기의 구성>
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따르는 카메라 렌즈 모듈 검사용 스웹트 소스 광간섭 단층 촬영기기의 구성을 도시한 것으로, 상기 카메라 렌즈 모듈 검사용 스웹트 소스 광간섭 단층 촬영기기는 디지타이저(102), 스웹트 소스 생성기(104), 마이컬슨 간섭계부(106), 기준단부(114) 및 샘플단부(12)로 구성된다.
상기 디지타이저(102)는 컴퓨터(100)로부터 제공되는 제어신호에 따라 스웹트 소스 생성기(104)의 구동신호인 A-scan 트리거 신호를 생성하여 상기 스웹트 소스 생성기(104)로 제공하고, 상기 마이컬슨 간섭계부(106)로부터 제공되는 광간섭 단층 촬영신호를 디지털신호로 변환하여 컴퓨터(100)로 제공한다.
상기 스웹트 소스 생성기(104)는 상기 디지타이저(102)로부터의 A-scan 트리거 신호에 따라 1550 nm, 대역폭 100 nm의 스웹트 소스(swept source)를 생성하여 상기 마이컬슨 간섭계부(106)로 제공한다.
상기 마이컬슨 간섭계부(106)는 광학 써큘레이터(108), 밸런스드 디텍터(110), 70:30 광 커플러(112)로 구성된다. 상기 광학 써큘레이터(108)는 상기 스웹트 소스 생성기(104)로부터의 스웹트 소스의 제1일부는 70:30 광 커플러(112)로 제공하고 스웹트 소스의 나머지인 제2일부는 밸런스드 디텍터(110)로 제공한다.
상기 70:30 광 커플러(112)는 상기 스웹트 소스를 분리하여 기준단부(114)와 샘플단부(122)로 제공함과 아울러 상기 기준단부(114)로부터 제공되는 기준신호와 샘플단부(122)로부터 제공되는 샘플신호를 결합하여 상기 밸런스드 디텍터(110)로 제공한다.
상기 밸런스드 디텍터(110)는 상기 스웹트 소스의 제2일부를 + 입력부로 입력받고 상기 70:30 광 커플러(112)의 출력신호를 - 입력부로 입력받아, 두 신호의 광경로 차이에 따르는 광간섭 단층 촬영신호를 생성하여 디지타이저(102)로 제공한다.
상기 기준단부(114)는 제1콜리메이터(116)와 제1렌즈(118)와 미러(120)로 구성된다. 상기 제1콜리메이터(116)는 상기 마이컬슨 간섭계부(106)가 제공하는 스웹트 소스의 제1일부에 따른 신호를 제공받아 평행광으로 콜리메이트하여 상기 제1렌즈(118)로 제공하고, 상기 제1렌즈(118)로부터 반환되는 기준광을 콜리메이트하여 상기 마이컬슨 간섭계부(106)의 70:30 광 커플러(112)로 제공한다. 상기 제1렌즈(118)는 상기 제1콜리메이터(116)가 출력하는 평행광을 미러(120)로 제공하고, 상기 미러(120)로부터 반사된 기준광을 제공받아 상기 제1콜리메이터(116)로 반환한다. 상기 미러(120)는 상기 제1렌즈(118)로부터 제공되는 광을 반사하여 상기 제1렌즈(118)로 반환한다.
상기 샘플단부(122)는 제2콜리메이터(124)와 갈보 스캐너(126)와 제2렌즈(128)와 포커스 조정부(130)로 구성된다. 상기 제2콜리메이터(124)는 상기 마이컬슨 간섭계부(106)가 제공하는 스웹트 소스의 제1일부에 따른 신호를 제공받아 평행광으로 콜리메이트하여 상기 갈보스캐너(126)로 제공하고, 상기 갈보스캐너(126)로부터 제공되는 샘플광을 콜리메이트하여 상기 마이컬슨 간섭계부(106)의 70:30 광 커플러(112)로 제공한다. 상기 갈보 스캐너(126)는 컴퓨터(100)에 의한 사용자 요청에 따라 상기 제2콜리메이터(124)가 출력하는 광을 스캐닝 라인에 따라 조사하여 샘플(200)의 스캐닝을 이행하며, 상기 샘플(200)로부터 반사되어 전달되는 샘플광을 상기 제2콜리메이터(124)로 제공한다. 상기 갈보 스캐너(126)가 샘플(200)을 스캐닝하는 스캐닝 라인, 갈보 스캐너(126)와 샘플(200) 사이의 대향각도에 따라 변경되며, 이는 사용자 컴퓨터(100)에 의한 사용자 요청에 따라 변경된다. 이러한 갈보 스캐너(126)의 대향각도 변경은 도 2에 예시한 바와 같으며, 이는 백 리플렉션에 의해 광간섭 단층촬상이 정상적으로 이루어지지 않는 경우에 컴퓨터(100)를 통한 사용자의 요청에 따라 이루어진다. 상기 제2렌즈(128)는 상기 갈보 스캐너(126)로부터 제공되는 평행광을 집중시켜 샘플(200)로 제공함과 아울러, 상기 샘플(200)로부터 반환되는 샘플광을 상기 갈보 스캐너(16)로 반환한다. 상기 포커스 조정부(130)는 컴퓨터(100)에 의한 사용자의 요청에 따라 상기 제2렌즈(128)의 촛점거리를 조정하여 광간섭 단층촬상의 깊이를 조절한다.
상기 컴퓨터(100)는 상기 디지타이저(102)가 제공하는 광간섭 단층 촬영신호에 따른 디지털 신호를 처리하여 2차원 광간섭 단층영상을 생성하여 모터 등을 통해 출력한다. 또한 상기 컴퓨터(100)는 사용자의 요청에 따라 갈보 스캐너(126)의 각도 및 구동을 제어하며, 상기 갈보 스캐너(126)의 동작에 의해 생성되는 3차원 스캐닝을 위한 광간섭 단층 촬영신호에 따른 디지털 신호를 제공받아 3차원 광간섭 단층영상을 생성하여 모니터 등을 통해 출력한다. 또한 상기 컴퓨터(100)는 사용자의 요청에 따라 포커스 조정부(130)의 구동을 제어하여, 제2렌즈(128)의 포커스를 조정하여, 샘플 내의 이물질을 명확한 검출을 위해 광간섭 단층촬상의 깊이를 조절할 수 있게 한다.
<카메라 렌즈 모듈 검사용 스웹트 소스 광간섭 단층 촬영기기에 의한 광간섭 단층 영상>
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따르는 카메라 렌즈 모듈 검사용 스웹트 소스 광간섭 단층 촬영기기에 의한 광간섭 단층 영상 중 2차원 단면영상을 예시한 것이다. 상기 도 3을 참조하면, 위에서 2번째 렌즈의 아랫부분에 수십 마이크로미터 단위의 이물이 본 발명에 따르는 카메라 렌즈 모듈 검사용 스웹트 소스 광간섭 단층 촬영기기에 의해 촬상됨을 나타낸다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따르는 카메라 렌즈 모듈 검사용 스웹트 소스 광간섭 단층 촬영기기에 의한 광간섭 단층 영상 중 3차원 영상을 예시한 것이다. 상기 도 4를 참조하면, 렌즈의 측면에서 조망한 이물이 본 발명에 따르는 카메라 렌즈 모듈 검사용 스웹트 소스 광간섭 단층 촬영기기에 의해 촬상됨을 나타낸다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따르는 카메라 렌즈 모듈 검사용 스웹트 소스 광간섭 단층 촬영기기에 의한 광간섭 단층 영상 중 3차원 영상을 예시한 것이다. 상기 도 5를 참조하면, 렌즈의 상면에서 조망한 얼룩 및 이물이 본 발명에 따르는 카메라 렌즈 모듈 검사용 스웹트 소스 광간섭 단층 촬영기기에 의해 촬상됨을 나타낸다.
<백 리플렉션(back reflection) 현상>
도 6은 본 발명에 따르는 스캐닝 각도 조절에 대한 설명을 위해 백 리플렉션 현상을 예시한 도면이다. 렌즈는 빛의 반사가 잘 일어나기 때문에 백 리플렉션 현상에 의해 라인 스캔 카메라의 픽셀들에서 포화(saturation)가 발생한다. 이는 광간섭 단층영상에서 하얀색 선들을 만들어내어 이물을 검출하는 데에 방해요인이 되었다. 이에 본 발명은 이미지에 따른 스캐닝 각도 제어 기능을 추가하여 렌즈 이물 검사를 가능하게 하였다.
그리고 본 발명은 대물렌즈인 제2렌즈의 촛점거리를 조정한다. 이는 여러겹의 적층구조로 이루어진 카메라 렌즈 모듈을 위에서 아래까지 광간섭 단층촬영을 위한 광을 어디에 포커싱시키는지에 따라 자세하게 보는 위치가 변경되므로, 적증구조의 렌즈 모듈을 검사함에 있어서 포커싱 포인트를 다르게 조절하여 각 렌즈의 층별로 자세히 검사할 수 있는 방법을 적용하였다.
그리고 본 발명은 파장대가 긴 1550nm 중심파장인 스웹트 소스를 이용하여 깊이 있는 이미징을 가능하게 한다.
100 : 컴퓨터
102 : 디지타이저
104 : 스웹트 소스 생성기
106 : 마이컬슨 간섭계부
114 : 기준단부
122 : 샘플단부

Claims (8)

  1. 카메라 렌즈 모듈 검사용 스웹트 소스 광간섭 단층 촬영기기에 있어서,
    스웹트 소스를 생성하는 스웹트 소스 생성기;
    상기 스웹트 소스의 일부인 제1일부광을 분할하여 제1광 및 제2광으로 분할출력하고, 외부로부터 제공되는 기준광 및 샘플광을 결합한 광과 상기 스웹트 소스의 나머지 일부인 제2일부광에 대한 광 경로 차이에 따른 광간섭 단층 촬영신호를 출력하는 마이컬슨 간섭계부;
    상기 마이컬슨 간섭계부로부터 제1광을 제공받아 기준광을 생성하는 기준단부;
    상기 마이컬슨 간섭계부로부터 제2광을 제공받아 샘플에 조사하고 샘플로부터 반환되는 광을 샘플광으로 출력하는 샘플단; 및
    상기 광간섭 단층 촬영신호를 디지털 변환하여 광간섭 단층 촬영정보를 생성하여 출력하는 디지타이저;를 구비함을 특징으로 하는 카메라 렌즈 모듈 검사용 스웹트 소스 광간섭 단층 촬영기기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 스웹트 소스는 1500nm의 중심파장의 100nm의 대역폭을 가짐을 특징으로 하는 카메라 렌즈 모듈 검사용 스웹트 소스 광간섭 단층 촬영기기.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 마이컬슨 간섭계부는,
    상기 스웹트 소스를 제공받아 제1일부광 및 제2일부광으로 분리하여 출력하는 광학 써큘레이터;
    상기 광학 써큘레이터가 출력하는 제1일부광을 제공받아 상기 제1광 및 제2광으로 출력하고, 상기 기준광과 상기 샘플광을 제공받아 결합하여 출력하는 광 커플러; 및
    상기 광 커플러가 출력하는 광과 상기 제2일부광의 광 경로 차이에 따른 광간섭 단층 촬영신호를 생성하는 밸런스드 디텍터;로 구성됨을 특징으로 하는 카메라 렌즈 모듈 검사용 스웹트 소스 광간섭 단층 촬영기기.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 광 커플러는 70:30 광 커플러로 구성된 것을 특징으로 하는 카메라 렌즈 모듈 검사용 스웹트 소스 광간섭 단층 촬영기기.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 샘플단부는,
    상기 제2광을 콜리메이팅하여 출력하는 콜리메이터;
    상기 콜리메이터가 출력하는 광을 스캐닝 라인에 따라 조사하여 샘플의 스캐닝을 이행하며, 상기 샘플로부터 반사되어 전달되는 샘플광을 상기 콜리메이터로 제공하는 스캐너; 및
    상기 스캐너와 샘플 사이에 위치하는 렌즈;를 구비함을 특징으로 하는 카메라 렌즈 모듈 검사용 스웹트 소스 광간섭 단층 촬영기기.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 스캐너는, 스캐너와 샘플 사이의 대향각도를 외부의 요청에 따라 변경함을 특징으로 하는 카메라 렌즈 모듈 검사용 스웹트 소스 광간섭 단층 촬영기기.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 외부의 요청은 백 리플렉션 현상이 발생될 때 생성하는 것임을 특징으로 하는 카메라 렌즈 모듈 검사용 스웹트 소스 광간섭 단층 촬영기기.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 렌즈의 촛점거리를 가변하는 포커스 조정부;를 더 구비함을 특징으로 하는 카메라 렌즈 모듈 검사용 스웹트 소스 광간섭 단층 촬영기기.
KR1020170184779A 2017-12-29 2017-12-29 카메라 렌즈 모듈 검사용 스웹트 소스 광간섭 단층 촬영기기 KR102118081B1 (ko)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110530276A (zh) * 2019-07-17 2019-12-03 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 Ss-oct间距测量中利用伺服系统谐振消镜像的方法及其系统
US20230102868A1 (en) * 2020-03-25 2023-03-30 Nec Corporation Optical coherence tomography (oct) apparatus and method for controlling an opticalcoherence tomography apparatus

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102498742B1 (ko) * 2021-05-11 2023-02-13 경북대학교 산학협력단 초점 심도 향상을 위한 다중 초점 기반 고해상도 광간섭 단층 촬영 장치

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101011556B1 (ko) * 2009-03-02 2011-01-27 경북대학교 산학협력단 광학적 도플러 단층 촬영 장치 및 그의 도플러 주파수 검출방법
KR20130002262A (ko) * 2011-06-28 2013-01-07 캐논 가부시끼가이샤 광간섭 단층장치
KR101269455B1 (ko) * 2004-09-10 2013-05-30 더 제너럴 하스피탈 코포레이션 광 간섭 영상화를 위한 시스템 및 방법
KR101469158B1 (ko) 2013-07-29 2014-12-04 (주)에이피텍 카메라 렌즈 모듈 검사장치 및 그에 따른 검사방법
KR20150056713A (ko) * 2013-11-15 2015-05-27 삼성전자주식회사 영상표시장치의 비파괴 검사 시스템 및 방법과 이를 위한 비파괴 검사 장치
KR20160043233A (ko) 2014-10-10 2016-04-21 엔엠시스템(주) 카메라용 렌즈모듈 외관 검사공법
KR101794181B1 (ko) 2016-08-11 2017-11-07 주식회사 쓰리텍 렌즈 검사 장치
KR20170138096A (ko) 2016-06-07 2017-12-15 한미반도체 주식회사 렌즈유닛 검사장치

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101269455B1 (ko) * 2004-09-10 2013-05-30 더 제너럴 하스피탈 코포레이션 광 간섭 영상화를 위한 시스템 및 방법
KR101011556B1 (ko) * 2009-03-02 2011-01-27 경북대학교 산학협력단 광학적 도플러 단층 촬영 장치 및 그의 도플러 주파수 검출방법
KR20130002262A (ko) * 2011-06-28 2013-01-07 캐논 가부시끼가이샤 광간섭 단층장치
KR101469158B1 (ko) 2013-07-29 2014-12-04 (주)에이피텍 카메라 렌즈 모듈 검사장치 및 그에 따른 검사방법
KR20150056713A (ko) * 2013-11-15 2015-05-27 삼성전자주식회사 영상표시장치의 비파괴 검사 시스템 및 방법과 이를 위한 비파괴 검사 장치
KR20160043233A (ko) 2014-10-10 2016-04-21 엔엠시스템(주) 카메라용 렌즈모듈 외관 검사공법
KR20170138096A (ko) 2016-06-07 2017-12-15 한미반도체 주식회사 렌즈유닛 검사장치
KR101794181B1 (ko) 2016-08-11 2017-11-07 주식회사 쓰리텍 렌즈 검사 장치

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110530276A (zh) * 2019-07-17 2019-12-03 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 Ss-oct间距测量中利用伺服系统谐振消镜像的方法及其系统
US20230102868A1 (en) * 2020-03-25 2023-03-30 Nec Corporation Optical coherence tomography (oct) apparatus and method for controlling an opticalcoherence tomography apparatus

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