JP2013130566A - レンズ検査装置及びその方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
本発明のレンズ検査方法は、検査対象レンズを検査するレンズ検査装置に適用するレンズ検査方法であって、検査対象レンズを検査して、検査対象レンズの第1物体距離の検査特徴値を得る工程と、校正データを提供する工程と、検査特徴値及び校正データに基づき、第2物体距離の疑似特徴値を算出する工程と、を含む。
【選択図】図3
Description
<実施例>
100b レンズ検査装置
110 イメージセンサ
120 レンズ鏡頭
130 検査パターン投影モジュール
131 光源
132 テストパターン
140 望遠鏡
150 ホスト
200 レンズ検査装置
210 複数のイメージセンサ
250 ホスト
251 処理ユニット
252 記憶ユニット
253 入力ユニット
Claims (15)
- 検査対象レンズを検査するレンズ検査装置に適用するレンズ検査方法であって、
前記検査対象レンズを検査して、前記検査対象レンズの第1物体距離の検査特徴値を得る工程と、
校正データを提供する工程と、
前記検査特徴値及び前記校正データに基づき、第2物体距離の疑似特徴値を算出する工程と、を含むことを特徴とするレンズ検査方法。 - 前記校正データは異なる物体距離間の特徴値の関係値を含むことを特徴とする請求項1記載のレンズ検査方法。
- 前記検査特徴値、前記疑似特徴値及び少なくとも一の等級条件に基づき、前記検査対象レンズの等級を決定する工程を更に含むことを特徴とする請求項2記載のレンズ検査方法。
- 前記少なくとも一の等級条件を提供して、前記少なくとも一の等級条件と前記検査対象レンズの等級の対照表を設定する工程を更に含み、
そのうち、前記検査対象レンズの等級を決定する前記工程が、前記少なくとも一の等級条件と前記検査対象レンズの等級の前記対照表に基づき、前記検査対象レンズの等級を決定する工程を更に含むことを特徴とする請求項3記載のレンズ検査方法。 - 前記校正データを提供する工程が、前記検査対象レンズの設計規格を利用して、光学シミュレーション方法により前記校正データを得る工程を含むことを特徴とする請求項2記載のレンズ検査方法。
- 前記校正データを提供する工程が、複数の異なる物体距離により、校正用レンズを検査して、更に前記検査結果を利用して前記校正データを求める工程を含むことを特徴とする請求項2記載のレンズ検査方法。
- 前記第1物体距離が有限物体距離であり、前記第2物体距離が無限遠物体距離であることを特徴とする請求項2記載のレンズ検査方法。
- 前記第1物体距離が無限遠物体距離であり、前記第2物体距離が有限物体距離であることを特徴とする請求項2記載のレンズ検査方法。
- 前記検査特徴値が検査MTF値又は検査BFL値であり、前記疑似特徴値が疑似MTF値又は疑似BFL値であることを特徴とする請求項2記載のレンズ検査方法。
- 検査対象レンズを検査するレンズ検査装置であって、
校正データを記憶する記憶ユニット及び処理ユニットを含むホストと、
前記ホストに接続され、前記検査対象レンズからの第1物体距離のイメージを前記ホストの前記処理ユニットに提供する複数のイメージセンサと、を含み
そのうち、前記処理ユニットは、
前記イメージに基づき、前記検査対象レンズの前記第1物体距離の検査特徴値を得る工程と、
前記校正データを読み取る工程と、
前記検査特徴値及び前記校正データに基づき、第2物体距離の疑似特徴値を算出する工程と、
を行うことを特徴とするレンズ検査装置。 - 前記校正データは異なる物体距離間の特徴値の関係値を含むことを特徴とする請求項10記載のレンズ検査装置。
- 前記校正データは前記検査対象レンズの設計規格を利用して、光学シミュレーション方法によりデータを求めることを特徴とする請求項11記載のレンズ検査装置。
- 前記校正データは複数の異なる物体距離により校正用レンズを検査して、更に、前記検査結果を利用してデータを求めることを特徴とする請求項11記載のレンズ検査装置。
- 前記検査特徴値が検査MTF値又は検査BFL値であり、前記疑似特徴値が疑似MTF値又は疑似BFL値であることを特徴とする請求項11記載のレンズ検査装置。
- 前記第1物体距離は有限物体距離であり、前記第2物体距離が無限遠物体距離であることを特徴とする請求項11記載のレンズ検査装置。
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