KR20120089176A - 광학 검사용 장치 - Google Patents

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Abstract

광학 검사용 장치는 제 1 방향으로 연장되는 플레트폼, 검사될 적어도 하나의 객체를 지지하는 적어도 하나의 캐리어를 상기 제 1 방향 하에서 입구 포트로부터 출구 포트로 운송하는 운송부, 상기 플레트폼에 위치하고, 상기 적어도 하나의 캐리어 상에 상기 적어도 하나의 객체를 검사하기 위해 상기 제 1 방향에 수직인 제 2 방향으로 연장되며, 상기 입구 포트와 상기 출구 포트 사이에서 상기 제 2 방향으로 연장된 제 1 스캐너를 포함하는 제 1 탐지기 및 상기 적어도 하나의 객체 각각의 표면 상에 힘을 가하기 위해 상기 제 1 스캐너 및 상기 입구 포트 사이에 위치한 제 1 롤러 세트를 포함한다.

Description

광학 검사용 장치 {Apparatus for optical inspection}
본 발명은 대체적으로 광학 검사에 대한 것이다, 좀 더 자세하게는 관심 대상의 결점 또는 특징을 검사하는 장치에 대한 것이다.
액정 표시 장치(LCD)와 같은 표시 장치는 텍스트, 이미지 및 동영상을 포함하는 정보를 전기적으로 표시하기 위해 사용된다. LCD는 편광 필터, 유리 기판, 컬러 필터, 액정 및 반사면과 같은 많은 수의 층을 포함할 수 있으며, 이것은 LCD의 질을 결정할 수 있다. LCD가 양질인지를 판단하기 위해, 즉, LCD가 소정의 양보다 작은 결점을 가지고 있는 지를 판단하기 위해, 때때로 육안으로 이를 판단한다. 그러나, 육안을 통한 검사는 대량 생산된 LCD에 있어서는 소모적이고, 어려우며, 부정확할 수 있다. 더욱이, 반도체 제조 공정의 진보 경향상, 소형화된 부품을 포함하는 LCD 제품을 육안으로 검사하는 것은 더욱 어려울 수 있다. 따라서, LCD 패널의 자동 검사용 검사 시스템 또는 장비가 도입되고 있다. 그럼에도 불구하고, 몇몇 자동 스캐닝 시스템은 광학 특질의 결점을 확인할 수 없을 수 있으며, 이 결점은 특정 방향에서 관찰되지 않으면 보이거나 탐지될 수 없을 수 있다. 더욱이, 검사에 앞서 패널을 수동으로 뒤집어야 할 필요가 있으며, 이점은 그러한 스캐닝 시스템이 자동적이지 않게 한다.
그러므로, 광학 특질의 결점을 확인할 수 있고, 검사 중에 패널 표면 상의 이질적인 물질을 제거할 수 있는 장비를 구비하는 것이 바람직하다. 더욱이, 검사 중에 패널에 전원을 공급할 수 있는 장비를 구비하는 것이 역시 바람직하다.
본 발명의 실시예들은 광학 검사용 장치를 제공할 수 있다. 광학 검사용 장치는 제 1 방향으로 연장되는 플레트폼, 검사될 적어도 하나의 객체를 지지하는 적어도 하나의 캐리어를 상기 제 1 방향 하에서 입구 포트로부터 출구 포트로 운송하는 운송부, 상기 플레트폼에 위치하고, 상기 적어도 하나의 캐리어 상에 상기 적어도 하나의 객체를 검사하기 위해 상기 제 1 방향에 수직인 제 2 방향으로 연장되며, 상기 입구 포트와 상기 출구 포트 사이에서 상기 제 2 방향으로 연장된 제 1 스캐너를 포함하는 제 1 탐지기 및 상기 적어도 하나의 객체 각각의 표면 상에 힘을 가하기 위해 상기 제 1 스캐너 및 상기 입구 포트 사이에 위치한 제 1 롤러 세트를 포함한다.
본 발명의 몇몇 실시예들은 역시 광학 검사용 장치를 제공할 수 있다. 광학 검사용 장치는 제 1 방향으로 연장되는 제 1 플레트폼, 상기 제 1 방향 하에서 제 1 입구 포트로부터 제 1 출구 포트로 캐리어를 운송하는 제 1 운송부 및 상기 제 1 플레트폼 상에 위치하며, 길이 방향으로 상기 캐리어 상의 객체를 검사하기 위해 상기 제 1 방향에 수직인 제 2 방향으로 연장되는 제 1 탐지기를 포함하는 제 1 장치 유닛 및 상기 제 2 방향으로 연장되는 제 2 플레트폼, 상기 제 2 방향 하에서 제 2 입구 포트로부터 제 2 출구 포트로 상기 캐리어를 운송하는 제 2 운송부 및 상기 제 2 플레트폼 상에 위치하며, 폭 방향으로 상기 캐리어 상의 상기 객체를 검사하기 위해 상기 제 1 방향으로 연장되는 제 2 탐지기를 포함하는 제 2 장치 유닛을 포함한다.
본 발명의 실시예들은 역시 광학 검사용 장치를 제공할 수 있다. 광학 검사용 장치는 제 1 방향으로 연장된 플레트폼, 객체의 검사를 위해 상기 제 1 방향에 수직인 제 2 방향으로 연정되며, 상기 플레트폼 상에 위치한 제 1 탐지기 및 상기 제 1 방향 하에서 자신의 입구 포트로부터 출구 포트까지 캐리어를 운송하는 운송부를 포함하되, 상기 캐리어는 상기 객체를 지지하기 위해 제 1 면 및 상기 객체에 대한 전원 공급을 조절하는 전원 조절부가 위치한 제 2면을 포함하고, 검사 중에 상기 캐리어가 상기 운송부에 의해 운송될 때, 상기 캐리어는 상기 운송부를 통해 전원에 상기 전원 조절부를 전기적으로 연결하기 위해 상기 제 2 면 상에 한 쌍의 전도 레일을 포함한다.
본 발명의 추가적인 특징 및 이점은 다음의 명세서 상에서 부분적으로 설명될 것이다, 이 부분들은 명세서로부터 명백하거나 본 발명의 실시예에 의해 배울 수 있을 것이다. 본 발명의 특징 및 이점은 첨부되는 청구범위 내에서 특히 언급된 구성 요소 및 이들 간의 결합에 의해 구체화 될 것이다.
앞서 언급한 일반적인 묘사 및 다음의 세부적인 묘사 모두 단지 전형적이고 설명적이며, 청구된 것처럼 본 발명을 제한하는 것이 아닌 것으로 이해될 것이다.
검사 중에 패널 표면 상의 이질적인 물질을 제거할 수 있는 장비 및 검사 중에 패널에 전원을 공급할 수 있는 장비를 제공할 수 있다.
본 발명의 다음과 같은 상세한 설명은 첨부되는 도면과 함께 검토될 때 좀 더 잘 이해될 수 있을 것이다. 본 발명에 대한 설명을 목적으로, 실시예가 도면상에 도시된다. 그러나, 본 발명이 실시예에 도시된 정밀한 배열 및 연결 관계에 한정되어 해석되는 것은 아니다.
도면에서:
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 검사용 장치의 개략도이다.
도 2는 도 1의 클리너의 확대도이다.
도 3a는 도 1의 탐지기의 평면도이다.
도 3b는 도 3a의 탐지기의 배면도이다.
도 3c는 도 1의 좌측 개략도이다.
도 3d는 본 발명의 다른 실시예에 따른 도 1의 좌측 개략도이다.
도 3e는 본 발명의 일 실시예에 따른 롤러 조절 메커니즘의 개략도이다.
도 3f는 본 발명의 다른 실시예에 따른 롤러 조절 메커니즘의 개략도이다.
도 3g는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 롤러 조절 메커니즘의 개략도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 광학 검사용 장치의 개략도이다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 광학 검사용 장치의 개략 평면도이다.
도 6a는 도 1의 광학 검사용 장치 내의 캐리어의 평면도이다.
도 6b는 도 6a의 캐리어의 저면도이다.
도 7a 내지 7f는 다양한 크기의 패널에 적용된 본 발명에 따른 캐리어의 개략도이다.
도 8a는 본 발명의 일 실시예에 따른 제 1 객체가 고정된 캐리어를 도시하는 평면도이다.
도 8b는 본 발명의 일 실시예에 따른 제 2 객체가 고정된 캐리어를 도시하는 평면도이다.
도 8c는 본 발명의 일 실시예에 따른 제 3 객체가 고정된 캐리어를 도시하는 평면도이다.
도 9a는 도 8a의 제 1 객체의 저면도이다.
도 9b는 제 1 객체가 고정된 캐리어를 도시하는 저면도이다.
본 발명의 실시예들에 대해서 상세하게 언급이 될 것이며, 몇몇 실시예들은 첨부되는 도면과 함께 묘사된다. 가능하다면 언제나, 동일한 참조 번호는 도면 전체에서 동일한 부분을 언급하도록 사용될 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 검사용 장치(20)의 개략도이다. 도 1을 참조하면, 상기장치(20)는 플레트폼(21), 탐지기(22), 클리너(23), 운송부(24), 검사 중에 객체(26-1, 26-2 및 26-3)를 각각 이송하는 다수의 캐리어(25-1, 25-2 및 25-3) 및 제어부(27)를 포함할 수 있다.
플레트폼(21)은 광학 검사를 위한 작업공간 역할을 할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 플레트폼(21)은 금속 틀을 포함할 수 있으며, 제 1 방향으로 확장할 수 있다. 더욱이, 상기 플레트폼(21)은 예를 들어, 6개의 객체가 진행이 가능하도록 하는 길이를 가지도록 설계될 수 있다.
운송부(24)는 입구 포트(242)로부터 출구 포트(243)에 이르는 제 1 방향으로 객체들(26-1 내지 26-3)을 수송하기 위해, 컨베이어 벨트(241) 세트 및 가이드 레일(미도시)을 포함할 수 있다.
탐지기(22)는 객체들(26-1 내지 26-3)을 검사하기 위해 하나 이상의 스캐너를 포함할 수 있다. 상기 스캐너는 미국 출원 특허(12/732,586, 2010년 3월 26일 출원, 발명자: Cooper S. K. Kuo 및 Ron Tsai)인 “검사 시스템”에 설명된 것을 포함할 수 있다. 상기 탐지기(22)는 상기 플레트폼(21)상에 구비될 수 있으며, 제 1 방향과 실질적으로 수직방향인 제 2 방향으로 확장될 수 있다.
클리너(23)는 검사 도중에 환경 요인에 기인한 객체의 표면 상에 놓인 먼지 같은 외부 물질을 제거하도록 사용될 수 있다. 그러한 외부 물질이 적절하게 제거되지 않는다면, 탐지기(22)에 의해 탐지될 것이며, 검사 도중에 객체의 결점으로 오인될 것이다, 이점은 높은 확인률이 요구되는 상황에서 용납될 수 없다. 클리너(23)는 입구 포트(242)와 탐지기(22) 사이에 위치할 수 있으며, 제 2 방향으로 확장될 수 있다.
도 2는 도 1의 클리너(23)의 확대도이다. 도 2를 참조하면, 클리너(23)는 이온 제거기(231) 및 공기 절단기(232)를 포함할 수 있다. 입구 포트(242) 및 공기 절단기(232) 사이에 위차한 이온 제거기(231)는 검사 중에 예를 들어 객체(26-1)가 제 1 방향을 따라 탐지기(22) 쪽으로 이송될 때, 객체 상의 외부 물질의 이온을 제거할 수 있다. 그리고 나서, 이온이 제거된 물질은 공기 절단기(232)로부터 나온 공기 흐름에 의해 쉽게 제거될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서, 이온 제거기(231)는 HAUG Ionization사에 의해 제조된 이온화 바인 “EI RN”를 포함할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니며, 공기 절단기(232)는 NEX FLOW사에 의해 제조된 공기 절단기인 “silent x-stream air blade“를 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
도 1을 다시 참조하면, 캐리어(25-1 내지 25-3)는 객체들(26-1 내지 26-3)을 지지하기에 적절한 크기를 가지며, 예를 들어, 운송부(24)의 가이드 레일 내에 들어맞는다. 본 발명의 일 실시에에 따르면, 좀 더 논의될 것이지만, 객체들(26-1 내지 26-3)은 예를 들어, 13, 14 및 15 인치의 크기를 갖는 액정 표시 패널(LCD)을 포함할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 캐리어(25-1 내지 25-3)는 다양한 크기의 LCD 패널에 적합한 크기를 갖는다. 더욱이, 역시 논의 되겠지만, 캐리어(25-1 내지 25-3)는 검사를 용이하게 하기 위해 LCD 패널에 불이 들어오도록 외부의 전력 공급원에 의해 운송부(24)를 통하여 전원이 공급될 수 있다.
제어부(27)는 검사 과정을 제어하기 위해 클리너(23), 탐지기(22) 및 센서 세트(미도시)와 연결될 수 있다. 센서 세트는 검사를 용이하게 하기 위해 플레트폼(21) 상의 소정의 위치에 구비될 수 있다. 더욱이, 제어부(27)는 탐지기(22)로부터 객체와 관련된 스캔된 정보를 수집하고 이 스캔된 정보를 분석하며 실시간으로 모니터(미도시) 상에 특정 객체의 검사 결과를 표시할 수 있다.
작동 중에, 제 1 객체(26-1)는 객체들이 입구 포트(242)에 함께 놓여지기 전에 제 1 캐리어(25-1) 상에 위치한다. 그리고 나서, 제 1 객체(26-1)는 제 1 방향을 따라 입구 포트(243) 쪽으로 운송부(24)에 의해 운송된다. 제 1 센서(미도시)를 이용하여, 제 1 객체(26-1)가 클리너(23) 쪽으로 다가감에 따라 제 1 객체는 탐지될 것이고, 그리고 나서, 제어부(27)는 다가오는 제 1 객체(26-1)에 대응하여 클리너(23)가 작동하도록 할 것이다. 다음으로, 제 1 객체(26-1)는 탐지기(22)에 의해 스캔될 수 있다. 제 2 센서(미도시)를 이용하여, 제 1 객체(26-1)를 다른 객체로부터 식별되게 하는 제 1 객체(26-1)와 연관된 제 1 바코드(미도시)는 인식될 것이다. 스캔된 정보 및 인식된 바코드는 제어부(27)에 의해 수집될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 제 1 객체(26-1)가 그 다음으로 출구 포트(243) 쪽으로 이동할 때, 제 1 객체(26-1)의 스캔된 정보는 동시에 표시될 수 있다. 더욱이, 객체의 결점의 수가 기준값을 초과한다면 제어부(27)는 경보 장치(미도시)가 소리 또는 빛을 발산하도록 할 수 있다.
제 1 객체(26-1)가 제 1 방향으로 이동함에 따라, 제 2 객체(26-2)는 제 2 캐리어(25-2)와 함께 입구 포트(242)에 놓일 수 있다. 예를 들어, 제 1 객체(26-1)가 클리너(23) 또는 탐지기(22)에 도착할 때, 제 2 객체(26-2)는 입구 포트(242)에 위치할 수 있다. 유사하게, 제 2 객체(26-2)가 나중에 클리너(23) 또는 탐지기(22)에 도착할 때, 제 3 객체(26-2)는 입구 포트(242)에 위치할 수 있다. 더욱이, 다음 객체에 자리를 내주기 위해, 객체는 출구 포트(243)에 도달하면 집어질 수 있다.
도 3a는 도 1의 탐지기(22)의 평면도이다. 도 3a를 참조하면, 탐지기(22)는 플레트폼(21) 상의 소정의 높이에 위치한 지지 구조물(220)에 의해 고정된 제 1 스캐너(221) 및 제 2 스캐너(222)를 포함할 수 있다. 제 1 및 제 2 스캐너(221 및 222)는 제 2 방향으로 확장될 수 있으며, 본 실시예에서 도시되듯이, 객체(26-1)가 제 1 방향으로 운송되면서 객체(26-1)을 길이방향으로 스캔할 수 있다. 제 1 및 제 2 스캔너(221 및 222) 각각은 객체(26-1)의 폭을 덮기에 충분한 제 2 방향으로 배열된 다수의 스캔부를 포함할 수 있다.
도 3b는 도 1의 탐지기(22)기의 배면도이다. 도 3b를 참조하면, 장치(20)는 플레트폼(21) 또는 객체와 관련하여 탐지기(22)의 고도 또는 높이를 조절하기 위해 제 1 조절 수단(22H)을 더 포함할 수 있다. 특히, 탐지기(22)는 제 1 방향 및 제 2 방향에 실질적으로 수직인 제 3 방향에서 소정의 높이로 위아래로 조절될 수 있다.
더욱이, 장치(20)는 역시 검사 도중에 롤러 세트(미도시)가 객체의 표면에 가할 수 있는 힘을 조절하기 위해 제 2 조절 수단(22R)을 더 포함할 수 있으며, 이에 대해서는 도 3c를 참조하며 다음에 좀 더 논의한다. 더욱이, 장치(20)는 역시 검사 중에 객체 표면에 수직인 방향에 대해 제 1 및 제 2 스캐너(221 및 222)의 각도를 조절하기 위해 하나 이상의 제 3 조절 수단(22A)를 포함할 수 있다.
도 3c는 도 1의 좌측 개략도이다. 도 3c를 참조하면, 지지 구조물(220)(점선으로 도시)에 위치한제 3 센서(S3)는 객체(26-1) 표면으로부터의 거리(D1)를 측정할 것이다. 이 거리(D1)는 탐지기(22)가 소정의 높이에 도달했는지를 판단하기 위해 제어부(27)에 의해 분석될 수 있다. 만약에 소정의 높이 도달하지 못했다면, 탐지기(22) 따라서 제 1 및 제 2 스캐너(221 및 222)는 제 1 조절 수단(22H)을 통해서 소정의 높이로 조절될 수 있다. 일 실시예에서, 제 1 조절 수단(22H)은 수동 조절이 가능할 수 있다. 다른 실시예에서, 제 1 조절 수단(22H)은 제어부(27)에 명령을 함으로써 제어부(27)에 의해 조절될 수 있다.
검사 과정에서 다음의 스캐닝이 용이하도록 객체(26-1) 표면을 프레스 하기 위해, 탐지기(22)와 결합된 제 1 롤러 세트(228)는 입구 포트(242)와 제 1 스캐너(221) 사이에 배열될 수 있다. 스캐닝 전에 객체를 프레싱하는 것은 양질의 화소 지점을 결점으로 오인하는 위험을 줄일 수 있으며, 예를 들어, 특히 제조 요인에 기인해 뒤틀린 표면을 가지고 있는 객체의 경우에는 그 반대일 수 있다. 더욱이, 제 1 롤러 세트(228)로부터의 압력으로, 객체 내의 결점은 좀 더 쉽게 인식되고 프레스된 지역에 위치한 보통 화소와 좀 더 쉽게 식별될 수 있다. 현재의 실시예에서, 제 1 롤러 세트(228)와 제 1 스캐너(221) 사이에 프레스된 지역에 위치한 결점(y1)은 쉽게 탐지될 수 있다. 더욱이, 객체 표면을 평평하게 프레스하기 위해, 제 1 롤러 세트(228)는 제 2 방향으로 확장되도록 배열될 수 있고, 제 1 방향을 따라 길이방향으로 이동하는 객체의 폭을 덮을 수 있다. 롤러(228)가 객체(26-1) 표면에 가하는 힘 또는 압력은 제어부(27)에 의해 분석될 수 있고, 수동으로 또는 제어부(27)의 방식으로 제 2 조절 수단(22R)을 통해 조절될 수 있다.
도 3d는 본 발명의 다른 실시예에 따른 도 1의 좌측 개략도이다. 도 3d를 참조하면, 탐지기(22)는 제 2 스캐너(222)와 운송부(24)의 출구 포트(243) 사이에 위치하는 제 2 롤러 세트(229)를 더 포함할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서, 제 2 롤러 세트(229)와 제 2 스캐너(222) 사이의 결점(y2)은 쉽게 탐지될 수 있다. 더욱이, 제 2 롤러 세트(229)는 고정되어 제 1 롤러 세트(228)과 유사한 방식으로, 제 4 조절 수단(23R)에 의해 조절될 수 있다.
도 3e는 본 발명의 일 실시예에 따른 롤러 조절 메커니즘의 개략도이다. 도 3e를 참조하면, 롤러 조절 메커니즘은 제 2 조절 수단(22R) 및 제 1 롤러 세트(228)를 포함할 수 있다. 제 2 조절 수단(22R)은 제 1 롤러 세트(228)를 지지하기 위해 롤러 지지부(227)를 포함할 수 있다. 본 실시예에서, 롤러 지지부(227)는 대응되는 각각의 제 1 롤러 세트(228)를 지지하기 위해 롤러 지지 유닛 세트(227R)을 포함한다. 더욱이, 각 롤러 지지 유닛(227R)은 객체(26-1)에 관하여 대응 롤러의 높이 및 객체(26-1) 표면 상에 대응 롤러의 힘이 조절 가능하도록 신축적일 수 있다. 도 3e에 도시된 것처럼 비평면인 표면의 경우에, 롤러 지지 유닛(227R) 각각을 조절함으로써, 비평면인 표면 전체에 걸쳐 일정한 압력이 가해질 수 있다.
도 3f는 본 발명의 다른 실시예에 따른 롤러 조절 메커니즘의 개략도이다. 도 3f를 참조하면, 롤러 조절 메커니즘은 롤러 지지부(327) 및 단일의 롤러(328)을 포함할 수 있다. 롤러(328)는 표면에 다수의 직선 홈을 포함하는 원통형상을 취할 수 있다. 객체(26-1) 상의 롤러(327)의 힘은 제 3 방향하에서 롤러 지지부(327)의 신축적인 움직임에 의해 조절될 수 있다.
도 3g는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 롤러 조절 메커니즘의 개략도이다. 도 3g를 참조하면, 롤러 조절 메커니즘은 표면에 사선 홈(429)을 포함하는 단일의 롤러(428)를 포함할 수 있다.
도 3c를 다시 참조하면, 제 1 스캐너(221)는 제 3 조절 수단(22A) 중의 하나에 고정될 수 있다. 제 1 스캐너(221)와 객체(26-1) 표면에 수직 방향(본 실시예의 경우, 제 3 방향) 사이의 각은 관련된 제 3 조절 수단(22A)을 통해서 조절될 수 있다. 특히, 제 1 스캐너(221)는 수동으로 또는 제어부(27)에 의해 제 1 축(X1)을 중심으로 제 1 소정의 각만큼 회전할 수 있다.
유사하게, 제 2 스캐너(222)는 제 3 조절 수단(22A) 중 다른 하나에 고정될 수 있다. 제 2 스캐너(222)와 객체(26-1) 표면에 수직인 방향 사이의 각은 관련 제 3 조절 수단(22A)을 통해서 조절될 수 있다. 특히, 제 2 스캐너(222)는 수동으로 또는 제어부(27)에 의해 제 2 축(X2)을 중심으로 제 2 소정의 각만큼 회전될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 스캐너(221 및 222) 각각의 각은 대략 -30도에서 +30도(± 30o) 사이의 범주에서 회전할 것이다. 예를 들어, 제 1 스캐너(221)는 수직선(LN)을 기준으로 0도에서 30도 사이의 제 1 각도(A1)정도 회전될 수 있는 반면에, 제 2 스캐너(222)는 수직선(LN)을 기준으로 0도 에서 -30도 사이의 제 2 각도(A2)정도 회전될 수 있다. 시야각 조절은 전 방향에서의 탐지를 용이하게 하여, 광학 방향을 가진 먼지 또는 스크래치와 같은 결점을 특정 각도에서 탐지가 가능하도록 할 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 광학 검사용 장치(30)의 개략도이다. 도 4를 참조하면, 장치(30)는 도 1에서 도시된 장치(20)와 예를 들어 또 다른 탐지기(32)가 부가된 것 이외에는 유사할 수 있다. 특히, 장치(30)는 입구 포트(242)와 출구 포트(243) 사이에 제 1 탐지기(22) 및 제 1 탐지기(22)와 출구 포트(243) 사이의 제 2 탐지기(32)를 포함한다. 더욱이, 구조 및 작동면에서, 제 2 탐지기(32)는 제 1 탐지기(22)와 유사하거나 동일할 수 있으며, 따라서 더 논의되지 않는다. 장치(30)는 검사중에 있는 객체가 중요한 다수의 층을 포함하고, 객체에 대한 충분한 스캐닝이 요구되며, 신속한 스캐닝이 요구되는 상황에 적용될 수 있다. 신속한 스캐닝이 요구되는 상황에서, 제 1 및 제 2 탐지기(22 및 32)는 한번에 두 개의 객체를 스캔할 수 있다. 예를 들어, 도 4에 도시된 운송 순서에 있어서, 스캐닝 속도를 두배로 하기 위해, 제 1 탐지기(22)가 제 2 객체(26-2)를 스캔하는 동안에 제 2 탐지기(32)는 제 1 객체(26-1)를 스캔 하기 위해 할당될 수 있다. 당업자는 검사 여건이 허락하는 한 본 발명에 따른 장치에 3개 이상의 탐지기가 제공될 수 있음을 인식할 수 있다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 광학 검사용 장치(50)의 개략 평면도이다. 도 5a를 참조하면, 장치(50)는 제 1 장치 유닛(51) 및 제 2 장치 유닛(52)을 포함할 수 있다. 본 발명에서, 제 1 장치 유닛(51)은 클리너 및 한 쌍의 탐지기를 포함할 수 있고, 구조 및 작동면에서, 도 4에 도시된 장치(30)와 동일 또는 유사할 수 있다. 더욱이, 제 2 장치 유닛(52)은 한 쌍의 탐지기를 포함할 수 있고, 검사 중에 객체 표면 상에 있는 외부 물질이 제 1 장치 유닛(51)의 클리너에 의해 제거될 수 있기 때문에 제 1 장치 유닛(51)처럼 클리너를 포함하지 않을 수 있는 점을 제외하고는 구조 및 작동면에서 도 4에 도시된 장치(30)와 유사할 수 있다. 다른 실시예에서, 제 1 및 제 2 장치 유닛(51 및 52) 각각은 단일의 탐지기를 포함하고, 제 2 장치 유닛(52)이 제 1 장치 유닛(51)처럼 클리너를 포함하지 않을 수 있는 점을 제외하고는 도 1에 도시된 장치(20)와 유사하거나 동일할 수 있다.
제 1 장치 유닛(51)은 제 1 방향으로 객체들(26-1 내지 26-3)을 운송하도록 배열될 수 있으며, 세로방향으로 이 객체들을 스캔할 수 있다. 따라서, 좁은 빔 조도에 기인한 결점 또는 제 1 방향을 따라 보이고 탐지가능한 결점들은 제 1 장치 유닛(51)의 단일의 탐지기 또는 한 쌍의 탐지기의 스캐너에 의해 탐지될 수 있다. 반면에, 제 2 장치 유닛(52)은 제 1 방향에 수직인 제 2 방향을 따라 객체들(26-1 내지 26-3)을 운송하도록 배열될 수 있다. 따라서, 좁은 빔 조도에 기인한 결점 또는 제 2 방향을 따라 보이고 탐지가능한 결점들은 제 2 장치 유닛(52)의 단일의 탐지기 또는 한 쌍의 탐지기의 스캐너에 의해 탐지될 수 있다. 그러한 스캐닝을 용이하게 하기 위해, 제 1 장치 유닛(51)의 출구 포트(243)가 연결되어 제 2 장치 유닛(52)의 입구 포트(242)로서 역할을 하면서, 제 1 장치 유닛(51) 및 제 2 장치 유닛(52)은 서로 수직 방향으로 확장되도록 배열될 수 있다.
작동 중에, 제 1 장치 유닛(51) 내에서 제 1 방향으로 이송되면서 길이방향으로 스캔 되도록 제 1 장치 유닛(51)의 출구 포트(243) 쪽으로 각각 향하는 폭 측면을 가지는 객체들(26-1 내지 26-3)은 제 1 장치 유닛(51)의 입구 포트(242)에 놓일 수 있다. 도 5B를 참조하면, 제 1 객체(26-1)가 제 1 장치 유닛(51)의 출구 포트(243)에 도달할 때, 제 2 장치 유닛(52)의 입구 포트(242) 쪽을 향하는 길이 측면을 가진 객체들(26-1 내지 26-3)은 제 2 장치 유닛(52)에서 제 2 방향으로 이송되면서 폭방향으로 스캔된다.
도 6a는 도 1의 광학 검사용 장치 내의 캐리어의 평면도이다. 도 6a를 참조하면, 캐리어(25-1)는 복수의 제 1 구멍(251), 복수의제 2 구멍(252), 복수의 제 3 구멍(253) 및 복수의 커넥터(254)를 포함한다. 제 1 개구(251)는 플러그의 사용으로 캐리어(25-1)가 다양한 크기의 패널에 적용가능하도록 패턴이 형성되어 배열될 수 있다. 도 7a 내지 7f는 다양한 크기의 패널에 적용된 본 발명에 따른 캐리어의 개략도이다. 패널은 13인치, 14인치 및 15인치를 포함할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 특히, 도 7a 내지 7c에 도시된 패널은 16X9의 면 비율을 가지며, 도 7d 내지 7f에 도시된 패널은 4X3의 면 비율을 가진다.
도 6a로 다시 참조하면, 제 1 방향으로 연장되며 직사각형 형상의 제 2 구멍(252)은 패널의 하면 상에 인쇄된 패널 바 코드와 같은 상품 정보의 위치와 관련된 패턴으로 배열될 수 있다. 바 코드 위치는 패널 크기처럼 다양할 수 있다. 따라서, 패널 크기에 따라 제 2 구멍(252) 중 하나는 특정 크기 패널의 바 코드를 노출할 수 있다.
제 3 구멍(253)은 캐리어(25-1) 상에 패널을 지지하는 데 사용될 수 있다. 제 1 구멍(251)과 같이 제 3 구멍(253)은 검사 중에 캐리어(25-1)에 대해서 패널이 움직이지 않도록 하기 위해 패널을 제자리에 유지할 수 있다. 캐리어(25-1) 상에서의 패널의 이동은 탐지된 결점과 그것의 좌표 사이에 미스매치와 같은 검사 오류를 일으킬 수 있다.
커넥터(254)는 검사 중에 운송부(24)를 통한 외부 전원과의 전기적 연결을 유지하기 위해 캐리어(25-1)의 상면 또는 제 1 면(25t) 상에 배열된 전도 패드를 포함할 수 있다.
도 6b는 도 6a의 캐리어의 저면도이다. 도 6b를 참조하면, 캐리어(25-1)는 캐리어(25-1)의 하면 또는 제 2 면(25b) 상의 전원 조절부(60) 및 한 쌍의 전도 레일(61 및 62)을 더 포함할 수 있다. 전원 조절부(60)는 패널에 대한 전원 공급(예를 들어, 패널의 백라이트 소스와 같은 광원)을 조절할 수 있다. 적어도 검사 기간 중에, 전원 조절부(60)는 밝은 점 또는 어두운 점과 같은 결점을 보이게 하고 탐지 가능하게 하여 패널의 스캐닝을 용이하게 하기 위해 백라이트 소스를 켜는 데 사용된다. 더욱이, 제 1 방향으로 연장된 전도 레일(61 및 62)은 커넥터(254) 및 운송부(24)를 통해 전원 조절부(60)를 외부 전원에 전기적으로 연결하기 위해 운송부(24)와 접촉할 수 있다.
도 8a는 본 발명의 일 실시예에 따른 제 1 객체가 고정된 캐리어를 도시하는 평면도이다. 도 8a를 참조하면, 제 1 구멍(251) 내에 들어맞는 크기를 가진 다수의 플러그(81)는 캐리어(25-1)의 제 1 면(25t) 상에 제 1 크기를 지닌 제 1 객체(26-1)를 지지하기 위해 제 1 구멍(251)의 제 1 선택 집단에 삽입될 수 있다. 더욱이, 제 1 객체(26-1)의 광원과 전기적으로 연결된 연성 회로 기판(FCBs)은 광학 검사를 용이하게 하기 위한 목적으로 광원을 켜기 위해 선택된 커넥터(254)세트에 연결될 수 있다. 더욱이, 광원은 자기 금속 하우징 안에 위치한 냉음극 형광 램프(CCFL)를 각각 포함할 수 있다. 그러한 경우, 플러그(81)는 제 1 객체(26-1)를 더욱 지지하기 위해 자기 물질로 만들어 질 수 있다.
도 8b는 본 발명의 일 실시예에 따른 제 2 객체가 고정된 캐리어를 도시하는 평면도이다. 도 8b를 참조하면, 다수의 플러그(81)가 캐리어(25-1)의 제 1 면(25t) 상에 제 2 크기를 가진 제 2 객체(26-2)를 지지하기 위해 제 1 구멍(251)의 제 2 선택된 집단에 삽입될 수 있다. 도 8a에 도시된 제 1 객체(26-1)와 비교해서 제 2 크기는 제 1 크기보다 작다. 따라서, 플러그(81)를 사용하고 제 1 구멍(251)의 소정의 패턴 중 적합한 패턴은 선택함으로써, 캐리어(25-1)는 다양한 크기의 패널을 지지하는 데 적합하다.
도 8c는 본 발명의 일 실시예에 따른 제 3 객체가 고정된 캐리어를 도시하는 평면도이다. 도 8c를 참조하면, 다수의 플러그(81)는 캐리어(251)의 제 1 면(25t) 상에 제 3 크기인 제 3 객체(26-2)를 지지하기 위해 제 1 구멍(251)의 제 3 선택된 집단에 삽입될 수 있다. 더욱이, 제 3 객체(26-3)의 광원은 플라스틱 덮개에 의해 덮혀질 수 있는 발광 다이오드(LED) 스트링을 각각 포함할 수 있다. 이런 경우, 제 3 구멍 내의 일단과 연결된 클립(83)은 타단을 포함하는 캐리어(25-1)의 제 1 면(25t) 상에 제 3 객체(26-3)를 지지할 수 있다.
도 9a는 도 8a의 제 1 객체의 저면도이다. 도 9a를 참조하면, 바 코드(92)는 제 1 방향을 따라 객체(26-1)의 하면(26b) 상에 프린트될 수 있다. 바 코드(92)를 통해 다른 객체와 상기 객체(26-1)를 구별할 수 있다. 전에 언급했듯이, 패널의 바 코드를 확인하기 위해, 제 2 센서는 플레트폼(21)의 적당한 위치에 제공될 수 있다.
도 9b는 제 1 객체가 고정된 캐리어를 도시하는 저면도이다. 도 9b를 참조하면, 소정 패턴의 제 2 구멍(252) 중의 하나는 제 1 객체(26-1)의 바 코드(92)를 노출시킬 수 있다. 바 코드(92)는 제 2 센서에 의해 탐지될 수 있고, 이 후 제어부(27)에 보내질 수 있다.
본 발명의 개념에서 멀리 떨어지지 않으며, 상기 언급된 실시예들에 당업자 수준에서 변화를 가할 수 있을 것이다. 그러므로, 본 발명은 개시된 특정 실시예에 제한되지 않으나, 첨부되는 청구범위에 의해 정의되는 것처럼 본 발명의 사상 및 범위 내에서 수정이 의도될 수 있다.
더욱이, 본 발명의 대표 실시예에서 묘사된 것처럼, 명세서 상에서는 일련의 특정 단계로서 본 발명의 방법 및/또는 과정이 표현될 수 있다. 그러나, 방법 또는 과정은 명세서 상에 언급된 단계의 특정 순서에 어느 정도는 한정되나, 방법 또는 과정이 묘사된 일련의 특정 과정에 제한되어서는 안된다. 당업자에 따라서는 다른 일련의 단계가 가능할 수 있다. 그러므로, 명세서 상에서 언급된 특정 단계의 순서는 청구범위 상에서 제한 해석되어서는 안된다. 게다가, 본 발명의 방법 및/또는 과정에 연결된 청구범위는 기재된 순서에 따라 단계의 실행이 제한되어서는 안되며, 당업자는 쉽게 일련의 과정을 변경가능하며 여전히 본 발명의 사상 및 범위 내에서 있는 것으로 평가될 수 있다.
20: 광학용 검사 장치 21: 플레트폼
22: 탐지기 23: 클리너
24: 운송부 25-1, 25-2, 25-3: 캐리어
26-1, 26-2, 26-3: 객체 27: 제어부
220: 지지 구조물 221: 제 1 스캐너 222: 제 2 스캐너 228: 제 1 롤러 세트
229: 제 2 롤러세트 231: 이온 제거기 232: 절단기 242: 입구 포트 243: 출구포트 254: 커넥터
327: 롤러 지지부 328: 단일의 롤러 429: 사선 홈

Claims (42)

  1. 제 1 방향으로 연장되는 플레트폼;
    검사될 적어도 하나의 객체를 지지하는 적어도 하나의 캐리어를 상기 제 1 방향 하에서 입구 포트로부터 출구 포트로 운송하는 운송부;
    상기 플레트폼에 위치하고, 상기 적어도 하나의 캐리어 상에 상기 적어도 하나의 객체를 검사하기 위해 상기 제 1 방향에 수직인 제 2 방향으로 연장되며, 상기 입구 포트와 상기 출구 포트 사이에서 상기 제 2 방향으로 연장된 제 1 스캐너를 포함하는 제 1 탐지기; 및
    상기 적어도 하나의 객체 각각의 표면 상에 힘을 가하기 위해 상기 제 1 스캐너 및 상기 입구 포트 사이에 위치한 제 1 롤러 세트를 포함하는 광학 검사용 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 객체 각각은 액정 표시(LCD) 패널을 포함하고, 상기 적어도 하나의 캐리어 각각은 상기 각각의 캐리어가 다양한 크기의 패널들을 지지 가능하도록 제 1 면 상에 다수의 제 1구멍을 포함하는 광학 검사용 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 캐리어 각각은 상기 패널의 바 코드를 노출하기 위해 상기 제 1 면상에 다수의 제 2 구멍을 포함하는 광학 검사용 장치.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 캐리어 각각은 전원을 상기 패널에 공급하는 것을 조절하기 위해 제 2 면상에 전원 조절부를 포함하는 광학 검사용 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 캐리어 각각은 상기 각각의 캐리어가 상기 운송부를 통해서 운송되면서 상기 운송부를 경유하여 전원에 상기 전원 조절부를 전기적으로 연결하기 위해 상기 제 2 면상에 한 쌍의 전도 레일을 포함하는 광학 검사용 장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 탐지기는 상기 제 1 스캐너와 상기 출구 포트 사이에서 상기 제 2 방향으로 연장되는 제 2 스캐너를 포함하고, 상기 적어도 하나의 객체 각각의 면 상에 힘을 가하기 위해 상기 제 2 스캐너와 상기 출구 포트 사이에 제 2 롤러 세트를 더 포함하는 광학 검사용 장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 제 1 롤러 세트 또는 상기 제 2 롤러 세트는 상기 제 1 방향 및 상기 제 2 방향에 수직인 제 3 방향으로 이동이 가능한 광학 검사용 장치.
  8. 제 6항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 제 1 롤러 세트 또는 상기 제 2 롤러 세트는 롤러 표면 상에 직선 홈 및 사선 홈 중 하나를 포함하는 단일의 롤러를 포함하는 광학 검사용 장치.
  9. 제 6항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 제 1 롤러 세트 또는 제 2 롤러 세트는 상기 제 1 방향 및 상기 제 2 방향에 수직인 제 3 방향으로 이동이 각각 가능한 다수의 롤러를 포함하는 광학 검사용 장치.
  10. 제 6항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 객체 각각 표면 상에 수직인 방향에 대해서 상기 제 1 스캐너의 각도를 조절하는 적어도 하나의 제 1 각도 조절 수단 또는 상기 각각 객체의 상기 수직 방향에 대해서 상기 제 2 스캐너의 각도를 조절하는 적어도 하나의 제 2 각도 조절 수단을 더 포함하는 광학 검사용 장치.
  11. 제 1항에 있어서,
    상기 운송부의 상기 입구 포트와 상기 제 1 탐지기의 상기 제 1 스캐너 사이의 상기 플레트폼 상에 위치하며, 상기 제 2 방향으로 연장되는 클리너를 더 포함하는 광학 검사용 장치.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 입구 포트와 상기 제 1 탐지기 사이의 상기 플레트폼 상에 위치하며, 상기 제 2 방항으로 연장되는 제 2 탐지기를 더 포함하는 광학 검사용 장치.
  13. 제 1 방향으로 연장되는 제 1 플레트폼;
    상기 제 1 방향 하에서 제 1 입구 포트로부터 제 1 출구 포트로 캐리어를 운송하는 제 1 운송부; 및
    상기 제 1 플레트폼 상에 위치하며, 길이 방향으로 상기 캐리어 상의 객체를 검사하기 위해 상기 제 1 방향에 수직인 제 2 방향으로 연장되는 제 1 탐지기를 포함하는 제 1 장치 유닛; 및
    상기 제 2 방향으로 연장되는 제 2 플레트폼;
    상기 제 2 방향 하에서 제 2 입구 포트로부터 제 2 출구 포트로 상기 캐리어를 운송하는 제 2 운송부; 및
    상기 제 2 플레트폼 상에 위치하며, 폭 방향으로 상기 캐리어 상의 상기 객체를 검사하기 위해 상기 제 1 방향으로 연장되는 제 2 탐지기를 포함하는 제 2 장치 유닛을 포함하는 광학 검사용 장치.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 객체는 액정 표시(LCD) 패널을 포함하고, 상기 캐리어는 상기 캐리어가 다양한 크기의 패널들을 지지 가능하도록 제 1 면 상에 다수의 제 1구멍을 포함하는 광학 검사용 장치.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 캐리어는 상기 패널의 바 코드를 노출하기 위해 상기 제 1 면상에 다수의 제 2 구멍을 포함하는 광학 검사용 장치.
  16. 제 14항에 있어서,
    상기 캐리어는 전원을 상기 패널에 공급하는 것을 조절하기 위해 제 2 면상에 전원 조절부를 포함하는 광학 검사용 장치.
  17. 제 16항에 있어서,
    상기 캐리어는 상기 캐리어가 상기 운송부를 통해서 운송되면서 상기 운송부를 경유하여 전원에 상기 전원 조절부를 전기적으로 연결하기 위해 상기 제 2 면상에 한 쌍의 전도 레일을 포함하는 광학 검사용 장치.
  18. 제 13항에 있어서,
    상기 제 1 탐지기는 상기 제 1 입구 포트와 상기 출구 포트 사이에서 상기 제 1 탐지기와 평행하게 연장된 제 1 스캐너를 포함하고, 상기 객체의 면 상에 힘을 가하기 위해 상기 입구 포트와 상기 제 1 스캐너 사이에 제 1 롤러 세트를 더 포함하는 광학 검사용 장치.
  19. 제 18항에 있어서,
    상기 제 1 탐지기는 상기 제 1 스캐너와 상기 제 1 출구 포트 사이에서 상기 제 1 탐지기와 평행하게 연장된 제 2 스캐너를 포함하고, 상기 객체의 면 상에 힘을 가하기 위해 상기 제 2 스캐너와 상기 출구 포트 사이에 제 2 롤러 세트를 더 포함하는 광학 검사용 장치.
  20. 제 19항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 제 1 롤러 세트 또는 상기 제 2 롤러 세트는 상기 제 1 방향 및 상기 제 2 방향에 수직인 제 3 방향으로 이동이 가능한 광학 검사용 장치.
  21. 제 19항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 제 1 롤러 세트 또는 상기 제 2 롤러 세트는 롤러 표면 상에 직선 홈 및 사선 홈 중 하나를 포함하는 단일의 롤러를 포함하는 광학 검사용 장치.
  22. 제 19항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 제 1 롤러 세트 또는 제 2 롤러 세트는 상기 제 1 방향 및 상기 제 2 방향에 수직인 제 3 방향으로 이동이 각각 가능한 다수의 롤러를 포함하는 광학 검사용 장치.
  23. 제 19항에 있어서,
    상기 객체 표면 상에 수직인 방향에 대해서 상기 제 1 스캐너의 각도를 조절하는 적어도 하나의 제 1 각도 조절 수단 또는 상기 객체의 상기 수직 방향에 대해서 상기 제 2 스캐너의 각도를 조절하는 적어도 하나의 제 2 각도 조절 수단을 더 포함하는 광학 검사용 장치.
  24. 제 13항에 있어서,
    상기 제 1 운송부의 상기 입구 포트와 상기 제 1 탐지기 사이의 상기 플레트폼 상에 위치하며, 상기 제 2 방향으로 연장되는 클리너를 더 포함하는 광학 검사용 장치.
  25. 제 13 항에 있어서,
    상기 입구 포트와 상기 제 1 탐지기 사이의 상기 플레트폼 상에 위치하며, 상기 제 2 방항으로 연장되는 제 3 탐지기를 더 포함하는 광학 검사용 장치.
  26. 제 13항에 있어서,
    상기 제 2 탐지기는 상기 제 2 입구 포트와 상기 제 2 출구 포트 사이에서 상기 제 2 탐지기와 평행하게 연장된 제 1 스캐너를 포함하고, 상기 객체의 면 상에 힘을 가하기 위해 상기 제 2 입구 포트와 상기 제 1 스캐너 사이에서 제 1 롤러를 더 포함하는 광학 검사용 장치.
  27. 제 26항에 있어서,
    상기 제 2 탐지기는 상기 제 1 스캐너와 상기 제 2 출구 포트 사이에서 상기 제 2 탐지기와 평행하게 연장된 제 2 스캐너를 포함하고, 상기 객체의 면 상에 힘을 가하기 위해 상기 제 2 스캐너와 상기 제 2 출구 포트 사이의 제 2 롤러 세트를 더 포함하는 광학 검사용 장치.
  28. 제 27항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 제 1 롤러 세트 또는 상기 제 2 롤러 세트는 상기 제 1 방향 및 상기 제 2 방향에 수직인 제 3 방향으로 이동이 가능한 광학 검사용 장치.
  29. 제 27항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 제 1 롤러 세트 또는 상기 제 2 롤러 세트는 롤러 표면상에 직선 홈 및 사선 홈 중 하나를 포함하는 단일의 롤러를 포함하는 광학 검사용 장치.
  30. 제 27항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 제 1 롤러 세트 또는 상기 제 2 롤러 세트는 상기 제 1 방향 및 상기 제 2 방향에 수직인 제 3 방향으로 각각 이동이 가능한 다수의 롤러를 포함하는 광학 검사용 장치.
  31. 제 27항에 있어서,
    상기 객체 면의 상기 수직 방향에 대하여 상기 제 1 스캐너의 각도를 조절하는 적어도 하나의 제 1 각도 조절 수단 또는 상기 객체의 상기 수직 방향에 대하여 상기 제 2 스캐너의 각도를 조절하는 제 2 각도 조절 수단을 더 포함하는 광학 검사용 장치.
  32. 제 1 방향으로 연장된 플레트폼;
    객체의 검사를 위해 상기 제 1 방향에 수직인 제 2 방향으로 연정되며, 상기 플레트폼 상에 위치한 제 1 탐지기; 및
    상기 제 1 방향 하에서 자신의 입구 포트로부터 출구 포트까지 캐리어를 운송하는 운송부를 포함하되,
    상기 캐리어는 상기 객체를 지지하기 위해 제 1 면 및 상기 객체에 대한 전원 공급을 조절하는 전원 조절부가 위치한 제 2면을 포함하고,
    검사 중에 상기 캐리어가 상기 운송부에 의해 운송될 때, 상기 캐리어는 상기 운송부를 통해 전원에 상기 전원 조절부를 전기적으로 연결하기 위해 상기 제 2 면 상에 한 쌍의 전도 레일을 포함하는 광학 검사용 장치.
  33. 제 32항에 있어서,
    상기 객체는 액정 표시(LCD) 패널을 포함하고, 상기 캐리어는 상기 캐리어가 다양한 크기의 패널들을 지지 가능하도록 제 1 면 상에 다수의 제 1 구멍을 포함하는 광학 검사용 장치.
  34. 제 33항에 있어서,
    상기 캐리어는 상기 패널의 바 코드를 노출하기 위해 상기 제 1 면상에 다수의 제 2 구멍을 포함하는 광학 검사용 장치.
  35. 제 32항에 있어서,
    상기 제 1 탐지기는 상기 입구 포트와 상기 출구 포트 사이에서 상기 제 2 방향으로 연장된 제 1 스캐너를 포함하고, 상기 객체 면 상에 힘을 가하기 위해 상기 입구 포트와 상기 제 1 스캐너 사이에 제 1 롤러 세트를 더 포함하는 광학 검사용 장치.
  36. 제 35항에 있어서,
    상기 제 1 탐지기는 상기 제 1 스캐너와 상기 출구 포트 사이에서 상기 제 2 방향으로 연장된 제 2 스캐너를 포함하고, 상기 객체 면 상에 힘을 가하기 위해 상기 제 2 스캐너와 상기 출구 포트 사이에 제 2 롤러 세트를 더 포함하는 광학 검사용 장치.
  37. 제 36항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 제 1 롤러 세트 또는 상기 제 2 롤러 세트는 상기 제 1 방향 및 상기 제 2 방향에 수직인 제 3 방향으로 이동이 가능한 광학 검사용 장치.
  38. 제 36항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 제 1 롤러 세트 또는 상기 제 2 롤러 세트는 롤러 표면 상에 직선 홈 및 사선 홈 중 하나를 포함하는 단일의 롤러를 포함하는 광학 검사용 장치.
  39. 제 36항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 제 1 롤러 세트 또는 상기 제 2 롤러 세트는 상기 제 1 방향 및 상기 제 2 방향에 수직인 제 3 방향으로 각각 이동이 가능한 다수의 롤러를 포함하는 광학 검사용 장치.
  40. 제 36항에 있어서,
    상기 객체 면의 상기 수직 방향에 대하여 상기 제 1 스캐너의 각도를 조절하는 적어도 하나의 제 1 각도 조절 수단 또는 상기 객체의 상기 수직 방향에 대하여 상기 제 2 스캐너의 각도를 조절하는 제 2 각도 조절 수단을 더 포함하는 광학 검사용 장치.
  41. 제 32항에 있어서,
    상기 운송부의 상기 입구 포트와 상기 제 1 탐지기의 상기 제 1 스캐너 사이에 상기 플레트폼 상에 위치하며, 상기 제 2 방향으로 연장된 클리너를 더 포함하는 광학 검사용 장치.
  42. 제 32항에 있어서,
    상기 입구 포트와 상기 제 1 탐지기 사이에 상기 플레트폼 상에 위치하며, 상기 제 2 방향으로 연장된 제 2 탐지기를 더 포함하는 광학 검사용 장치.
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