CN102879405A - 紧凑型的检测台以及应用该检测台的检测方法 - Google Patents
紧凑型的检测台以及应用该检测台的检测方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102879405A CN102879405A CN2012103765646A CN201210376564A CN102879405A CN 102879405 A CN102879405 A CN 102879405A CN 2012103765646 A CN2012103765646 A CN 2012103765646A CN 201210376564 A CN201210376564 A CN 201210376564A CN 102879405 A CN102879405 A CN 102879405A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- optical detector
- measured
- length
- support
- carrying platform
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 36
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 205
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 20
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 13
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 11
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 20
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 19
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012372 quality testing Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
本发明公开了一种紧凑型的检测台以及应用该检测台的检测方法。该检测台，用于检测待测物件，包括运载平台、至少一支架，所述每一支架上设有第一光学检测仪和/或第二光学检测仪，所述运载平台用以放置在第一方向运动的待测物件，所述支架设在运载平台上，至少一支架上的一侧或两侧分别设置有所述第一光学检测仪，至少一支架上的一侧或两侧设置有所述第二光学检测仪，所述第一光学检测仪以及第二光学检测仪在检测待测物件时沿第二方向运动，所述第一方向与第二方向形成预定角度，所述第一光学检测仪和/或第二光学检测仪对待测物体分段检测。本发明可减小运载平台的尺寸，从而降低设备的成本。
Description
技术领域
本发明涉及自动化光学检测设备领域，尤其涉及一种检测台以及应用该检测台的检测方法。
背景技术
通常，平板玻璃、触摸屏、导光板或液晶面板等器件在制造中需要经过表面结构质量检测，通过光学检测判定元器件表面结构是否存有缺陷。在光学检测过程中，一般先通过第一光学检测仪对元件表面快速地进行初检，以判断是否存在缺陷，初检后再通过第二光学检测仪对初检后的元件表面慢速地进行复检，以检查出具体的缺陷，如线路的短路、断路、错位等缺陷。
现有的检测台如图5所示，检测台包括运载平台11、支架12，设置在支架12一侧的第一光学检测仪13，设置在支架12另一侧的第二光学检测仪14。检测一待测物件如平板显示器15时，平板显示器15先放置在设有第一光学检测仪13一侧的运载平台11上，然后平板显示器15在推动或带动作用下，在运载平台11上朝具有第二光学检测仪14的另一侧运动，即第一方向运动，同时第一光学检测仪13在垂直第一方向的第二方向运动，如此第一光学检测仪13实现对平板显示器15表面的初检，初检后的平板显示器15表面进入到有第二光学检测仪14的另一侧，第二光学检测仪14在第二方向运动，实现对平板显示器15表面的复检。
然在随着待测物件如平板显示器尺寸的增大，如物件的长度为L，第一光学检测仪和第二光学检测仪在第一方向上的距离为D，应用这样的布局方式，运载平台的长度至少应为2L+D的尺寸长度，如此，运载平台的尺寸会很大，从而会加大自动化光学检测设备的成本。
发明内容
鉴于以上所述，本发明有必要提供一种可减小运载平台尺寸、降低成本的检测台。
另外，有必要提供一种应用该检测台的检测方法。
一种检测台，用于检测待测物件，包括运载平台、至少一支架，所述每一支架上设有第一光学检测仪和/或第二光学检测仪，所述运载平台用以放置在第一方向运动的待测物件，所述支架设在运载平台上，至少一支架上的一侧或两侧设置有所述第一光学检测仪，至少一支架上的一侧或两侧设置有所述第二光学检测仪，所述第一光学检测仪以及第二光学检测仪在检测待测物件时沿第二方向运动，所述第一方向与第二方向形成预定角度，所述第一光学检测仪和/或第二光学检测仪对待测物体分段检测。
其中，所述第一光学检测仪为低倍显微镜，用以快速扫描待测物件以检测待测物件的缺陷位置，所述第二光学检测为高倍显微镜，以对所述缺陷位置高倍显示。
其中，所述第一光学检测仪或第二光学检测仪的数量至少为二，所述第一光学检测仪或第二光学检测仪将待测物体分成若干段，所述待测物体为第一光学检测仪或第二光学检测仪分段同时测量。
其中，第一光学检测仪或第二光学检测仪排列成两排，所述第一光学检测仪或第二光学检测仪将检测台分成第一段及第二段。
其中，所述第一段、第二段、所述两排第一光学检测仪之间或者所述两排第二光学检测仪之间在第一方向上的距离均为待测物件长度的一半。
其中，所述待测物件的长度为L，第一段的长度L1在L/2到L之间，第二段的的长度L2在L/2到L之间，所述两排第一光学检测仪之间或者所述两排第二光学检测仪之间在第一方向上的距离D小于L。
其中，所述待测物件的长度为L，所述第一段的长度为L，所述第二段的长度为L/2，所述两排第一光学检测仪之间或者所述两排第二光学检测仪之间在第一方向上的距离为L/2。
一种检测台，用于检测待测物件，包括运载平台、支架、第一光学检测仪、以及第二光学检测仪，所述运载平台用以放置在第一方向运动的待测物件，所述第一光学检测仪和/或第二光学检测仪分别列成两排并设于所述支架上，所述两排第一光学检测仪和/或第二光学检测仪将运载平台分成第一段、第二段及第三段，所述第一光学检测仪以及第二光学检测仪在检测待测物件时沿第二方向运动，所述第一方向与第二方向形成预定角度，并且所述第一段的长度为L1，第二段的长度为D，第三段的长度为L2，所述待测物的长度为L，使得所述L<＝L1+L2<2L，0<D<L。
一种使用上述检测台的检测方法，包括以下步骤：
将待测物件置入运载平台的一端；
使待测物件在第一方向运动，同时启动第一光学检测仪，第一光学检测仪在垂直第一方向的第二方向运动，与待测物件在第一方向运动从而实现对待测物件表面的初检；
待待测物件表面初检完成，移出在运载平台上方的第一光学检测仪并且开启第二光学检测仪，使待测物件在第一方向运动，第二光学检测仪在垂直第一方向的第二方向运动，与待测物件在第一方向运动而实现对待测物件表面的复检。
其中，所述第一光学检测仪和/或第二光学检测仪分别列成两排或多排设于所述支架上并将待测物体分成若干段，所述待测物体为第一光学检测仪和/或第二光学检测仪分段同时或交替检测。
相较于现有技术，本发明检测台通过在支架两侧设置第一光学检测仪，以及在支架的两侧或一侧设置第二光学检测仪，可使得检测时，待测物件放置在初始位置位于运载平台的一段时，其一段可伸过支架与另一段的第一光学检测仪或第二光学检测仪平齐，从而可避免仅有一侧设有第一光学检测仪或第二光学检测仪而与该第一光学检测仪或第二光学检测仪对齐而需要的更大位置长度，然后通过支架的两侧的第一光学检测仪或第二光学检测仪来初查或者复查，如此可减小运载平台的尺寸，从而降低设备的成本；且在初检过程中，通过两侧的第一光学检测仪对待测物件两段分别同时扫描，可节省扫描时间，提高检测效率。
附图说明
图1为本发明第一较佳实施例检测台示意图；
图2为本发明检测线路示意图；
图3为本发明第二较佳实施例检测台示意图；
图4为本发明第三较佳实施例检测台示意图；
图5为现有的检测台示意图。
具体实施方式
为详细说明本发明的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图详予说明。
请参阅图1，本发明第一较佳实施例所示检测台20，包括运载平台21、支架22、第一光学检测仪23、以及第二光学检测仪24。所述运载平台21用以承载待测物件25。运载平台21上可设置传送装置（图未示），以带动待测物件25在第一方向上运动，如沿着图1的水平方向。运载平台21上亦可不设传送带，通过外物推拉待测物件25在运载平台21在一方向上滑动。
所述支架22在本发明较佳实施例中为U型门，支架22设在运载平台21上，将运载平台21分成第一段211及第二段212，支架22形成通道（图未示）可供待测物件25穿过从第一段211运行至第二段212。所述第一光学检测仪23和第二光学检测仪24在第一方向上的距离为D，第一段211的长度为L1，第二段212的长度为L2。所述支架22也可以为龙门结构。
所述第一光学检测仪23以及所述第二光学检测仪24分别设置在支架22的两侧或一侧，且所述第一光学检测仪23以及第二光学检测仪24在检测待测物件时沿第二方向运动，如图1中的铅垂方向。在检测的过程中，所述待测物件25沿着第一方向运动，所述第一光学检测仪23沿着第二方向移动，从而使第一光学检测仪23扫描待测物件25的整个待侧面，从而实现了对待测物件25的初步检测。在检测的过程中，所述待测物件25沿着第一方向运动，所述第二光学检测仪24沿着第二方向移动，从而使第二光学检测仪24扫描待测物件25的经初步检测疑似缺陷位置，从而实现了对待测物件25的复检。在本发明的较佳实施例中，所述第一光学检测仪23为低倍显微镜，用以快速扫描待测物件以检测待测物件大致的缺陷位置。所述第二光学检测仪24为高倍显微镜，用以对所述缺陷位置高倍显示，以便对缺陷进一步确认。
本第一较佳实施例中，该支架22的一段的两侧分别设置有所述第一光学检测仪23，该支架22另一段的两侧分别设置有所述第二光学检测仪24。较佳地，所待测物件25的长度为L，第一段211的长度L1为L/2，第二段212的长度L2为L/2，所述第一光学检测仪23和第二光学检测仪24在第一方向上的距离D为L/2。如此，运载平台的总体长度为3L/2，小于长度2L+D。
应用所述的检测台20的检测所述待测物件25时，将待测物件25置入运载平台21的第一段211，待测物件25的末段与第一段211外侧平齐，前段穿入支架22的通道，且与设置在第二段212的第一光学检测仪23对齐。
然后使待测物件25朝第二段212运动，同时开启支架22的两侧的第一光学检测仪23，待测物件25在第一方向运动，第一光学检测仪23在垂直第一方向的第二方向运动，与待测物件25在第一方向运动，当待测物件25前段运动到第二段212的外侧平齐时，待测物件25的末段恰进入到支架22的通道内，如此，支架22的两侧的第一光学检测仪23分别将待测物件25的一半区域扫描完成，如此实现对待测物件25整个表面的初检。在初检过程中，待测物件25的前段在被第二段212的第一光学检测仪23扫描的同时，第一段211的第一光学检测仪23对待测物件25的后段进行扫描，节省了初检的扫描时间。
然后使待测物件25朝第一段211运动，同时退出第一光学检测仪23开启支架22的两侧的第二光学检测仪24，待测物件25在第一方向运动，第二光学检测仪24在垂直第一方向的第二方向运动，与待测物件25在第一方向运动，当待测物件25末端运动到第一段211的外侧平齐时，待测物件25的前段恰进入到支架22的通道内，如此，支架22的两侧的光第二光学检测仪24分别将待测物件25的一半区域扫描完成，如此实现对待测物件25整个表面的复检。
本发明可以采用待测物件25最小移动法，最小第二光学检测仪24移动法，或者待测物件25与二光学检测仪24位移总和最小法进行检测，从而优化检测路径。
结合参阅图2，本发明较佳实施例的复检示意图，箭头方向代表复检的顺序。初检后获知整个待测物件25表面缺陷点的具体位置，通过支架22的两侧的第二光学检测仪24分别扫描聚焦抓取缺陷点，为了便于说明，将支架22的两侧的第二光学检测仪24分别定义为左侧显微镜、右侧显微镜，以两侧的第二光学检测仪24各取五个复检点的影响为例。
在通过初步检测获取疑似缺陷位置信息后，每一缺陷坐标位置为（Xi、Yi），其中，i为待测点的次序，本发明较佳实施例的一种复检流程如下：
通过计算机分析获得支架22的两侧的第二光学检测仪24即左侧显微镜与右侧显微镜需要分别扫描的缺陷点及两侧的第二光学检测仪24对应的最佳的优化路径，其计算方式可以为第一方向位移最小法、第二方向位移最小法、或者第一方向与第二方向位移之和最小法。例如图2中，右侧第二光学检测仪24需要抓取第1、2、3、4、5共五个缺陷点的图像，左侧第二光学检测仪24需要抓取6、7、8、9、10五个缺陷点的图像；
右侧第二光学检测仪24从起始位置移到第1缺陷点所在纵坐标Y1位置，左侧第二光学检测仪24移动第6缺陷点的Y6位置；
沿着水平方向移动待测物体25，使其第1缺陷点移动至右侧第二光学仪器24；
右侧第二光学检测仪24聚焦，微调并抓取第1缺陷点的影像；
移动待测物体25至第6缺陷点移动至左侧第二光学检测仪24，微调左侧第二光学检测仪24并抓取第6缺陷点的影像，同时右侧第二光学检测仪24移动至第2缺陷点所在的纵坐标位置Y2；
类似地，两边分别复检一个缺陷点，在检测左侧的缺陷点过程中，右侧的第二光学检测24移动至下一个缺陷点所对应的纵坐标的位置，在检测右侧的缺陷点过程中，左侧的第二光学检测24移动至下一个缺陷点所对应的纵坐标的位置，如此可以大大减少检测的时间。
进一步地，若采用自动跟踪聚焦显微镜，则所述的微调步骤可以省略。
请参阅图3，本发明第二较佳实施例所示的检测台30，其结构与第一较佳实施例大致相同，其区别在于：所述待测物件25的长度为L，第一段211的长度L1在L/2到L之间，第二段212的长度L2在L/2到L之间，当L1≤L2时，所述支架两侧的光学检测仪在第一方向上的距离D在L-L1与L之间，当L1>L2时，所述支架两侧的光学检测仪在第一方向上的距离D在L-L2与L之间。如此，运载平台21的总体长度为L1+L2+D，小于长度2L+D。
应用该第二较佳实施例中所述的检测台30的检测所述待测物件25的过程与所述第一较佳实施例的过程相同，在此不再详述。可以看出，D+L1≥L；D+L2≥L,L1+L2≥2L-2D；机台总长度L1+L2+D≥2L-D；当L1＝L2＝L-D＝L/2时,平台长度最短。
从第一、第二较佳实施例可看出，通过在支架22两侧设置第一光学检测仪23，以及在支架22的两侧设置第二光学检测仪24，可使得检测时，待测物件25放置在运载平台21初始位置位的一段时，待测物件25的一段可伸过支架与另一段的第一光学检测仪23或光学第二光学检测仪24平齐，从而可相对仅在支架一侧设有第一光学检测仪、另一侧设置第二光学检测仪的运载平台21节省了的长度，然后通过支架的两侧的第一光学检测仪23或第二光学检测仪24来初查或者复查，如此减小运载平台21的尺寸，从而降低设备的成本；且无需对经过支架下通道长度D的时间空闲，可节省时间，提高了检测效率。
请参阅图4，本发明第三较佳实施例所示的检测台40，其结构与第一较佳实施例大致相同，其区别在于：该支架22仅一侧分别设置有所述第二光学检测仪24，且位于运载平台21的第一段211。所待测物件25的长度为L，如此，为了确保复检能被第二光学检测仪24完全扫描到，则第一段211的长度需为L，所述第一光学检测仪23和第二光学检测仪24在第一方向上的距离D与第二段212的长度L2之和为L，从而整个运载平台21的总体长度为2L，小于长度2L+D。较佳地，本第三实施例中，所述第一光学检测仪23和第二光学检测仪24在第一方向上的距离D与第二段212的长度均为L/2。
应用该第二较佳实施例中所述的检测台30的检测所述待测物件25的过程与所述第一较佳实施例的过程相同，在此不再详述。有必要说明的是：在初检中，所述待测物件25的前段可与第一段211的第一光学检测仪23平齐，亦可伸过支架与第二段212的第一光学检测仪23平齐。然本发明通过在支架22两侧均设置第一光学检测仪23，如此可减小初检扫描时间，如此，需将所述待测物件25的前段伸过支架与第二段212的第一光学检测仪23平齐，从而，在待测物件25的前段在被第二段212的第一光学检测仪23扫描的同时，第一段211的第一光学检测仪23对待测物件25的后段进行扫描，节省了初检的扫描时间。在复检中，待测物件25的前段与末段均需通过设置在支架22第一段211的所述第二光学检测仪24扫描。
综上，本发明检测台通过在支架两侧设置第一光学检测仪，以及在支架的两侧或一侧设置第二光学检测仪，可使得检测时，待测物件放置在位于运载平台初始位置的一段时，待测物件的一段可伸过支架与支架另一侧的第一光学检测仪或光学第二光学检测仪平齐，从而可避免仅有一侧设有第一光学检测仪或第二光学检测仪而与该第一光学检测仪或第二光学检测仪对齐而需要的更大位置长度，然后通过支架的两侧的第一光学检测仪或第二光学检测仪来初查或者复查，如此可减小运载平台的尺寸，从而降低设备的成本；且在检测过程中，通过两侧的第一光学检测仪对待测物件两段同时分别扫描，可节省扫描时间，提高检测效率。所述支架亦可为多个支架排列形成构成一整体的支架，第一光学检测仪与第二光学检测仪设置在该整体支架的两侧。
此外，本发明的检测台还可以设置两个、三个及其他数量的支架，每一支架上安装第一光学检测仪及第二光学检测仪，通过提高支架的数量，可以采用类似上述方法对待测物分段分别同时检测，进一步提高了检测速度。
上述实施例为本发明较佳的实施方式，但本发明的实施方式并不受上述实施例的限制，其他的任何未背离本发明的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种紧凑型的检测台，用于检测待测物件，包括运载平台、至少一支架，所述每一支架上设有第一光学检测仪和/或第二光学检测仪，所述运载平台用以放置在第一方向运动的待测物件，所述支架设在运载平台上，其特征在于：至少一支架上的一侧或两侧设置有所述第一光学检测仪，至少一支架上的一侧或两侧设置有所述第二光学检测仪，所述第一光学检测仪以及第二光学检测仪在检测待测物件时沿第二方向运动，所述第一方向与第二方向形成预定角度，所述第一光学检测仪和/或第二光学检测仪对待测物体分段检测。
2.根据权利要求1所述的检测台，其特征在于：所述第一光学检测仪为低倍显微镜，用以快速扫描待测物件以检测待测物件的缺陷位置，所述第二光学检测为高倍显微镜，以对所述缺陷位置高倍显示。
3.根据权利要求1所述的检测台，其特征在于：所述第一光学检测仪或第二光学检测仪的数量至少为二，所述第一光学检测仪或第二光学检测仪将待测物体分成若干段，所述待测物体为第一光学检测仪或第二光学检测仪分段同时测量。
4.根据权利要求1所述的检测台，其特征在于：第一光学检测仪或第二光学检测仪排列成两排，所述第一光学检测仪或第二光学检测仪将检测台分成第一段及第二段。
5.根据权利要求3所述的检测台，其特征在于：所述第一段、第二段、所述两排第一光学检测仪之间或者所述两排第二光学检测仪之间在第一方向上的距离均为待测物件长度的一半。
6.根据权利要求3所述的检测台，其特征在于：所述待测物件的长度为L，第一段的长度L1在L/2到L之间，第二段的的长度L2在L/2到L之间，所述两排第一光学检测仪之间或者所述两排第二光学检测仪之间在第一方向上的距离D小于L。
7.根据权利要求3所述的检测台，其特征在于：所述待测物件的长度为L，所述第一段的长度为L，所述第二段的长度为L/2，所述两排第一光学检测仪之间或者所述两排第二光学检测仪之间在第一方向上的距离为L/2。
8.一种紧凑型的检测台，用于检测待测物件，包括运载平台、支架、第一光学检测仪、以及第二光学检测仪，所述运载平台用以放置在第一方向运动的待测物件，其特征在于：所述第一光学检测仪和/或第二光学检测仪分别列成两排并设于所述支架上，所述两排第一光学检测仪和/或第二光学检测仪将运载平台分成第一段、第二段及第三段，所述第一光学检测仪以及第二光学检测仪在检测待测物件时沿第二方向运动，所述第一方向与第二方向形成预定角度，并且所述第一段的长度为L1，第二段的长度为D，第三段的长度为L2，所述待测物的长度为L，使得所述L<＝L1+L2<2L，0<D<L。
9.一种权利要求1-8任意一项所述检测台的检测方法，包括以下步骤：
将待测物件置入运载平台的一端；
使待测物件在第一方向运动，同时启动第一光学检测仪，第一光学检测仪在垂直第一方向的第二方向运动，与待测物件在第一方向运动从而实现对待测物件表面的初检；
待待测物件表面初检完成，移出在运载平台上方的第一光学检测仪并且开启第二光学检测仪，使待测物件在第一方向运动，第二光学检测仪在垂直第一方向的第二方向运动，与待测物件在第一方向运动而实现对待测物件表面的复检。
10.根据权利要求9所述的检测台的检测方法，其特征在于：所述第一光学检测仪和/或第二光学检测仪分别列成两排或多排设于所述支架上并将待测物体分成若干段，所述待测物体为第一光学检测仪和/或第二光学检测仪分段同时或交替检测。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201210376564.6A CN102879405B (zh) | 2012-09-29 | 2012-09-29 | 紧凑型的检测台以及应用该检测台的检测方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201210376564.6A CN102879405B (zh) | 2012-09-29 | 2012-09-29 | 紧凑型的检测台以及应用该检测台的检测方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102879405A true CN102879405A (zh) | 2013-01-16 |
| CN102879405B CN102879405B (zh) | 2014-09-24 |
Family
ID=47480811
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201210376564.6A Active CN102879405B (zh) | 2012-09-29 | 2012-09-29 | 紧凑型的检测台以及应用该检测台的检测方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN102879405B (zh) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104076039A (zh) * | 2014-03-28 | 2014-10-01 | 合波光电通信科技有限公司 | 滤光片外观缺陷自动检测方法 |
| CN111562262A (zh) * | 2020-05-27 | 2020-08-21 | 江苏金恒信息科技股份有限公司 | 一种合金分析系统及其复检方法 |
| CN112098670A (zh) * | 2019-06-17 | 2020-12-18 | 深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公司 | 样本回收方法、样本分析系统及计算机存储介质 |
| CN113469472A (zh) * | 2021-09-06 | 2021-10-01 | 中导光电设备股份有限公司 | 一种多显微镜定点拍照路径优化方法 |
| CN113673782A (zh) * | 2021-09-06 | 2021-11-19 | 中导光电设备股份有限公司 | 多显微镜扫描拍照路径优化方法和装置 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20040104139A1 (en) * | 2002-11-29 | 2004-06-03 | Takenori Yoshizawa | Substrate transfer apparatus, method for removing the substrate, and method for accommodating the substrate |
| CN1582393A (zh) * | 2001-11-05 | 2005-02-16 | 奥林巴斯株式会社 | 基板检查装置 |
| CN102331429A (zh) * | 2010-07-13 | 2012-01-25 | 奥林巴斯株式会社 | 基板检查装置以及基板检查方法 |
| EP2482059A2 (en) * | 2011-02-01 | 2012-08-01 | Kuo Cooper S. K. | Apparatus for optical inspection |
| CN202854051U (zh) * | 2012-09-29 | 2013-04-03 | 肇庆中导光电设备有限公司 | 检测台 |
-
2012
- 2012-09-29 CN CN201210376564.6A patent/CN102879405B/zh active Active
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1582393A (zh) * | 2001-11-05 | 2005-02-16 | 奥林巴斯株式会社 | 基板检查装置 |
| US20040104139A1 (en) * | 2002-11-29 | 2004-06-03 | Takenori Yoshizawa | Substrate transfer apparatus, method for removing the substrate, and method for accommodating the substrate |
| CN102331429A (zh) * | 2010-07-13 | 2012-01-25 | 奥林巴斯株式会社 | 基板检查装置以及基板检查方法 |
| EP2482059A2 (en) * | 2011-02-01 | 2012-08-01 | Kuo Cooper S. K. | Apparatus for optical inspection |
| KR20120089176A (ko) * | 2011-02-01 | 2012-08-09 | 쿠퍼 에스 케이 쿠오 | 광학 검사용 장치 |
| CN202854051U (zh) * | 2012-09-29 | 2013-04-03 | 肇庆中导光电设备有限公司 | 检测台 |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104076039A (zh) * | 2014-03-28 | 2014-10-01 | 合波光电通信科技有限公司 | 滤光片外观缺陷自动检测方法 |
| CN104076039B (zh) * | 2014-03-28 | 2017-05-31 | 合波光电通信科技有限公司 | 滤光片外观缺陷自动检测方法 |
| CN112098670A (zh) * | 2019-06-17 | 2020-12-18 | 深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公司 | 样本回收方法、样本分析系统及计算机存储介质 |
| CN111562262A (zh) * | 2020-05-27 | 2020-08-21 | 江苏金恒信息科技股份有限公司 | 一种合金分析系统及其复检方法 |
| CN113469472A (zh) * | 2021-09-06 | 2021-10-01 | 中导光电设备股份有限公司 | 一种多显微镜定点拍照路径优化方法 |
| CN113673782A (zh) * | 2021-09-06 | 2021-11-19 | 中导光电设备股份有限公司 | 多显微镜扫描拍照路径优化方法和装置 |
| CN113469472B (zh) * | 2021-09-06 | 2022-02-22 | 中导光电设备股份有限公司 | 一种多显微镜定点拍照路径优化方法 |
| CN113673782B (zh) * | 2021-09-06 | 2024-02-23 | 中导光电设备股份有限公司 | 多显微镜扫描拍照路径优化方法和装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN102879405B (zh) | 2014-09-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102879405B (zh) | 紧凑型的检测台以及应用该检测台的检测方法 | |
| CN1700026A (zh) | 检测导线故障的装置和方法 | |
| CN104021540A (zh) | 一种用于机器视觉表面检测设备的静态标定装置和方法 | |
| CN110579183B (zh) | 一种下光源视觉检测设备 | |
| CN102331429A (zh) | 基板检查装置以及基板检查方法 | |
| CN108759696A (zh) | 内孔成像测量仪 | |
| CN102645435A (zh) | 基板的检测方法和装置 | |
| CN103486995A (zh) | 一种板材板形检测的装置及方法 | |
| KR101167096B1 (ko) | 팩 외관 검사 장치 및 방법 | |
| CN101464417A (zh) | 玻璃检测方法及其设备 | |
| CN115575406A (zh) | 表面缺陷检测装置及其检测方法 | |
| CN204314059U (zh) | 一种倒装led芯片在线检测装置 | |
| CN202854051U (zh) | 检测台 | |
| CN105823780B (zh) | 面板检测装置与方法 | |
| CN110379727A (zh) | 一种检测机构及检测装置 | |
| CN102331426B (zh) | 一种检测吸嘴故障的方法及其装置 | |
| CN207424148U (zh) | 一种电力载波模块多功能检测装置 | |
| JP5653724B2 (ja) | 位置合わせ装置、位置合わせ方法および位置合わせプログラム | |
| CN103217816B (zh) | 阵列基板的检测方法、检测台和检测设备 | |
| CN103217437A (zh) | 光学元件缺陷扫描装置 | |
| CN218723934U (zh) | 一种用于大幅面Mini LED面板的自动化检测装备 | |
| CN2881697Y (zh) | 背光模块检测机 | |
| CN109633939A (zh) | 一种lcd检测设备 | |
| CN207300545U (zh) | 一种高效屏幕检测机 | |
| CN111812099A (zh) | 检测设备及检测方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C56 | Change in the name or address of the patentee |
Owner name: ZHONGDAO PHOTOELECTRIC EQUIPMENT CO., LTD. Free format text: FORMER NAME: ZHAOQING ZHONGDAO OPTOELECTRONIC EQUIPMENT CO., LTD. |
|
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 526238 first floor, two storey and first floor of B building, C industrial complex, Zhaoqing hi tech Zone, Guangdong Patentee after: In Photoelectric Equipment Co.,Ltd. Address before: 526238 first floor, two storey and first floor of B building, C industrial complex, Zhaoqing hi tech Zone, Guangdong Patentee before: ZHAOQING 3I SYSTEMS Corp. |
|
| C56 | Change in the name or address of the patentee | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 526238 first floor, two storey and first floor of B building, C industrial complex, Zhaoqing hi tech Zone, Guangdong Patentee after: ZHONGDAO OPTOELECTRONIC EQUIPMENT CO.,LTD. Address before: 526238 first floor, two storey and first floor of B building, C industrial complex, Zhaoqing hi tech Zone, Guangdong Patentee before: In Photoelectric Equipment Co.,Ltd. |
|
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of invention: Compact test bench and test method using the test bench Effective date of registration: 20211014 Granted publication date: 20140924 Pledgee: Zhaoqing Rural Commercial Bank Co.,Ltd. Xinqiao sub branch Pledgor: ZHONGDAO OPTOELECTRONIC EQUIPMENT Co.,Ltd. Registration number: Y2021440000315 |
|
| PC01 | Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
| PC01 | Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right |
Date of cancellation: 20221024 Granted publication date: 20140924 Pledgee: Zhaoqing Rural Commercial Bank Co.,Ltd. Xinqiao sub branch Pledgor: ZHONGDAO OPTOELECTRONIC EQUIPMENT CO.,LTD. Registration number: Y2021440000315 |