JP5653724B2 - 位置合わせ装置、位置合わせ方法および位置合わせプログラム - Google Patents
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Description
1a 基板処理部
1b 制御機構
11 ベースフレーム
12 ステージ
13 基板ホルダ
14 門型フレーム
15 Y軸部材
16 光学ユニット
17,18 移動機構
19 X軸部材
20 制御部
21 送受信部
22 入力部
23 出力部
24 検索部
25 算出部
26 記憶部
30 検査画像
40 縮小画像
161 顕微鏡
162 撮像部
C1〜C3 視野中心
D1 高倍レシピ画像
D2 低倍レシピ画像
R1,R2 パターン
W 基板
Claims (6)
- 撮像部を有する光学ユニットと基板とを相対移動させ、レシピに登録された前記基板上の測定座標位置に光学ユニットを位置決めする位置合わせ装置であって、
前記測定座標位置における測定対象のパターンを含む検査測定のための高倍レシピ画像、および前記高倍レシピ画像の視野領域が含まれる低倍レシピ画像を記憶する記憶部と、
前記測定座標位置において前記撮像部により高倍率で撮像された検査画像を前記低倍レシピ画像と同等の画素分解能となるように縮小処理し、この縮小画像が前記低倍レシピ画像のどの位置にあるか検索する検索部と、
前記検査画像に測定箇所がない場合に、前記検索部による検索結果に基づいて前記縮小画像と前記低倍レシピ画像に設定された前記高倍レシピ画像の視野領域とのずれ量と方向を算出する算出部と、
前記算出部で算出したずれ量と方向をもとに、前記基板上の測定座標位置に前記光学ユニットの視野が合うように前記光学ユニットと前記基板を相対移動させた後、前記撮像部で検査画像を撮像させる制御を行う制御部と、
を備えたことを特徴とする位置合わせ装置。 - 前記高倍レシピ画像は、前記低倍レシピ画像の一部を拡大した画像で、測定対象となるパターンが含まれることを特徴とする請求項1に記載の位置合わせ装置。
- 前記低倍レシピ画像の視野領域の面積は、前記高倍レシピ画像の視野領域の面積の2倍以上であることを特徴とする請求項1に記載の位置合わせ装置。
- 前記高倍レシピ画像と前記低倍レシピ画像とは、視野中心の位置が一致することを特徴とする請求項1に記載の位置合わせ装置。
- 撮像部を有する光学ユニットと基板とを相対移動させ、レシピに登録された前記基板上の測定座標位置に光学ユニットを位置決めする位置合わせ方法であって、
前記測定座標位置における測定対象のパターンを含む検査測定のための高倍レシピ画像、および前記高倍レシピ画像の視野領域が含まれる低倍レシピ画像を記憶部に登録させるレシピ登録ステップと、
前記測定座標位置に前記光学ユニットを移動させ、前記測定座標位置において前記撮像部により前記高倍レシピ画像と同等の倍率で撮像する検査画像撮像ステップと、
前記検査画像撮像ステップで取得された検査画像を前記低倍レシピ画像と同等の画素分解能となるように縮小処理する縮小処理ステップと、
前記縮小処理ステップで縮小された縮小画像が前記低倍レシピ画像のどの位置にあるか検索する検索ステップと、
前記検査画像に測定箇所がない場合に、前記検索ステップによる検索結果に基づいて前記縮小画像と前記低倍レシピ画像に設定された前記高倍レシピ画像の視野領域とのずれ量と方向を算出する算出ステップと、
前記算出ステップで算出したずれ量と方向をもとに、前記基板上の測定座標位置に前記光学ユニットの視野が合うように前記光学ユニットと前記基板を相対移動させた後、前記撮像部で検査画像を撮像させる移動撮像ステップと、
を含むことを特徴とする位置合わせ方法。 - 撮像部を有する光学ユニットと基板とを相対移動させ、レシピに登録された基板上の測定座標位置に光学ユニットを合わせる位置合わせ装置に、
前記測定座標位置における測定対象のパターンを含む検査測定のための高倍レシピ画像、および前記高倍レシピ画像の視野領域が含まれる低倍レシピ画像を記憶部に登録させるレシピ登録手順と、
前記測定座標位置に前記光学ユニットを移動させ、前記測定座標位置において前記撮像部により前記高倍レシピ画像と同等の倍率で撮像する検査画像撮像手順と、
前記検査画像撮像手順で取得された検査画像を前記低倍レシピ画像と同等の画素分解能となるように縮小処理する縮小処理手順と、
前記縮小処理手順で縮小された縮小画像が前記低倍レシピ画像のどの位置にあるか検索する検索手順と、
前記検査画像に測定箇所がない場合に、前記検索手順による検索結果に基づいて前記縮小画像と前記低倍レシピ画像に設定された前記高倍レシピ画像の視野領域とのずれ量と方向を算出する算出手順と、
前記算出手順で算出したずれ量と方向をもとに、前記基板上の測定座標位置に前記光学ユニットの視野が合うように前記光学ユニットと前記基板を相対移動させた後、前記撮像部で検査画像を撮像させる移動撮像手順と、
を実行させることを特徴とする位置合わせプログラム。
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