JP4847685B2 - パターンサーチ方法 - Google Patents
パターンサーチ方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4847685B2 JP4847685B2 JP2004121416A JP2004121416A JP4847685B2 JP 4847685 B2 JP4847685 B2 JP 4847685B2 JP 2004121416 A JP2004121416 A JP 2004121416A JP 2004121416 A JP2004121416 A JP 2004121416A JP 4847685 B2 JP4847685 B2 JP 4847685B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- observation image
- image
- area
- pattern search
- template
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 123
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 105
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 18
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 39
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 7
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
- G06T7/0004—Industrial image inspection
- G06T7/001—Industrial image inspection using an image reference approach
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
(1)検出画像領域101及び観察画像102の寸法
寸法は、以下に説明するように例えば観察画像102に対する共通領域104の面積の比を求める場合等に使用する。寸法は、画素数、4隅の座標、実試料に換算したときの面積等であってよい。
閾値には、相関値の判定を行うための相関値の閾値、共通領域104の面積の判定を行うための面積の閾値等がある。相関値の閾値は、検出位置を記録するか否かの判定に用いる。相関値が閾値より大きい場合には、そのときの検出位置を記録し、相関値が閾値より小さい場合には、位置の記録を行うことなく、検出画像領域101を次の位置に移動する。
観察画像102に対して検出画像領域101を相対的に走査方向に移動させるとき、検出画像領域101の最大の移動範囲の座標値である。例えば、x方向及びy方向の最大値及び最小値である。
観察画像102に対して検出画像領域101を相対的に走査方向に移動させるとき、相関値の計算を開始する位置及び終了する位置である。効率的に位置検出を行うためには、正確な相関値が得られる可能性が高い領域のみにて、相関値の計算を行う。
相関値と位置検出が終了すると、それらをデータを出力するが、全てのデータを出力するのではなく、そのうち有意味のデータのみを出力する。
面積と相関値を変数とする任意の関数fを導入してもよい。
式1にて、面積を乗算する代わりに、面積を表す係数を乗算してもよい。ステップ307では、面積を考慮した相関値と閾値を比較する。
Ty=2Lcosθ 式3
Wy=12Lcosθ 式4
Wy’=(12-n)Lcosθ 式5
Claims (18)
- 観察画像取得装置によって取得された観察画像と、あらかじめ登録されたテンプレートとの間でパターンマッチングを行うパターンサーチ方法において、
前記観察画像取得装置は、前記観察画像として半導体ウエハの回路パターンの観察画像を取得する走査型電子顕微鏡または光学顕微鏡を備えており、
上記観察画像を入力する観察画像入力ステップと、
上記観察画像の一部と、上記テンプレートの一部を重ね合わせると共に、当該重ね合わせ領域の面積を変化させつつ、相対的に順次移動させる重ね合せステップと、
上記重ね合わせ領域にて上記観察画像とテンプレートがマッチングし、かつ当該重ね合わせ領域の面積に関する値が閾値より大きくなる上記観察画像上の位置を選択的に検出する位置検出ステップと、
を有することを特徴とするパターンサーチ方法。 - 請求項1記載のパターンサーチ方法において、
上記観察画像入力ステップにおいて、検出対象の像を含む検出画像領域を入力し、
上記検出画像領域は上記観察画像と同一の画像生成源より生成したものであることを特徴とするパターンサーチ方法。 - 請求項1記載のパターンサーチ方法において、
更に、上記重ね合わせステップの実行を開始する始点位置を設定する始点位置設定ステップを有することを特徴とするパターンサーチ方法。 - 請求項1記載のパターンサーチ方法において、
上記位置検出ステップは、上記重ね合わせ領域が上記観察画像の所定の中心領域内にある場合に、上記観察画像とテンプレートがマッチングするか否かを判定することを特徴とするパターンサーチ方法。 - 請求項1記載のパターンサーチ方法において、
上記位置検出ステップは、上記重ね合わせ領域が所定の面積より大きい場合に、上記観察画像とテンプレートがマッチングするか否かを判定することを特徴とするパターンサーチ方法。 - 請求項1記載のパターンサーチ方法において、
上記位置検出ステップは、上記観察画像に対する上記重ね合わせ領域の面積の比が所定の閾値より大きい場合に、上記観察画像とテンプレートがマッチングするか否かを判定することを特徴とするパターンサーチ方法。 - 請求項1記載のパターンサーチ方法において、
上記位置検出ステップは、上記重ね合わせ領域の横幅が所定の閾値より大きい場合、又は、上記重ね合わせ領域の縦幅が所定の閾値より大きい場合に、上記観察画像とテンプレートがマッチングするか否かを判定することを特徴とするパターンサーチ方法。 - 請求項1記載のパターンサーチ方法において、
上記位置検出ステップは、上記観察画像に対する上記重ね合わせ領域の横幅の比が所定の閾値より大きい場合、又は、上記観察画像に対する上記重ね合わせ領域の縦幅の比が所定の閾値より大きい場合に、上記観察画像とテンプレートがマッチングするか否かを判定することを特徴とするパターンサーチ方法。 - 請求項1記載のパターンサーチ方法において、
上記位置検出ステップは、上記重ね合わせ領域における上記観察画像と上記テンプレートの相関値を計算し、該相関値に上記重ね合わせ領域の面積を表す係数を乗算した値又は該相関値と上記重ね合わせ領域の面積を変数とする関数値を用いて、上記観察画像とテンプレートがマッチングするか否かを判定することを特徴とするパターンサーチ方法。 - 観察画像取得装置によって取得された観察画像と、あらかじめ登録されたテンプレートとの間でパターンマッチングを行うパターンサーチ方法において、
前記観察画像取得装置は、前記観察画像として半導体ウエハの回路パターンの観察画像を取得する走査型電子顕微鏡または光学顕微鏡を備えており、
上記観察画像および検出対象の像を含む検出画像領域を入力する観察画像入力ステップと、
上記観察画像及び上記検出画像領域を同一倍率にて縮小する縮小ステップと、
上記縮小した観察画像の一部と、上記テンプレートの一部を重ね合わせると共に、当該重ね合わせ領域の面積を変化させつつ、相対的に順次移動させる重ね合わせステップと、
上記重ね合わせ領域にて上記観察画像とテンプレートがマッチングし、かつ当該重ね合わせ領域の面積に関する値が閾値より大きくなる上記観察画像上の位置を選択的に検出する位置検出ステップと、
上記縮小した観察画像及び上記縮小した検出画像領域を拡大して元の観察画像及び検出画像領域に戻す拡大ステップと、
上記拡大ステップにて得られた観察画像及び検出画像領域に対して、上記位置検出ステップにて得られた位置の近傍の領域にて、上記重ね合わせステップ及び上記位置検出ステップの処理と同一の処理を実行するステップと、
を有するパターンサーチ方法。 - 請求項1〜10のいずれか1項記載のパターンサーチ方法をコンピュータに実行させるためのコンピュータに読み取り可能なプログラム。
- 請求項1〜10のいずれか1項記載のパターンサーチ方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを格納したコンピュータに読み取り可能な媒体。
- 観察画像取得装置に接続され、当該観察画像取得装置によって取得された観察画像と、あらかじめ登録されたテンプレートとの間でパターンマッチングを実行する演算装置を備えたパターンサーチ装置において、
前記観察画像取得装置は、前記観察画像として半導体ウエハの回路パターンの観察画像を取得する走査型電子顕微鏡または光学顕微鏡を備えており、
上記演算装置は、
上記観察画像の一部と、上記テンプレートの一部を重ね合わせると共に、当該重ね合わせ領域の面積を変化させつつ、相対的に順次移動させ、
上記重ね合わせ領域にて上記観察画像とテンプレートがマッチングし、かつ当該重ね合わせ領域の面積に関する値が閾値より大きくなる上記観察画像上の位置を選択的に検出する
ことを特徴とするパターンサーチ装置。 - 請求項13記載のパターンサーチ装置において、
上記演算装置は、上記重ね合わせ領域が所定の面積より大きい場合に、上記観察画像とテンプレートがマッチングするか否かを判定することを特徴とするパターンサーチ装置。 - 請求項13記載のパターンサーチ装置において、
上記演算装置は、上記観察画像に対する上記重ね合わせ領域の面積の比が所定の閾値より大きい場合に、上記観察画像とテンプレートがマッチングするか否かを判定することを特徴とするパターンサーチ装置。 - 請求項13記載のパターンサーチ装置において、
上記演算装置は、上記重ね合わせ領域の横幅が所定の閾値より大きい場合、又は、上記重ね合わせ領域の縦幅が所定の閾値より大きい場合に、上記観察画像とテンプレートがマッチングするか否かを判定することを特徴とするパターンサーチ装置。 - 請求項13記載のパターンサーチ装置において、
上記演算装置は、上記観察画像に対する上記重ね合わせ領域の横幅の比が所定の閾値より大きい場合、又は、上記観察画像に対する上記重ね合わせ領域の縦幅の比が所定の閾値より大きい場合に、上記観察画像とテンプレートがマッチングするか否かを判定することを特徴とするパターンサーチ装置。 - 請求項13記載のパターンサーチ装置において、
上記演算装置は、上記重ね合わせ領域における上記観察画像と上記テンプレートの相関値を計算し、該相関値に上記重ね合わせ領域の面積を表す係数を乗算した値又は該相関値と上記重ね合わせ領域の面積を変数とする関数値を用いて、上記観察画像とテンプレートがマッチングするか否かを判定することを特徴とするパターンサーチ装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004121416A JP4847685B2 (ja) | 2004-04-16 | 2004-04-16 | パターンサーチ方法 |
US11/104,632 US7941008B2 (en) | 2004-04-16 | 2005-04-13 | Pattern search method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004121416A JP4847685B2 (ja) | 2004-04-16 | 2004-04-16 | パターンサーチ方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005310805A JP2005310805A (ja) | 2005-11-04 |
JP4847685B2 true JP4847685B2 (ja) | 2011-12-28 |
Family
ID=35096328
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004121416A Expired - Lifetime JP4847685B2 (ja) | 2004-04-16 | 2004-04-16 | パターンサーチ方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7941008B2 (ja) |
JP (1) | JP4847685B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5116513B2 (ja) * | 2008-03-10 | 2013-01-09 | キヤノン株式会社 | 画像表示装置及びその制御方法 |
JP2009277027A (ja) * | 2008-05-15 | 2009-11-26 | Seiko Epson Corp | 画像における顔の器官の画像に対応する器官領域の検出 |
JP5308766B2 (ja) * | 2008-10-06 | 2013-10-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターンサーチ条件決定方法、及びパターンサーチ条件設定装置 |
JP5653724B2 (ja) * | 2010-11-09 | 2015-01-14 | オリンパス株式会社 | 位置合わせ装置、位置合わせ方法および位置合わせプログラム |
WO2015098342A1 (ja) | 2013-12-26 | 2015-07-02 | 浜松ホトニクス株式会社 | 画像処理方法、画像処理装置、画像処理プログラム、及び画像処理プログラムを記憶した記憶媒体 |
JP2017049742A (ja) * | 2015-09-01 | 2017-03-09 | キヤノン株式会社 | 画像処理方法、画像処理装置、ロボット装置、プログラム、及び記録媒体 |
CN116453924A (zh) | 2019-08-16 | 2023-07-18 | 普罗托芯片有限公司 | 对在电子显微镜下研究的样品的漂移校正的自动化应用 |
US11902665B2 (en) | 2019-08-16 | 2024-02-13 | Protochips, Inc. | Automated application of drift correction to sample studied under electron microscope |
US11800056B2 (en) | 2021-02-11 | 2023-10-24 | Logitech Europe S.A. | Smart webcam system |
US11800048B2 (en) | 2021-02-24 | 2023-10-24 | Logitech Europe S.A. | Image generating system with background replacement or modification capabilities |
Family Cites Families (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB9201856D0 (en) * | 1992-01-29 | 1992-03-18 | British Telecomm | Method of forming a template |
JP3246616B2 (ja) * | 1992-10-01 | 2002-01-15 | 株式会社ニコン | 位置合わせ方法 |
US6463176B1 (en) * | 1994-02-02 | 2002-10-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Image recognition/reproduction method and apparatus |
AUPN310095A0 (en) * | 1995-05-22 | 1995-06-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Image detection system |
DE69635101T2 (de) * | 1995-11-01 | 2006-06-01 | Canon K.K. | Verfahren zur Extraktion von Gegenständen und dieses Verfahren verwendendes Bildaufnahmegerät |
US6493465B2 (en) * | 1996-02-21 | 2002-12-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Matching point extracting method and apparatus therefor |
US5982951A (en) * | 1996-05-28 | 1999-11-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Apparatus and method for combining a plurality of images |
US6529630B1 (en) * | 1998-03-02 | 2003-03-04 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Method and device for extracting principal image subjects |
JPH11345585A (ja) * | 1998-06-03 | 1999-12-14 | Nikon Corp | 電子ビームによる検査装置および検査方法 |
US6483893B1 (en) * | 1998-11-27 | 2002-11-19 | Wuestec Medical, Inc. | Digital high resolution X-ray imaging |
JP2000259814A (ja) * | 1999-03-11 | 2000-09-22 | Toshiba Corp | 画像処理装置及びその方法 |
KR100343223B1 (ko) * | 1999-12-07 | 2002-07-10 | 윤종용 | 화자 위치 검출 장치 및 그 방법 |
JP3485052B2 (ja) * | 1999-12-16 | 2004-01-13 | 日本電気株式会社 | 参照画像作成方法、パターン検査装置及び参照画像作成プログラムを記録した記録媒体 |
JP2001209694A (ja) * | 2000-01-26 | 2001-08-03 | Matsushita Electric Works Ltd | 作業分析支援システム |
JP3653438B2 (ja) | 2000-02-21 | 2005-05-25 | 株式会社日立製作所 | 画像判定方法および欠陥検査装置 |
JP4218171B2 (ja) | 2000-02-29 | 2009-02-04 | 株式会社日立製作所 | 走査電子顕微鏡,マッチング方法、及びプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
JP3987267B2 (ja) * | 2000-05-12 | 2007-10-03 | 株式会社日立製作所 | 荷電粒子線装置 |
US7039229B2 (en) * | 2000-08-14 | 2006-05-02 | National Instruments Corporation | Locating regions in a target image using color match, luminance pattern match and hill-climbing techniques |
JP3776340B2 (ja) * | 2000-09-27 | 2006-05-17 | エムヴイテック・ソフトウェア・ゲーエムベーハー | 対象物認識システム及び方法 |
JP4199939B2 (ja) * | 2001-04-27 | 2008-12-24 | 株式会社日立製作所 | 半導体検査システム |
JP2004172856A (ja) * | 2002-11-19 | 2004-06-17 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像データ作成方法および装置 |
US7251353B2 (en) * | 2002-11-26 | 2007-07-31 | University Of Chicago | Automated method of patient recognition using chest radiographs |
GB2395778A (en) * | 2002-11-29 | 2004-06-02 | Sony Uk Ltd | Face detection |
US7424672B2 (en) * | 2003-10-03 | 2008-09-09 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | System and method of specifying image document layout definition |
GB2409030A (en) * | 2003-12-11 | 2005-06-15 | Sony Uk Ltd | Face detection |
US7813589B2 (en) * | 2004-04-01 | 2010-10-12 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | System and method for blending images into a single image |
-
2004
- 2004-04-16 JP JP2004121416A patent/JP4847685B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2005
- 2005-04-13 US US11/104,632 patent/US7941008B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20050232493A1 (en) | 2005-10-20 |
JP2005310805A (ja) | 2005-11-04 |
US7941008B2 (en) | 2011-05-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7941008B2 (en) | Pattern search method | |
TWI493280B (zh) | Pattern inspection device and pattern inspection method | |
JP6789920B2 (ja) | 被検査物上の関心対象領域の座標決定 | |
US7518110B2 (en) | Pattern measuring method and pattern measuring device | |
JP4223979B2 (ja) | 走査型電子顕微鏡装置及び走査型電子顕微鏡装置における装置としての再現性能評価方法 | |
JP4585822B2 (ja) | 寸法計測方法及びその装置 | |
JP2007120968A (ja) | 電子線式寸法計測装置及びそれを用いた寸法計測方法 | |
JP4286657B2 (ja) | 走査電子顕微鏡を用いたライン・アンド・スペースパターンの測定方法 | |
KR101359280B1 (ko) | 패턴 매칭 방법, 패턴 매칭 프로그램을 기록한 컴퓨터로 판독가능한 기록 매체, 전자 계산기, 전자 디바이스 검사 장치 | |
JP5094033B2 (ja) | パターンマッチング方法、及びパターンマッチングを行うためのコンピュータープログラム | |
US8144338B2 (en) | Pattern measurement apparatus and pattern measurement method | |
JP2873883B2 (ja) | 線画像の線幅検出方法 | |
JP2006214816A (ja) | 半導体検査装置 | |
JP4230980B2 (ja) | パターンマッチング方法およびプログラム | |
JP5401605B2 (ja) | テンプレートマッチング処理装置およびテンプレートマッチング処理プログラム | |
JP2004536300A (ja) | 画像装置の位置の迅速な判断を可能にする基準のしるしの選択 | |
CN110553581B (zh) | 临界尺寸量测方法及用于量测临界尺寸的图像处理装置 | |
JP4629086B2 (ja) | 画像欠陥検査方法および画像欠陥検査装置 | |
JP2011180066A (ja) | 画像比較方法および画像比較プログラム | |
JP2004030368A (ja) | マスクパターン外観検査方法及びそのプログラム及びマスクパターン外観検査装置 | |
JP2002288661A (ja) | 画像検出方法、画像検出装置及びウェハ処理装置 | |
JP5353597B2 (ja) | パターン認識装置 | |
JP2004240909A (ja) | 画像処理装置及び画像処理方法 | |
JP2000124281A (ja) | パターンサーチ方法及びパターンサーチ装置 | |
JP2019139104A (ja) | パターン検査方法およびパターン検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061002 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070315 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090908 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091105 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100713 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101012 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20101027 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101221 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110510 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110825 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111011 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111014 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141021 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4847685 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |