JP2005310805A - パターンサーチ方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明によるパターンサーチ方法によると、パターンマッチングにより観察画像に対する検出画像領域の検出を行う。検出画像領域として、観察画像と実質的に同一寸法を有する画像を使用する。観察画像に対して検出画像領域を相対的に移動させ、両者の共通領域の類似度を検出する。検出画像領域の移動範囲は予め設定する。共通領域の面積が所定値より大きいときに類似度の計算を行う。
【選択図】 図1
Description
(1)検出画像領域101及び観察画像102の寸法
寸法は、以下に説明するように例えば観察画像102に対する共通領域104の面積の比を求める場合等に使用する。寸法は、画素数、4隅の座標、実試料に換算したときの面積等であってよい。
閾値には、相関値の判定を行うための相関値の閾値、共通領域104の面積の判定を行うための面積の閾値等がある。相関値の閾値は、検出位置を記録するか否かの判定に用いる。相関値が閾値より大きい場合には、そのときの検出位置を記録し、相関値が閾値より小さい場合には、位置の記録を行うことなく、検出画像領域101を次の位置に移動する。
観察画像102に対して検出画像領域101を相対的に走査方向に移動させるとき、検出画像領域101の最大の移動範囲の座標値である。例えば、x方向及びy方向の最大値及び最小値である。
観察画像102に対して検出画像領域101を相対的に走査方向に移動させるとき、相関値の計算を開始する位置及び終了する位置である。効率的に位置検出を行うためには、正確な相関値が得られる可能性が高い領域のみにて、相関値の計算を行う。
相関値と位置検出が終了すると、それらをデータを出力するが、全てのデータを出力するのではなく、そのうち有意味のデータのみを出力する。
面積と相関値を変数とする任意の関数fを導入してもよい。
式1にて、面積を乗算する代わりに、面積を表す係数を乗算してもよい。ステップ307では、面積を考慮した相関値と閾値を比較する。
Ty=2Lcosθ 式3
Wy=12Lcosθ 式4
Wy’=(12-n)Lcosθ 式5
Claims (14)
- 観察画像を入力する観察画像入力ステップと、
検出対象の像を含む検出画像領域を入力する検出画像領域入力ステップと、
上記観察画像に対して上記検出画像領域を相対的に順次移動させ両者を重ね合わせる重ね合せステップと、
上記重ね合わせステップにて重ね合わせられた両者の共通領域を検出する共通領域検出ステップと、
上記共通領域における上記観察画像と上記検出画像領域の類似度を検出する類似度検出ステップと、
上記類似度検出ステップにて検出した類似度が最も高いときの上記観察画像と上記検出画像領域の間の相対的位置を検出する位置検出ステップと、
を有するパターンサーチ方法において、
上記検出画像領域は上記共通領域検出ステップで検出した領域を使用することを特徴とするパターンサーチ方法。 - 請求項1記載のパターンサーチ方法において、上記検出画像領域は上記観察画像と同一倍率であり且つ実質的に同一寸法を有する画像より生成される様、上記検出画像領域又は上記観察画像の大きさを変更することを特徴とするパターンサーチ方法。
- 請求項1記載のパターンサーチ方法において、上記検出画像領域は上記観察画像と同一の画像生成源より生成したものであることを特徴とするパターンサーチ方法。
- 請求項1記載のパターンサーチ方法において、更に、上記重ね合わせステップの実行を開始する始点位置を設定する始点位置設定ステップを有することを特徴とするパターンサーチ方法。
- 請求項1記載のパターンサーチ方法において、上記類似度検出ステップは、上記共通領域が上記観察画像の所定の中心領域内にある場合に、類似度の計算を行うことを特徴とするパターンサーチ方法。
- 請求項1記載のパターンサーチ方法において、上記類似度検出ステップは、上記共通領域が所定の面積より大きい場合に、類似度の計算を行うことを特徴とするパターンサーチ方法。
- 請求項1記載のパターンサーチ方法において、上記類似度検出ステップは、上記観察画像に対する上記共通領域の面積の比が所定の閾値より大きい場合に、類似度の計算を行うことを特徴とするパターンサーチ方法。
- 請求項1記載のパターンサーチ方法において、上記類似度検出ステップは、上記共通領域の横幅が所定の閾値より大きい場合、又は、上記共通領域の縦幅が所定の閾値より大きい場合に、類似度の計算を行うことを特徴とするパターンサーチ方法。
- 請求項1記載のパターンサーチ方法において、上記類似度検出ステップは、上記観察画像に対する上記共通領域の横幅の比が所定の閾値より大きい場合、又は、上記観察画像に対する上記共通領域の縦幅の比が所定の閾値より大きい場合に、類似度の計算を行うことを特徴とするパターンサーチ方法。
- 請求項1記載のパターンサーチ方法において、上記類似度検出ステップは、上記共通領域における上記観察画像と上記検出画像領域の相関値を計算し、該相関値に上記共通領域の面積を表す係数を乗算した値又は該相関値と上記共通領域の面積を変数とする関数値を類似度として計算することを特徴とするパターンサーチ方法。
- 観察画像を入力する観察画像入力ステップと、
検出対象の像を含む検出画像領域を入力する検出画像領域入力ステップと、
上記観察画像及び上記検出画像領域を同一倍率にて縮小する縮小ステップと、
上記縮小した観察画像に対して上記縮小した検出画像領域を相対的に順次移動させ両者を重ね合わせる重ね合わせステップと、
上記重ね合わせステップにて重ね合わせられた両者の共通領域を検出する共通領域検出ステップと、
上記共通領域における上記縮小した観察画像と上記縮小した検出画像領域の類似度を検出する類似度検出ステップと、
上記類似度検出ステップにて検出した類似度が最も高いときの上記縮小した観察画像と上記縮小した検出画像領域の間の相対的位置を検出する位置検出ステップと、
上記縮小した観察画像及び上記縮小した検出画像領域を拡大して元の観察画像及び検出画像領域に戻す拡大ステップと、
上記拡大ステップにて得られた観察画像及び検出画像領域に対して、上記位置検出ステップにて得られた相対的位置の近傍の領域にて、上記重ね合わせステップ、上記共通領域検出ステップ、上記類似度検出ステップ及び上記位置検出ステップの処理と同一の処理を実行するステップと、
を有するパターンサーチ方法。 - 請求項1〜11のいずれか1項記載のパターンサーチ方法をコンピュータに実行させるためのコンピュータに読み取り可能なプログラム。
- 請求項1〜11のいずれか1項記載のパターンサーチ方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを格納したコンピュータに読み取り可能な媒体。
- 観察画像を入力する観察画像入力装置と、検出対象の像を含む検出画像領域を入力する検出画像領域入力装置と、パターンマッチング処理を行う演算装置と、を有し、該演算装置は、上記観察画像と上記検出画像領域の共通領域を検出し、該共通領域における上記観察画像と上記検出画像領域の類似度を検出し、該類似度が最も高いときの上記観察画像と上記検出画像領域の間の相対的位置を検出することを特徴とするパターンサーチ装置。
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