KR101754598B1 - 포커스 매핑 방식을 이용한 패널 검사 시스템 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 포커스 매핑 방식을 이용한 패널 검사 시스템은, 미리 설정된 좌표로 포커스 축을 이동시키기 위해 주기적 포커스 트리거 신호를 발생하는 트리거 보드와, 포커스 트리거 위치에서 영상처리를 통해 포커스 위치를 탐색하고, 탐색된 포커스 위치와 포커스 정보를 적용하여 포커스 매핑 테이블을 생성하는 제어부 및 상기 포커스 매핑 테이블을 저장하고, 상기 트리거 신호 주기에 따라 상기 포커스 매핑 테이블에 저장된 포커스 위치로 상기 포커스 축을 이동시키는 모션 컨트롤러를 포함한다.

Description

포커스 매핑 방식을 이용한 패널 검사 시스템 및 방법{SYSTEM FOR TESTING PANEL USING FOCUS MAPPING SCHEME AND METHOD THEREOF}
본 발명은 패널 검사 시스템 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 에어 플로팅 방식의 스테이지에 의해 패널이 이송되는 경우, 패널의 휨으로 인한 포커스 문제를 해결할 수 있는 포커스 매핑 방식을 이용한 패널 검사 시스템 및 방법에 관한 것이다.
요즈음 TFT-LCD, 아몰레드(AMOLED) 등과 같은 평판디스플레이에 사용되는 패널은 그 사이즈가 점차 대형화되고 있고, 이에 따라 이송 과정에서 패널과 이송 테이블의 접촉으로 인한 스크래치의 발생을 원천적으로 방지하기 위하여 에어로 패널을 플로팅시켜 이송시키는 비접촉 이송 방식을 채택하고 있다.
패널의 표면에는 이송과정이나 소정의 작업 공정을 수행할 때 스크래치나 각종 얼룩이 생길 수 있는데 이러한 스크래치나 얼룩과 같은 결함을 검출하고, 배선이나 홀 등에 의해 패턴이 형성된 패널은 패턴 불량을 검출하여 제품의 신뢰성을 확보할 수 있어야 한다.
이와 같은 패널 결함이나 패턴 불량을 검출하기 위한 검사장비로서, 도 1에 도시된 자동 광학 검사 장비(AOI: Automatic Optical Inspection)가 있다. 자동 광학 검사 장비는 광학렌즈와 CCD 카메라(10)를 사용하여 검사 대상물의 이미지를 캡처한 후 비전 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 사용자가 찾아내고자 하는 각종 결함을 검출해 내는 장비이다.
이러한 자동광학검사장비는 패널검사 장치의 로딩파트와 언-로딩파트의 사이위치에 설치되며 상기 패널검사 장치에는 패널을 이송시키는 패널이송장치가 구비되어 있다.
상기 로딩파트 및 언-로딩파트는 각각의 프레임 위에 무접점 이송을 위한 플로팅 스테이지(20)가 배열되어 있으며, 상기 플로팅 스테이지(20)은 다수의 에어분출구(30)가 마련되어 상기 에어분출구를 통해 분사되는 에어를 통해 상기 패널을 플로팅하게 된다.
상기 패널이송 장치는 비임이나 파이프에 의해 사각형으로 프레임이 마련되고 이 프레임은 공정파트의 프레임 길이방향으로 이송되도록 액추에이터와 연결되어 있으며, 상기 프레임에는 패널의 테두리인 마진(margin)부분에 위치되도록 흡착패드가 설치되어 있다.
상기와 같이 구성된 종래의 패널검사 장치는 플로팅 스테이지(20)의 상판에 배열된 다수의 에어 분출구(30)로부터 에어가 분출되는 상태에서 넓은 판형의 패널이 로딩파트의 플로팅 스테이지(20) 위에 놓이면 플로팅 스테이지(20)의 에어분출구(30)로부터 분출되는 에어에 의해 상판과 접촉되지 않고 플로팅되게 된다.
이렇게 플로팅된 상태에서 패널이송 장치의 흡착패드가 패널의 테두리인 마진부분을 흡착 파지하여 로딩파트에서 공정파트를 통해 언-로딩파트로 이송하는데, 상기 공정파트에서 자동광학장비를 이용하여 패널의 결함여부를 검사한다.
그러나 상기한 바와 같이 에어 플로팅 방식을 가지는 스테이지가 패널을 이송하는 경우, 도 2에 도시된 바와 같이 패널에 가해지는 에어의 불안정으로 스캔 플레이트(40, Scan plate: 카메라 배치 구간, 카메라 검사 구간) 영역에 대응하는 패널의 입력부와 출력부에서 패널의 휨이 발생하는 문제가 있다.
이러한 문제로 패널 검사 광학계의 DOF(Depth of field)가 벗어나 카메라 촬상 영상이 포커스 되지 않는 문제가 발생하고, 광학 검사의 검출력이 떨어진다.
또한, 기존에는 레이저 센서(laser sensor)로 패널의 높이 정보를 센싱하여 이 정보를 가지고 포커스 축을 이동시켜 패널에 대해 포커싱을 한 후, 포커싱된 영상을 이미지 처리해서 패널의 패턴 불량을 검사하였다. 이러한 기존 레이저 오토 포커스 시스템은 고가이기 때문에 다수의 검사용 카메라를 사용하는 패널 검사장비에서는 비용 상의 문제가 있다.
대한민국 등록특허 10-1150397호 대한민국 등록특허 10-0975645호
따라서 본 발명의 목적은 전술된 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 에어 플로팅 방식의 스테이지에 의해 패널이 이송되는 경우, 패널의 휨으로 인한 포커스 문제를 해결할 수 있는 포커스 매핑 방식을 이용한 패널 검사 시스템 및 그의 방법을 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 포커스 매핑 방식을 이용한 패널 검사 시스템은, 제어부에 의해 패널이 이송 및 정지동작이 제어되며, 주기적 포커스 트리거 신호를 발생하는 트리거 보드와, 패널의 포커스 위치에서 포커스 축을 이동시키면서 영상처리를 통해 포커스 위치를 탐색하고, 탐색된 포커스 위치와 포커스 정보를 적용하여 포커스 매핑 테이블을 생성하는 제어부 및 상기 포커스 매핑 테이블을 저장하고, 상기 트리거 신호 주기에 따라 상기 포커스 매핑 테이블에 저장된 포커스 위치로 상기 포커스 축을 이동시키는 모션 컨트롤러를 포함한다.
이때 상기 트리거보드는 포커스 트리거 신호 뿐 만 아니라 카메라 트리거 신호도 발생시킨다.
본 발명의 실시예에 따른 포커스 매핑 방식을 이용한 패널 검사방법은, 제어부에 의해 패널의 검사영역에 대해 포커스 위치를 탐색하기 위해 패널을 각 포커스 트리거 위치로 이송하고 정지하는 단계와 상기 패널의 포커스 트리거 위치마다 포커스 축을 이동시키며 영상처리를 통해 포커스 위치를 탐색하는 단계와, 상기 탐색된 포커스 위치 정보를 적용하여 포커스 매핑 테이블을 생성하여 저장하는 단계와, 패널 검사시 주기적 포커스 트리거 신호를 수신하는 단계와, 상기 트리거 신호 주기에 따라 상기 포커스 매핑 테이블에 저장된 포커스 위치로 상기 포커스 축을 이동시키는 단계와, 상기 포커스 위치에서 평균 밝기값과 컨트라스트값을 모니터링하여 포커스 옵셋을 보상하는 단계 및 상기 포커스 위치에서 패널을 촬상하는 단계를 포함한다.
이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 의한 포커스 매핑 방식을 이용한 패널 검사 시스템 및 그 방법에 따르면, 포커스 트리거 발생 구간에서 기설정된 트리거 신호 주기에 따라 포커스 매핑 테이블에 저장된 포커스 위치로 포커스 축을 이동시키며 패널을 검사함에 따라 패널 검사 광학계의 DOF(Depth of field)를 유지할 수 있어, 카메라 촬상 영상을 정상적으로 포커스할 수 있으며, 광학 검사의 검출력을 유지할 수 있다.
또한, 다수의 패널에 대해 각각의 패널 좌표에 매핑된 포커스 위치 정보를 가지고 포커스 매핑 데이터를 미리 확보하고, 이를 패널 검사 시 이용함으로써, 고가의 오토 포커스 장치를 사용하지 않고도 실시간으로 카메라를 포커스할 수 있음에 따라 비용 절감의 효과를 누릴 수 있다.
도 1은 일반적인 자동 광학 검사 장비를 도시하는 사시도이다.
도 2는 패널이 휜 모습의 일 예를 도시하는 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 포커스 매핑 방식을 이용한 패널 검사 시스템의 구성을 개략적으로 도시한 구성도이다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 트리거 보드의 구성을 도시하는 블록도이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 포커스 매핑 방식을 이용한 패널 검사 시스템을 이용하여 어느 하나의 패널에 대해 1회 스캔을 실행하여 획득한 포커스 매핑 데이터를 도시화한 그래프이다.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 포커스 매핑 방식을 이용한 패널 검사 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 통해 설명될 것이다. 그러나 본 발명은 여기에서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다.
단지, 본 실시예들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여 제공되는 것이다.
도면들에 있어서, 본 발명의 실시예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니며 명확성을 기하기 위하여 과장된 것이다. 또한 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소를 나타낸다.
본 명세서에서 "및/또는"이란 표현은 전후에 나열된 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용된다. 또한, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 또한, 명세서에서 사용되는 "포함한다" 또는 "포함하는"으로 언급된 구성요소, 단계, 동작 및 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작, 소자 및 장치의 존재 또는 추가를 의미한다.
이하에서 본 발명의 바람직한 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 포커스 매핑 방식을 이용한 패널 검사 시스템의 구성을 개략적으로 도시한 구성도이고, 도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 트리거 보드의 구성을 도시하는 블록도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 포커스 매핑 방식을 이용한 패널 검사 시스템은 트리거 보드(100), 제어부(200), 모션 컨트롤러(300), 포커스 모터(400), 포커스 축(500), 카메라(600), 에어 플레이트(700)를 포함하는 스테이지 프레임(800)을 포함하여 구성된다.
에어 플레이트(700)의 상판에 배열된 다수의 에어분출구로부터 에어가 분출되는 상태에서 넓은 판형의 패널이 로딩파트의 에어 플레이트(700) 상부에 놓이면 에어 플레이트(700)의 에어 분출구로부터 분출되는 에어에 의해 상판과 접촉되지 않고 플로팅되게 된다.
이렇게 플로팅된 상태에서 패널 이송 장치의 흡착패드가 기판의 테두리인 마진부분을 흡착 파지하여 로딩파트에서 공정파트를 통해 언-로딩파트로 이송하는데, 상기 공정파트에서 본 발명의 패널 검사 시스템을 이용하여 패널의 결함 여부를 검사한다.
특히, 본 발명의 패널 검사 시스템은 에어 플로팅 방식을 가지는 스테이지가 패널을 이송하는 경우, 패널에 가해지는 에어의 불안정으로 스캔 플레이트(Scan plate: 카메라 배치 구간, 카메라 검사 구간) 영역에 대응하는 패널의 입력부위와 출력부위에서 발생하는 패널의 휨(도 2 참조)을 패널의 위치에 따라 미리 계측하고, 패널의 휨에 따라 포커스 축의 이동을 미리 설정하여 일명 포커스 매핑 데이터를 생성하여 저장한다.
포커스 트리거 발생 구간에서 기설정된 트리거 신호 주기에 따라 상기 포커스 매핑 테이블에 저장된 포커스 위치로 상기 포커스 축을 이동시키며 패널을 검사한다. 이에 따라 패널 검사 광학계의 DOF(Depth of field)를 유지할 수 있어, 카메라 촬상 영상을 정상적으로 포커스할 수 있으며, 광학 검사의 검출력을 유지할 수 있다.
또한, 다수의 패널에 대해 각각의 패널 좌표에 매핑된 포커스 위치 정보를 가지고 포커스 매핑 데이터를 미리 확보하고, 이를 패널 검사 시 이용함으로써, 고가의 오토 포커스 장치를 사용하지 않고도 실시간으로 카메라를 포커스할 수 있음에 따라 비용 절감의 효과를 누릴 수 있다.
구체적으로 트리거 보드(100)는 포커스 축을 이동시키기 위해 위한 주기적 포커스 트리거 신호를 발생한다.
상기 트리거보드는 포커스 트리거 신호 뿐 만 아니라 카메라 트리거 신호도 발생시키며, 상기 카메라 트리거 신호는 제어부를 통해 카메라로 전송된다.
도 4를 참고하면, 트리거 보드(100)의 주요 구성은 상기 패널의 위치를 판단하는 정보를 제공하는 리니어 엔코더 신호를 입력으로 하는 엔코더 입력부(110), 상기 리니어 엔코더 신호를 읽어서 포커스 트리거 발생 구간에서 기설정된 주기마다 트리거 신호를 발생시키는 트리거 발생부(130) 및 상기 포커스 트리거 신호를 상기 모션 컨트롤러(300)에 전달하는 트리거 출력부(150)를 포함하여 구성된다. 이외에도 스테이지로부터 트리거 보드(100)로 엔코더 신호를 입력하기 위한 엔코더 입력 포트(111)와, 트리거 발생부(130)를 제어하기 위한 마이크로 컨트롤러부(113), 제어 레지스터(115) 및 제어부(200)로부터 포커스 트리거 주기와 포커스 트리거 발생 구간을 트리거 보드(100)로 전송하기 위한 통신부(117)를 더 포함하여 구성될 수 있다.
트리거 보드(100)는 상기 패널에 대해 포커스 트리거 발생 구간에서 기설정된 간격으로 상기 트리거 신호를 발생시키는데 예를 들어, 패널의 1mm 또는 5mm 간격으로 발생시킬 수 있다.
제어부(200)는 상기 패널 전 영역의 좌표에 대해 포커스 축을 이동시키며 영상처리를 통해 포커스 위치를 탐색하고, 탐색된 포커스 위치 정보를 적용하여 포커스 매핑 테이블을 생성한다. 생성된 포커스 매핑 테이블을 모션 컨트롤러(300)로 전송한다.
제어부(200)는 다수의 패널에 대해 각각의 패널 좌표에 매핑된 포커스 위치 정보를 가지고 포커스 매핑 데이터를 미리 생성해둔다.
이와 같이 본 발명에서 오토 포커싱을 이용하지 않고, 단순히 카메라를 이용하여 영상 신호를 획득하면, 포커스에 편차가 있을 수 있다. 예를 들어, 정상보다 포커싱이 안되면 영상이 뿌옇게 나타날 수 있고, 인접 픽셀 간의 컨트라스트가 무너질 수 있다.
이와 같은 오점을 보완하기 위해 본 발명에서 제어부(200)는 비젼 검사 스캔 중 각 포커스 위치에서 포커스 여부를 확인할 수 있는 평균 밝기값과 컨트라스트값을 포함하는 상기 포커스 정보를 모니터링하면서 포커스 위치가 틀어졌는지 실시간 모니터링한다.
또한, 제어부(200)는 상기 모니터링 중 포커스 위치가 맞지 않는 경우, 알람을 발생하고, 상기 비젼 검사 스캔 완료 후 포커스 위치가 맞지 않은 스캔 구간에 대해 포커스 축을 이동시키며 영상처리로 포커스 위치를 재탐색하여 상기 패널을 재스캔한다.
즉, 패널 전 영역의 좌표에 대한 포커스 결정은 해당 픽셀의 TFT 이미지에 상응하는 영상만을 가지고 포커스 옵셋을 보상함으로써 실행되고, 이는 동일한 패널 검사 진행시 동일한 프로파일 값을 갖는 장점이 있다. 여기서 포커스 옵셋이란, 최초에 픽셀의 TFT 이미지에 대해 설정된 포커스 위치, 즉 포커스 매핑 데이터라 할 수 있다.
모션 컨트롤러(300)는 제어부(200)로부터 전달된 상기 포커스 매핑 테이블을 저장하고, 상기 트리거 신호 주기에 따라 상기 포커스 매핑 테이블에 저장된 포커스 위치로 상기 포커스 축(500)을 이동시킨다.
구체적으로, 첫 번째 트리거 신호 발생 시, 모션 컨트롤러(300)는 포커스 매핑 테이블[1]에 저장되어 있는 제1 포커스 위치로 포커스 축(500)을 이동시킨다. 두 번째 트리거 신호 발생 시, 모션 컨트롤러(300)는 포커스 매핑 테이블[2]에 저장되어 있는 제2 포커스 위치로 포커스 축(500)을 이동시키며, 세 번째 트리거 신호 발생 시, 모션 컨트롤러(300)는 포커스 매핑 테이블[3]에 저장되어 있는 제3 포커스 위치로 포커스 축(500)을 이동시킨다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 포커스 매핑 방식을 이용한 패널 검사 시스템을 이용하여 어느 하나의 패널에 대해 1회 스캔을 실행하여 획득한 포커스 매핑 데이터를 도시화한 그래프이다. 즉, 패널의 좌표별 포커스 높이 위치 정보를 나타낸다.
도 5를 참조하면, 평평한 중심부의 패널에 대한 포커스 위치 정보가 일정한데에 비하여, 패널의 입력부위와 출력부위에서 발생하는 패널의 휨에 따라 포커스 위치 정보가 변동되어 나타나는 것을 알 수 있다.
이하 도 6을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 포커스 매핑 방식을 이용한 패널 검사 방법에 대해 설명하기로 한다.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 포커스 매핑 방식을 이용한 패널 검사 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
먼저, S600 단계에서 매핑데이터 얻기 위한 변수세팅 단계를 거쳐, S610 단계에서 제어부(200)는 패널의 검사영역에 대해 포커스 위치를 탐색하기 위해 패널을 각 포커스 트리거 위치로 이송한다.
S620 단계에서 제어부(200)는 상기 포커스 트리거 위치마다 포커스 축(500)을 이동시키며 영상처리를 통해 포커스 위치를 탐색하고, 상기 포커스 위치에서 평균 밝기값과 컨트라스트값을 포함하는 포커스 정보를 획득한다. 상기 포커스 위치 및 포커스 정보를 포커스 옵셋으로 설정할 수 있다.
S630 단계에서 제어부(200)는 상기 탐색된 포커스 위치 및 포커스 정보를 적용하여 포커스 매핑 테이블을 생성하여 저장한다. 제어부(200)는 다수의 패널 각각에 대한 상기 포커스 매핑 테이블을 생성하여 저장해둔다.
S640 단계에서 모션 컨트롤러(300)는 트리거 보드(100)로부터 미리 설정된 좌표로 포커스 축을 이동시키기 위해 주기적 포커스 트리거 신호를 수신한다. 상기 트리거 신호는 상기 패널에 대해 포커스 트리거 발생 구간에서 기설정된 간격으로 발생되는데 예를 들어, 패널의 1mm 또는 5mm 간격으로 발생될 수 있으며, 이는 설계자의 의도에 따라 변경될 수 있다. 상기 트리거 신호 주기에 따라 상기 포커스 매핑 테이블에 저장된 포커스 위치로 상기 포커스 축(500)을 이동시킨다. 이를 위해 제어부(200)는 생성된 포커스 매핑 테이블을 모션 컨트롤러(300)에 저장하고, 모션 컨트롤러(300)가 상기 트리거 신호 주기에 따라 상기 포커스 매핑 테이블에 저장된 포커스 위치로 상기 포커스 축(500)을 이동시키게 제어한다.
구체적으로, 첫 번째 트리거 신호 발생 시, 모션 컨트롤러(300)는 포커스 매핑 테이블[1]에 저장되어 있는 제1 포커스 위치로 포커스 축(500)을 이동시키고, 두 번째 트리거 신호 발생 시, 모션 컨트롤러(300)는 포커스 매핑 테이블[2]에 저장되어 있는 제2 포커스 위치로 포커스 축(500)을 이동시키며, 세 번째 트리거 신호 발생 시, 모션 컨트롤러(300)는 포커스 매핑 테이블[3]에 저장되어 있는 제3 포커스 위치로 포커스 축(500)을 이동시킨다.
더불어, 상기 각 포커스 위치에서 포커스 여부를 확인할 수 있는 평균 밝기값과 컨트라스트값을 포함하는 상기 포커스 정보를 모니터링하면서 포커스 위치가 틀어졌는지 실시간 모니터링한다.
상기 모니터링 중 포커스 위치가 맞지 않는 경우, 제어부(200)는 알람을 발생하고, 상기 비젼 검사 스캔 완료 후 포커스 위치가 맞지 않은 스캔 구간에 대해 포커스 축(500)을 이동시키며 영상처리로 포커스 위치를 재탐색하여 상기 패널을 재스캔한다. 즉, 패널 전 영역의 좌표에 대한 포커스 결정은 포커스 트리거 위치에서의 영상만을 가지고 포커스 옵셋을 보상함으로써 실행된다.
S650 단계에서 상기 포커스 위치에서 카메라(600)를 통해 패널을 촬상함으로써, 패널 검사를 위한 영상 이미지를 획득한다.
S660 단계서 상기 획득한 이미지를 검사 및 디스플레이한다.
한편, 본 명세서와 도면을 통해 본 발명의 바람직한 실시 예들에 대하여 설명하였으며, 비록 특정 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 발명의 이해를 돕기 위한 일반적인 의미에서 사용된 것일 뿐, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 발명된 실시 예외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형 예들이 실시 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.
100: 트리거 보드 200: 제어부
300: 모션 컨트롤러 400: 포커스 모터
500: 포커스 축 600: 카메라
700: 에어 플레이트 800: 스테이지 프레임

Claims (10)

  1. 자동광학검사장비가 구비된 패널이송장치에서
    상기 자동광학검사장비가 로딩파트와 언-로딩파트의 사이에 설치되며,
    상기 로딩파트 및 언-로딩파트는 각각의 프레임 위에 무접점 이송을 위한 플로팅 스테이지(20)가 배열되고, 상기 플로팅 스테이지(20)은 다수의 에어분출구(30)가 마련되어 상기 에어분출구를 통해 분사되는 에어를 통해 상기 패널을 플로팅시키며,
    상기 패널이송 장치는 빔이나 파이프에 의해 사각형으로 프레임이 마련되면서 상기 프레임 길이방향으로 이송되도록 액추에이터와 연결되고, 상기 프레임에는 상기 패널의 테두리인 마진(margin)부분에 위치되도록 흡착패드가 설치되어
    상기 패널이 플로팅된 상태에서 패널이송 장치의 흡착패드가 패널의 테두리인 마진부분을 흡착 파지하여 이송함에 따라 상기 패널에 휨이 발생한 상태에서 패널을 검사하되
    미리 설정된 좌표로 포커스 축을 이동시키기 위한 신호인 주기적 포커스 트리거 신호를 발생하는 트리거 보드;
    상기 패널의 포커스 위치에서 포커스 축을 이동시키며 영상처리를 통해 포커스 위치를 탐색하고, 탐색된 포커스 위치와 포커스 정보를 적용하여 포커스 매핑 테이블을 생성하는 제어부; 및
    상기 포커스 매핑 테이블을 저장하고, 상기 트리거 신호 주기에 따라 상기 포커스 매핑 테이블에 저장된 포커스 위치로 상기 포커스 축을 이동시키는 모션 컨트롤러;를 포함하며
    또한 상기 제어부는, 비젼 검사 스캔 중 각 포커스 위치에서 포커스 여부를 확인할 수 있는 평균 밝기값과 컨트라스트값을 포함하는 상기 포커스 정보를 모니터링하면서 포커스 위치가 틀어졌는지 실시간 모니터링하고,
    또한 상기 제어부는, 상기 모니터링 중 포커스 위치가 맞지 않는 경우, 알람을 발생하고, 상기 비젼 검사 스캔 완료 후 포커스 위치가 맞지 않은 스캔 구간에 대해 포커스 축을 이동시키며 영상처리로 포커스 위치를 재탐색하여 상기 패널을 재스캔하고,
    또한 상기 제어부는,
    다수의 패널 각각에 대한 상기 포커스 매핑 테이블을 생성하는 것을 특징으로 하는, 포커스 매핑 방식을 이용한 패널 검사 시스템.
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  4. 제1항에 있어서, 상기 트리거 보드는,
    상기 패널 이송을 위한 스테이지의 위치정보를 제공하는 리니어 엔코더 출력신호를 수신하는 엔코더 입력부;
    상기 리니어 엔코더 신호를 읽어서 포커스 트리거 발생 구간에서 기 설정된 주기마다 트리거 신호를 발생시키는 트리거 발생부; 및
    상기 트리거 신호를 상기 모션 컨트롤러에 전달하는 트리거 출력부;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 포커스 매핑 방식을 이용한 패널 검사 시스템.
  5. 제1항에 있어서, 상기 트리거 보드는,
    상기 패널에 대해 포커스 트리거 발생 구간에서 기설정된 간격으로 상기 트리거 신호를 발생시키는 것을 특징으로 하는, 포커스 매핑 방식을 이용한 패널 검사 시스템.
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  7. 제1항에 있어서, 상기 제어부는,
    패널의 포커스 트리거 위치에서 포커스 축을 이동시키며 카메라를 통해 영상 신호를 획득하는 것을 특징으로 하는, 포커스 매핑 방식을 이용한 패널 검사 시스템.








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