KR101351004B1 - 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치 - Google Patents

상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101351004B1
KR101351004B1 KR1020130049857A KR20130049857A KR101351004B1 KR 101351004 B1 KR101351004 B1 KR 101351004B1 KR 1020130049857 A KR1020130049857 A KR 1020130049857A KR 20130049857 A KR20130049857 A KR 20130049857A KR 101351004 B1 KR101351004 B1 KR 101351004B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
camera
camera array
inspection object
image
inspection
Prior art date
Application number
KR1020130049857A
Other languages
English (en)
Inventor
민성준
윤재호
박재영
Original Assignee
주식회사 미루시스템즈
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 미루시스템즈 filed Critical 주식회사 미루시스템즈
Priority to KR1020130049857A priority Critical patent/KR101351004B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101351004B1 publication Critical patent/KR101351004B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/9501—Semiconductor wafers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00—Image analysis
    • G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
    • G06T7/0004—Industrial image inspection
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
    • G06T2207/10—Image acquisition modality
    • G06T2207/10016—Video; Image sequence
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
    • G06T2207/30—Subject of image; Context of image processing
    • G06T2207/30108—Industrial image inspection

Abstract

상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치는 일 방향으로 검사대상물을 이송하는 이송부, 상기 이송부에 대하여 상하 방향으로 이동 가능하게 구비되고 상기 검사 대상물의 이송 방향을 따라 서로 인접하게 배치되어 상기 검사대상물의 촬영 이미지를 생성하며 각각은 상기 검사대상물의 이송 방향과 교차하는 방향을 따라 일렬로 배치되어 상기 검사대상물의 촬영 이미지를 생성하는 복수 개의 카메라를 포함하는 복수 개의 카메라 어레이, 기 설정된 검사 모드에 따라 하나의 상기 카메라 어레이 또는 복수 개의 상기 카메라 어레이를 구성하는 복수 개의 카메라에 의해 생성된 복수 개의 촬영 이미지를 하나의 단일 이미지로 통합하는 이미지 통합부 및 기 저장된 검사대상물의 이미지와 상기 이미지 통합부에서 통합된 상기 단일 이미지를 비교하여 상기 검사대상물의 결함 여부를 검출하는 제어부를 포함할 수 있다.

Description

상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치{Carrying Apparatus Having Camera Array Detecting Defects}
본 발명은 카메라 어레이가 구비된 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 상하 이동하며 검사 대상물을 촬영하여 결함을 검출할 수 있는 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼나 LCD, PDP, EL 등의 대형 기판을 생산할 때 기판에 남아 있는 이물질이나 각종 얼룩 및 스크래치 등의 결함 또는 기판에 형성된 패턴의 결함 여부를 확인하기 위하여 검사를 실시한다. 검사장치로는, 검사자의 육안을 통한 마크로 검사장치(Macro Inspection)와, 광학렌즈와 CCD(charged coupled device) 카메라를 사용하는 인라인 자동광학검사장치(In-Line Automatic Optical Inspection)가 있다.
특히 인라인 자동광학검사장치는 광학렌즈와 CCD 카메라를 사용하여 검사 대상물의 이미지를 캡처(Capture)한 후 비전(Vision) 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 사용자가 찾아내고자 하는 각종 결함을 검출해 내는 장치이다.
이러한 자동광학검사장치는 검사 대상물을 이동시키며, 광학장비를 이용해 기판의 결함을 검출한다.
그러나, 광학장비가 검사 대상물과 항상 일정한 거리 이격되어 일정한 해상도로 검사 대상물을 촬영한다. 즉, 검사 대상물의 보다 정밀한 검사가 필요한 경우 또는 빠른 검사가 필요한 경우 등의 구별 없이 상기 한가지 모드로만 검사 대상물을 촬영한다.
본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 다음과 같다.
본 발명은 필요에 따라 여러 가지 검사 모드 중 하나를 선택하여 검사 대상물을 촬영할 수 있는 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않는 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치는 이송부, 복수 개의 카메라 어레이, 이미지 통합부 및 제어부를 포함할 수 있다.
상기 이송부는 일 방향으로 검사대상물을 이송할 수 있다.
상기 복수 개의 카메라 어레이는 상기 이송부에 대하여 상하 방향으로 이동 가능하게 구비되고, 상기 검사 대상물의 이송 방향을 따라 서로 인접하게 배치되어 상기 검사대상물의 촬영 이미지를 생성할 수 있다. 그리고, 각각의 상기 카메라 어레이는 상기 검사대상물의 이송 방향과 교차하는 방향을 따라 일렬로 배치되어 상기 검사대상물의 촬영 이미지를 생성하는 복수 개의 카메라를 포함할 수 있다.
상기 이미지 통합부는 기 설정된 검사 모드에 따라 하나의 상기 카메라 어레이 또는 복수 개의 상기 카메라 어레이를 구성하는 복수 개의 카메라에 의해 생성된 복수 개의 촬영 이미지를 하나의 단일 이미지로 통합할 수 있다.
상기 제어부는 기 저장된 검사대상물의 이미지와 상기 이미지 통합부에서 통합된 상기 단일 이미지를 비교하여 상기 검사대상물의 결함 여부를 검출할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치는 기 설정된 검사 모드에 따라 상기 복수 개의 카메라 어레이를 상하 방향으로 이동시키는 구동부를 더 포함할 수 있다.
상호 인접한 상기 카메라 어레이의 카메라들은 서로 지그재그로 배치될 수 있다.
상기 카메라 어레이가 하강한 상태에서 상호 인접한 상기 카메라 어레이의 상기 카메라들은 촬영 영역이 서로 중첩되도록 배치될 수 있다.
그리고, 상기 카메라 어레이가 상승한 상태에서 하나의 상기 카메라 어레이를 구성하는 상호 인접한 상기 카메라들은 촬영 영역이 서로 중첩되도록 배치될 수 있다.
또한, 상기 복수 개의 카메라 어레이는 서로 평행하게 배치될 수 있다.
한편, 상기 검사모드는 상기 검사 대상물을 고정밀로 촬영하는 고정밀모드 및 상기 검사 대상물을 저정밀로 촬영하는 저정밀모드를 포함할 수 있다.
상기 고정밀 모드가 설정되면 상기 이미지 통합부는 복수 개의 상기 카메라 어레이를 구성하는 복수 개의 카메라에 의해 생성된 복수 개의 이미지를 하나의 단일 이미지로 통합할 수 있다.
그리고, 상기 저정밀 모드가 설정되면 상기 이미지 통합부는 각각의 상기 카메라 어레이를 구성하는 복수 개의 카메라에 의해 생성된 복수 개의 이미지를 각각의 단일 이미지로 통합할 수 있다.
또한, 상기 고정밀 모드가 설정되면 상기 구동부는 상기 카메라 어레이를 하강시킬 수 있다.
그리고, 상기 저정밀 모드가 설정되면 상기 구동부는 상기 카메라 어레이를 상승시킬 수 있다.
한편, 본 실시예의 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치는 상기 검사대상물에 광을 조사하는 조명부를 더 포함할 수 있다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 효과에 대하여 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 일 실시예에 따른 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치에 의하면 검사 모드에 따라 복수 개의 카메라 어레이가 상하로 이동 가능하며 필요에 따라 정밀도를 달리 하여 검사 대상물을 검사할 수 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
아래에서 설명하는 본 출원의 바람직한 실시예의 상세한 설명뿐만 아니라 위에서 설명한 요약은 첨부된 도면과 관련해서 읽을 때에 더 잘 이해될 수 있을 것이다. 본 발명을 예시하기 위한 목적으로 도면에는 바람직한 실시예들이 도시되어 있다. 그러나, 본 출원은 도시된 정확한 배치와 수단에 한정되는 것이 아님을 이해해야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치의 사시도;
도 2는 고정밀 모드가 설정된 경우 본 발명의 일 실시예에 따른 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치의 측면도;
도 3은 고정밀 모드가 설정된 경우 본 발명의 일 실시예에 따른 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치의 정면도;
도 4는 고정밀 모드가 설정된 경우 본 발명의 일 실시예에 따른 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치의 제 1 카메라 및 제 2 카메라들의 촬영 영역을 나타내는 도면;
도 5는 고정밀 모드가 설정된 경우 본 발명의 일 실시예에 따른 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치의 이미지 통합부에서 단일 이미지를 생성하는 것을 나타내는 도면;
도 6은 저정밀 모드가 설정된 경우 본 발명의 일 실시예에 따른 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치의 제 1 카메라 어레이 및 제 2 카메라 어레이가 작동되는 모습을 나타내는 측면도;
도 7은 저정밀 모드가 설정된 경우 본 발명의 일 실시예에 따른 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치의 제 1 카메라 어레이 및 제 2 카메라 어레이가 작동되는 모습을 나타내는 정면도;
도 8은 저정밀 모드가 설정된 경우 본 발명의 일 실시예에 따른 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치의 제 1 카메라 어레이 및 제 2 카메라 어레이가 작동될 때 제 1 카메라 및 제 2 카메라의 촬영 영역을 나타내는 도면이다.
이하 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다. 다만, 첨부된 도면은 본 발명의 내용을 보다 쉽게 개시하기 위하여 설명되는 것일 뿐, 본 발명의 범위가 첨부된 도면의 범위로 한정되는 것이 아님은 이 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 용이하게 알 수 있을 것이다.
그리고, 본 발명의 실시예를 설명함에 있어서, 동일 기능을 갖는 구성요소에 대해서는 동일 명칭 및 동일부호를 사용할 뿐 실질적으론 종래기술의 구성요소와 완전히 동일하지 않음을 미리 밝힌다.
또한, 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치의 사시도이다.
이하, 도 1을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치에 대하여 설명한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치는 이송부(100), 복수 개의 카메라 어레이(210, 220), 이미지 통합부(300) 및 제어부를 포함할 수 있다.
복수 개의 카메라 어레이(210, 220)는 이송부(100)에 대하여 상하 방향으로 이동 가능하게 구비될 수 있다. 이를 위하여, 본 실시예의 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치는 기 설정된 검사 모드에 따라 복수 개의 카메라 어레이(210, 220)를 상하 방향으로 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다.
그리고, 복수 개의 카메라 어레이(210, 220)는 검사 대상물(10)의 이송 방향을 따라 서로 인접하게 배치되어 검사 대상물(10)의 촬영 이미지를 생성할 수 있다.
이를 위하여, 각각의 카메라 어레이(210, 220)는 검사 대상물(10)의 이송 방향과 교차하는 방향을 따라 일렬로 배치되어 검사 대상물(10)의 촬영 이미지를 생성하는 복수 개의 카메라(212, 222)를 포함할 수 있다. 여기서, 복수 개의 카메라(212, 222)는 초점 조절이 가능한 카메라일 수 있다. 그리고, 복수 개의 카메라(212, 222)는 모두 동일한 카메라일 수 있다,
또한, 복수 개의 카메라(212, 222)의 촬영 주기는 복수 개의 카메라(212, 222)의 촬영 영역(214, 224)의 넓이와 검사 대상물(10)의 이동 속도를 고려하여 결정될 수 있다.
그리고, 도면에 도시되지는 않았지만, 본 발명의 일 실시예에 따른 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치에는 센서(미도시)가 구비되고 검사 대상물(10)에 특정한 마크를 부착하여 센서에 마크가 인식되면 복수 개의 제 1 카메라(212) 및 제 2 카메라(222)들이 검사 대상물(10)을 촬영하도록 이루어질 수도 있다.
이미지 통합부(300)는 기 설정된 검사 모드에 따라 하나의 카메라 어레이(210, 220) 또는 복수 개의 카메라 어레이(210, 220)를 구성하는 복수 개의 카메라(212, 222)에 의해 생성된 복수 개의 촬영 이미지를 하나의 단일 이미지로 통합할 수 있다.
또한, 본 실시예의 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치는 기 저장된 검사대상물(10)의 이미지와 이미지 통합부(300)에서 통합된 단일 이미지를 비교하여 검사대상물(10)의 결함 여부를 검출하는 제어부를 더 포함할 수 있다. 여기서, 기 저장된 검사대상물(10)의 이미지는 결함이 없는 정상적인 검사대상물(10)의 이미지일 수 있다.
기 설정된 검사 모드에 따른 이미지 통합부(300)의 작동에 대해서는 후술하기로 한다.
이하, 본 실시예에서는 카메라 어레이(210, 220)가 두 개인 것을 예로 들어 설명한다, 설명의 편의를 위하여 두 개의 카메라 어레이는 각각 제 1 카메라 어레이(210), 제 2 카메라 어레이(220)라고 부르기로 한다. 또한, 제 1 카메라 어레이(210)를 구성하는 카메라는 제 1 카메라(212), 제 2 카메라 어레이(220)를 구성하는 카메라는 제 2 카메라(222) 라고 칭하기로 한다.
상호 인접한 카메라 어레이(210, 220)의 카메라(212, 222)들은 서로 지그재그로 배치될 수 있다. 또한, 복수 개의 카메라 어레이(210, 220)는 서로 평행하게 배치될 수 있다.
즉, 제 1 카메라 어레이(210)와 제 2 카메라 어레이(220)를 구성하는 제 1 카메라(212)와 제 2 카메라(222)들은 서로 지그재그로 배치되고, 제 1 카메라 어레이(210)와 제 2 카메라 어레이(220)는 서로 평행하게 배치될 수 있다.
복수 개의 제 1 카메라(212)들은 검사 대상물(10)의 이송 방향과 수직한 방향으로 일렬로 배치되며, 제 1 카메라(212) 및 제 2 카메라(222)들은 서로 일정 간격 이격될 수 있다.
한편, 본 실시예의 검사모드는 고정밀 모드와 저정밀 모드로 나누어질 수 있다.
도 2는 고정밀 모드가 설정된 경우 본 발명의 일 실시예에 따른 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치의 측면도이고, 도 3은 고정밀 모드가 설정된 경우 본 발명의 일 실시예에 따른 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치의 정면도이다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 고정밀 모드가 설정되면 복수 개의 카메라 어레이(210, 220)와 검사 대상물(10) 사이의 거리가 가까워지도록 구동부는 제 1 카메라 어레이(210)와 제 2 카메라 어레이(220)를 하강시킬 수 있다.
그리고, 이미지 통합부(300)는 제 1 카메라 어레이(210) 및 제 2 카메라 어레이(220)를 구성하는 제 1 카메라(212) 및 제 2 카메라(222)에 의해 생성된 복수 개의 이미지를 하나의 단일 이미지로 통합할 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 복수 개의 이미지를 하나의 단일 이미지로 통합했을 때 모든 영역을 커버할 수 있도록 제 1 카메라 어레이(210) 및 제 2 카메라 어레이(220)가 하강한 상태에서 상호 인접한 카메라 어레이(210, 220)의 카메라(212, 222)들은 촬영 영역(214, 224)이 서로 중첩되도록 배치될 수 있다.
즉, 검사 대상물(10)이 이동하는 방향에서 카메라 어레이(210, 220)를 바라보는 경우, 제 1 카메라(212)의 촬영 영역(214)과 제 2 카메라(222)의 촬영 영역(224)은 서로 교차하며 중첩될 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 검사 대상물(10)의 이동 방향과 수직한 방향에서 카메라 어레이(210, 220)를 바라보는 경우, 제 1 카메라(212)의 촬영 영역(214)과 제 2 카메라(222)의 촬영 영역(224)은 서로 중첩될 수 있다.
도 4는 고정밀 모드가 설정된 경우 본 발명의 일 실시예에 따른 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치의 제 1 카메라 및 제 2 카메라들의 촬영 영역을 나타내는 도면이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 고정밀 모드가 설정되어 제 1 카메라 어레이(210)와 제 2 카메라 어레이(220)가 하부로 이동하여 이송부(100)와의 거리가 상대적으로 가까워진 상태에서 제 1 카메라(212)의 촬영 영역(214)의 직경이 상호 인접한 제 1 카메라(212)의 촬영 영역(214)의 중심 사이의 거리의 절반 이상이 되도록 배치될 수 있다.
또한, 고정밀 모드가 설정되어 제 1 카메라 어레이(210)와 제 2 카메라 어레이(220)가 하부로 이동하여 이송부(100)와의 거리가 상대적으로 가까워진 상태에서 제 2 카메라(222)의 촬영 영역(224)의 직경이 상호 인접한 제 2 카메라(222)의 촬영 영역(224)의 중심 사이의 거리의 절반 이상이 되도록 배치될 수 있다.
따라서, 제 1 카메라 어레이(210)와 제 2 카메라 어레이(220)가 하부로 이동한 상태에서 검사 대상물(10)이 이동하는 방향에서 제 1 카메라 어레이(210) 및 제 2 카메라 어레이(220)를 바라보는 경우, 복수 개의 제 1 카메라(212)의 촬영 영역(214)과 제 2 카메라(222)의 촬영 영역(224)은 서로 중첩될 수 있다.
도 5는 고정밀 모드가 설정된 경우 본 발명의 일 실시예에 따른 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치의 이미지 통합부에서 단일 이미지를 생성하는 것을 나타내는 도면이다.
도 5에서 실선으로 표시된 영역은 제 1 카메라(212)에서 촬영된 이미지이고, 점선으로 표시된 영역은 제 2 카메라(222)에서 촬영된 이미지이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 이미지 통합부(300)는 제 1 카메라(212) 및 제 2 카메라(222)로부터 촬영된 복수 개의 이미지를 일렬로 나열하여 하나의 이미지로 통합할 수 있다.
이로써, 실제로 상호 인접한 제 1 카메라(212)들은 촬영 영역(214)이 서로 중첩되지 않고, 상호 인접한 제 2 카메라(222)들 또한 촬영 영역(224)이 서로 중첩되지 않지만, 이미지 통합부(300)가 복수 개의 제 1 카메라(212)에서 촬영된 이미지와 제 2 카메라(222)에서 촬영된 이미지를 일렬로 나열하여 하나의 단일 이미지로 통합하기 때문에 빈 부분 없이 모든 영역의 이미지를 얻을 수 있다.
따라서, 복수 개의 제 1 카메라(212) 및 제 2 카메라(222)가 가까운 거리에서 검사 대상물(10)을 촬영함으로써 한번에 촬영할 수 있는 영역은 좁지만 검사 대상물(10)을 확대해서 촬영할 수 있으므로 검사 대상물(10)의 정밀한 검사가 가능하다.
도 6은 저정밀 모드가 설정된 경우 본 발명의 일 실시예에 따른 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치의 제 1 카메라 어레이 및 제 2 카메라 어레이가 작동되는 모습을 나타내는 측면도이고, 도 7은 저정밀 모드가 설정된 경우 본 발명의 일 실시예에 따른 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치의 제 1 카메라 어레이 및 제 2 카메라 어레이가 작동되는 모습을 나타내는 정면도이다.
도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 저정밀 모드가 설정되면 복수 개의 카메라 어레이(210, 220)와 검사 대상물(10) 사이의 거리가 멀어지도록 구동부는 제 1 카메라 어레이(210)와 제 2 카메라 어레이(220)를 상승시킬 수 있다.
도 8은 저정밀 모드가 설정된 경우 본 발명의 일 실시예에 따른 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치의 제 1 카메라 어레이 및 제 2 카메라 어레이가 작동될 때 제 1 카메라 및 제 2 카메라의 촬영 영역을 나타내는 도면이다.
여기서, 도 8에 도시된 바와 같이, 저정밀 모드가 설정되어 제 1 카메라 어레이(210)와 제 2 카메라 어레이(220)가 상승한 상태에서 하나의 카메라 어레이(210, 220)를 구성하는 상호 인접한 카메라(212, 222)들은 촬영 영역(214, 224)이 서로 중첩되도록 배치될 수 있다.
즉, 상호 인접한 제 1 카메라(212)들은 서로 촬영 영역(214)이 중첩되도록 배치되고, 상호 인접한 제 2 카메라(222)들은 서로 촬영 영역(224)이 중첩되도록 배치될 수 있다.
그리고, 본 실시예에서는 저정밀 모드가 선택된 상태에서 검사 대상물(10)의 이동 방향과 수직한 방향에서 제 1 카메라 어레이(210) 및 제 2 카메라 어레이(220)를 바라보는 경우, 제 1 카메라(212)와 제 2 카메라(222)의 촬영 영역(214, 224)은 서로 중첩될 수 있다.
그러나, 이는 일 실시예에 불과하며 저정밀 모드가 선택된 상태에서 제 1 카메라(212)의 촬영 영역(214)과 제 2 카메라(222)의 촬영 영역(224)은 항상 서로 중첩될 필요는 없다.
저정밀 모드가 설정된 상태에서 이미지 통합부(300)는 이미지 통합부(300)는 제 1 카메라 어레이(210)를 구성하는 제 1 카메라(212)에 의해 생성된 복수 개의 이미지를 하나로 통합하고, 제 2 카메라 어레이(220)를 구성하는 제 2 카메라(222)에 의해 생성된 복수 개의 이미지를 단일 이미지로 통합할 수 있다.
즉, 저정밀 모드가 설정된 경우에는 이미지 통합부(300)가 카메라 어레이(210, 220)의 개수만큼의 단일 이미지를 생성할 수 있다. 이 때, 이미지 통합부(300)는 제 1 카메라(212) 및 제 2 카메라(222)에서 촬영된 이미지의 위치 이동 없이 촬영된 상태 그대로 하나의 이미지를 생성할 수 있다.
도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이 제 1 카메라 어레이(210) 및 데 2 카메라 어레이(220)을 모두 작동시켜 검사 대상물(10)을 촬영하는 경우, 복수 개의 제 1 카메라(212) 및 제 2 카메라(222)가 비교적 먼 거리에서 검사 대상물(10)을 촬영함으로써 정밀도는 떨어지지만 한번에 촬영할 수 있는 영역이 넓어질 수 있다.
본 실시예에서는 검사 모드가 고정밀 모드와 저정밀 모드 두 개로 구성되는 것을 예로 들어 설명하였으나, 검사 모드는 이에 한정되는 것이 아니며, 필요에 따라 다양하게 구성될 수 있다.
한편, 도면에 도시되지는 않았지만, 본 실시예의 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치는 이미지 통합부(300)에서 생성된 영상을 출력하는 디스플레이부(미도시)를 포함할 수 있다.
또한, 도면에 도시되지는 않았지만, 본 실시예의 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치는 검사 대상물(10)에 빛을 조사하는 조명부(미도시)가 더 구비될 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화 될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.
10: 검사 대상물 100: 이송부
210: 제 1 카메라 어레이 212: 제 1 카메라
214: 제 1 카메라의 촬영 영역 220: 제 2 카메라 어레이
222: 제 2 카메라 224: 제 2 카메라의 촬영 영역
300: 이미지 통합부 400: 제어부

Claims (10)

  1. 일 방향으로 검사대상물을 이송하는 이송부;
    상기 이송부에 대하여 상하 방향으로 이동 가능하게 구비되고, 상기 검사 대상물의 이송 방향을 따라 서로 인접하게 배치되어 상기 검사대상물의 촬영 이미지를 생성하며, 각각은 상기 검사대상물의 이송 방향과 교차하는 방향을 따라 일렬로 배치되어 상기 검사대상물의 촬영 이미지를 생성하는 복수 개의 카메라를 포함하는 복수 개의 카메라 어레이;
    기 설정된 검사 모드에 따라 하나의 상기 카메라 어레이 또는 복수 개의 상기 카메라 어레이를 구성하는 복수 개의 카메라에 의해 생성된 복수 개의 촬영 이미지를 하나의 단일 이미지로 통합하는 이미지 통합부; 및
    기 저장된 검사대상물의 이미지와 상기 이미지 통합부에서 통합된 상기 단일 이미지를 비교하여 상기 검사대상물의 결함 여부를 검출하는 제어부;를 포함하고,
    검사모드는 상기 검사 대상물을 고정밀로 촬영하는 고정밀모드 및 상기 검사 대상물을 저정밀로 촬영하는 저정밀모드를 포함하며,
    상기 고정밀 모드가 설정되면 상기 카메라 어레이가 하강하여 상기 검사 대상물을 고정밀로 촬영하고 상기 이미지 통합부는 복수 개의 상기 카메라 어레이를 구성하는 복수 개의 카메라에 의해 생성된 복수 개의 이미지를 단일 이미지로 통합하며,
    상기 저정밀 모드가 설정되면 상기 카메라 어레이가 상승하여 상기 검사 대상물을 저정밀로 촬영하고 상기 이미지 통합부는 하나의 상기 카메라 어레이를 구성하는 복수 개의 카메라에 의해 생성된 복수 개의 이미지를 하나의 이미지로 통합하여 상기 카메라 어레이의 개수 만큼의 이미지를 생성하는 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    기 설정된 검사 모드에 따라 상기 복수 개의 카메라 어레이를 상하 방향으로 이동시키는 구동부를 더 포함하는 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상호 인접한 상기 카메라 어레이의 카메라들은 서로 지그재그로 배치되는 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 카메라 어레이가 하강한 상태에서 상호 인접한 상기 카메라 어레이의 상기 카메라들은 촬영 영역이 서로 중첩되도록 배치되는 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치.
  5. 제 2항에 있어서,
    상기 카메라 어레이가 상승한 상태에서 하나의 상기 카메라 어레이를 구성하는 상호 인접한 상기 카메라들은 촬영 영역이 서로 중첩되도록 배치되는 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 복수 개의 카메라 어레이는 서로 평행하게 배치되는 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 검사대상물에 광을 조사하는 조명부를 더 포함하는 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치.
KR1020130049857A 2013-05-03 2013-05-03 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치 KR101351004B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130049857A KR101351004B1 (ko) 2013-05-03 2013-05-03 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130049857A KR101351004B1 (ko) 2013-05-03 2013-05-03 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101351004B1 true KR101351004B1 (ko) 2014-01-24

Family

ID=50145453

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130049857A KR101351004B1 (ko) 2013-05-03 2013-05-03 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101351004B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150106579A (ko) * 2014-03-12 2015-09-22 주식회사 마인즈아이 자유곡면 또는 3차원 형상을 가지는 검사대상물에 대한 검사시스템 및 상기 검사시스템 운영방법
WO2021240025A1 (es) * 2020-05-26 2021-12-02 Cin Advanced Systems Group S.L. Dispositivo de inspección de defectos superficiales, línea de inspección de defectos superficiales de carrocerías de vehículos y procedimiento de inspección de defectos superficiales

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060061875A (ko) * 2004-12-02 2006-06-08 주식회사 에이디피엔지니어링 인-라인 검사장치
KR20100110328A (ko) * 2008-01-16 2010-10-12 오르보테크 엘티디. 다중 카메라를 이용한 기판 검사
WO2011056976A1 (en) * 2009-11-06 2011-05-12 Cyberoptics Corporation High speed optical inspection system with adaptive focusing
JP2011215132A (ja) * 2010-03-16 2011-10-27 Panasonic Corp パターン検査方法とパターン検査装置、およびパターン検査装置用撮像ヘッド

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060061875A (ko) * 2004-12-02 2006-06-08 주식회사 에이디피엔지니어링 인-라인 검사장치
KR20100110328A (ko) * 2008-01-16 2010-10-12 오르보테크 엘티디. 다중 카메라를 이용한 기판 검사
WO2011056976A1 (en) * 2009-11-06 2011-05-12 Cyberoptics Corporation High speed optical inspection system with adaptive focusing
JP2011215132A (ja) * 2010-03-16 2011-10-27 Panasonic Corp パターン検査方法とパターン検査装置、およびパターン検査装置用撮像ヘッド

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150106579A (ko) * 2014-03-12 2015-09-22 주식회사 마인즈아이 자유곡면 또는 3차원 형상을 가지는 검사대상물에 대한 검사시스템 및 상기 검사시스템 운영방법
KR101583016B1 (ko) 2014-03-12 2016-01-19 주식회사 마인즈아이 자유곡면 또는 3차원 형상을 가지는 검사대상물에 대한 검사시스템 및 상기 검사시스템 운영방법
WO2021240025A1 (es) * 2020-05-26 2021-12-02 Cin Advanced Systems Group S.L. Dispositivo de inspección de defectos superficiales, línea de inspección de defectos superficiales de carrocerías de vehículos y procedimiento de inspección de defectos superficiales

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102408322B1 (ko) 자동-초점 시스템
KR100832165B1 (ko) 프로브 방법 및 프로브 장치
KR101949257B1 (ko) 디스플레이 모듈 검사장치 및 검사방법
KR100911330B1 (ko) 어레이 테스트 장치와, 상기 어레이 테스트 장치의 기판 일지점 위치 측정 방법과, 카메라 어셈블리에 촬상된 특정 위치좌표 측정 방법
TWI444613B (zh) 攝像檢查裝置及攝像檢查方法
KR101747852B1 (ko) 인쇄회로기판 코팅 검사장치 및 그 검사방법
CN103858001A (zh) 用于检查平板的方法
US20140160267A1 (en) Image Pickup Apparatus
CN104777168A (zh) 用于检测基板的边缘的设备
KR20120052087A (ko) 기판 검사방법
US20170132779A1 (en) Substrate inspection device and method thereof
KR101672523B1 (ko) 카메라용 렌즈모듈 외관 검사공법
CN103247548B (zh) 一种晶圆缺陷检测装置及方法
KR101523336B1 (ko) 웨이퍼 영상 검사 장치
KR101351004B1 (ko) 상하 이동이 가능한 결함 검출용 카메라 어레이가 구비된 이송장치
JP5832909B2 (ja) 赤外カメラを具備する配線欠陥検出装置、および当該赤外カメラの異常を検知する異常検知方法
JP2008068284A (ja) 欠陥修正装置、欠陥修正方法、及びパターン基板の製造方法
KR101351000B1 (ko) 복수 개의 검사 모드를 가지는 인라인 카메라 검사 장치
JP2015108582A (ja) ３次元計測方法と装置
KR101094968B1 (ko) 휘도값을 이용한 글래스 기판 상의 이물 감지 시스템 및 그방법
JP2009236760A (ja) 画像検出装置および検査装置
JP6913615B2 (ja) 鉄道車両の外観検査装置及びその設定方法
KR101198406B1 (ko) 패턴 검사 장치
JP2010243212A (ja) 傾斜検出方法、および傾斜検出装置
JP2006343143A (ja) 撮像素子の検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170109

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180108

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190207

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200206

Year of fee payment: 7