CN102472788A - 导电图检查装置及检查方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种导电图检查装置(10),包括:通过第一电极(12)向导电图(17)的任意一条供给电信号的供给部(20);通过沿导电图(17)从第一电极(12)以设定间隔进行配置的多个第二电极(14)分别从导电图(17)检测出由供给部(20)施加的电信号的受容部(13);使第一电极(12)以及第二电极(14)从第一条导电图(17)向第N条导电图(17)进行扫描的操作部(24);基于受容部(13)检测出的各导电图(17)的电信号,判断存在断路的导电图(17)是第几条及在该导电图(17)上的断路位置的控制部(23)。本发明能够快速且简便地确定形成在基板上的多条导电图的缺陷位置。

Description

导电图检查装置及检查方法
技术领域
[0001] 本发明涉及一种对形成在基板上的导电图(導電〃夕一 >)的电气性缺陷进行检测的检查装置及检查方法。
背景技术
[0002] 近年来,随着电子设备的小型化及轻量化,电路基板变得小型化,电路基板上的导电图也变得高密度化。由于导电图的高密度化容易引起短路和断路等缺陷。因此,对于检查细密的导电图的方法和装置进行了研究。这种对导电图的短路及断路状况进行检查的方法大致分为两类。
[0003] 第一类方法是使用探卡。在探卡上针对每个导电图形成有一对检查用触针,以便与导电图的两端相接触。在进行检查时将探卡设置在电路基板上,使各个检查用触针分别正确地接触对应的导电图的两端。电信号从探卡流动到与导电图的一端相接的检查用触针上。电信号经过导电图传递到另一端,电信号再从另一端传递到探卡上。通过这种方法可以检查导电图是否存在缺陷。
[0004] 第二类方法是使探针进行扫描。将电极板配置在电路基板上的导电图的一端。电极板具有通过电路基板与电路基板上的导电图的一端完全进行静电结合的面积。探针配置在导电图的另一侧。探针的前端部被形成为仅接触电路基板上的任意一个导电图。电信号从探针流到导电图上,经过导电图传导到电极板上。据此实现导电图的导电测试等。另外, 通过使探针进行扫描对每个导电图进行导电测试(专利文献1)。在该方法中,代替电极板的传感部可以设置在与探针相反侧的导电图的端上(专利文献幻。传感部被设置为不与导电图上相接触。传感部与探针进行同步扫描,与上述相同,可对每个导电图是否存在缺陷进行检查。也可以使探针进行双方向的扫描(专利文献3)。
[0005] 在上述第一种方法中,检查用触针形成为与导电图的两端相接触。通过该方法虽然可以检测出是否存在短路等,但不能确定所检测出的缺陷的位置。
[0006] 在上述第二种方法中,通过由探针向一个方向进行扫描,可以确定存在缺陷的导电图。但是不能确定导电图上的缺陷位置。为了确定位置,就需要再次用探针和照相机等进行扫描。另外,如果将移动探针等的方向增加为二维,则不仅会使探针等的控制功能变得复杂,而且也很耗时。当使用照相机时,就需要照相机以及操作照相机的控制装置。当根据照相机拍摄到的图像进行检测时,画质取决于具有颜色信息(色调和色阶)的像素。像素是具有颜色信息的最小单位,在精细度上存在局限性。因此,在高密度化的电路基板上,通过图像进行检测存在局限性。
[0007] 专利文献1 :特开2003-344474号公报
[0008] 专利文献2 :特开2006-300665号公报
[0009] 专利文献3 :特开2008-281576号公报
发明内容[0010] 本发明针对上述问题,其目的是提供一种方案,能够迅速且简便地确定形成在基板上的多条导电图的缺陷位置。
[0011] 本发明所述的导电图检查装置是对并列形成在基板上的N条直线状导电图的状态进行检查的装置,其中包括:
[0012] 施加装置,通过第一电极向所述导电图的任意一条供给电信号;
[0013] 检测装置,通过沿所述导电图从所述第一电极以设定间隔进行配置的多个第二电极,从所述导电图分别检测出由所述施加装置施加的电信号;
[0014] 扫描装置,使所述第一电极以及所述第二电极从第一条导电图向第N条导电图进行扫描;
[0015] 断路判断装置,基于所述检测装置检测出的各导电图的电信号,判断存在断路的导电图是第几条及在该导电图上的断路位置。
[0016] 较佳地,所述检测装置通过所述第二电极,从由所述第一电极施加了电信号的导电图及与该导电图邻接的导电图检测出该电信号;还具有短路判断装置,基于该检测装置检测出的电信号,判断存在短路的导电图是第几条。
[0017] 较佳地,所述第一电极与所述导电图相接触,所述第二电极不与所述导电图相接触。
[0018] 较佳地,当通过所述第二电极从第k条导电图检测出的各电信号的至少一个小于预先设定的第一基准值时,所述断路判断装置判断该第k条导电图发生了断路。
[0019] 较佳地,所述断路判断装置基于在通过所述第二电极从第k条导电图检测出的各电信号中,检测出比所述第一基准值小的电信号的第二电极的位置,判断该第k条导电图中的断路位置。
[0020] 较佳地,当通过所述检测装置检测出的第k条导电图,从所述第二电极得到的电信号大于预先设定的第二基准值时,所述短路判断装置判断该第k条导电图发生了短路。
[0021] 较佳地,在对于所述导电图通过绝缘层设置有其他直线状导电图的所述基板的检查中,当通过所述检测装置检测出的第k条导电图,从所述第二电极得到的各电信号的至少一个电信号大于预设的第三基准值时,所述短路判断装置判断该第k条导电图与所述其他导电图发生了短路。
[0022] 较佳地,所述短路判断装置基于通过所述第二电极从第k条导电图检测出的各电信号中大于所述第三基准值的电信号的第二电极的位置,判断该第k条导电图上的短路位置。
[0023] 本发明所述导电图检查方法是对并列形成在基板上的N条直线状导电图的状态进行检查的方法,其中包括:
[0024] 通过第一电极向所述导电图的任意一条供给电信号的施加步骤;
[0025] 通过沿所述导电图从所述第一电极以设定间隔配置的多个第二电极,从所述导电图分别检测出由所述施加步骤中所施加的电信号的检测步骤;
[0026] 使所述第一电极以及所述第二电极从第一条导电图向第N条导电图进行扫描的扫描步骤;
[0027] 基于在所述检测步骤中检测出的各导电图的电信号,确定存在断路的导电图是第几条及在该导电图上的断路位置的断路位置确定步骤。[0028] 较佳地,所述检测步骤通过所述第二电极,从由所述第一电极施加电信号的导电图及与该导电图邻接的导电图检测出该电信号;还具有短路判断步骤,基于所述检测步骤检测出的电信号,判断存在短路的导电图是第几条。
[0029] 较佳地,所述第一电极与所述导电图相接触,所述第二电极不与所述导电图相接触。。
[0030] 较佳地,当通过所述第二电极从所述第k条导电线检测出的各电信号中的至少一个电信号小于预设的第一基准值时,判断该第k条导电图发生了断路。
[0031 ] 较佳地,通过所述第二电极从第k条导电图检测出的各电信号中,基于检测出比所述第一基准值小的电信号的第二电极的位置,判断该第k条导电图上的断路位置。
[0032] 较佳地,当通过第k条导电图,从所述第二电极得到的电信号大于预设的第二基准值时,判断该第k条导电图发生了短路。
[0033] 较佳地,所述导电图检查方法,在对于所述导电图通过绝缘层设置有其他导电图的所述基板的检查中,当通过第k条导电图,从所述第二电极得到的各电信号中的至少一个电信号大于预设的第三基准值时,判断该第k条导电图与所述其他导电图发生了短路。
[0034] 较佳地,基于在通过所述第二电极从第k条导电图检测出的各电信号中,检测出大于所述第三基准值的电信号的第二电极的位置,判断该第k条导电图上的短路位置。
[0035] 通过本发明,针对在基板上形成的N条导电图,通过第一电极及多个第二电极对各导电图进行扫描,能够确定存在断路的导电图是第几条及位置。
附图说明
[0036] 图1为本发明一实施方式所述的导电图检查装置10的模型图;
[0037] 图2为导电图检查装置10的侧面示意图;
[0038] 图3为导电图检查方法的流程图;
[0039] 图4为断路、短路的判断流程图;
[0040] 图5为从正常的导电图17检测出的电信号的模型图;
[0041] 图6为从存在断路的导电图17检测出的电信号的模型图;
[0042] 图7为从存在断路的导电图17检测出的电信号的模型图;
[0043] 图8为从存在短路的导电图17检测出的电信号的模型图;
[0044] 图9为从正常的导电图17检测出的电信号的模型图;
[0045] 图10为从在与第二导电图47之间存在短路的导电图17检测出的电信号的模型图。
[0046] 符号说明
[0047] 10......导电图检查装置
[0048] 11,51......基板
[0049] 12......第一电极
[0050] 13......受容部
[0051] 14......第二电极
[0052] 17......导电图
[0053] 18......支撑部件[0054] 20......供给部
[0055] 21......信号处理部
[0056] 23......控制部
[0057] 24......操作部
[0058] 26、27、28......导线
[0059] 30......支撑台
[0060] 33......基底部
[0061] 35......第一端
[0062] 36......第二端
[0063] 47......第二导电图
[0064] 101......与导电图17平行的方向
[0065] 102......与导电图17垂直的方向
[0066] 103......扫描方向
具体实施方式
[0067] 以下参照相应的附图对本发明的优选实施方式进行说明。另外,以下说明的各实施方式仅为本发明的一例,在不改变本发明思路的范围内,当然可以对本发明的实施方式进行适当改变。
[0068][导电图检查装置10的概要]
[0069] 图1为本发明一实施方式所述的导电图检查装置10的模型图。图2为本发明一实施形态所述的导电图检查装置的侧面示意图。而且,在图2中省略了后述的第一电极支撑部件18。
[0070] 导电图检查装置10主要包括:供给部20、第一电极12、受容部13、信号处理部21、 控制部23、操作部M及支撑台30。支撑台30是固定检查对象的基台。第一电极12及受容部13设置在支撑台30用于固定检查对象的面上。第一电极12通过导线沈与供给部20 相连。受容部13在与支撑台30彼此面对的面上具有多个第二电极14。第二电极14通过导线27与信号处理部21相连。供给部20通过导线观与控制部23相连。此外,控制部23 通过导线等与信号处理部21和操作部M电连接。关于各结构的详细构造,将在以下进行说明。供给部20相当于本发明中的施加装置。受容部13相当于本发明中的检测装置。操作部对相当于本发明中的扫描装置。控制部23相当于本发明中的断路判断装置及短路判断装置。
[0071] 为了说明导电图检查装置及方法,作为检查对象的基板11如图所示。此外,将与基板11平面上的导电图17平行的方向作为方向101,将与导电图垂直的方向作为方向102 进行利用。
[0072][基板 11]
[0073] 基板11为液晶面板等所使用的基板,在基底部33上形成有导电图17。基底部33 是由绝缘体构成的薄层板,主要材料可列举为玻璃和塑料等。各个导电图17为大致相同的直线形状,N条并排形成于基底部33上。S卩,N条导电图17相互大致平行地并排形成在基底部33上。导电图17由导电材料形成,这种导电材料可以列举例如铟锡氧化物(ΙΤ0)、银、ΤΤ=ί 寸 ο
[0074][第一电极 12]
[0075] 第一电极12如上所述通过导线沈与供给部20电连接。第一电极支撑部件18支撑第一电极12。在图1中,第一电极支撑部件18从侧面支撑第一电极12,但支撑形态不限于此,也可以从第一电极支撑部件18上支撑第一电极12。如图2所示,第一电极12的前端具有接触部16。接触部16配置成与导电图17 —侧的第一端35附近相接触。第一电极12 的接触部16为比彼此相邻的导电图17的间隔小的结构,以避免接触部16与彼此相邻的两条导电图17同时接触。换言之,接触部16仅能够与导电图17的任意一条相接触。
[0076] 由于第一电极12与导电图17相接触,因此,可对导电图17施加的电信号的大小与非接触的电极相比更大。从而使各第二电极14检测的电信号的噪声变小。接触部16为导电体。作为导电体可以列举例如以钨合金为代表的金属等。为了使接触部16仅与导电图17的任意一条相接触,假设接触部16采用金属纤维,则其截面直径最好为50〜70 μ m 左右ο
[0077][受容部 13]
[0078] 如图1及图2所示,受容部13具有多个第二电极14和第二电极支撑部件19。第二电极支撑部件19将各第二电极14支撑在面向基板11并且使各第二电极14与基板11 相距一定距离的位置上。在图1中,配置于第二电极支撑部件19下方的第二电极14以虚线表示。由第二电极支撑部件19支撑的多个第二电极14能够作为一个整体向方向102移动。多个第二电极14沿着第一电极12接触的导电图17,从第一电极接触的第一端35到另一侧的第二端36之间,以一定间隔配置成一列。即各第二电极14不与导电图17相接触, 是通过静电结合从导电图17检测电信号。
[0079] 第二电极14具有可和包含与第一电极12相接触的导电图17以及与其彼此相邻的导电图17在内的多条导电图17相对的大小。假设,第一电极12接触的导电图17以外的导电图17上也被施加了电信号,则第二电极14能够从多条导电图17同时检测出电信号。
[0080][操作部
[0081] 通过操作部对可由图中未显示的马达向第一电极支撑部件18及第二电极支撑部件19传递驱动,从而能够使它们作为一个整体向方向102移动。从马达向第一电极支撑部件18及第二电极支撑部件19的驱动传递是通过公知的齿轮机构和传动带机构等实现的。 此外,第一电极支撑部件18及第二电极支撑部件19的位置可以基于传感器、编码器和步进马达的步进量来进行掌握。通过第一电极支撑部件18及第二电极支撑部件19向扫描方向 103移动,第一电极12及多个第二电极14相对各导电图17被扫描。
[0082][信号处理部21]
[0083] 如图1所示,信号处理部21接收由第二电极14检测出的电信号。信号处理部21 在将收到的信号放大的同时,通过滤波器去除噪声,能够以一定顺序进行串行输出。
[0084][控制部 23]
[0085] 控制部23是由如计算机等信息处理装置所构成。控制部23安装有用于指示从供给部20向第一电极12输出的电信号的时刻和大小的程序、用于使第一电极支撑部件18及第二电极支撑部件19按照设定的时刻移动到设定的位置的程序、以及基于从信号处理部 21输出的电信号确定导电图17发生断路或短路的位置的程序。[0086][导电图的检查方法]
[0087] 以下对本发明一实施方式所述的导电图检查装置10的导电图检查方法进行说明。
[0088] 作为检查对象的基板11预先固定在支撑台30上。其固定方法并无特别限定,通过机器和人力将基板11固定在支撑台30的设定位置。一旦控制部23接收到检查开始的指示,就令第一电极支撑部件18及第2电极支撑部件19移动到对应第一条导电图17的检查开始位置(Si)。在检查开始位置处,第一电极12与第一条导电图17相接触。同时,各第二电极14面对包含第一条导电图17在内的多条导电图17。另外,检查开始位置并非限定为基板11上的第一条导电图17,但在本说明书中,将最开始被检查的导电图17称作第一条导电图17。
[0089][施加步骤]
[0090] 控制部23使供给部20通过第一电极12向第一条导电图17施加电信号,以开始供给电信号(S2)。作为该电信号的一个例子,可以使用交流电压,电压为20V左右。当电压为20V以上时,由于各第二电极14可检测出足够大的电信号,因此容易对所检测出的电子信号与噪声进行判别。
[0091][扫描步骤]
[0092] 控制部23使第一电极支撑部件18及第二电极支撑部件19从第一条导电图17向第N条导电图17移动(S3)。由于第一电极12与任意一条导电图17相接触,因此,在该扫描过程中,由第一电极12产生的电信号分别顺序地从第一条导电图17到第N条导电图17 进行施加。
[0093][检测步骤]
[0094] 控制部23在第一电极支撑部件18及第二电极支撑部件19的扫描过程中,判断第一电极12及第二电极14是否处于测定位置(S4)。如果第一电极12及第二电极14没有到达测定位置(S4 :否),则控制部23继续对第一电极支撑部件18及第二电极支撑部件19 的扫描。该测定位置是指能够从各导电图17检测出电信号的位置。例如,通过线性编码器和马达的编码器检测出第一电极支撑部件18及第二电极支撑部件19的移动距离,基于该移动距离及各导电图17的间距来判断第一电极12及第二电极14是否位于测定位置。当第一电极12及第二电极14位于测定位置时(S4 :是),则控制部23从信号处理部21收到供给该导电图17并由各第二电极14检测出的电信号。该电信号作为电信号被存储到控制部 23 的 RAM 中(S5)。
[0095] 控制部23从一条导电图17检测出电信号之后,判断第一电极支撑部件18及第二电极支撑部件19是否到达了检查终止位置(S6)。如果基板11上形成有N条导电图17,那么检查终止位置是指第一电极12以及第二电极14移动到超过第N条导电图17并且到达基板11端侧的位置。在检查终止位置,第一电极12与第N条导电图17相接触,各第二电极14面对包含第N条导电图17在内的多个导电图17。另外,检查终止位置并非限定在超过基板11上的第N条导电图17的位置。
[0096] 如果第一电极支撑部件18及第二电极支撑部件19没有到达终止位置(S6 :否), 则控制部23重复前述的测定位置的判断(S4)以及测定和检测出的电信号的存储(S5)步骤。如果第一电极支撑部件18及第二电极支撑部件19到达到了终止位置66:是),则控制部23停止电信号的供给及测定(S7)。接下来,控制部23从存储的电信号提取出对应于各个导电图17的线路数据(S8),分别对应从第一条到第N条导电图17进行断路及短路的判断(S9)。
[0097][断路判断步骤及短路判断步骤]
[0098] 如图4所示,控制部23从RAM依次读出从第一条至第N条检测出的导电图17的电信号(S21)。并将读出的第k条导电图17的电信号与第一基准值进行比较(S22)。该第一基准值是基于导电图17上存在断路时检测出的电信号的大小而预先设定的值。
[0099] 如图5所示,当在导电图17上不存在断路或短路时,也就是说导电图17正常时, 从面向第k条导电图17的7个第二电极14分别得到的电信号的大小大致相同。
[0100] 如图6所示,假设从第一电极12侧开始数的第5个第二电极14和第6个第二电极14之间的导电图17上发生了断路,则从第一电极12施加的电信号从第5个第二电极14 可以正常地检测出,但从第6个第二电极14起则无法检测出电信号或者检测出的电信号非常微弱。
[0101] 另外,如图7所示,假设从第一电极12侧数的第5个第二电极14的正下方的导电图17上发生了断路,则第一电极12施加的电信号从第5个第二电极14检测出的大小是正常时的一半左右,从第6个第二电极14无法检测出电信号或者检测出的电信号非常微弱。 这样一来,可预先设定比从位于断路的位置正上方的第二电极14检测出的电信号的大小稍大的值作为第一基准值。
[0102] 在从各第二电极14检测出的第k条导电图17的电信号中,假设第5个第二电极 14检测出的电信号小于第一基准值(S22 :是),则控制部23判断出在第k条导电图17中的第5个第二电极14附近存在断路,并将存在断路的第k条及第5个第二电极14的位置存储到RAM中(S23)。
[0103] 如果第k条导电图17的所有电信号均大于第一基准值(S22 :否),则控制部23将其电信号与第二基准值进行比较(S24)。该第二基准值是基于导电图17上存在短路时检测出的电信号的大小而预先设定的值。
[0104] 如图8所示,假设在从第一电极12侧开始数的第2个第二电极14与第3个第二电极14之间,第k条导电图17与第(k+Ι)导电图17发生了短路,则从第一电极12向第k 条导电图17施加的电信号也会被传递到第(k+Ι)导电图17上,各第二电极14可从第k条导电图17及第(k+Ι)条导电图17检测出电信号。结果,从各第二电极14检测出的电信号的大小是正常时的两倍左右。这样一来,就预先设定比存在短路时从各第二电极14检测出的电信号的大小稍小的值作为第二基准值。
[0105] 如果从各第二电极14检测出的第k条导电图17的电信号均大于第二基准值 (S24 :是),则控制部23判断出第k条导电图17上存在短路,并将存在短路的第k条存储在 RAM 中(S25)。
[0106] 如果从各第二电极14检测出的第k条导电图17的所有电信号均小于第二基准值 (S24 :否),则控制部23判断出第k条导电图17为正常线路并存储到RAM中(S26)。
[0107] 控制部23对第k条进行累加(S27),当不满足k = N时(S^ :否),则继续从RAM 读出下一个第(k+Ι)条导电图17的电信号并进行相同的断路和短路的判断,当满足k = N 时,则(S28:是)终止断路和短路的判断。[0108][显示步骤]
[0109] 如图3所示,当控制部23终止了断路和短路的判断之后,就会读出在RAM中存储的断路位置和短路位置,并将其作为检查结果显示在显示器等显示部上(SlO)。基于该显示,检查者可以得知在基板11的哪一个位置处存在断路或短路。
[0110][本实施方式的作用效果]
[0111] 如前所述,根据本实施方式,只是通过第一电极12及多个第二电极14对基板11 沿同一方向进行扫描便可以确定存在断路的是第几条及位置,因此与以往相比明显缩短了检查所需的时间。同时,通过同一次扫描,还可以确定存在短路的是第几条。此外,由于第一电极12与导电图17相接触,因此,在第二电极14中能够检测出大到能够与噪声相区别的电信号。而且,由于第二电极14不与导电图17相接触,因此,通过扫描第二电极14,导电图17不会发生损伤。进一步地,无论各第二电极相对于各导电图17产生多少错位,都能够实现断路和短路的检查。
[0112][变形例]
[0113] 另外,本发明不仅能够对实施形态中所示的基板11进行检查,也能够对如由装有液晶图像等采用的薄层晶体管(TFT)的两层构成的液晶面板进行检查。
[0114][基板 51]
[0115] 如图9所示,基板51是与基板11相同的被应用于液晶面板等的基板,相对于基底部33上形成的导电图17,将基底部33的一部分作为绝缘层,在基底部33的内部形成第二导电图47。也就是说,导电图17形成为基底部33的表层,第二导电图47形成为基底部33 的内层。另外,在各图中,第二导电图47采用虚线表示。
[0116] 各第二导电图47为大致相同的直线形状,在图9所示的平面视图中,与导电图17 大致垂直地并列形成有X条。第二导电图47的条数,即X条,不必与导电图17的条数,即 N条相同。
[0117] 在前面所述的短路判断步骤中,控制部23从RAM依次读出从第一条至第N条导电图17中检测出的电信号,将读出的第k条导电图17的电信号与第三基准值进行比较。该第三基准值是基于导电图17与第二导电图47之间存在短路时检测出的电信号的大小而预先设定的值。
[0118] 如图9所示,当在导电图17与第二导电图47之间不存在短路时,也就是说在导电图17与第二导电图47之间没有短跨时,面向第k条导电图17的7个第二电极14分别得到的电信号的大小大致相同。
[0119] 在图10中,如“ X ”标记所示,假设从第一电极12侧数的第4个第二电极14的正下方的第k条导电图17与第二导电图47之间发生短路(短跨),则从第一电极12施加到第k条导电图17上的电信号也传递到短路的第二导电图47上,并且第4个第二电极14从第k条、第k+Ι条、第k+2条的各导电图17检测出电信号。据此,从第4个第二电极14检测出的电信号为正常时的2倍以上的大小。这样一来,就预先设定比存在短路时比由第二电极14检测出的电信号稍小的值作为第三基准值。
[0120] 在从第二电极14检测出的第k条导电图17的电信号中,假设第4个第二电极14 检测出的电信号大于第三基准值,则控制部23判断出第k条导电图17在第4个第二电极 14附近与第二导电图47相短路,并将存在短路的第k条及第4个第二电极14的位置存储在RAM中。另一方面,如果从各第二电极14检测出的第k条导电图17的所有电信号均小于第三基准值,则控制部23判断出第k条导电图17是正常的。这样一来,便可以确定在基板51上,导电图17与第二导电图47之间存在短路的是第几条及位置。
[0121] 产业上的利用领域
[0122] 本发明可以用于对形成在基板上的导电图的电气性缺陷进行检测的检查装置及检查方法。

Claims (16)

1. 一种导电图检查装置,是对并列形成在基板上的N条直线状导电图的状态进行检查的装置;其中包括:施加装置,通过第一电极向所述导电图的任意一条供给电信号;检测装置,通过沿所述导电图从所述第一电极以设定间隔进行配置的多个第二电极, 从所述导电图分别检测出由所述施加装置施加的电信号;扫描装置,使所述第一电极以及所述第二电极从第一条导电图向第N条导电图进行扫描;断路判断装置,基于所述检测装置检测出的各导电图的电信号,判断存在断路的导电图是第几条及在该导电图上的断路位置。
2.根据权利要求1所述的导电图检查装置,其中:所述检测装置通过所述第二电极,从由所述第一电极施加了电信号的导电图及与该导电图邻接的导电图检测出该电信号;还具有短路判断装置,基于该检测装置检测出的电信号,判断存在短路的导电图是第几条。
3.根据权利要求1或2所述的导电图检查装置,其中:所述第一电极与所述导电图相接触,所述第二电极不与所述导电图相接触。
4.根据权利要求1〜3中任意一项所述的导电图检查装置,其中:当通过所述第二电极从第k条导电图检测出的各电信号的至少一个小于预先设定的第一基准值时,所述断路判断装置判断该第k条导电图发生了断路。
5.根据权利要求4所述的导电图检查装置,其中:所述断路判断装置基于在通过所述第二电极从第k条导电图检测出的各电信号中,检测出比所述第一基准值小的电信号的第二电极的位置,判断该第k条导电图中的断路位置。
6.根据权利要求2或3所述的导电图检查装置,其中:当通过所述检测装置检测出的第k条导电图,从所述第二电极得到的电信号大于预先设定的第二基准值时,所述短路判断装置判断该第k条导电图发生了短路。
7.根据权利要求2或3所述的导电图检查装置,其中:在对于所述导电图通过绝缘层设置有其他直线状导电图的所述基板的检查中,当通过所述检测装置检测出的第k条导电图,从所述第二电极得到的各电信号的至少一个电信号大于预设的第三基准值时,所述短路判断装置判断该第k条导电图与所述其他导电图发生了短路。
8.根据权利要求7所述的导电图检查装置,其中:所述短路判断装置基于通过所述第二电极从第k条导电图检测出的各电信号中大于所述第三基准值的电信号的第二电极的位置,判断该第k条导电图上的短路位置。
9. 一种导电图检查方法,是对并列形成在基板上的N条直线状导电图的状态进行检查的方法;其中包括:通过第一电极向所述导电图的任意一条供给电信号的施加步骤;通过沿所述导电图从所述第一电极以设定间隔配置的多个第二电极,从所述导电图分别检测出由所述施加步骤中所施加的电信号的检测步骤;使所述第一电极以及所述第二电极从第一条导电图向第N条导电图进行扫描的扫描步骤;基于在所述检测步骤中检测出的各导电图的电信号,确定存在断路的导电图是第几条及在该导电图上的断路位置的断路位置确定步骤。
10.根据权利要求9所述的导电图检查方法,其中:所述检测步骤通过所述第二电极, 从由所述第一电极施加电信号的导电图及与该导电图邻接的导电图检测出该电信号;还具有短路判断步骤,基于所述检测步骤检测出的电信号,判断存在短路的导电图是第几条。
11.根据权利要求9或10所述的导电图检查方法,其中:所述第一电极与所述导电图相接触,所述第二电极不与所述导电图相接触。
12.根据权利要求9〜11中任意一项所述的导电图检查方法,其中:当通过所述第二电极从所述第k条导电线检测出的各电信号中的至少一个电信号小于预设的第一基准值时,判断该第k条导电图发生了断路。
13.根据权利要求12所述的导电图检查方法,其中:通过所述第二电极从第k条导电图检测出的各电信号中,基于检测出比所述第一基准值小的电信号的第二电极的位置,判断该第k条导电图上的断路位置。
14.根据权利要求10或11所述的导电图检查方法,其中:当通过第k条导电图,从所述第二电极得到的电信号大于预设的第二基准值时,判断该第k条导电图发生了短路。
15.根据权利要求10或11所述的导电图检查方法,其中:在对于所述导电图通过绝缘层设置有其他导电图的所述基板的检查中,当通过第k条导电图,从所述第二电极得到的各电信号中的至少一个电信号大于预设的第三基准值时,判断该第k条导电图与所述其他导电图发生了短路。
16.根据权利要求15所述的导电图检查方法,其中:基于在通过所述第二电极从第k 条导电图检测出的各电信号中,检测出大于所述第三基准值的电信号的第二电极的位置, 判断该第k条导电图上的短路位置。
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