JP5328847B2 - 光学検査装置 - Google Patents

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Description

本発明は、光学検査に関し、特に、関連の物品の欠陥或いは特徴を検査する光学検査装置に関する。
例えば液晶ディスプレイ(Liquid crystal display、「LCD」)装置のディスプレイ装置は、電子式に文字、映像及び動画を含む情報を表示するために用いられる。LCDは、例えば偏光フィルタ、ガラス基板、カラ−フィルタ、液晶と反射表面など複数のレイヤーを含み、前記LCDの品質を判定する。LCDが合格のLCDであるかどうか、つまり前記LCDの欠陥があらかじめ定めた数量より少ないかどうかを検査するには、肉眼で検査することも時には可能である。しかし、肉眼での検査はLCDの大量生産において時間と手間がかかると共に不正確になることがある。さらに、半導体製造の進歩に伴い、肉眼検査で小型化を特徴とするLCD製品を検査することは、更に困難になる場合がある。このため、LCDパネルを自動的に検査するための検査システム或いは装置が開発されている。しかしながら、当前記自動走査システムは光学特徴の欠陥を識別することができない、あるいは特定の方向からしか観察、又は検出できない可能性がある。また、検査工程において異物(例えばごみ或いはほこり等)を欠陥と間違って判定されることもある。更に、検査前に手動でパネルをオンにする必要がある場合があるため、当前記走査システムは余り自動化されていない。
本発明の目的は、光学特徴の欠陥を識別でき、かつ検査工程においてパネル表面の異物を除去できる装置を提供すること、また検査中のパネルに電力が供給できる装置を提供することにある。
本発明の実施例は光学検査に用いる装置を提供する。前記装置は、第1方向に延伸する検査台と、前記第1方向に被検査物のいずれかを載置する少なくとも1つの載置板を投入口から払出口へ搬送するために用いられる搬送ユニットと、前記第2に前記投入口と前記払出口の間に延伸する第1スキャナを備え、前記検査台に設置され、また前記第1方向と垂直する第2方向に延伸し、前記少なくとも1つの載置板にある前記少なくとも1つの物品を検査するために用いられる第1検出器と、前記第1スキャナと前記投入口の間に位置され、前記少なくとも1つの各物品表面に力をかけるために用いられる第1ローラセットとを、含む光学検査装置を提供できる。
本発明の一実施例は光学検査に用いる装置を提供できる。前記装置は第1装置ユニットと第2装置ユニットを含む。第1装置ユニットは、第1方向に延伸する第1検査台と、前記第1方向に載置板を第1投入口から第1払出口へ搬送するために用いられる第1搬送ユニットと、前記第1検査台に設置され、また前記第1方向と垂直する第2方向に延伸し、前記載置板にある物品を縦方向に検査するために用いられる第1検出器を有する。第2装置ユニットは、第2方向に延伸する第2検査台と、前記第2方向に前記載置板を第2投入口から第2払出口へ搬送するために用いられる第2搬送ユニットと、前記第2検査台に設置され、また前記第1方向に延伸し、前記載置板にある前記物品を横方向に検査するために用いられる第2検出器とを有する。
本発明のまた別の実施例は光学検査に用いる装置を提供できる。前記装置は、第1方向に延伸する検査台と、前記検査台に設置され、また前記第1方向と垂直な第2方向に延伸し、物品を検査するために用いられる第1検出器と、前記第1方向に載置板を投入口から払出口へ搬送するために用いられる搬送ユニットとを含む。前記載置板上に前記物品を載置する第1表面と、前記物品への電力供給を制御するための電力制御ユニットを備える第2表面を有し、前記第2表面に検査工程において前記載置板を前記搬送ユニットで搬送する時、前記搬送ユニットを通じて前記電力制御ユニットを電源に接続するために用いられる一対の導電性レールを含む。
下記の説明において本発明の他の特徴と利点の一部を提供するものであり、かつ前記説明から本発明の一部を理解できる、或いは本発明の実施により習得することもできる。添付した特許請求の範囲において特別に列記された部材と組み立てによって本発明の特徴と利点を理解し、かつその特徴と利点を達成することができる。
上記の概要説明及び下記の詳細説明は、例示と解釈のために提供されたものであり、本文の主張する発明を限定するものではない。
添付図面を併せて参照すると、本発明の上記詳細説明をより明確に理解することができる。本発明の説明目的を達成するため、各図面に実施例を示す。図面は各実施例としての配置方法及び設備装置を描いたものである。
本発明の一実施例による光学検査装置の略概図である。 図1に例示される装置のクリーナー拡大図である。 図1に例示される装置の検出器上面図である。 図3Aに例示される装置の検出器背面立体図である。 図1に例示される装置の左側を示す図である。 本発明の他の一実施例における図1に例示されるような装置の左側を示す図である。 本発明の実施例におけるローラ調整機構を示す図である。 本発明の他の一実施例におけるローラ調整機構を示す図である。 本発明のさらに他の一実施例におけるローラ調整機構を示す図である。 本発明の他の一実施例における光学検査装置を示す図である。 本発明のさらにまた他の一実施例における光学検査装置を示す上面図である。 本発明のさらにまた他の一実施例における光学検査装置を示す上面図である。 図1に例示される光学検査装置内の載置板の上面立体図である。 図6Aに例示される載置板下面図である。 本発明の載置板を異なる寸法のパネルに応用した場合を示す図である。 本発明の実施例においてその上に第1物品を固定している場合の載置板を示す上面立体図である。 本発明の実施例においてその上に第2物品を固定している場合の載置板を示す上面立体図である。 本発明の実施例においてその上に第3の物品を固定している場合の載置板を示す上面立体図である。 図8Aに例示される前記第1物品を示す下面図である。 その上に前記第1物品を固定している場合の前記載置板を示す下面図である。
以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明するが、実施例を添付の図面に図示し、全ての図面においてできる限り同じ符号を用いて、同一または類似の部材で表すこととする。
図1は、本発明の1つの実施例に基づく光学検査装置20を示す図である。図1に示すように、装置20には検査台21と、検出器22と、クリーナー23と、搬送ユニット24と、検査時物品26−1、26−2及び26−3を載置する複数の載置板25−1、25−2及び25−3と、コントローラ27とを含む。
検査台21は、光学検査用作業台として使用できる。本発明に基づく実施例において、検査台21は第1方向に延伸する金属フレームを有し、また、検査台21の長さを例えば物品6個を配列できるように設計できる。
搬送ユニット24は前記第1方向に投入口242から物品26−1〜26−3を払出口243へ搬送するために用いられる一組のベルトコンベア241とガイドレール(図示略)を含む。
検出器22は、物品26−1〜26−3を検査するために用いられる1つ又は複数のスキャナを含むことができる。前記スキャナは、Cooper S.K.Kuo及びRon Tsai(本願の発明者と同一人物)が2010年3月26日に出願した米国特許出願番号12/732,586(発明の名称:「検査システム(Inspection System)」)の記載に説明及び図示されるスキャナを有することができる。検出器22は検査台21に設置され、また実質上前記第1方向と垂直な第2方向に延伸する。
クリーナー23は、例えば環境要因により検査時に物品表面に付着したほこり或いはごみのような異物を除去するために用いられる。これら異物を適切に除去されない場合、検出器22によって検出されることがあり、検査時に前記物品の欠陥として誤認されるので、欠陥識別率を高く設定された場合に受け入れられなくなる。クリーナー23は投入口242と検出器22の間に設置され、また第2方向に延伸する。
図2は、図1に例示される装置20のクリーナー23の拡大図である。図2に示すように、クリーナー23は、イオン除去器231とエアナイフ232とを含む。イオン除去器231が投入口242とエアナイフ232の間に設置され、物品26−1を第1方向に検出器22へ搬送する時、検査時に物品26−1に付着する不要な物質又は異物のイオン化を除去する。そして、イオン化除去後の粒子をエアナイフ232の気流で簡単に除去できる。本発明に基づく実施例において、イオン除去器231はHAUG Ionization(登録商標)が製造したイオン化棒「EI RN」を含むことができるが、これに限定するものではない。エアナイフ232はNEX FLOW(登録商標)が製造したエアナイフ「silent x−stream(登録商標) air blade(登録商標)」を含むことができるが、これに限定するものではない。
次に、また図1を参照して説明する。載置板25−1〜25−3の寸法は物品26−1〜26−3の載置に適し、また例えば搬送ユニット24のガイドレールに適合する。本発明の一実施例において、物品26−1〜26−3は、例えば13”と14”と15” 寸法の液晶ディスプレイ(LCD)パネルであるが、これに限定するものではない。載置板25−1〜25−3は異なる寸法のLCDパネルに適合する。また、載置板25−1〜25−3は外部電源から搬送ユニット24を通じて電力供給されることで、前記LCDパネル等を作動して検査を促進する。
コントローラ27はクリーナー23、検出器22及び一組のセンサー(図示略)に結合することで、検査の進行を制御する。検査のため、前記一組のセンサーを検査台21内の所定位置に設置する。また、コントローラ27は検出器22により物品に関する走査済みデータを収集、分析し、リアルタイムでスクリーン(図示略)に特定物品の検査結果を表示するように設置することができる。
操作の時、第1物品26−1と第1載置板25−1が投入口242に置かれる前第1載置板25−1に配置され、そして第1物品26−1を搬送ユニット24で第1方向に払出口243へ搬送する。クリーナー23に近づく第1物品26−1が第1センサー(図示略)を介して検出された場合、コントローラ27は近づく第1物品26−1に反応してクリーナー23を動作させる。次に、第1物品26−1は検出器22で走査できる。第2検出器(図示略)を介して第1物品26−1と他の物品を区別できる第1物品26−1に関する第1バーコード(図示略)を識別する。前記走査済みデータと前記識別したバーコードをコントローラ27で収集できる。本発明の一実施例において、第1物品26−1が続いて払出口243に入ると同時に第1物品26−1の前記走査済みデータを表示できる。その他、コントローラ27から警報機(図示略)により物品の欠陥数量が設定値を超えた時、警告音又は表示灯を発することができる。
第2物品26−2と第2載置板25−2は、第1物品26−1が第1方向に沿って進行する時投入口242に置かせることができる。例えば第2物品26−2は、第1物品26−1がクリーナー23或いは検出器22に到達した時投入口242に置くことができる。同じように、第3物品26−3は、第2物品26−2が続いてクリーナー23或いは検出器22に到達する時投入口242に置くことができる。また、載置スペースを後ろの物品に利用できるように、物品は払出口243に到達した時に取り出される。
図3Aは、図1に例示される装置20の検出器22の上面図である。図3Aに示すように、検出器22は、支持フレーム220により検査台21上に所要高さに固設される第1スキャナ221と第2スキャナ222を含む。第1及び第2スキャナ221、222は前記第2方向に延伸し、かつ本実施例に示すように、物品26−1が第1方向に進む時、縦方向に物品26−1を走査する。第1及び第2スキャナ221、222は第2方向に配置され、物品26−1の幅をカバーできる走査ユニットを有する。
図3Bは、図1に例示される装置20の検出器22の背面立体図である。図3Bに示すように、装置20には検出器22の検査台21或いは物品に対する高さを調整する第1調整具22Hを含むができる。具体的に、検出器22を上或いは下に向かって移動して実質上前記第1方向及び前記第2方向と垂直な第3方向に所要の高さまで調整できる。
更に、装置20には検査時に一組のローラー(図示略)により物品表面にかけた力を調整するために用いられる第2調整具22Rを含むことができる。これについて図3Cに説明する。また、装置20には検査時に第1と2のスキャナ221、222の物品表面の法線方向の角度を調整するための1つ或いは複数の第3調整具22Aを含むことができる。
図3Cは、図1に例示される装置20の左側を示す図である。図3Cに示すように、支持フレーム220(点線表示)に設置された第3センサーS3は物品26−1表面との距離Dを検出できる。検出器22が所要高さに到達したかを判定するため、距離Dをコントローラ27で分析することができる。到達していない場合、検出器22及び第1と第2スキャナ221、222が第1調整具22Hにより所要高さに調整させることができる。一実施例において、第1調整具22Hは手動で調整できる。別の実施例において、指令をコントローラ27に入力してコントローラ27を介して第1調整具22Hを調整する。
検出器22の第1ローラセット228を投入口242と第1スキャナ221の間に設置し、検査工程内後続の走査のために物品26−1の表面を押圧する。走査前物品を押圧することにより、良好な画素を欠陥(逆も同様)と誤認するリスクを低下させ、特に例えば製造要因によって物品に反り表面がある場合である。その他、外力を介して現像できる異物も第1ローラセット228から物品26−1の表面にかけた圧力によって現像して第1スキャナ221に検出させることができる。また、第1ローラセット228からの圧力を利用して物品内の欠陥が押圧されたゾーンにおいて更に正常画素から識別しやすくなる。本実施例において、第1ローラセット228と第1スキャナ221の間に押圧されたゾーン内の欠陥y1を更に検出しやすくなる。次に、物品表面を均一に押圧するため、第1ローラセット228は第2方向に延伸し、第1方向に縦方向に進む前記物品の幅をカバーできるように配置することができる。第1ローラセット228から物品26−1の表面にかけた力或いは圧力はコントローラ27で分析し、また第2調整具22Rで調整する。これは手動又はコントローラ27で実施できる。
図3Dは、本発明の別の一実施例における図1に例示される装置20の左側を示す図である。図3Dに示すように、検出器22は、第2スキャナ222と搬送ユニット24の払出口243の間に設置される第2ローラセット229を更に含むことができる。本発明の一実施例において、第2ローラセット229と第2スキャナ222の間の欠陥yを更に検出しやすくなる。その他、第2ローラセット229は第4の調整具23Rで第1ローラセット228に類似した方法により固設と調整ができる。
図3Eは、本発明の一実施例におけるローラ調整機構を示す図である。図3Eに示すように、前記ローラ調整機構は第2調整具22Rと第1ローラセット228とを含む。第2調整具22Rは第1ローラセット228に支えることに用いられるローラ支持具227を有する。本実施例において、ローラ支持具227がそれぞれ第1ローラセット228に対応して支える一組のローラ支持ユニット227Rを含む。また、各ローラ支持ユニット227Rは伸縮できるため、物品26−1の対応ローラに対する高さ及び前記対応ローラから物品26−1の表面にかける力を調整できる。図3Eに例示される非平面表面の状態で、各ローラ支持ユニット227Rの調整を通じて前記非平面表面を横断する均一圧力が実現できる。
図3Fは、本発明の別の実施例におけるローラ調整機構を示す図である。図3Fに示すように、前記ローラ調整機構はローラ支持具327とシングルローラ328を含む。ローラ328は円柱形を用いることができ、その上に複数の直線溝329を有する。ローラ327の物品26−1にかける力はローラ支持具327が第3方向に伸縮移動することにより制御できる。
図3Gは、本発明のさらに別の一実施例におけるローラ調整機構を示す図である。図3Gに示すように、前記ローラ調整機構は対角線溝429を有するシングルローラ428を含む。
次に、また図3Cの図示において、第1スキャナ221は第3調整具22Aのいずれかに固設できる。第1スキャナ221と物品26−1表面の法線方向(本実施例において第3方向)間の角度は第3調整具22Aで調整できる。具体的に、第1スキャナ221は第1軸X1を取り囲んで第1所要角度へ回すことができ、これは手動或いはコントローラ27で実施できる。
同じように第2スキャナ222を第3調整具22Aの別の1つに固設させることができる。第2スキャナ222と物品26−1表面の法線方向の間の角度は第3調整具22Aで調整できる。具体的に、第2スキャナ222は第2軸X2を取り囲んで第2所要角度に回すことができ、これは手動或いはコントローラ27で実施できる。本発明の一実施例において、各スキャナ221、222の回せる角度の範囲は、約マイナス30度からプラス30度(±30)である。例えば、第1スキャナ221は法線Lに対し0度から30度までの第1角度A内に回すことができ、第2スキャナ222は、法線Lに対し0度からマイナス30度までの第2角度A内に回すことができ、前記視野角度の調整により全方向の検出ができるため、特定角度でほこり又は光学方向の擦り傷などの欠陥を検出することができる。
図4は本発明の別の実施例における光学検査装置30を示す図である。図4に示すように、装置30は例えばもう1つの検出器32を追加する以外に、図1に記載及び例示される装置20に類似するものとすることができる。具体的に、装置30は投入口242と払出口243の間の第1スキャナ22と、第1検出器22と払出口242の間の第2検出器32を含む。また第2検出器32の構造と機能は第1検出器22に類似又は同一のものとすることができるため、更なる論議を行わない。装置30は、関連多層を有する被検査物の冗長走査又は迅速走査の状況に応用できる。迅速走査状況において、第1と第2検出器22、32が2個の物品を一括で走査できる。図4に例示される搬送順序において第2検出器32が第1物品26−1を走査し、第1検出器22が第2物品26−2を走査するよう指定することができるため、走査速度が倍増する。熟練の技術者は、本発明に基づく装置が検査工程において可能であれば、3個或いは更に多くの検出器を取り付けることができることを理解することができる。
図5Aと図5Bは、本発明のさらに別の実施例における光学検査装置50を示す上面図である。図5Aに示すように、装置50は、第1装置ユニット51と第2装置ユニット52を含む。本実施例において、第1装置ユニット51はクリーナーと一対の検出器とを含み、かつその構造と機能が図4に例示される装置30に類似又は同一のものとすることができる。その他、第2装置ユニット52は一対の検出器を含み、かつその構造と機能が図4に例示される装置30に類似するものとすることができる。しかし、検査時に物品表面に付着した異物はすでに第1装置ユニット51のクリーナーで除去されたため、第2装置ユニット52は第1装置ユニット51に含むクリーナーを有しない。別の実施例において第1及び第2装置ユニット51、52はそれぞれ単一検出器を有し、図1に例示される装置20に類似又は同一のものとすることができるが、第2装置ユニット52は第1装置ユニット51に含むクリーナーを有しない。
第1装置ユニット51は、第1方向に設置し、物品26−1〜26−3を搬送し、またこれら物品を縦方向に走査する。よって、ナロービーム照射或いは第1方向に沿ってのみ見えて、検出できる欠陥は、第1装置ユニット51の前記一対の検出器又は単一の検出器のスキャナで検出することができる。また、第2装置ユニット52は、前記第1方向と垂直な第2方向に設置し、物品26−1〜26−3を搬送し、またこれら物品を横方向に走査する。よって、第2方向に沿ってのみ見えて、検出できる欠陥は、第2装置ユニット52の前記一対の検出器又は単一の検出器のスキャナで検出することができる。この種の走査のため、第1装置ユニット51と第2装置ユニット52は、互いに垂直な方向に延伸するよう配置でき、第1装置ユニット51の払出口243を第2装置ユニット52の投入口242に結合、若しくは第2装置ユニット52の投入口242とすることができる。
操作の時、物品26−1〜26−3を第1装置ユニット51の投入口242に置くことができ、各物品幅側を第1装置ユニット51の払出口243に向かい、物品26−1〜26−3が第1装置ユニット51の第1方向に進む時縦方向に走査する。図5Bに示すように、第1物品26−1が第1装置ユニット51の払出口243に到達した時、その奥行き側を第2装置ユニット52の投入口242に向かい、物品26−1及び後ろの物品26−2と26−3は第2装置ユニット52の第2方向に進む時横方向に走査する。
図6Aは、図1に例示される光学検査装置20内の載置板25−1の上面立体図である。図6Aに示すように、載置板25−1は、複数の第1開口部251と、複数の第2開口部252と、複数の第3開口部253と、複数のコネクタ254を含む。第1開口部251は、プラグを介して載置板25−1を異なる寸法のパネルのいずれかの態様に応用させるよう配置できる。図7の図7−1乃至図7−6は、本発明に基づく載置板25−1を異なる寸法のパネルに応用した場合を示す図である。これらのパネルは、13”と、14”と15”のパネルであるが、これに限定するものでは。具体的に、図7−1乃至図7−3に例示されるこれらのパネルの幅長さ比が16:9で、図7−4乃至図7−6に例示されるこれらのパネルの幅長さ比が4:3である。
また図6Aに示すように、第2開口部252は、第1方向に延伸する長方形スルーホールに形成し、製品情報位置に連結する態様(例えばパネルの底面に印刷したパネルバーコード)で配置できる。前記バーコード位置はパネル寸法の違いによって異なることができる。よって、パネル寸法により、第2開口部252のいずれかで特定寸法のパネルのバーコードを露呈する。
第3開口部253は、パネルを載置板25−1に固定するために用いられることができる。第1開口部251に類似するよう、第3開口部253はパネルを所定位置に保持できるため、前記パネルが検査工程において載置板25−1に対応して移動できない。載置板25−1にあるパネルの変位は、例えば検出した欠陥とその座標の間の不一致のように検査の間違いを起こす可能性がある。
コネクタ254は、載置板25−1の上部或いは第1表面25tに配置され、検査工程において搬送ユニット24を通じて外部電源との電気的な接続を保持できる導電マットを含む。
図6Bは、図6Aに例示される載置板25−1の下面図である。図6Bに示すように、載置板25−1は電力制御ユニット60と、載置板25−1の下部或いは第2表面25bにある一対の導電性レール61、62を含む。電力制御ユニット60は、パネルへの電力供給を制御でき、例えば光源(前記パネルのバックライト)である。少なくとも検査周期において、前記パネルの走査のため、電力制御ユニット60で前記バックライトをオンにし、また輝点又は黒点欠陥を判別し検出させることができる。次に、第1方向に延伸する導電性レール61、62は、搬送ユニット24に接触することで、コネクタ254と搬送ユニット24を介して電力制御ユニット60を前記外部電源に接続する。
図8Aは、本発明に基づく実施例において、その上に第1物品26−1を固定している場合の載置板25−1を示す上面立体図である。図8Aに示すように、若干のプラグ81の各寸法は緊密に第1開口部251内に組み込まれると共に、第1開口部251の第1選出群内に差し込むことができ、以って第1寸法の第1物品26−1を載置板25−1の第1表面25tに固定する。その他、第1物品26−1の光源に電気的に接続するフレキシブル回路基板(Flexible circuit board、「FCB」)82をコネクタ254の選択されたセットと結合することで、これら光源をオンにして光学検査を行うことができる。次に、これらの光源は、それぞれ磁性金属筐体に収容される冷陰極蛍光ランプ(Cold cathode fluorescence lamp、「CCFL」)を含む。前記実施例において、プラグ81は磁性材料により生成することで、第1物品26−1をより固定できる。
図8Bは、本発明に基づく実施例において、その上に第2物品26−2を固定している場合の載置板25−1の上面立体図である。図8Bに示すように、若干のプラグ81は第1開口部251の第2選出群内に差し込まることで、第2寸法の第2物品26−2を載置板25−1の第1表面25tに固定できる。図8Aに例示される第1物品26−1に比べて、前記第2寸法は前記第1寸法より小さい。よって、プラグ81及び所定態様の第1開口部251の適切な組合せの選択を通じて、載置板251が異なる寸法のパネルの載置に適用できる。
図8Cは、本発明に基づく実施例において、その上に第3の物品26−3を固定している場合の載置板25−1を示す上面立体図である。図8Cに示すように、若干のプラグ81は第1開口部251の第3の選出群内に差し込まれることで、第3の寸法の第3の物品26−3を載置板25−1の第1表面25tに固定できる。次に、第3の物品26−3のこれらの光源は、それぞれプラスチックハウジングで覆われた発光ダイオ−ド(Light emitting diode、「LED」)ストリングを含むことができる。前記実施例において、一端が第3の開口部253内にあるクリップ83は、他端を利用して第3の物品26−3を載置板25−1の第1表面25tに固定できる。
図9Aは、図8Aに例示される第1物品26−1の下面図である。図9Aに示すように、バーコード92を第1方向に沿って物品26−1の底面26bに印刷できる。バーコード92は、第1物品26−1と他の物品を区別するために用いることができる。パネルのバーコードを識別するため、前述の通り検査台21の適切な位置に第2センサーを取り付けることができる。
図9Bは、その上に第1物品26−1を固定している場合の載置板25−1を示す下面図である。図9Bに示すように、所定態様の第2開口部252のいずれかは第1物品26−1のバーコード92を露呈できる。バーコード92は前記第2センサーで検出されてからコントローラ27に伝送できる。
熟練の技術者であればわかるように、広義な発明概念を逸脱せずに上記の各実施形態を変えることが可能である。
このほか、本発明の代表的な実施例を説明する際、本明細書は本発明の方法及び/またはプロセスを特定の実施順序と示しているが、前記方法或いはプロセスの範囲は、本文で示した特定の実施順序のみに限らないため、前述した特定の実施順序に限定するものではない。熟練の技術者なら、種々の実施順序があることを理解できるはずである。本明細書で示した特定の実施順序特許請求の範囲を限定するものではない。このほか、本発明の方法及び/またはプロセスに関する特許請求の範囲に示した実施順序での実施のみに制限するべきではない。熟練の技術者なら、前記実施順序が変更することができ、かつ、たとえば変更しても本発明の主旨と範疇の内にあると理解できる。
20 光学検査装置
21 検査台
22 検出器
22A 第3調整具
22H 第1調整具
22R 第2調整具
220 支持フレーム
221 第1スキャナ
222 第2スキャナ
227 ローラ支持具
227R ローラ支持ユニット
228 第1ローラセット
229 第2ローラセット
23 クリーナー
23R 第4の調整具
231 イオン除去器
232 エアナイフ
24 搬送ユニット
241 ベルトコンベア
242 投入口
243 払出口
25−1 載置板
25−2 載置板
25−3 載置板
251 第1開口部
252 第2開口部
253 第3開口部
254 コネクタ
25t 上部或いは第1表面
25b 下部或いは第2表面
26b 底面
26−1 物品
26−2 物品
26−3 物品
27 コントローラ
30 光学検査装置
32 検出器
327 ローラ支持具
328 シングルローラ
329 直線溝
428 シングルローラ
429 対角線溝
50 光学検査装置
51 第1装置ユニット
52 第2装置ユニット
60 電力制御ユニット
61、62 導電性レール
81 プラグ
82 フレキシブル回路基板
83 クリップ
92 バーコード
X1 第1軸
X2 第2軸
S3 第3のセンサー
欠陥
欠陥

Claims (10)

  1. 光学検査装置であって、以下を有することを特徴とする光学検査装置。
    第1方向に延伸する検査台と、
    前記検査台に設置され、また、前記第1方向と垂直な第2方向に延伸し、物品を検査するために用いられる第1検出器と、
    前記第1方向に載置板を投入口から払出口へ搬送するために用いられる搬送ユニットと、を含み、
    前記載置板には前記物品を載置する第1表面と、前記物品への電力供給を制御するための電力制御ユニットを提供する第2表面とを有し、また、前記載置板の前記第2表面には検査工程において前記載置板を前記搬送ユニットで搬送する時、前記搬送ユニットを通じて前記電力制御ユニットを電源に接続するために用いられる一対の導電性レールを含む。
  2. 請求項に記載の光学検査装置において、前記物品は、液晶ディスプレイ(LCD)パネルを含み、かつ、前記載置板の第1表面に複数の第1開口部を備え、以って、前記載置板が異なる寸法のパネルを載置できるようにすることを特徴とする。
  3. 請求項に記載の光学検査装置において、前記パネルのバーコードを露呈するため、前記載置板の前記第1表面に複数の第2開口部を備えることを特徴とする。
  4. 請求項に記載の光学検査装置において、前記第1検出器は、前記第2方向に前記投入口と前記払出口の間に延伸する第1スキャナを含み、また、前記物品の表面に力をかけるための、前記投入口と前記第1スキャナの間に位置する第1ローラセットを含むことを特徴とする。
  5. 請求項に記載の光学検査装置において、前記第1検出器は、前記第2方向に前記第1スキャナと前記払出口の間に延伸する第2スキャナを含み、また、前記物品表面に力をかけるための、前記第2スキャナと前記払出口の間に位置する第2ローラセットを含むことを特徴とする。
  6. 請求項に記載の光学検査装置において、前記第1ローラセット或いは前記第2ローラセットのうちのいずれかは、前記第1方向及び前記第2方向と垂直な第3方向に移動できるようにすることを特徴とする。
  7. 請求項に記載の光学検査装置において、前記第1ローラセット或いは前記第2ローラセットのうちのいずれかは、それぞれ前記第1方向及び前記第2方向と垂直な第3方向に移動できる複数のローラを含むことを特徴とする。
  8. 請求項に記載の光学検査装置において、前記物品の前記表面の法線方向に対して前記第1スキャナの角度を調整するために用いられる第1角度調整具、或いは、前記物品の法線方向に対して前記第2スキャナの角度を調整するために用いられる第2角度調整具のいずれかを含むことを特徴とする。
  9. 請求項に記載の光学検査装置において、前記搬送ユニットの前記投入口と前記第1検出器の前記第1スキャナの間の前記検査台に設置され、かつ前記第2方向に延伸するクリーナーを含むことを特徴とする。
  10. 請求項に記載の光学検査装置において、前記投入口と前記第1検出器の間の前記検査台に設置され、かつ前記第2方向に延伸する第2検出器を含むことを特徴とする。
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