JP5144241B2 - 液晶表示装置の製造方法および検査システム - Google Patents

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Description

本発明は液晶表示装置の製造方法に係り、特に、液晶表示パネルの検査方法および検査装置に関する。
液晶表示装置は、ディスプレイ装置を薄くできること、重量が大きくならないこと等から、コンピュータ用ディスプレイ、携帯電話用端末等から大型TV等にいたるまで、需要が拡大している。液晶表示装置は液晶表示パネルと液晶表示パネル搭載した液晶を駆動するための駆動IC、液晶表示パネルに電源、電気信号等を供給するためのフレキシブル配線基板、および、液晶表示パネルの背面から光を供給するバックライトから構成されている。
液晶表示パネルは、薄膜トランジスタ(TFT)および画素電極からなる画素がマトリクス状に形成されたTFT基板と、カラーフィルタ等が形成されたカラーフィルタ基板がシール材を介して対向し、内部に液晶が封入されており、さらにTFT基板とカラーフィルタ基板の上に偏光板が貼り付けられた構成となっている。
TV等に使用される液晶表示装置は32インチ以上というように大型化しており、加工、あるいは検査を施すための、液晶表示パネルの搬送が重要な問題である。このような、搬送ラインシステムを記載したものとして、「特許文献1」、「特許文献2」、「特許文献3」、「特許文献4」等が存在する。
特開平6−48545号公報 特開平7−199138号公報 特開平10−54967号公報 特開平10−132706号公報
偏光板が取り付けられた状態の液晶表示パネル10を後工程に進める前に、液晶表示パネル10の欠陥を発見できれば、その後の工程で、不良品を加工する必要がなくなり、無駄な製造コストをかけないで済む。したがって、製造工程中には、液晶表示パネル10が完成した状態で検査をする工程が存在する。図9は、この工程における従来の検査方法を示すものである。
図9おいて、上流工程から偏光板が貼り付けられた状態の液晶表示パネル10が検査前液晶表示パネル置き台410にストックされる。液晶表示パネル10がストックされた検査前液晶表示パネル置き台410が検査作業者のもとに移動してくる。図9における固定検査台400は、固定バックライト430を有している。液晶表示パネル10は固定バックライト430の上にセットされる。バックライトを点灯して、バックライトからの透過光によって液晶表示パネル10の欠陥を検査する。バックライトは実際の製品のバックライトが使用される。例えば、32インチTV用液晶表示装置であれば、32インチTV用のバックライトが使用される。したがって、検査する液晶表示パネル10のサイズが異なれば、その都度、バックライトを交換するが、その製品サイズ用の検査台を使用することになる。
検査台には作業者一人が付き、所定の欠陥検査を行う。液晶表示パネル10の検査を終了すると、検査後液晶表示パネル置き台420に液晶表示パネル10を移動し、検査済みの液晶表示パネル10をストックする。検査後液晶表示パネル置き台420が液晶表示パネル10で満杯になると、検査後液晶表示パネル置き台420を後工程に移動する。このように、液晶表示パネル10の移動と欠陥検査を作業員一人で行うので、作業者は液晶表示パネル10を一枚ずつ検査することが限度である。本発明の課題は、この検査の工程において、液晶表示パネル10の搬送システムを工夫し、複数のパネルに対する検査工程を一人の作業員で行うことを可能とし、検査工程のスループットを向上させることである。
本発明は以上のような問題点を解決するものであり、人間が実質的な検査作業を行っている間に、液晶表示パネルの搬送を含む検査のための準備工程を機械的に行うことを可能とする構成を持つ。具体的な手段は次のとおりである。
本発明は、2枚の基板間に液晶が挟持され、前記2枚の基板にはそれぞれ偏光板が貼り付けられた液晶表示パネルの検査システムであって、前記液晶表示パネルの検査システムは、並んで配置された複数の検査領域を有し、前記検査領域のそれぞれは、人間が前記液晶表示パネルの検査をできる検査ポジション、前記液晶表示パネルを載置したパレットが移動するライン上にあるメインポジションおよびサブポジションを有し、前記検査ポジションは前記メインポジションの前に位置し、前記サブポジションは前記メインポジションの後ろに位置し、更に、前記検査領域のそれぞれは、検査台及びサブ検査台を有し、前記検査台は、前記検査ポジションおよび前記メインポジションを移動可能であり、前記サブ検査台は前記メインポジションおよび前記サブポジションを移動可能であるように構成され、検査対象となる液晶表示パネルは、前記メインポジション上の前記検査台或いはサブ検査台上を通過して、目的の検査領域まで搬送されることを特徴とする。
また更には、2枚の基板間に液晶が挟持され、前記2枚の基板にはそれぞれ偏光板が貼り付けられた液晶表示パネルを有する液晶表示装置の製造方法であって、前記液晶表示パネルは、検査時に並んで配置された複数の検査領域のうち、少なくとも一つの検査領域において検査され、前記検査領域のそれぞれは、人間が前記液晶表示パネルの検査をできる検査ポジション、前記液晶表示パネルを載置したパレットが移動するライン上にあるメインポジションおよびサブポジションを有し、前記検査ポジションは前記メインポジションの前に位置し、前記サブポジションは前記メインポジションの後ろに位置し、更に、前記検査領域のそれぞれは、検査台及びサブ検査台を有し、前記検査台は、前記検査ポジションおよび前記メインポジションを移動可能であり、前記サブ検査台は前記メインポジションおよび前記サブポジションを移動可能であるように構成され、検査対象となる液晶表示パネルは、前記メインポジション上の前記検査台或いはサブ検査台上を通過して、目的の検査領域まで搬送されることを特徴とする。
本発明によれば、液晶表示パネルの検査工程において、液晶表示パネルを効率良く搬送することが出来るので、液晶表示パネルの検査工程に要する時間短縮することが出来、製造コストを削減することが出来る。また、実質的な検査をする時間は短縮しないので、検査の質を低下させることなく、検査工程のスループットを上げることが出来る。
実施例にしたがって、本発明の詳細な内容を開示する。
図1は本発明による液晶表示パネル10検査システムの模式図であり、3台の検査ユニットが連結されたシステムの例である。本システムにおいては、パレット11に液晶表示パネル10が載置され、パレット11が後に説明する検査台に設置されたローラコンベアの上を移動する。図1において、搬入チルト台80、第1検査台30、第2検査台40、第3検査台50、搬出チルト台90が並んで配置されている。検査台は検査者である人間が見易いように、所定の角度を持って立ててある。搬入チルト台80は、水平に置かれて移動してきたパレット11を所定の角度にセットする機構を有する。また、搬出チルト台90は、所定の角度にセットされたパレット11を水平にセットする機構を有する。
図1の状態における搬入チルト台80、第1検査台30、第2検査台40、第3検査台50、搬出チルト台90の位置をメインポジション100と称する。搬入チルト台80、第1検査台30、第2検査台40、第3検査台50、搬出チルト台90には後に説明するローラコンベアが設置されており、液晶表示パネル10を載置したパレット11がこのローラコンベアによってメインポジション100上を移動する。
まず、液晶表示パネル10がセットされるパレット11の動きを説明する。図1において、パレット11は循環している。リターンライン300から戻ってきたパレット11は搬入エレベータUELVによって液晶表示パネル投入ポジション130に移動する。液晶表示パネル投入ポジション130においては、パレット11は水平にセットされており、このパレット11の上に液晶表示パネル10がセットされる。液晶表示パネル10がセットされたパレット11は搬入チルト台80において、所定の角度にセットされ、メインポジション100を移動し、第1検査台30乃至第3検査台50において液晶表示パネル10が検査される。検査時の動作は後で説明する。
検査を終わった液晶表示パネル10が載置されたパレット11は搬出チルト台90に移動し、ここで水平にセットされる。その後液晶表示パネル搬出ポジション140に移動し、液晶表示パネル10は次の工程に搬出される。一方液晶表示パネル10が分離された空のパレット11は搬出エレベータDELVによって、リターンライン300に移動する。パレット11はリターンライン300を移動して液晶表示パネル搬入ポジション130の下まで移動すると、搬入エレベータUELVによって、再び液晶表示パネル投入ポジション130に移動し、メインポジション100に移動する。
図1において、人間が実際に検査をするポジションは、第1検査台30乃至第3検査台50である。このようなシステムにおいて、検査工程に要する時間は、それぞれの検査台で実際に検査が行なわれる検査時間t1と目的の検査台に検査対象の液晶表示パネルを搬送するまでの搬送時間(待機時間含む)t2の合計時間t3である。
仮に、図1において、メインポジション100のみしかない状態で、複数の液晶表示パネル10を連続的に検査する場合、必然的に検査中の液晶表示パネル10が次の工程に搬送されるまで、待ち時間が発生する。したがって、m枚のパネルを検査するための合計時間t3は、t3=m×(t1+t2)となってしまう。この検査の工程は、液晶表示装置の製造工程に組み込まれているので、液晶表示パネル10が移動する周期は直接液晶表示装置の生産効率に影響を及ぼす。
本発明は、上記搬送時間t2を無くすことによって、検査工程における液晶表示パネル10の移動の周期を人間が実際に検査をする時間t1に近づけ、液晶表示装置の生産性を向上するものである。
この目的のために、本発明の各検査ユニットは、図1に示すように、メインポジション100における第1検査台30乃至第3検査台50の後ろにサブ検査台60を設置する。図1において、液晶表示パネル10を載置したパレット11が搬入チルト台80から第1検査台30に移動してきたとする。この状態の図1のA−A断面図が図2である。
図2において、メインポジション100上には第1検査台30が設置されている。第1検査台30には、検査対象である液晶表示パネル10が設置されている。液晶表示パネル10は第1検査台30において、後に述べるローラコンベア22に乗っている。第1検査台30の後ろには、第1検査台30と同じ形状のサブ検査台60が設置されている。この状態のサブ検査台60の位置をサブポジション200と称する。サブ検査台60では実際の検査は行わないので、サブ検査台60はパレット11を移動させる役割のみを持ち、検査用バックライト21は設置されていない。
図2において、メインポジション100及びサブポジション200の下にはリターンライン300が存在しており、このリターンライン300を空のパレット11が移動して液晶表示パネル搬入ポジション130に移動する。リターンライン300におけるパレット11の移動機構はベルトコンベアでも良いし、ローラコンベアでも良い。
図2での第1検査台30は、検査を行わない状態を示している。第2図の状態での第1検査台30は、メインポジション100上に位置しているため、パレット11を移動するためのラインとしての役割を持っている。
図3は図1のB−B断面図であり、第2検査台40に液晶表示パネル10を載置したパレット11が来たときに、第2検査台40が前に移動して、人間が検査できる位置、すなわち、検査ポジション70にセットされる状況を示している。図3に示すように、液晶表示パネル10を搭載したパレット11がメインポジション100上の第2検査台40にセットされると、図3の一点鎖線で示す検査ポジション70に第2検査台40が移動する。そして、第2検査台40が移動すると同時に、サブ検査台60がサブポジション200からメインポジション100の位置に移動する。
図4は、第2検査台40は人間が検査する位置、すなわち検査ポジション70に移動して設置され、サブ検査台60が、メインポジション100の位置にセットされた状態を示す。図4も図1のB−B断面図に相当する。サブ検査台60には第2検査台40と同じように、ローラコンベア22が設置されており、他のパレット11はサブ検査台60のローラコンベア22の上を移動することが出来る。
この状態で、人間が第2検査台40に設置された液晶表示パネル10を検査する。人間が液晶表示パネル10を検査している間、第2検査台40後方のサブ検査台60のローラコンベア22は動作を続けており、次の液晶表示パネル10が載置されたパレット11を第3検査台50に送る。
第3検査台50において、搬送されてきた液晶表示パネル10が第3検査台50にセットされると図2と同様な状態となる。この状態で、第3検査台50が人間が見易い位置(検査ポジション70)に移動する。この動作は図3と同様である。この時にサブ検査台60も移動して、メインポジション100の位置にサブ検査台60がセットされる。この状態は図4と同様である。したがって、人間が第2検査台40において液晶表示パネル10を検査している間に、第3検査台50にセットされた他の液晶表示パネル10が検査可能な状態にセットされる。そうすると、人間は、第2検査台40の液晶表示パネル10の検査を終わった後、直ちに第3検査台50にセットされた液晶表示パネル10を検査することが出来る。したがって、液晶表示パネル10の検査周期は、先に述べた待ち時間t2が殆ど無くなり、実質的に検査時間t1のみとなり、生産効率が上昇する。
第2検査台40において、人間がセットされた液晶表示パネル10の検査を終わると、第2検査台40は後退して、メインポジション100に復帰する。サブ検査台60はサブポジション200に復帰する。そして、検査が終わった液晶表示パネル10が載置されたパレット11は、メインポジション100において、第3検査台50のあるいは第3検査台50のサブ検査台60上を移動して液晶表示パネル搬出ポジション140まで移動する。
検査が終わった液晶表示パネル10がローラコンベア22によって第2検査台40から搬出されると同時に、次の液晶表示パネル10を載置したパレット11が第2検査台40にセットされる。これは図3に示す状態である。そうすると、第2検査台40は人間が検査し易い位置(検査ポジション70)に前進する。同時に、図4に示すように、第2検査台40の後ろのサブ検査台60も移動して、サブ検査台60がメインポジション100にセットされる。この動作は人間が第3検査台50において、液晶表示パネル10の検査を行っている間に行われる。そして、人間が、第3検査台50において、液晶表示パネル10の検査を終えると、直ちに、第2検査台40にセットされた液晶表示パネル10の検査することが出来る。そしてこの動作が繰り返される。
図5は以上で説明した本発明の動作を表に纏めたものである。図5の表において、搬送フロー1はメインポジション100において、液晶表示パネル10を搭載したパレット11が第1検査台30に設置されている状態を示している。搬送フロー2は液晶表示パネル10を搭載したパレット11が第2検査台40に移動している様子を示す。搬送フロー3では、液晶表示パネル10を載置したパレット11を搭載した第2検査台40が前進して、人間が検査できる位置(検査ポジション70)にセットされる状態を示している。また、搬送フロー3はサブ検査台60が第2検査台40と同時に前進してメインポジション100にセットされる状態を示している。
搬送フロー4は、他の液晶表示パネル10を搭載したパレット11がメインポジション100上を移動してきた状態を示す。この状態では、第2検査台40の後ろに設置されているサブ検査台60がメインポジション100に設置されている。したがって、搬送フロー5に示すように、液晶表示パネル10を搭載したパレット11は第2検査台40の後ろを通過して第3検査台50に達することが出来る。
液晶表示パネル10を搭載したパレット11が第3検査台50に達すると、第3検査台50は人間が検査できる位置(検査ポジション70)に前進する。第3検査台50の後ろに設置されているサブ検査台60も同時に前進して、メインポジション100上に設置される。この様子を搬送フロー6に示す。このように、液晶表示パネル10を載置したパレット11を搭載した第3検査台50が人間が検査可能な位置(検査ポジション70)に設置される動作を行う間、人間は、第2検査台40に搭載された液晶表示パネル10の検査を行っている。
このようにして、本発明では、液晶表示パネル10の検査時間を短縮することが出来る。そして、本発明の重要な点は、人間の検査時間を短縮することなく、したがって、検査の質を低下させることなく、全体の検査時間を短縮できるという点である。
以上の流れは、第2検査台40および第3検査台50のみにおいて、人間が検査をしているとして説明したが、これは、本発明の説明のためであり、第1検査台30においても検査を行うことが出来ることはいうまでもない。
図6は、第2検査台40およびサブ検査台60の詳細側面図である。また、図7は第2検査台40を図6のA方向から見た図である。尚、ここでは例として第2検査台40を説明するが、基本的な構造は第1検査台30及び第3検査台50でも同じである。また、第1検査台30ないし第3検査台50の何れにおいても、同じ構造のサブ検査台60をそれぞれ有する。
図6において、第2検査台40およびサブ検査台60は同時に動くので、同一の検査ステージ25にセットされている。第2検査台40は、人間が見易いように所定の角度傾けてある。また、この角度は、搬入チルト台80がパレット11を傾ける角度と共通である。第2検査台40の下部にはローラコンベア22が設置されており、このローラコンベア22の溝部分にパレット11が設置されており、ローラが回転することによってパレット11が搬送される。また、パレット11の移動をスムースにするために、第2検査台40には搬送補助ローラ23が複数取り付けられている。ローラコンベア22は一つの第2検査台40に複数設置されている。例えば、図7では7個設置されている。図7は第2検査台40に設置された7個のローラコンベア22が回転することによって液晶表示パネル10を載置したパレット11がB方向に移動することを示している。
第2検査台40において、液晶表示パネル10はパレット11に形成されているストッパ111によって支えられている。ストッパ111は図7に示すように、液晶表示パネル10の3辺に各3個ずつ形成されている。液晶表示パネル10はパレット11の上にストッパ111のみによって支持されている。それでも第2検査台40が所定の傾きを有しているので、液晶表示パネル10は安定して設置されている。
図7はメインポジション100上において、第1検査台30、第2検査台40、第3検査台50が3個並んだ状態を示している。図7の状態では、第2検査台40のみに液晶表示パネル10を載置したパレット11が搭載されており、このパレット11は第2検査台40に形成されたローラコンベア22が回転することによってB方向に移動する。第1検査台30、第2検査台40、第3検査台50は連続して同じ角度の傾きで並んでいるため、液晶表示パネル10を搭載したパレット11はスムースに移動することが出来る。ここで、第2検査台40が検査のために前進してメインポジション100を離れると、サブ検査台60がその後を補充することになる。
図8は、液晶表示パネル10を搭載するパレット11の詳細斜視図である。図8において、パレット11はAl(アルミ)で形成されている。パレット11の中央部には長方形の開口が形成されている。この開口は検査時に液晶表示パネル10に対して検査用バックライト21からの光を供給するためである。開口の周囲には遮光板113が形成されている。遮光板113は検査時に、検査用バックライト21からの光が横方向にもれて、液晶表示パネル10の検査を妨げることを防止するためである。
遮光板113の下及び左右の3辺には、液晶表示パネル10を支えるためのストッパ111が各3個形成されている。このストッパ111の位置は、液晶表示パネル10を斜めに載置して支えるために合理的な位置に設置されている。また、ストッパ11の高さは遮光板113よりも高く形成される。遮光板113の上辺には液晶表示パネル10をパレット11に載置する際に使用される支持ブロック114が形成されている。液晶表示パネル10はパレット11の開口部を覆ってパレット11に設置される。液晶表示パネル10がパレット11に設置された後は、液晶表示パネル10はパレット11と一体で搬送される。
図6に戻り、第2検査台40の背後には検査用バックライト21が設置されている。この検査用バックライト21は液晶表示パネル10の検査時に点灯し、液晶表示装置完成時と同様な状態で、液晶表示パネル10の画面を検査して欠陥を検出する。第2検査台40に取り付けられた検査用バックライト21は、検査ラインで検査する最大サイズの液晶表示パネル10に対応できる大きさとなっており、多品種の検査に対応することが出来る。例えば、サイズの小さい液晶表示パネル10を検査する場合は、図8に示すパレット11の開口を小さくすれば良い。
図6において、第2検査台40の後方には、サブ検査台60が設置されている。サブ検査台60の構成は検査用バックライト21が無い他は、第2検査台40と同じである。図6において、サブ検査台60には、第2検査台40に設置されている液晶表示パネル10の次の液晶表示パネル10が設置され、移動している状態を示している。すなわち、第2検査台40にセットされた液晶表示パネル10が、検査ポジション70に移動している間、サブ検査台60はメインポジション100に設置され、サブ検査台60に形成されたローラコンベア22の上を液晶表示パネル10が移動する。
以上説明したように、本発明によれば、液晶表示パネル10の検査待ちの時間を無くすことが出来るので、検査工程の高効率化、しいては、生産効率を向上することが出来る。
以上の説明では、検査ポジション70における液晶表示パネル10の検査は全て人間が行うものとして説明した。しかし、液晶表示パネル10の検査はCCD等のカメラを用いて自動化することも出来る。このような場合も、本発明が適用できることはいうまでもない。また、図1では、3台の検査ユニットを連結した例を示したが、これらの検査ユニットのうち、特定の検査ユニットにおいてカメラで自動検査し、他の検査ユニットでの検査を人間が実施することも出来る。
また更に、検査ユニットの数は、必要に応じて増減することが出来る。仮に検査ユニットの数が変ったとしても、本発明の適用は可能である。
以上の説明では、本発明を偏光板が貼り付けられた状態の液晶表示パネル10を検査するものとして説明した。しかし、本発明は、これに限らず、例えば、液晶表示装置に駆動用ICチップあるいは、フレキシブル配線基板が取り付けられた状態の液晶表示パネル10の検査等にも適用できる。
本発明の液晶表示パネルの検査フローを示す模式図である。 図1のA−A断面図である。 検査台が移動している状態を示す模式図である。 図1のB−B断面図である。 本発明の液晶表示パネルの検査フローの説明図である。 検査台およびサブ検査台の側面図である。 図6の検査台をA方向から見た図である。 パレットの斜視図である。 検査工程の従来例である。
符号の説明
10…液晶表示パネル、11…パレット、 21…バックライト、22…ローラコンベア、 23…搬送補助ローラ、 25…検査ステージ、 30…第1検査台、 40…第2検査台、 50…第3検査台、 60…サブ検査台、 70…検査ポジション、 80…搬入チルト台、 90…搬出チルト台、 100…メインポジション、 111…ストッパ、 113…遮光板、 114…支持ブロック、 130…液晶表示パネル投入ポジション、 140…液晶表示パネル搬出ポジション、 200…サブポジション、 300…リターンライン、 400…固定検査台、 410…検査前液晶表示パネル置き台、 420…検査後液晶表示パネル置き台、 430…固定バックライト。

Claims (12)

  1. 2枚の基板間に液晶が挟持され、前記2枚の基板にはそれぞれ偏光板が貼り付けられた液晶表示パネルの検査システムであって、
    前記液晶表示パネルの検査システムは、並んで配置された複数の検査領域を有し、
    前記検査領域のそれぞれは、人間が前記液晶表示パネルの検査をできる検査ポジション、前記液晶表示パネルを載置したパレットが移動するライン上にあるメインポジションおよびサブポジションを有し、
    前記検査ポジションは前記メインポジションの前に位置し、前記サブポジションは前記メインポジションの後ろに位置し、
    更に、前記検査領域のそれぞれは、検査台及びサブ検査台を有し、前記検査台は、前記検査ポジションおよび前記メインポジションを移動可能であり、前記サブ検査台は前記メインポジションおよび前記サブポジションを移動可能であるように構成され、
    検査対象となる液晶表示パネルは、前記メインポジション上の前記検査台或いはサブ検査台上を通過して、目的の検査領域まで搬送されることを特徴とする液晶表示パネルの検査システム。
  2. 前記液晶表示パネルはパレットに設置されることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示パネルの検査システム。
  3. 前記検査台及び前記サブ検査台は所定の角度傾いていることを特徴とする請求項2に記載の液晶表示パネルの検査システム。
  4. 前記メインポジションの入り口には、前記パレットを前記所定の角度傾ける機構を有する搬入チルト機構を有し、前記メインポジションの出口には前記パレットを水平にセットする搬出チルト機構を有することを特徴とする請求項3に記載の液晶表示パネルの検査システム。
  5. 前記搬出チルト機構から搬出された前記パレットを再び前記搬入チルト機構に戻すリターンラインを有することを特徴とする請求項4に記載の液晶表示パネルの検査システム。
  6. 前記検査台は検査用バックライトを有することを特徴とする請求項1に記載の液晶表示パネルの検査システム。
  7. 2枚の基板間に液晶が挟持され、前記2枚の基板にはそれぞれ偏光板が貼り付けられた液晶表示パネルを有する液晶表示装置の製造方法であって、
    前記液晶表示パネルは、検査時に並んで配置された複数の検査領域のうち、少なくとも一つの検査領域において検査され、
    前記検査領域のそれぞれは、人間が前記液晶表示パネルの検査をできる検査ポジション、前記液晶表示パネルを載置したパレットが移動するライン上にあるメインポジションおよびサブポジションを有し、
    前記検査ポジションは前記メインポジションの前に位置し、前記サブポジションは前記メインポジションの後ろに位置し、
    更に、前記検査領域のそれぞれは、検査台及びサブ検査台を有し、前記検査台は、前記検査ポジションおよび前記メインポジションを移動可能であり、前記サブ検査台は前記メインポジションおよび前記サブポジションを移動可能であるように構成され、
    検査対象となる液晶表示パネルは、前記メインポジション上の前記検査台或いはサブ検査台上を通過して、目的の検査領域まで搬送されることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
  8. 前記液晶表示パネルは、パレットに設置されて移動することを特徴とする請求項7に記載の液晶表示装置の製造方法。
  9. 前記検査台及び前記サブ検査台は所定の角度傾いていることを特徴とする請求項8に記載の液晶表示装置の製造方法。
  10. 前記メインポジションの入り口には、前記パレットを前記所定の角度傾ける機構を有する搬入チルト機構を有し、前記メインポジションの出口には前記パレットを水平にセットする搬出チルト機構を有することを特徴とする請求項9に記載の液晶表示装置の製造方法。
  11. 前記搬出チルト機構から搬出された前記パレットを再び前記搬入チルト機構に戻すリターンラインを有することを特徴とする請求項10に記載の液晶表示装置の製造方法。
  12. 前記検査台は検査用バックライトを有することを特徴とする請求項7に記載の液晶表示装置の製造方法。
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