KR100740010B1 - 디스플레이 패널의 검사 시스템 - Google Patents

디스플레이 패널의 검사 시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명은 디스플레이 패널의 점등 검사를 위한 인라인 작업(in line operation)을 제공할 수 있는 디스플레이 패널 검사 시스템에 관한 것으로, 본 발명은 디스플레이 패널들이 탑재된 카세트가 이송되는 컨베이어부, 컨베이어부 양측에 배치되는 그리고 카세트로부터 디스플레이 패널을 제공받아 디스플레이 패널 검사를 실시하는 검사 장비들, 검사 장비로 카세트를 공급하기 위해 카세트를 컨베이어부로부터 이격시켜 검사 장비로 제공하는 공급부재들을 포함하되, 공급부재는 컨베이어에 놓여진 카세트를 지지하는 테이블과, 카세트가 컨베이어부로부터 들어 올려지도록 테이블을 승강시키는 승강부재를 포함할 수 있다.
인라인, 컨베이어, 디스플레이 패널

Description

디스플레이 패널의 검사 시스템{INSPECTING SYSTEM OF FLAT PANEL DISPLAY}
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사 시스템의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사 시스템의 평면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사 시스템의 요부 단면도이다.
도 4 내지 도 6은 본 발명의 실시예에서 카세트의 이송 과정을 단계적으로 설명하기 위한 도면들이다.
도 7은 도 2에서 검사 장비들의 배치를 변경한 것을 보여주는 도면이다.
도 8은 본 발명의 변형예에 따른 디스플레이 패널 검사 시스템의 평면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
110 : 컨베이어부
120 : 공급부재
190 : 검사 장비
본 발명은 디스플레이 패널의 검사 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 디스플레이 패널의 점등 검사를 위한 인라인 작업(in line operation)을 제공할 수 있는 디스플레이 패널 검사 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시장치(TFT-LCD)와 같은 평판 디스플레이(flat panel display)는 양산기술 확보와 연구개발의 성과로 대형화와 고해상도화가 급속도로 진전되어 노트북 컴퓨터(computer)용 뿐만 아니라 대형 모니터(monitor) 응용 제품으로도 개발되어 기존의 CRT(cathode ray tube) 제품을 점진적으로 대체하고 있어 디스플레이 산업에서의 그 비중이 점차 증대되고 있다.
이와 같은 평판 디스플레이(flat panel display) 장치는 제조라인 최종 단계에서 점등 검사를 수행하게 된다. 점등 검사는 프로브 유닛을 이용해 평판 디스플레이(이하 디스플레이 패널이라고 함)의 데이터라인과 게이트라인 각각의 단선 검사와 색상 검사 그리고 육안 검사 등을 실시하게 된다.
특히, 최근에 수요가 급증하고 있는 소형 디스플레이 패널(휴대용 전화기에 사용되는 LCD 패널 등)의 검사 라인은 작업자가 패널이 수납된 카세트를 운반기구를 이용하여 수동으로 검사장비의 보조 테이블에 올려놓고 매뉴얼로 검사를 하고 있는 것이 현실이다. 이러한 소형 디스플레이 패널의 검사 시스템은 작업자가 디스플레이 패널이 수납된 카세트를 직접 이동시킴으로써 작업자의 안전성이 불안정하 고, 라인 내에서 작업자의 동선이 큼으로 생산성이 저하되는 등의 문제점이 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 디스플레이 패널이 담겨진 카세트 운반에 따른 작업자의 안전사고 예방과 디스플레이 패널의 안전성을 확보할 수 있는 새로운 형태의 디스플레이 패널 검사 시스템을 제공하는데 있다.
본 발명의 목적은 작업자의 업무 능률을 향상시킬 수 있는 새로운 형태의 디스플레이 패널 검사 시스템을 제공하는데 있다.
본 발명의 목적은 생산성을 향상시킬 수 있는 새로운 형태의 디스플레이 패널 검사 시스템을 제공하는데 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 디스플레이 패널 검사 시스템은 디스플레이 패널들이 탑재된 카세트가 이송되는 컨베이어부; 상기 컨베이어부 양측에 배치되는 그리고 카세트로부터 디스플레이 패널을 제공받아 디스플레이 패널 검사를 실시하는 검사 장비들; 상기 검사 장비로 카세트를 공급하기 위해 카세트를 상기 컨베이어부로부터 이격시켜 상기 검사 장비로 제공하는 공급부재들을 포함하되; 상기 공급부재는 상기 컨베이어에 놓여진 카세트를 지지하는 테이블과, 카세트가 상기 컨베이어부로부터 들어 올려지도록 상기 테이블을 승강시키는 승강부재를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 공급부재는 카세트의 방향을 정렬시키 기 위해 상기 테이블을 회전시키는 회전부재를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 공급부재는 상기 테이블로부터 카세트를 받아서 상기 검사 장비로 공급해주는 피이더를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 피이더는 기판이 놓여지는 지지부와, 상기 지지부를 이동시키는 이동부재를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 테이블은 상기 카세트를 상기 피이더의 지지부로 이동시키기 위해 다수의 이송롤러들을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 피이더의 지지부는 카세트를 상기 테이블로 이동시키기 위해 다수의 이송롤러들을 포함할 수 있다.
예컨대, 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 8에 의거하여 상세히 설명한다. 또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다.
도 1 내지 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 디스플레이 패널 검사 시스템의 사시도, 평면도이다.
본 발명의 기본적인 의도는 디스플레이 패널의 점등 검사를 위한 인라인 작 업(in line operation)을 제공한다. 즉, 본 발명의 검사 시스템(100)은 디스플레이 패널(P)들이 수납된 카세트(10)를 각각의 검사 장비로 자동 공급하기 위한 것으로, 이를 달성하기 위하여 본 발명의 검사 시스템(100)은 카세트(10)를 이송하는 컨베이어부(110)와, 컨베이어부(110)에서 각각의 검사 장비(190)로 카세트(10)를 공급하는 공급부재(120)를 갖는데 그 특징이 있다.
본 발명의 디스플레이 패널 검사 시스템(100)은 크게 컨베이어부(110), 검사 장비(190), 공급부재(120) 그리고 피이더(130)를 포함한다.
컨베이어부(110)는 구동모터(미도시)에 의해 구동되는 구동롤러(112)와 그에 대응하는 피동롤러(114)들을 갖으며, 이들 롤러(112,114)간에는 무한궤도형의 벨트(116)가 연결된다. 벨트(116)에는 카세트(10)가 안착되며, 카세트(10)는 롤러 구동에 의해 이동되는 벨트(116)를 따라 지정된 위치까지 이동된다. 카세트(10)에는 검사 대상물(디스플레이 패널;P)들이 수납된다. 상세하게 도시하지 않았지만, 컨베이어부(110)의 로딩부(110a)는 조립한 원판 패널을 절단하여 각각의 독립적인 단위 LCD 패널(디스플레이 패널)로 분리하는 절단 공정 설비 및 디스플레이 패널(P)을 세정하는 세정 공정 설비와 연결될 수 있으며, 컨베이어부(110)의 언로딩부(110b)는 검사를 마친 디스플레이 패널(P)들을 다음 공정으로 배출하기 위해 후속공정과 연결될 수 있다.
검사 장비(190)는 컨베이어부(110) 양측에 서로 대칭되게 배치된다. 검사 장비(190)는 프로브 유닛을 이용해 검사대상물(이하, 디스플레이 패널;P)의 데이터라인과 게이트라인 각각의 단선 검사와 색상검사 등을 이용한 육안검사를 실시하는 장비이다. 여기서, 검사대상물은 작업자에 의해 카세트(10)로부터 인출된다.
예컨대, 검사 장비(190)는 도 2 및 도 7에서와 같이 컨베이어부(110)를 바라보고 설치되거나 또는 컨베이어부(110)를 등지고 설치될 수 있다. 도 2와 같이 검사 장비(190)를 배치한 경우, 검사 장비(190)에 대한 유지 보수 등을 위한 작업 공간이 확보될 수 있다는 이점이 있다. 그리고 도 7과 같이 검사 장비(190)를 배치한 경우, 도 2의 경우에 비해 설비 전체의 점유 면적을 줄일 수 있는 이점이 있다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 공급부재(120)와 피이더(130)는 카세트(10)를 컨베이어부(110)로부터 검사 장비(190)로 제공하기 위한 것으로, 공급부재(120)는 테이블(122), 승강부재(124) 그리고, 회전부재(126)를 포함한다. 테이블(122)은 벨트(116)에 놓여진 카세트(10)의 저면을 지지하는 부분으로, 벨트(116)와 벨트(116) 사이에 위치된다. 승강부재(124)는 카세트(10)가 벨트(116)로부터 들어올려지도록 테이블(122)을 승강시키는 장치이다. 회전부재(126)는 테이블(122)에 놓여진 카세트(10)의 방향을 정렬시키기 위하여 테이블(122)을 회전시키는 장치이다. 예컨대, 카세트(10)는 디스플레이 패널(P)을 인출하기 위한 개구부를 갖고 있으며, 회전부재(126)는 카세트(10)의 개구부를 작업자가 카세트(10)로부터 디스플레이 패널(P)을 인출하기 편리한 방향으로 정렬시켜 준다. 테이블(122)에는 카세트(10)를 피이더(130)로 이동시켜주기 위하여 다수의 롤러 구동부(128)를 갖는다.
한편, 피이더(130)는 테이블(122)로부터 카세트(10)를 받아서 검사 장비(190)로 공급해주기 위한 유닛으로, 피이더(130)는 카세트(10)가 놓여지는 지지부(132)와, 지지부(132)를 이동시키는 이동부재(134)를 포함한다. 피이더(130)의 지지부(132)는 카세트(10)를 테이블(122)로 이동시키기 위해 다수의 이송롤러(133)들을 갖는다.
상술한 구성을 갖는 검사 시스템(100)에서의 검사 과정을 위한 카세트 이송은 다음과 같다.
원판 패널을 절단하여 각각의 독립적인 LCD 패널인 디스플레이 패널(P)로 분리하는 절단 공정 및 디스플레이 패널(P)을 세정하는 세정 공정을 마친 디스플레이 패널(P)들은 카세트(10)에 담겨지며, 그 카세트(10)는 컨베이어부(110)의 로딩부(110a)로 제공된다. 컨베이어부(110)의 로딩부(110a)로 제공되는 카세트(10)는 벨트 구동에 따라 이동되어 검사를 위해 대기중인 검사 장비(190)와 연결되는 공급부재(120)의 테이블(122) 선상에 위치된다. 테이블(122) 상부에 위치된 카세트(10)는 공급부재(120)에 의해 검사장비(190)로 공급된다. 공급과정을 자세히 살펴보면, 카세트(10)는 테이블(122)에 지지된 상태에서 벨트(116)로부터 들어 올려진다(도 4 참조). 이때, 카세트(10)의 개구부가 어느 쪽을 향하고 있는지 확인(검출)하는 과정과, 작업자가 카세트(10)로부터 디스플레이 패널(P)을 인출하기 편리하도록 카세트(10)의 방향을 변경하는 정렬 과정(회전)을 거친다. 방향 정렬을 마친 카세트(10)는 테이블(122)에 설치된 롤러 구동부(128)의 구동에 의해 좌측(또는 우측)에 배치된 피이더(130)의 지지부(132)로 이동된다(도 5 참조). 피이더(130)로 이동된 카세트(10)는 지지부(132)의 직선이동에 의해 작업자가 카세트(10)로부터 디스플레이 패널(P)을 손쉽게 인출할 수 있는 가까운 위치까지 이동된다(도 6참조).
한편, 첫 번째 카세트(10)의 공급이 진행되는 동안, 컨베이어부(110)의 로딩부(110a)에는 그 다음 카세트(10)가 제공되며, 그 카세트(10)는 검사 공정을 위해 대기하고 있는 다른 검사 장비(190)와 연결되는 공급부재(120)의 테이블(122)까지 이송되며. 그 이후의 공급 과정은 앞에서 설명한 바와 같은 동일한 과정을 거치게 된다. 한편, 카세트(10)에 담겨진 디스플레이 패널(P)들의 검사가 완료되면, 그 카세트(10)는 공급 과정과는 역순으로 컨베이어부(110)의 벨트(116)로 옮겨지고, 컨베이어부(110)의 벨트(116)에 올려진 카세트(10)는 언로딩부(110b)로 이송되어 후속 검사를 위해 대기하게 된다.
도 8은 본 발명에 따른 디스플레이 패널 검사 시스템의 변형예를 보여주는 평면 구성도이다.
도 8을 참조하면, 변형예에 따른 디스플레이 패널 검사 시스템(100a)는 앞에서 설명한 디스플레이 패널 검사 시스템(100)와 동일한 구성과 기능을 갖으며, 이들에 대한 설명은 앞에서 상세하게 설명하였기에 본 실시예에서는 생략하기로 한다.
다만, 본 변형예에서는 공급부재(120)의 테이블(122)로부터 카세트(10)를 받아서 검사 장비(190)로 공급해주는 피이더를 생략하고 컨베이어부(110) 양측면에 보조 테이블(140)이 설치된다는데 그 특징이 있다. 또한, 본 변형예에서, 카세트(10)는 공급부재(120)의 테이블(122)에서 보조 테이블(140)로 작업자의 수작업에 의해 이동된다. 본 변형예에서는 앞의 실시예와 달리 테이블(122)에 롤러 구동부를 설치하지 않고 생략하였다. 그 이유는 도면에서 보여주는 바와 같이 검사 장비(190)들이 컨테이너부(110) 양측에 나란하게 배치되어 컨베이어부(110)와 검사 장비(190) 사이의 이동거리가 극히 짧아지고, 특히 검사 장비(190) 정면에 위치되는 작업자의 작업 범위 안에 테이블(122)과 보조테이블(140)이 위치되기 때문에 피이 더와 테이블의 롤러 구동부를 생략할 수 있었던 것이다.
상술한 바와 같이, 본 발명은 절단 공정 및 세정 공정을 마친 디스플레이 패널들을 검사 장비로 공급하는 과정을 인라인 작업(in line operation)화 하여, 검사 라인의 작업자 수 및 작업 과정을 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 작업자가 직접 디스플레이 패널들이 담기 카세트를 옮기는 과정에서 발생될 수 있는 안전사고와 작업자의 업무 동선을 줄여 업무 능률을 향상시킬 수 있는 것이다.
한편, 본 발명은 상기의 구성으로 이루어진 디스플레이 패널 검사 시스템에 있어 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있다. 하지만, 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 디스플레이 패널 시스템은 디스플레이 패널의 점등 검사를 위한 인라인 작업(in line operation)을 구축하여, 작업자의 카세트 운반에 따른 안전사고 예방과 디스플레이 패널의 안전성을 확보할 수 있는 각별한 효과를 갖는다. 본 발명의 디스플레이 패널 시스템은 디스플레이 패널의 검사를 위한 흐름이 순차적으로 진행되어 작업자의 업무 동선이 작아져서 작업자의 업무능률을 향상시킬 수 있다. 본 발명의 디스플레이 패널 시스템은 검사 라인 전체의 생산성 향상을 기대할 수 있을 뿐만 아니라 검사 라인 관리의 간략화 및 검사 라인 공간을 감축시킬 수 있다.

Claims (7)

  1. 디스플레이 패널 검사 시스템에 있어서:
    디스플레이 패널들이 탑재된 카세트가 이송되는 컨베이어부;
    상기 컨베이어부 양측에 배치되는 그리고 카세트로부터 디스플레이 패널을 제공받아 디스플레이 패널 검사를 실시하는 검사 장비들;
    상기 검사 장비로 카세트를 공급하기 위해 카세트를 상기 컨베이어부로부터 이격시켜 상기 검사 장비로 제공하는 공급부재들을 포함하되;
    상기 공급부재는 상기 컨베이어에 놓여진 카세트를 지지하는 테이블과, 카세트가 상기 컨베이어부로부터 들어 올려지도록 상기 테이블을 승강시키는 승강부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 공급부재는 카세트의 방향을 정렬시키기 위해 상기 테이블을 회전시키는 회전부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사 시스템.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 디스플레이 패널 검사 시스템은
    상기 테이블로부터 카세트를 받아서 상기 검사 장비로 공급해주는 피이더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사 시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 피이더는 기판이 놓여지는 지지부와, 상기 지지부를 이동시키는 이동부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사 시스템.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 테이블은 상기 카세트를 상기 피이더의 지지부로 이동시키기 위해 다수의 이송롤러들을 갖는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사 시스템.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 피이더의 지지부는 카세트를 상기 테이블로 이동시키기 위해 다수의 이송롤러들을 갖는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사 시스템.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 검사 장비에서 디스플레이 패널에 대한 검사 작업은 육안으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사 시스템.
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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5144241B2 (ja) * 2007-12-17 2013-02-13 パナソニック液晶ディスプレイ株式会社 液晶表示装置の製造方法および検査システム
CN101403709B (zh) * 2008-10-31 2011-12-14 广东正业科技股份有限公司 一种印刷电路板外观检查机
JP5427099B2 (ja) * 2010-04-23 2014-02-26 西部電機株式会社 板状物の搬送システム
KR101169915B1 (ko) * 2010-08-04 2012-08-06 오성엘에스티(주) 액정표시모듈 테스트 시스템 및 이를 이용하는 액정표시모듈 테스트 방법
KR101037319B1 (ko) 2010-08-17 2011-05-26 주식회사 에이원마이크로 셀 검사 장치 및 그 방법
CN104391206B (zh) * 2014-12-04 2017-02-22 昆山精讯电子技术有限公司 一种oled面板测试装置
CN107134240A (zh) * 2016-02-29 2017-09-05 西安诺瓦电子科技有限公司 设备运行机台
JP2017198499A (ja) * 2016-04-26 2017-11-02 日本電産サンキョー株式会社 処理システム
CN108896575A (zh) * 2018-05-08 2018-11-27 苏州建益森电子科技有限公司 一种电子器件外观检测系统及检测方法
CN109238653A (zh) * 2018-08-17 2019-01-18 张家港康得新光电材料有限公司 一种检测方法、装置、计算机可读存储介质和计算机设备
KR102617891B1 (ko) * 2019-01-09 2023-12-28 삼성디스플레이 주식회사 표시 패널 검사 장치 및 방법
CN109916597B (zh) * 2019-04-18 2020-12-04 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 光学检测装置及光学检测方法
KR102326415B1 (ko) * 2020-06-11 2021-11-15 김강혁 콘 검사장치

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020096779A (ko) * 2001-06-18 2002-12-31 김연환 패널형 디스플레이의 검사용 프로브
KR20030080986A (ko) * 2002-04-09 2003-10-17 도쿄 캐소드 라보라토리 캄파니 리미티드 디스플레이 패널 검사용 프로브 접촉 장치

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2610918B2 (ja) * 1987-12-25 1997-05-14 東京エレクトロン株式会社 被処理体の処理方法及び処理装置
CN2226775Y (zh) * 1994-05-23 1996-05-08 中国科学院长春物理研究所 一种电控双折射模式的液晶显示器
JP2002083854A (ja) * 1999-07-09 2002-03-22 Tokyo Electron Ltd 基板搬送装置
JP4356233B2 (ja) * 2000-11-30 2009-11-04 株式会社Ｉｈｉ 基板移載装置
CN1250953C (zh) * 2001-03-06 2006-04-12 东丽株式会社 显示板的检查方法和检查装置以及制造方法
JP4039130B2 (ja) * 2001-08-08 2008-01-30 セイコーエプソン株式会社 光学装置、光学装置の製造方法、およびプロジェクタ
JP2003344220A (ja) * 2002-05-22 2003-12-03 Sony Corp 液晶表示装置の製造方法並びに液晶表示装置のゴースト不良検査装置及びゴースト不良検査方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020096779A (ko) * 2001-06-18 2002-12-31 김연환 패널형 디스플레이의 검사용 프로브
KR20030080986A (ko) * 2002-04-09 2003-10-17 도쿄 캐소드 라보라토리 캄파니 리미티드 디스플레이 패널 검사용 프로브 접촉 장치

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