JP2012159489A - 光学検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 光学特徴の欠陥を識別でき、かつ検査工程においてパネル表面の異物を除去でき、また検査中のパネルに電力が供給できる光学検査装置を提供すること。
【解決手段】 第１方向に延伸する検査台と、前記第１方向に被検査物のいずれかを載置する少なくとも１つの載置板を投入口から払出口へ搬送するために用いられる搬送ユニットと、前記検査台に設置され、前記第１方向と垂直な第２方向に延伸する第１スキャナとを有する光学検査装置。前記第１スキャナは、少なくとも１つの載置板に載置される少なくとも１つの物品を検査するために用いられ、前記投入口と前記払出口の間に第２方向に延伸する第１検出器を含む。前記第１スキャナと前記投入口の間に前記第１方向と垂直な第２方向に延伸する第１ローラセットを有し、当該第１ローラセットは少なくとも１つの前記物品の表面に力をかけるために用いられる。
【選択図】 図１

Description

本発明は、光学検査に関し、特に、関連の物品の欠陥或いは特徴を検査する光学検査装置に関する。

例えば液晶ディスプレイ（Ｌｉｑｕｉｄ ｃｒｙｓｔａｌ ｄｉｓｐｌａｙ、「ＬＣＤ」）装置のディスプレイ装置は、電子式に文字、映像及び動画を含む情報を表示するために用いられる。ＬＣＤは、例えば偏光フィルタ、ガラス基板、カラ−フィルタ、液晶と反射表面など複数のレイヤーを含み、前記ＬＣＤの品質を判定する。ＬＣＤが合格のＬＣＤであるかどうか、つまり前記ＬＣＤの欠陥があらかじめ定めた数量より少ないかどうかを検査するには、肉眼で検査することも時には可能である。しかし、肉眼での検査はＬＣＤの大量生産において時間と手間がかかると共に不正確になることがある。さらに、半導体製造の進歩に伴い、肉眼検査で小型化を特徴とするＬＣＤ製品を検査することは、更に困難になる場合がある。このため、ＬＣＤパネルを自動的に検査するための検査システム或いは装置が開発されている。しかしながら、当前記自動走査システムは光学特徴の欠陥を識別することができない、あるいは特定の方向からしか観察、又は検出できない可能性がある。また、検査工程において異物（例えばごみ或いはほこり等）を欠陥と間違って判定されることもある。更に、検査前に手動でパネルをオンにする必要がある場合があるため、当前記走査システムは余り自動化されていない。

本発明の目的は、光学特徴の欠陥を識別でき、かつ検査工程においてパネル表面の異物を除去できる装置を提供すること、また検査中のパネルに電力が供給できる装置を提供することにある。

本発明の実施例は光学検査に用いる装置を提供する。前記装置は、第１方向に延伸する検査台と、前記第１方向に被検査物のいずれかを載置する少なくとも1つの載置板を投入口から払出口へ搬送するために用いられる搬送ユニットと、前記第２に前記投入口と前記払出口の間に延伸する第１スキャナを備え、前記検査台に設置され、また前記第１方向と垂直する第２方向に延伸し、前記少なくとも1つの載置板にある前記少なくとも1つの物品を検査するために用いられる第１検出器と、前記第１スキャナと前記投入口の間に位置され、前記少なくとも1つの各物品表面に力をかけるために用いられる第１ローラセットとを、含む光学検査装置を提供できる。

本発明の一実施例は光学検査に用いる装置を提供できる。前記装置は第１装置ユニットと第2装置ユニットを含む。第１装置ユニットは、第１方向に延伸する第１検査台と、前記第１方向に載置板を第１投入口から第１払出口へ搬送するために用いられる第１搬送ユニットと、前記第１検査台に設置され、また前記第１方向と垂直する第２方向に延伸し、前記載置板にある物品を縦方向に検査するために用いられる第１検出器を有する。第2装置ユニットは、第２方向に延伸する第２検査台と、前記第２方向に前記載置板を第２投入口から第２払出口へ搬送するために用いられる第２搬送ユニットと、前記第２検査台に設置され、また前記第１方向に延伸し、前記載置板にある前記物品を横方向に検査するために用いられる第２検出器とを有する。

本発明のまた別の実施例は光学検査に用いる装置を提供できる。前記装置は、第１方向に延伸する検査台と、前記検査台に設置され、また前記第１方向と垂直な第２方向に延伸し、物品を検査するために用いられる第１検出器と、前記第１方向に載置板を投入口から払出口へ搬送するために用いられる搬送ユニットとを含む。前記載置板上に前記物品を載置する第１表面と、前記物品への電力供給を制御するための電力制御ユニットを備える第２表面を有し、前記第2表面に検査工程において前記載置板を前記搬送ユニットで搬送する時、前記搬送ユニットを通じて前記電力制御ユニットを電源に接続するために用いられる一対の導電性レールを含む。

下記の説明において本発明の他の特徴と利点の一部を提供するものであり、かつ前記説明から本発明の一部を理解できる、或いは本発明の実施により習得することもできる。添付した特許請求の範囲において特別に列記された部材と組み立てによって本発明の特徴と利点を理解し、かつその特徴と利点を達成することができる。

上記の概要説明及び下記の詳細説明は、例示と解釈のために提供されたものであり、本文の主張する発明を限定するものではない。

添付図面を併せて参照すると、本発明の上記詳細説明をより明確に理解することができる。本発明の説明目的を達成するため、各図面に実施例を示す。図面は各実施例としての配置方法及び設備装置を描いたものである。
本発明の一実施例による光学検査装置の略概図である。 図１に例示される装置のクリーナー拡大図である。 図１に例示される装置の検出器上面図である。 図３Ａに例示される装置の検出器背面立体図である。 図１に例示される装置の左側を示す図である。 本発明の他の一実施例における図１に例示されるような装置の左側を示す図である。 本発明の実施例におけるローラ調整機構を示す図である。 本発明の他の一実施例におけるローラ調整機構を示す図である。 本発明のさらに他の一実施例におけるローラ調整機構を示す図である。 本発明の他の一実施例における光学検査装置を示す図である。 本発明のさらにまた他の一実施例における光学検査装置を示す上面図である。 本発明のさらにまた他の一実施例における光学検査装置を示す上面図である。 図１に例示される光学検査装置内の載置板の上面立体図である。 図６Ａに例示される載置板下面図である。 本発明の載置板を異なる寸法のパネルに応用した場合を示す図である。 本発明の実施例においてその上に第１物品を固定している場合の載置板を示す上面立体図である。 本発明の実施例においてその上に第２物品を固定している場合の載置板を示す上面立体図である。 本発明の実施例においてその上に第３の物品を固定している場合の載置板を示す上面立体図である。 図８Ａに例示される前記第１物品を示す下面図である。 その上に前記第１物品を固定している場合の前記載置板を示す下面図である。

以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明するが、実施例を添付の図面に図示し、全ての図面においてできる限り同じ符号を用いて、同一または類似の部材で表すこととする。

図１は、本発明の１つの実施例に基づく光学検査装置２０を示す図である。図１に示すように、装置２０には検査台２１と、検出器２２と、クリーナー２３と、搬送ユニット２４と、検査時物品２６−１、２６−２及び２６−３を載置する複数の載置板２５−１、２５−２及び２５−３と、コントローラ２７とを含む。

検査台２１は、光学検査用作業台として使用できる。本発明に基づく実施例において、検査台２１は第１方向に延伸する金属フレームを有し、また、検査台２１の長さを例えば物品６個を配列できるように設計できる。

搬送ユニット２４は前記第１方向に投入口２４２から物品２６−１〜２６−３を払出口２４３へ搬送するために用いられる一組のベルトコンベア２４１とガイドレール（図示略）を含む。

検出器２２は、物品２６−１〜２６−３を検査するために用いられる1つ又は複数のスキャナを含むことができる。前記スキャナは、Ｃｏｏｐｅｒ Ｓ．Ｋ．Ｋｕｏ及びＲｏｎ Ｔｓａｉ（本願の発明者と同一人物）が２０１０年３月２６日に出願した米国特許出願番号１２／７３２，５８６（発明の名称：「検査システム（Ｉｎｓｐｅｃｔｉｏｎ Ｓｙｓｔｅｍ）」）の記載に説明及び図示されるスキャナを有することができる。検出器２２は検査台２１に設置され、また実質上前記第１方向と垂直な第２方向に延伸する。

クリーナー２３は、例えば環境要因により検査時に物品表面に付着したほこり或いはごみのような異物を除去するために用いられる。これら異物を適切に除去されない場合、検出器２２によって検出されることがあり、検査時に前記物品の欠陥として誤認されるので、欠陥識別率を高く設定された場合に受け入れられなくなる。クリーナー２３は投入口２４２と検出器２２の間に設置され、また第２方向に延伸する。

図２は、図１に例示される装置２０のクリーナー２３の拡大図である。図２に示すように、クリーナー２３は、イオン除去器２３１とエアナイフ２３２とを含む。イオン除去器２３１が投入口２４２とエアナイフ２３２の間に設置され、物品２６−１を第１方向に検出器２２へ搬送する時、検査時に物品２６−１に付着する不要な物質又は異物のイオン化を除去する。そして、イオン化除去後の粒子をエアナイフ２３２の気流で簡単に除去できる。本発明に基づく実施例において、イオン除去器２３１はＨＡＵＧ Ｉｏｎｉｚａｔｉｏｎ（登録商標）が製造したイオン化棒「ＥＩ ＲＮ」を含むことができるが、これに限定するものではない。エアナイフ２３２はＮＥＸ ＦＬＯＷ（登録商標）が製造したエアナイフ「ｓｉｌｅｎｔ ｘ−ｓｔｒｅａｍ（登録商標） ａｉｒ ｂｌａｄｅ（登録商標）」を含むことができるが、これに限定するものではない。

次に、また図１を参照して説明する。載置板２５−１〜２５−３の寸法は物品２６−１〜２６−３の載置に適し、また例えば搬送ユニット２４のガイドレールに適合する。本発明の一実施例において、物品２６−１〜２６−３は、例えば１３”と１４”と１５” 寸法の液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）パネルであるが、これに限定するものではない。載置板２５−１〜２５−３は異なる寸法のＬＣＤパネルに適合する。また、載置板２５−１〜２５−３は外部電源から搬送ユニット２４を通じて電力供給されることで、前記ＬＣＤパネル等を作動して検査を促進する。

コントローラ２７はクリーナー２３、検出器２２及び一組のセンサー（図示略）に結合することで、検査の進行を制御する。検査のため、前記一組のセンサーを検査台２１内の所定位置に設置する。また、コントローラ２７は検出器２２により物品に関する走査済みデータを収集、分析し、リアルタイムでスクリーン（図示略）に特定物品の検査結果を表示するように設置することができる。

操作の時、第１物品２６−１と第１載置板２５−１が投入口２４２に置かれる前第１載置板２５−１に配置され、そして第１物品２６−１を搬送ユニット２４で第１方向に払出口２４３へ搬送する。クリーナー２３に近づく第１物品２６−１が第１センサー（図示略）を介して検出された場合、コントローラ２７は近づく第１物品２６−１に反応してクリーナー２３を動作させる。次に、第１物品２６−１は検出器２２で走査できる。第２検出器（図示略）を介して第１物品２６−１と他の物品を区別できる第１物品２６−１に関する第１バーコード（図示略）を識別する。前記走査済みデータと前記識別したバーコードをコントローラ２７で収集できる。本発明の一実施例において、第１物品２６−１が続いて払出口２４３に入ると同時に第１物品２６−１の前記走査済みデータを表示できる。その他、コントローラ２７から警報機（図示略）により物品の欠陥数量が設定値を超えた時、警告音又は表示灯を発することができる。

第２物品２６−２と第２載置板２５−２は、第１物品２６−１が第１方向に沿って進行する時投入口２４２に置かせることができる。例えば第２物品２６−２は、第１物品２６−１がクリーナー２３或いは検出器２２に到達した時投入口２４２に置くことができる。同じように、第３物品２６−３は、第２物品２６−２が続いてクリーナー２３或いは検出器２２に到達する時投入口２４２に置くことができる。また、載置スペースを後ろの物品に利用できるように、物品は払出口２４３に到達した時に取り出される。

図３Ａは、図１に例示される装置２０の検出器２２の上面図である。図３Ａに示すように、検出器２２は、支持フレーム２２０により検査台２１上に所要高さに固設される第１スキャナ２２１と第２スキャナ２２２を含む。第１及び第２スキャナ２２１、２２２は前記第２方向に延伸し、かつ本実施例に示すように、物品２６−１が第１方向に進む時、縦方向に物品２６−１を走査する。第１及び第２スキャナ２２１、２２２は第２方向に配置され、物品２６−１の幅をカバーできる走査ユニットを有する。

図３Ｂは、図１に例示される装置２０の検出器２２の背面立体図である。図３Ｂに示すように、装置２０には検出器２２の検査台２１或いは物品に対する高さを調整する第１調整具２２Ｈを含むができる。具体的に、検出器２２を上或いは下に向かって移動して実質上前記第１方向及び前記第２方向と垂直な第３方向に所要の高さまで調整できる。

更に、装置２０には検査時に一組のローラー（図示略）により物品表面にかけた力を調整するために用いられる第２調整具２２Ｒを含むことができる。これについて図３Ｃに説明する。また、装置２０には検査時に第１と２のスキャナ２２１、２２２の物品表面の法線方向の角度を調整するための1つ或いは複数の第３調整具２２Ａを含むことができる。

図３Ｃは、図１に例示される装置２０の左側を示す図である。図３Ｃに示すように、支持フレーム２２０（点線表示）に設置された第３センサーＳ３は物品２６−１表面との距離Ｄ_１を検出できる。検出器２２が所要高さに到達したかを判定するため、距離Ｄ_１をコントローラ２７で分析することができる。到達していない場合、検出器２２及び第１と第２スキャナ２２１、２２２が第１調整具２２Ｈにより所要高さに調整させることができる。一実施例において、第１調整具２２Ｈは手動で調整できる。別の実施例において、指令をコントローラ２７に入力してコントローラ２７を介して第１調整具２２Ｈを調整する。

検出器２２の第１ローラセット２２８を投入口２４２と第１スキャナ２２１の間に設置し、検査工程内後続の走査のために物品２６−１の表面を押圧する。走査前物品を押圧することにより、良好な画素を欠陥（逆も同様）と誤認するリスクを低下させ、特に例えば製造要因によって物品に反り表面がある場合である。その他、外力を介して現像できる異物も第１ローラセット２２８から物品２６−１の表面にかけた圧力によって現像して第１スキャナ２２１に検出させることができる。また、第１ローラセット２２８からの圧力を利用して物品内の欠陥が押圧されたゾーンにおいて更に正常画素から識別しやすくなる。本実施例において、第１ローラセット２２８と第１スキャナ２２１の間に押圧されたゾーン内の欠陥ｙ１を更に検出しやすくなる。次に、物品表面を均一に押圧するため、第１ローラセット２２８は第２方向に延伸し、第１方向に縦方向に進む前記物品の幅をカバーできるように配置することができる。第１ローラセット２２８から物品２６−１の表面にかけた力或いは圧力はコントローラ２７で分析し、また第２調整具２２Ｒで調整する。これは手動又はコントローラ２７で実施できる。

図３Ｄは、本発明の別の一実施例における図１に例示される装置２０の左側を示す図である。図３Ｄに示すように、検出器２２は、第２スキャナ２２２と搬送ユニット２４の払出口２４３の間に設置される第２ローラセット２２９を更に含むことができる。本発明の一実施例において、第２ローラセット２２９と第２スキャナ２２２の間の欠陥ｙ_２を更に検出しやすくなる。その他、第２ローラセット２２９は第４の調整具２３Ｒで第１ローラセット２２８に類似した方法により固設と調整ができる。

図３Ｅは、本発明の一実施例におけるローラ調整機構を示す図である。図３Ｅに示すように、前記ローラ調整機構は第２調整具２２Ｒと第１ローラセット２２８とを含む。第２調整具２２Ｒは第１ローラセット２２８に支えることに用いられるローラ支持具２２７を有する。本実施例において、ローラ支持具２２７がそれぞれ第１ローラセット２２８に対応して支える一組のローラ支持ユニット２２７Ｒを含む。また、各ローラ支持ユニット２２７Ｒは伸縮できるため、物品２６−１の対応ローラに対する高さ及び前記対応ローラから物品２６−１の表面にかける力を調整できる。図３Ｅに例示される非平面表面の状態で、各ローラ支持ユニット２２７Ｒの調整を通じて前記非平面表面を横断する均一圧力が実現できる。

図３Ｆは、本発明の別の実施例におけるローラ調整機構を示す図である。図３Ｆに示すように、前記ローラ調整機構はローラ支持具３２７とシングルローラ３２８を含む。ローラ３２８は円柱形を用いることができ、その上に複数の直線溝３２９を有する。ローラ３２７の物品２６−１にかける力はローラ支持具３２７が第３方向に伸縮移動することにより制御できる。

図３Ｇは、本発明のさらに別の一実施例におけるローラ調整機構を示す図である。図３Ｇに示すように、前記ローラ調整機構は対角線溝４２９を有するシングルローラ４２８を含む。

次に、また図３Ｃの図示において、第１スキャナ２２１は第３調整具２２Ａのいずれかに固設できる。第１スキャナ２２１と物品２６−１表面の法線方向（本実施例において第３方向）間の角度は第３調整具２２Ａで調整できる。具体的に、第１スキャナ２２１は第１軸Ｘ１を取り囲んで第１所要角度へ回すことができ、これは手動或いはコントローラ２７で実施できる。

同じように第２スキャナ２２２を第３調整具２２Ａの別の１つに固設させることができる。第２スキャナ２２２と物品２６−１表面の法線方向の間の角度は第３調整具２２Ａで調整できる。具体的に、第２スキャナ２２２は第２軸Ｘ２を取り囲んで第２所要角度に回すことができ、これは手動或いはコントローラ２７で実施できる。本発明の一実施例において、各スキャナ２２１、２２２の回せる角度の範囲は、約マイナス３０度からプラス３０度（±３０^ｏ）である。例えば、第１スキャナ２２１は法線Ｌ_Ｎに対し０度から３０度までの第１角度Ａ_１内に回すことができ、第２スキャナ２２２は、法線Ｌ_Ｎに対し０度からマイナス３０度までの第２角度Ａ_２内に回すことができ、前記視野角度の調整により全方向の検出ができるため、特定角度でほこり又は光学方向の擦り傷などの欠陥を検出することができる。

図４は本発明の別の実施例における光学検査装置３０を示す図である。図４に示すように、装置３０は例えばもう１つの検出器３２を追加する以外に、図１に記載及び例示される装置２０に類似するものとすることができる。具体的に、装置３０は投入口２４２と払出口２４３の間の第１スキャナ２２と、第１検出器２２と払出口２４２の間の第２検出器３２を含む。また第２検出器３２の構造と機能は第１検出器２２に類似又は同一のものとすることができるため、更なる論議を行わない。装置３０は、関連多層を有する被検査物の冗長走査又は迅速走査の状況に応用できる。迅速走査状況において、第１と第２検出器２２、３２が２個の物品を一括で走査できる。図４に例示される搬送順序において第２検出器３２が第１物品２６−１を走査し、第１検出器２２が第２物品２６−２を走査するよう指定することができるため、走査速度が倍増する。熟練の技術者は、本発明に基づく装置が検査工程において可能であれば、３個或いは更に多くの検出器を取り付けることができることを理解することができる。

図５Ａと図５Ｂは、本発明のさらに別の実施例における光学検査装置５０を示す上面図である。図５Ａに示すように、装置５０は、第１装置ユニット５１と第２装置ユニット５２を含む。本実施例において、第１装置ユニット５１はクリーナーと一対の検出器とを含み、かつその構造と機能が図４に例示される装置３０に類似又は同一のものとすることができる。その他、第２装置ユニット５２は一対の検出器を含み、かつその構造と機能が図４に例示される装置３０に類似するものとすることができる。しかし、検査時に物品表面に付着した異物はすでに第１装置ユニット５１のクリーナーで除去されたため、第２装置ユニット５２は第１装置ユニット５１に含むクリーナーを有しない。別の実施例において第１及び第２装置ユニット５１、５２はそれぞれ単一検出器を有し、図１に例示される装置２０に類似又は同一のものとすることができるが、第２装置ユニット５２は第１装置ユニット５１に含むクリーナーを有しない。

第１装置ユニット５１は、第１方向に設置し、物品２６−１〜２６−３を搬送し、またこれら物品を縦方向に走査する。よって、ナロービーム照射或いは第１方向に沿ってのみ見えて、検出できる欠陥は、第１装置ユニット５１の前記一対の検出器又は単一の検出器のスキャナで検出することができる。また、第２装置ユニット５２は、前記第１方向と垂直な第２方向に設置し、物品２６−１〜２６−３を搬送し、またこれら物品を横方向に走査する。よって、第２方向に沿ってのみ見えて、検出できる欠陥は、第２装置ユニット５２の前記一対の検出器又は単一の検出器のスキャナで検出することができる。この種の走査のため、第１装置ユニット５１と第２装置ユニット５２は、互いに垂直な方向に延伸するよう配置でき、第１装置ユニット５１の払出口２４３を第２装置ユニット５２の投入口２４２に結合、若しくは第２装置ユニット５２の投入口２４２とすることができる。

操作の時、物品２６−１〜２６−３を第１装置ユニット５１の投入口２４２に置くことができ、各物品幅側を第１装置ユニット５１の払出口２４３に向かい、物品２６−１〜２６−３が第１装置ユニット５１の第１方向に進む時縦方向に走査する。図５Ｂに示すように、第１物品２６−１が第１装置ユニット５１の払出口２４３に到達した時、その奥行き側を第２装置ユニット５２の投入口２４２に向かい、物品２６−１及び後ろの物品２６−２と２６−３は第２装置ユニット５２の第２方向に進む時横方向に走査する。

図６Ａは、図１に例示される光学検査装置２０内の載置板２５−１の上面立体図である。図６Ａに示すように、載置板２５−１は、複数の第１開口部２５１と、複数の第２開口部２５２と、複数の第３開口部２５３と、複数のコネクタ２５４を含む。第１開口部２５１は、プラグを介して載置板２５−１を異なる寸法のパネルのいずれかの態様に応用させるよう配置できる。図７の図７−１乃至図７−６は、本発明に基づく載置板２５−１を異なる寸法のパネルに応用した場合を示す図である。これらのパネルは、１３”と、１４”と１５”のパネルであるが、これに限定するものでは。具体的に、図７−１乃至図７−３に例示されるこれらのパネルの幅長さ比が１６：９で、図７−４乃至図７−６に例示されるこれらのパネルの幅長さ比が４：３である。

また図６Ａに示すように、第２開口部２５２は、第１方向に延伸する長方形スルーホールに形成し、製品情報位置に連結する態様（例えばパネルの底面に印刷したパネルバーコード）で配置できる。前記バーコード位置はパネル寸法の違いによって異なることができる。よって、パネル寸法により、第２開口部２５２のいずれかで特定寸法のパネルのバーコードを露呈する。

第３開口部２５３は、パネルを載置板２５−１に固定するために用いられることができる。第１開口部２５１に類似するよう、第３開口部２５３はパネルを所定位置に保持できるため、前記パネルが検査工程において載置板２５−１に対応して移動できない。載置板２５−１にあるパネルの変位は、例えば検出した欠陥とその座標の間の不一致のように検査の間違いを起こす可能性がある。

コネクタ２５４は、載置板２５−１の上部或いは第１表面２５ｔに配置され、検査工程において搬送ユニット２４を通じて外部電源との電気的な接続を保持できる導電マットを含む。

図６Ｂは、図６Ａに例示される載置板２５−１の下面図である。図６Ｂに示すように、載置板２５−１は電力制御ユニット６０と、載置板２５−１の下部或いは第２表面２５ｂにある一対の導電性レール６１、６２を含む。電力制御ユニット６０は、パネルへの電力供給を制御でき、例えば光源（前記パネルのバックライト）である。少なくとも検査周期において、前記パネルの走査のため、電力制御ユニット６０で前記バックライトをオンにし、また輝点又は黒点欠陥を判別し検出させることができる。次に、第１方向に延伸する導電性レール６１、６２は、搬送ユニット２４に接触することで、コネクタ２５４と搬送ユニット２４を介して電力制御ユニット６０を前記外部電源に接続する。

図８Ａは、本発明に基づく実施例において、その上に第１物品２６−１を固定している場合の載置板２５−１を示す上面立体図である。図８Ａに示すように、若干のプラグ８１の各寸法は緊密に第１開口部２５１内に組み込まれると共に、第１開口部２５１の第１選出群内に差し込むことができ、以って第１寸法の第１物品２６−１を載置板２５−１の第１表面２５ｔに固定する。その他、第１物品２６−１の光源に電気的に接続するフレキシブル回路基板（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ ｃｉｒｃｕｉｔ ｂｏａｒｄ、「ＦＣＢ」）８２をコネクタ２５４の選択されたセットと結合することで、これら光源をオンにして光学検査を行うことができる。次に、これらの光源は、それぞれ磁性金属筐体に収容される冷陰極蛍光ランプ（Ｃｏｌｄ ｃａｔｈｏｄｅ ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｃｅ ｌａｍｐ、「ＣＣＦＬ」）を含む。前記実施例において、プラグ８１は磁性材料により生成することで、第１物品２６−１をより固定できる。

図８Ｂは、本発明に基づく実施例において、その上に第２物品２６−２を固定している場合の載置板２５−１の上面立体図である。図８Ｂに示すように、若干のプラグ８１は第１開口部２５１の第２選出群内に差し込まることで、第２寸法の第２物品２６−２を載置板２５−１の第１表面２５ｔに固定できる。図８Ａに例示される第１物品２６−１に比べて、前記第２寸法は前記第１寸法より小さい。よって、プラグ８１及び所定態様の第１開口部２５１の適切な組合せの選択を通じて、載置板２５１が異なる寸法のパネルの載置に適用できる。

図８Ｃは、本発明に基づく実施例において、その上に第３の物品２６−３を固定している場合の載置板２５−１を示す上面立体図である。図８Ｃに示すように、若干のプラグ８１は第１開口部２５１の第３の選出群内に差し込まれることで、第３の寸法の第３の物品２６−３を載置板２５−１の第１表面２５ｔに固定できる。次に、第３の物品２６−３のこれらの光源は、それぞれプラスチックハウジングで覆われた発光ダイオ−ド（Ｌｉｇｈｔ ｅｍｉｔｔｉｎｇ ｄｉｏｄｅ、「ＬＥＤ」）ストリングを含むことができる。前記実施例において、一端が第３の開口部２５３内にあるクリップ８３は、他端を利用して第３の物品２６−３を載置板２５−１の第１表面２５ｔに固定できる。

図９Ａは、図８Ａに例示される第１物品２６−１の下面図である。図９Ａに示すように、バーコード９２を第１方向に沿って物品２６−１の底面２６ｂに印刷できる。バーコード９２は、第１物品２６−１と他の物品を区別するために用いることができる。パネルのバーコードを識別するため、前述の通り検査台２１の適切な位置に第２センサーを取り付けることができる。

図９Ｂは、その上に第１物品２６−１を固定している場合の載置板２５−１を示す下面図である。図９Ｂに示すように、所定態様の第２開口部２５２のいずれかは第１物品２６−１のバーコード９２を露呈できる。バーコード９２は前記第２センサーで検出されてからコントローラ２７に伝送できる。

熟練の技術者であればわかるように、広義な発明概念を逸脱せずに上記の各実施形態を変えることが可能である。

このほか、本発明の代表的な実施例を説明する際、本明細書は本発明の方法及び／またはプロセスを特定の実施順序と示しているが、前記方法或いはプロセスの範囲は、本文で示した特定の実施順序のみに限らないため、前述した特定の実施順序に限定するものではない。熟練の技術者なら、種々の実施順序があることを理解できるはずである。本明細書で示した特定の実施順序特許請求の範囲を限定するものではない。このほか、本発明の方法及び／またはプロセスに関する特許請求の範囲に示した実施順序での実施のみに制限するべきではない。熟練の技術者なら、前記実施順序が変更することができ、かつ、たとえば変更しても本発明の主旨と範疇の内にあると理解できる。

２０ 光学検査装置
２１ 検査台
２２ 検出器
２２Ａ 第３調整具
２２Ｈ 第１調整具
２２Ｒ 第２調整具
２２０ 支持フレーム
２２１ 第１スキャナ
２２２ 第２スキャナ
２２７ ローラ支持具
２２７Ｒ ローラ支持ユニット
２２８ 第１ローラセット
２２９ 第２ローラセット
２３ クリーナー
２３Ｒ 第４の調整具
２３１ イオン除去器
２３２ エアナイフ
２４ 搬送ユニット
２４１ ベルトコンベア
２４２ 投入口
２４３ 払出口
２５−１ 載置板
２５−２ 載置板
２５−３ 載置板
２５１ 第１開口部
２５２ 第２開口部
２５３ 第３開口部
２５４ コネクタ
２５ｔ 上部或いは第１表面
２５ｂ 下部或いは第２表面
２６ｂ 底面
２６−１ 物品
２６−２ 物品
２６−３ 物品
２７ コントローラ
３０ 光学検査装置
３２ 検出器
３２７ ローラ支持具
３２８ シングルローラ
３２９ 直線溝
４２８ シングルローラ
４２９ 対角線溝
５０ 光学検査装置
５１ 第１装置ユニット
５２ 第２装置ユニット
６０ 電力制御ユニット
６１、６２ 導電性レール
８１ プラグ
８２ フレキシブル回路基板
８３ クリップ
９２ バーコード
Ｘ１ 第１軸
Ｘ２ 第２軸
Ｓ３ 第３のセンサー
ｙ_１ 欠陥
ｙ_２ 欠陥

Claims (42)

1. 光学検査装置であって、以下の構成を有することを特徴とする光学検査装置。
   第１方向に延伸する検査台と、
   前記第１方向に被検査物のいずれかを載置する少なくとも1つの載置板を投入口から払出口へ搬送するために用いられる搬送ユニットと、
   前記検査台に設置され、前記第１方向と垂直な第２方向に延伸する第１スキャナと、を有し、
   前記第１スキャナは、少なくとも１つの載置板に載置される少なくとも１つの物品を検査するために用いられ、第２方向に前記投入口と前記払出口の間に延伸する第１検出器を含み、
   前記第１方向と垂直な第２方向に、前記第１スキャナと前記投入口の間に延伸する第１ローラセットを有し、当該第１ローラセットは少なくとも１つの前記物品の表面に力をかけるために用いられる。
2. 請求項１に記載の光学検査装置において、前記少なくとも１つの各物品は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）パネルを含み、かつ、前記少なくとも１つの各載置板の第１表面に複数の第１開口部を備え、以って、前記各載置板が異なる寸法のパネルを載置できるようにすることを特徴とする。
3. 請求項２に記載の光学検査装置において、前記パネルのバーコードを露呈するため、前記少なくとも１つの各載置板の前記第１表面に複数の第２開口部を備えることを特徴とする。
4. 請求項２に記載の光学検査装置において、前記パネルへの電力供給を制御するため、前記少なくとも１つの各載置板の第２表面に電力制御ユニットを備えることを特徴とする。
5. 請求項４に記載の光学検査装置において、前記各載置板を前記搬送ユニットで搬送する時、前記搬送ユニットを通じて前記電力制御ユニットを電源に結合するため、前記少なくとも１つの各載置板の前記第２表面に一対の導電性レールを備えることを特徴とする。
6. 請求項１に記載の光学検査装置において、前記第１検出器は、第２方向に前記第１検出器と前記払出口の間に延伸する第２スキャナを含む。また、前記少なくとも１つの各物品表面に力をかけるための前記第２スキャナと前記払出口の間に位置する第２ローラセットを含むことを特徴とする。
7. 請求項６に記載の光学検査装置において、前記第１ローラセット或いは前記第２ローラセットのうちのいずれかは、前記第１方向及び前記第２方向と垂直な第３方向に移動できるようにすることを特徴とする。
8. 請求項６に記載の光学検査装置において、前記第１ローラセット或いは前記第２ローラセットのうちのいずれかは、ローラ表面に直線溝と対角線溝のうちの一種類を有するシングルローラを含むことを特徴とする。
9. 請求項６に記載の光学検査装置において、前記第１ローラセット或いは前記第２ローラセットのうちのいずれかは、それぞれ前記第１方向及び前記第２方向と垂直な第３方向に移動できるようにする複数のローラを含むことを特徴とする。
10. 請求項６に記載の光学検査装置において、前記少なくとも１つの各物品の前記表面の法線方向に対して前記第１スキャナの角度を調整するために用いられる第１角度調整具と、前記各物品の法線方向に対して前記第２スキャナの角度を調整するために用いられる第２角度調整具のいずれかを含むことを特徴とする。
11. 請求項１に記載の光学検査装置において、前記搬送ユニットの前記投入口と前記第１検出器の第１スキャナの間の前記検査台に設置され、かつ前記第２方向に延伸するクリーナーを含むことを特徴とする。
12. 請求項１に記載の光学検査装置において、前記投入口と前記第１検出器の間の前記検査台に設置され、かつ前記第２方向に延伸する第２検出器を含むことを特徴とする。
13. 光学検査装置であって、以下の構成を有することを特徴とする光学検査装置。
    第１装置ユニットと、第２装置ユニットとを有し、
    前記第１装置ユニットは、
    第１方向に延伸する第１検査台と、
    前記第１方向に前記載置板を第１投入口から第１払出口へ搬送するために用いられる第１搬送ユニットと、
    前記第１検査台に設置され、また、前記第１方向と垂直な第２方向に延伸し、前記載置板にある物品を縦方向に検査するために用いられる第１検出器と、を有し、
    前記第２装置ユニットは、
    第２方向に延伸する第２検査台と、
    前記第２方向に前記載置板を第２投入口から第２払出口へ搬送するために用いられる第２搬送ユニットと、
    前記第２検査台に設置され、また、前記第１方向に延伸し、前記載置板にある前記物品を横方向に検査するために用いられる第２検出器と、を有する。
14. 請求項１３に記載の光学検査装置において、前記物品は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）パネルを含み、かつ、前記載置板が第１表面に複数の第１開口部を備え、以って、前記載置板が異なる寸法のパネルを載置できるようにすることを特徴とする。
15. 請求項１４に記載の光学検査装置において、前記パネルのバーコードを露呈するため、前記載置板の前記第１表面に複数の第２開口部を備えることを特徴とする。
16. 請求項１４に記載の光学検査装置において、前記パネルへの電力供給を制御するため、前記載置板の第２表面に電力制御ユニットを備えることを特徴とする。
17. 請求項１６に記載の光学検査装置において、前記載置板を前記搬送ユニットで搬送する時、前記搬送ユニットを通じて前記電力制御ユニットを電源に結合するため、前記載置板の前記第２表面に一対の導電性レールを備えることを特徴とする。
18. 請求項１３に記載の光学検査装置において、前記第１検出器は、前記第１投入口と前記第１払出口の間に位置し、前記第１検出器と平行的に延伸する第１スキャナを含み、また、前記各物品の表面に力をかけるための、前記第１投入口と前記第１スキャナの間に位置する第１ローラセットを含むことを特徴とする。
19. 請求項１８に記載の光学検査装置において、前記第１検出器は、前記第１スキャナと前記第１払出口の間に位置し、前記第１検出器と平行に延伸する第２スキャナを含み、また、前記各物品の表面に力をかけるための前記第２スキャナと前記第１払出口の間に位置する第２ローラセットを含むことを特徴とする。
20. 請求項１９に記載の光学検査装置において、前記第１ローラセット或いは前記第２ローラセットのうちのいずれかは、前記第１方向及び前記第２方向と垂直な第３方向に移動できるようにすることを特徴とする。
21. 請求項１９に記載の光学検査装置において、前記第１ローラセット或いは前記第２ローラセットのうちのいずれかは、ローラ表面に直線溝と対角線溝のうちの一種類を有するシングルローラを含むことを特徴とする。
22. 請求項１９に記載の光学検査装置において、前記第１ローラセット或いは前記第２ローラセットのうちのいずれかは、それぞれ前記第１方向及び前記第２方向と垂直な第３方向に移動できる複数のローラを含むことを特徴とする。
23. 請求項１９に記載の光学検査装置において、前記物品の前記表面の法線方向に対して前記第１スキャナの角度を調整するために用いられる第１角度調整具、或いは、前記物品の法線方向に対して前記第２スキャナの角度を調整するために用いられる第２角度調整具のいずれかを含むことを特徴とする。
24. 請求項１３に記載の光学検査装置において、前記第１搬送ユニットの前記第１投入口と前記第１検出器の間の前記検査台に設置され、かつ前記第２方向に延伸するクリーナーを含むことを特徴とする。
25. 請求項１３に記載の光学検査装置において、前記第１投入口と前記第１検出器の間の前記第１検査台に設置され、かつ前記第２方向に延伸する第３の検出器を含むことを特徴とする。
26. 請求項１３に記載の光学検査装置において、前記第２検出器は、前記第２投入口と前記第２払出口の間に位置し、前記第２検出器と平行に延伸する第１スキャナを含み、また、前記各物品の表面に力をかけるための、前記第２投入口と前記第１スキャナの間に位置する第１ローラセットを含むことを特徴とする。
27. 請求項２６に記載の光学検査装置において、前記第２検出器は、前記第１スキャナと前記第２払出口の間に位置し、前記第２検出器と平行に延伸する第２スキャナを含み、また、前記各物品の表面に力をかけるための、前記第２スキャナと前記第２払出口の間に位置する第２ローラセットを含むことを特徴とする。
28. 請求項２７に記載の光学検査装置において、前記第１ローラセット或いは前記第２ローラセットのうちのいずれかは、前記第１方向及び前記第２方向と垂直な第３方向に移動できるようにすることを特徴とする。
29. 請求項２７に記載の光学検査装置において、前記第１ローラセット或いは前記第２ローラセットのうちのいずれかは、ローラ表面に直線溝と対角線溝のうちの一種類を有するシングルローラを含むことを特徴とする。
30. 請求項２７に記載の光学検査装置において、前記第１ローラセット或いは前記第２ローラセットのうちのいずれかは、それぞれ前記第１方向及び前記第２方向と垂直な第３方向に移動できる複数のローラを含むことを特徴とする。
31. 請求項２７に記載の光学検査装置において、前記物品の前記表面の法線方向に対して前記第１スキャナの角度を調整するために用いられる第１角度調整具、或いは前記物品の法線方向に対して前記第２スキャナの角度を調整するために用いられる第２角度調整具のいずれかを含むことを特徴とする。
32. 光学検査装置であって、以下を有することを特徴とする光学検査装置。
    第１方向に延伸する検査台と、
    前記検査台に設置され、また、前記第１方向と垂直な第２方向に延伸し、物品を検査するために用いられる第１検出器と、
    前記第１方向に載置板を投入口から払出口へ搬送するために用いられる搬送ユニットと、を含み、
    前記載置板には前記物品を載置する第１表面と、前記物品への電力供給を制御するための電力制御ユニットを提供する第２表面とを有し、また、前記載置板の前記第２表面には検査工程において前記載置板を前記搬送ユニットで搬送する時、前記搬送ユニットを通じて前記電力制御ユニットを電源に接続するために用いられる一対の導電性レールを含むことを特徴とする。
33. 請求項３２に記載の光学検査装置において、前記物品は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）パネルを含み、かつ、前記載置板の第１表面に複数の第１開口部を備え、以って、前記載置板が異なる寸法のパネルを載置できるようにすることを特徴とする。
34. 請求項３３に記載の光学検査装置において、前記パネルのバーコードを露呈するため、前記載置板の前記第１表面に複数の第２開口部を備えることを特徴とする。
35. 請求項３２に記載の光学検査装置において、前記第１検出器は、前記第２方向に前記投入口と前記払出口の間に延伸する第１スキャナを含み、また、前記物品の表面に力をかけるための、前記投入口と前記第１スキャナの間に位置する第１ローラセットを含むことを特徴とする。
36. 請求項３５に記載の光学検査装置において、前記第１検出器は、前記第２方向に前記第１スキャナと前記払出口の間に延伸する第２スキャナを含み、また、前記物品表面に力をかけるための、前記第２スキャナと前記払出口の間に位置する第２ローラセットを含むことを特徴とする。
37. 請求項３６に記載の光学検査装置において、前記第１ローラセット或いは前記第２ローラセットのうちのいずれかは、前記第１方向及び前記第２方向と垂直な第３方向に移動できるようにすることを特徴とする。
38. 請求項３６に記載の光学検査装置において、前記第１ローラセット或いは前記第２ローラセットのうちのいずれかは、ローラ表面に直線溝と対角線溝のうちの一種類を有するシングルローラを含むことを特徴とする。
39. 請求項３６に記載の光学検査装置において、前記第１ローラセット或いは前記第２ローラセットのうちのいずれかは、それぞれ前記第１方向及び前記第２方向と垂直な第３方向に移動できる複数のローラを含むことを特徴とする。
40. 請求項３６に記載の光学検査装置において、前記物品の前記表面の法線方向に対して前記第１スキャナの角度を調整するために用いられる第１角度調整具、或いは、前記物品の法線方向に対して前記第２スキャナの角度を調整するために用いられる第２角度調整具のいずれかを含むことを特徴とする。
41. 請求項３２に記載の光学検査装置において、前記搬送ユニットの前記投入口と前記第１検出器の前記第１スキャナの間の前記検査台に設置され、かつ前記第２方向に延伸するクリーナーを含むことを特徴とする。
42. 請求項３２に記載の光学検査装置において、前記投入口と前記第１検出器の間の前記検査台に設置され、かつ前記第２方向に延伸する第２検出器を含むことを特徴とする。

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