KR101169765B1 - 기판 검사장치 - Google Patents

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KR101169765B1
KR101169765B1 KR1020110108831A KR20110108831A KR101169765B1 KR 101169765 B1 KR101169765 B1 KR 101169765B1 KR 1020110108831 A KR1020110108831 A KR 1020110108831A KR 20110108831 A KR20110108831 A KR 20110108831A KR 101169765 B1 KR101169765 B1 KR 101169765B1
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우봉주
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Abstract

본 발명은 기판 검사장치를 개시한 것으로, 이러한 본 발명은 초음파 세정기(USC)로 기판이 투입되는 시점과 초음파 세정기에 의해 기판의 표면에 대한 이물질 제거가 이루어지는 시점에, 기판의 에지부분에 대한 세로축 방향(길이방향)과 가로축 방향(폭 방향)에서의 품질상태가 정상적인지 즉, 크랙이나 치핑이 발생하였는지를 동시에 검사할 수 있도록 하는 장치를 구성한 것이며, 이에따라 공정챔버로의 기판 투입전에 기판의 품질상태를 미리 체크하고, 이를 통해 공정 중 기판의 파손을 방지함은 물론, 2번에 걸쳐 가로축과 세로축을 별도로 검사할 수 있게 되면서 1차 세정기 진입시 기판의 4면 전체의 이미지를 얻은 상태에서 로봇 포크(Robot Pork)에 의해 가려지는 가로축 일부에 대한 검사가 이루어지지 않는 단점을 해결한 것이다.

Description

기판 검사장치{Glass inspecting device}
본 발명은 OLED(Organic Light Emitting Diode, 유기 LED)용 기판이나 LCD용 기판(이하, "기판" 이라함)에 대한 품질 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 공정에 투입되는 기판의 에지부분에서의 크랙(crack)이나 치핑(chipping)이 존재하는지를 검사할 수 있도록 하는 기판 검사장치에 관한 것이다.
박막 트랜지스터 액정표시장치는 크게 박막 트랜지스터가 형성되는 하부 기판과, 컬러 필터가 형성되는 상부 기판 및, 하부 기판과 상부 기판 사이에 주입된 액정으로 구성되며, 상기 액정표시장치를 제조하는 공정은 박막트랜지스터(TFT) 공정, 셀 공정, 모듈 공정과 같이 세 부분으로 나뉠 수 있다.
상기 TFT 공정은 반도체 제작 공정과 매우 유사하며, 증착 공정(deposition) 및 사진식각 공정(Photolithography), 식각 공정(Etching)을 반복하여 기판 위에 박막트랜지스터를 배열하여 제작하는 공정이다.
상기 셀 공정은 TFT 하판과 컬러필터(Color filter)가 형성된 상판에 배향막을 형성하고, 배향막에 액정이 잘 정렬할 수 있도록 배향을 한 후, 스페이서(spacer)를 산포하고, 실(Seal) 인쇄를 하여 합착한다. 합착 후에 모세관 현상을 이용하여 액정을 내부에 주입한 후, 주입구를 봉지함으로써 액정표시장치에 대한 제조공정은 마무리가 된다.
상기 모듈 공정은 최종적으로 사용자에게 전해지는 제품 품질을 결정하는 단계로서, 완성된 패널에 편광판을 부착하고 구동 집적회로(Driver-IC)를 실장한 후, 인쇄회로기판(Printed Circuit Board: PCB)를 조립하여 최종적으로 백라이트 유닛(Backlight unit)과 기구물을 조립함으로써, 액정 모듈이 완성된다.
한편, OLED는 상판과 하판 그라스 사이의 각 셀에 유기물질을 증착하여 제조하게 되는 것으로, 이러한 OLED는 낮은 전압에서 구동이 가능하고 얇은 박형으로 만들 수 있다는 장점이 있으며, 넓은 시야각과 빠른 응답속도를 갖고 있어 일반 LCD(Liquid Crystal Display)와 달리 바로 옆에서 보아도 화질이 변하지 않고, 화면에 잔상이 남지 않는다.
또한 소형 화면에서는 LCD 이상의 화질과 단순한 제조공정으로 인하여 유리한 가격 경쟁력을 갖는다.
이러한 OLED는 컬러 표시 방식에 있어서, 3(Red, Green, Blue)색 독립화소방식, 색변환 방식(CCM), 컬러 필터 방식이 있으며 디스플레이에 사용하는 발광재료에 따라 저분자 OLED와 고분자 OLED, 구동방식에 따라 수동형 구동방식(passive matrix)과 능동형 구동방식(active matrix)으로 구분한다.
또한 OLED는 LCD, PDP(Plasma Display Panel)에 비해 구조적으로 단순하며, 두께가 얇을 뿐 아니라 휘어질 수 있는 성질도 있어 플렉시블 디스플레이(Flexible display) 시장을 밝게 해주고 있다.
이때, 상기 LCD 또는 OLED를 제조를 위한 장비로는 세정 챔버, 로드락 챔버, 반송 챔버 및 공정 챔버를 구성하게 되며, 상기 세정챔버는 공정챔버로의 기판 투입이 이루어질 대 그 기판 표면상에서 이물질을 제거하는 초음파 세정기(Ultra Sonic Cleaner: USC)를 구비한 것으로, 이러한 초음파 세정기는 상기 로드락 챔버에 설치 구성되거나, 또는 상기 로드락 챔버의 선단측에 독립적으로 구성되기도 하는 것이다.
그러나, 종래에는 LCD 또는 OLED를 제조하기 위한 공정으로서 기판을 공정 챔버에 넣기 이전 단계로서, 초음파 세정기를 통해 기판의 표면에 대한 이물질 제거가 이루어질 때 면취 가공된 기판의 에지부분 즉, 세로축 방향(길이방향)과 가로축 방향(폭 방향)의 에지부분에 크랙(crack)이나 치핑(chipping)이 존재하게 되면, 기판의 에지부분에서 파손(Broken)되는 현상이 초래되면서 초음파 세정기를 통한 기판 표면에 세정작업이 제대로 이루어지지 못하는 경우가 많았으며, 이에따라 기판 에지부분에서의 품질상태(클랙, 치핑)를 사전에 검사할 필요성이 제기되고 있는 실정이다.
따라서, 본 발명은 초음파 세정기(USC)로 기판이 투입되는 시점과 초음파 세정기에 의해 기판의 표면에 대한 이물질 제거가 이루어지는 시점에, 기판의 에지부분에 대한 세로축 방향(길이방향)과 가로축 방향(폭 방향)에서의 품질상태가 정상적인지 즉, 크랙이나 치핑이 발생하였는지를 동시에 검사할 수 있도록 하는 장치를 구성함으로써, 공정챔버로의 기판 투입전에 기판의 품질상태를 미리 체크하고, 이를 통해 공정 중 기판의 파손을 방지할 수 있도록 하는 기판 검사장치를 제공함에 그 목적이 있는 것이다.
상기 목적 달성을 위한 본 발명 기판 검사장치는, 공정챔버로의 기판 투입전, 상기 기판을 세정하기 위해 상기 기판의 상부면에서 이동하여 상기 기판의 표면을 세정하는 클리너헤드를 포함하는 세정챔버를 구성하고, 상기 세정챔버의 인입측에는 고정프레임을 구성하되, 상기 고정프레임의 양측단에는 세정챔버로 기판의 인입이 이루어질 때 상기 기판이 인입되는 길이방향(세로축 방향)의 에지부분에 대한 품질상태를 검사하는 제 1 검사부를 구성하고, 상기 클리너 헤드의 양측단에는 상기 세정챔버내에 인입된 기판에 대한 표면 세정이 상기 클리너 헤드의 이동에 따라 이루어질 때, 상기 기판의 폭 방향(가로축 방향)의 에지부분에 대한 품질상태를 검사하는 제 2 검사부를 구성하며, 상기 제 1,2 검사부는 제어유닛에 의해 제어되도록 구성한 것이며, 이에따라 2번에 걸쳐 가로축과 세로축을 별도로 검사가 가능하게 되고, 따라서 1차 세정기 진입시에 4면 전체의 이미지를 얻지만 로봇 포크(Robot Pork)에 의해 가려지는 가로축 일부에 대한 검사가 불가능하게 되는 단점을 해결할 수 있는 기술적 특징을 가지는 것이다.
또한, 상기 제 1 검사부와 상기 제 2 검사부는 각각 카메라와 조명부를 포함하여 구성하는 것이다.
또한, 상기 고정프레임의 양측단에는 상기 제 1 검사부에 포함되는 카메라를 고정시키되, 상기 카메라의 상단측에는 상기 제 1 검사부에 포함되는 조명부가 고정되는 제 1 고정부를 형성하고, 상기 제 1 고정부에는 기판의 세로축 방향에 대한 상기 카메라의 촬영 초점을 가이드하는 제 1 초점가이드홀을 형성한 것이다.
또한, 상기 클리너헤드의 양측단에는 상기 제 2 검사부에 포함되는 카메라를 고정시키되, 상기 카메라의 하단측에 상기 제 2 검사부에 포함되는 조명부가 위치하도록 상기 조명부를 고정시키는 제 2 고정부를 형성하고, 상기 제 2 고정부에는 기판의 가로축 방향에 대한 상기 카메라의 촬영 초점을 가이드하는 제 2 초점가이드홀을 형성한 것이다.
또한, 상기 제 1 검사부에 포함되는 카메라는 조명부에 의해 광원 조사가 이루어지는 상태에서 이동하는 기판의 세로축 방향에 대한 에지부분을 라인스캔 방식으로 촬영하도록 구성되고, 상기 제 2 검사부에 포함되는 카메라는 조명부에 의해 광원 조사가 이루어지는 상태에서 이동하는 고정된 기판의 가로축 방향에 대한 에지부분을 라인스캔 방식으로 촬영하도록 구성되는 것이다.
또한, 상기 조명부는 Xe-램프, 할로겐 램프, 고주파 형광등, LED조명기 중 어느 하나인 것이 좋다.
또한, 상기 제어유닛은 세정챔버의 인입측 선단에서 기판의 인입상태를 감지하는 제 1 센서의 신호에 따라 상기 제 1 검사부의 검사동작을 제어하고, 상기 세정챔버내에 구성되는 클리너헤드의 동작상태를 감지하는 제 2 센서의 신호에 따라 상기 제 2 검사부의 검사동작을 제어하는 제어프로그램이 탑재 구성되는 것이다.
또한, 상기 제어유닛은 제 1,2 검사부의 검사결과에 따라 기판의 가로축 및/또는 세로축 방향에서 품질불량이 검출시, 상기 세정챔버로의 기판 인입 및/또는 상기 클리너헤드에 의한 기판의 초음파 세정작업을 정지시키는 제어프로그램이 탑재 구성되는 것이다.
이와 같이 본 발명은 초음파 세정기(USC)로 기판이 투입되는 시점과 초음파 세정기에 의해 기판의 표면에 대한 이물질 제거가 이루어지는 시점에, 기판의 에지부분에 대한 세로축 방향(길이방향)과 가로축 방향(폭 방향)에서의 품질상태가 정상적인지 즉, 크랙이나 치핑이 발생하였는지를 동시에 검사할 수 있도록 하는 장치를 구성한 것으로, 이를 통해 공정챔버로의 기판 투입전에 기판의 품질상태를 미리 체크하고, 이를 통해 공정 중 기판의 파손을 방지함은 물론, 2번에 걸쳐 가로축과 세로축을 별도로 검사할 수 있게 되면서 1차 세정기 진입시 기판의 4면 전체의 이미지를 얻은 상태에서 로봇 포크(Robot Pork)에 의해 가려지는 가로축 일부에 대한 검사가 이루어지지 않는 단점을 해결하는 효과를 기대할 수 있는 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예로 기판 검사장치의 구조를 보인 사시도.
도 2는 본 발명의 실시예로 기판 검사장치의 구조를 보인 측면 개략도.
도 3은 본 발명의 실시예로 기판 검사장치의 구조를 보인 정면 개략도.
도 4는 본 발명의 실시예로 세정챔버에 기판이 인입되는 상태를 보인 평면 개략도.
도 5는 본 발명의 실시예로 세정챔버에 투입되는 기판의 세정 상태를 보인 의 평면 개략도.
도 6은 본 발명의 실시예로 기판 검사장치의 개략적인 블럭 구성도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예로 기판 검사장치의 구조를 보인 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시예로 기판 검사장치의 구조를 보인 측면 개략도이며, 도 3은 본 발명의 실시예로 기판 검사장치의 구조를 보인 정면 개략도를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명의 실시예로 세정챔버에 기판이 인입되는 상태를 보인 평면 개략도이고, 도 5는 본 발명의 실시예로 세정챔버에 투입되는 기판의 세정 상태를 보인 의 평면 개략도이며, 도 6은 본 발명의 실시예로 기판 검사장치의 개략적인 블럭 구성도를 도시한 것이다.
첨부된 도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사장치는 공정챔버로의 기판(1)이 투입되기 전, 상기 기판(1)을 세정하기 위해 상기 기판(1)의 상부면에서 이동하여 상기 기판(1)의 표면을 세정하는 클리너헤드(120)를 포함하는 세정챔버(100)에 구성되는 것으로, 제 1,2 검사부(10)(20)와 제어유닛(30), 그리고 제 1,2 센서(41)(42)를 포함한다.
상기 세정챔버(100)의 인입측에는 상기 제 1 검사부(10)가 고정될 수 있도록 하는 고정프레임(110)이 구성되며, 상기 고정프레임(110)에는 제 1 초점가이드홀(112)을 형성하는 제 1 고정부(111)가 결합 구성되는 것이다.
상기 제 1 검사부(10)는 상기 고정프레임(110)의 양측단에서 세정챔버(100)로 기판(1)의 인입이 이루어질 때 상기 기판(1)이 인입되는 길이방향(세로축 방향)의 에지부분에 대한 품질상태를 검사하는 것으로, 카메라(11)와 조명부(12)를 포함하여 구성한 것이다.
상기 카메라(11)는 상기 제 1 고정부(111)의 제 1 초점가이드홀(112)과 동일한 수직라인에 위치하도록 상기 고정프레임(110)의 양측단에 고정 설치되며, 상기 조명부(12)는 상기 제 1 고정부(111)의 상면에서 상기 카메라(11)의 촬영을 위한 조명을 제공하는 것으로 상기 제 1 고정부(111)의 상면에 고정 설치되는 것이다.
즉, 상기 고정프레임(110)의 양측단에는 상기 제 1 검사부(10)에 포함되는 카메라(11)를 고정시키되, 상기 카메라(11)의 상단측에는 상기 제 1 검사부(10)에 포함되는 조명부(12)가 고정되는 제 1 고정부(111)가 형성되는 것이고, 상기 제 1 고정부(111)에는 기판(1)의 세로축 방향에 대한 상기 카메라(11)의 촬영 초점을 가이드하는 제 1 초점가이드홀(112)을 형성되는 것이다.
상기 제 2 검사부(20)는 상기 클리너 헤드(120)의 양측단에서 상기 세정챔버(100)내에 인입된 기판(1)에 대한 표면 세정이 상기 클리너 헤드(120)의 이동에 따라 이루어질 때, 상기 기판(1)의 폭 방향(가로축 방향)의 에지부분에 대한 품질상태를 검사하는 것으로, 카메라(21)와 조명부(22)를 포함하여 구성한 것이다.
이때, 상기 클리너헤드(120)의 양측단에는 상기 제 2 검사부(20)에 포함되는 카메라(21)를 고정시키되, 상기 카메라(21)의 하단측에 상기 제 2 검사부(20)에 포함되는 조명부(22)가 위치하도록 상기 조명부(22)를 고정시키는 제 2 고정부(121)가 형성됨은 물론, 상기 제 2 고정부(121)에는 기판(1)의 가로축 방향에 대한 상기 카메라(21)의 촬영 초점을 가이드하는 제 2 초점가이드홀(122)이 형성되도록 하였다.
따라서, 상기 제 1 검사부(10)에 포함되는 카메라(11)는 조명부(12)에 의해 광원 조사가 이루어지는 상태에서 이동하는 기판(1)의 세로축 방향에 대한 에지부분을 라인스캔 방식으로 촬영하는 것이고, 상기 제 2 검사부(20)에 포함되는 카메라(21)는 조명부(22)에 의해 광원 조사가 이루어지는 상태에서 이동하는 고정된 기판(1)의 가로축 방향에 대한 에지부분을 라인스캔 방식으로 촬영하도록 구성되는 것이며, 상기 제 1,2 검사부(10)(20)에 포함되는 조명부(12)(22)는 Xe-램프, 할로겐 램프, 고주파 형광등, LED조명기 중 어느 하나인 것이다.
상기 제어유닛(30)은 상기 제 1,2 검사부(10)(20)를 제어하는 것으로, 상기 세정챔버(100)의 인입측 선단에서 기판의 인입상태를 감지하는 제 1 센서(41)의 신호에 따라 상기 제 1 검사부(10)의 검사동작을 제어하는 한편, 상기 세정챔버(100)내에 구성되는 클리너헤드(120)의 동작상태를 감지하는 제 2 센서(42)의 신호에 따라 상기 제 2 검사부(20)의 검사동작을 제어하는 제어프로그램이 탑재 구성되는 것이다.
이때, 상기 제어유닛(30)은 제 1,2 검사부(10)(20)의 검사결과에 따라 기판(1)의 세로축 및/또는 가로축 방향에서 품질불량이 검출시, 상기 세정챔버(100)로의 기판(1) 인입 및/또는 상기 클리너헤드(120)에 의한 기판(1)의 초음파 세정작업을 정지시키는 제어프로그램 또한 탑재 구성되어 있는 것이다.
이와같이 구성된 본 발명의 실시예에 따른 기판 검사장치는 첨부된 도 1 내지 도 6에서와 같이, 우선 공정챔버로의 기판(1)이 투입되기 전에, 상기 기판(1)을 첨부된 도 4의 화살표방향(P)과 같이 세정챔버(100)로 투입시키게 되는데, 이때 상기 세정챔버(100)의 인입측 선단에 마련된 제 1 센서(41)는 상기 기판(1)의 인입상태를 감지한 후 그 감지신호를 제어유닛(30)에 전송하게 되고, 이에따라 상기 제어유닛(30)은 제 1 검사부(10)의 검사동작을 제어하게 된다.
즉, 상기 제어유닛(30)은 상기 세정챔버(100)의 인입측에 형성되는 고정프레임(110)의 양측단에 고정 설치되는 제 1 검사부(10)의 카메라(11)는 물론, 제 1 고정부(111)에 고정되는 조명부(12)를 동작 제어하게 되는 바,
상기 카메라(11)는 조명부(12)로부터 광원을 제공받으면서 제 1 고정부(111)에 형성되는 제 1 초점 가이드홀(112)을 통해 세정챔버(100)로 인입되는 기판(1)의 진행방향 즉, 길이방향(세로축 방향)의 에지부분을 촬영하게 된다.
그러면, 상기 카메라(11)에 의해 촬영되는 영상정보는 제어유닛(30)에 출력되고, 이에따라 상기 제어유닛(30)은 상기 카메라(11)에 의해 촬영되는 영상정보를 분석하여 기판(1)의 길이방향(세로축 방향)에 대한 에지부분에서의 품질(예; 크랙/치핑 유무)이 정상 또는 불량인지를 체크하게 되는 것이다.
한편, 상기 세정챔버(100)의 인입측을 통해 내부로 기판(1)의 인입이 이루어지면, 상기 세정챔버(100)에 형성되는 클리너헤드(120)는 첨부된 도 5와 같은 화살표 방향(Q)으로 이동하면서, 상기 기판(1)의 표면에서 이물질을 제거하는 초음파 세정을 진행하게 된다.
이때, 상기 클리너헤드(120)의 동작상태는 제 2 센서(42)에 의해 감지된 후 그 감지신호는 제어유닛(30)으로 전송되고, 이에따라 상기 제어유닛(30)은 제 2 검사부(20)의 검사동작을 제어하게 된다.
즉, 상기 제어유닛(30)은 상기 클리너헤드(120)의 양측단에 고정 설치되는 제 2 검사부(20)의 카메라(21)는 물론, 제 2 고정부(121)에 고정되는 조명부(22)를 동작 제어하게 되는 바,
상기 카메라(21)는 조명부(22)로부터 광원을 제공받으면서 제 2 고정부(121)에 형성되는 제 2 초점 가이드홀(122)을 통해 초음파 세정이 이루어지는 기판(1)의 세정방향에 대하여, 즉 폭방향(가로축 방향)의 에지부분을 촬영하게 된다.
그러면, 상기 카메라(21)에 의해 촬영되는 영상정보는 제어유닛(30)에 출력되고, 이에따라 상기 제어유닛(30)은 상기 카메라(21)에 의해 촬영되는 영상정보를 분석하여 기판(1)의 폭방향(가로축 방향)에 대한 에지부분에서의 품질(예; 크랙이나 치핑 유무)이 정상 또는 불량인지를 체크할 수 있게 되는 것이다.
한편, 상기 제 1,2 검사부(10)(20)의 촬영된 정보로부터 제어유닛(30)에 의해 기판(1)의 세로축 및/또는 가로축 방향에서 품질 불량이 검출시, 상기 제어유닛(30)은 세정챔버(100)로의 기판(1) 인입 및/또는 상기 클리너헤드(120)에 의한 기판(1)의 초음파 세정작업을 정지시키게 되는 것이다.
이상에서 본 발명의 기판 검사장치에 대한 기술사상을 첨부도면과 함께 서술하였지만, 이는 본 발명의 가장 양호한 실시예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다.
따라서, 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와같은 변경은 청구범위 기재의 범위내에 있게 된다.
1 ; 기판 10; 제 1 검사부
11,21; 카메라 12,22; 조명부
20; 제 2 검사부 30; 제어유닛
41,42; 제 1,2 센서 100; 세정챔버
110; 고정프레임 111; 제 1 고정부
112; 제 1 초점 가이드홀 120; 클리너헤드
121; 제 2 고정부 122; 제 2 초점 가이드홀

Claims (7)

  1. 공정챔버로의 기판 투입전, 상기 기판을 세정하기 위해 상기 기판의 상부면에서 이동하여 상기 기판의 표면을 세정하는 클리너헤드를 포함하는 세정챔버를 구성하고, 상기 세정챔버의 인입측에는 고정프레임을 구성하되,
    상기 고정프레임의 양측단에는 세정챔버로 기판의 인입이 이루어질 때 상기 기판이 인입되는 길이방향(세로축 방향)의 에지부분에 대한 품질상태를 검사하는 제 1 검사부를 구성하고, 상기 클리너 헤드의 양측단에는 상기 세정챔버내에 인입된 기판에 대한 표면 세정이 상기 클리너 헤드의 이동에 따라 이루어질 때, 상기 기판의 폭 방향(가로축 방향)의 에지부분에 대한 품질상태를 검사하는 제 2 검사부를 구성하며, 상기 제 1,2 검사부는 제어유닛에 의해 제어되도록 구성하고,
    상기 제어유닛은 상기 제 1,2 검사부의 검사결과에 따라 기판의 세로축 및/또는 가로축 방향에서 품질불량이 검출시, 상기 세정챔버로의 기판 인입 및/또는 상기 클리너헤드에 의한 기판의 초음파 세정작업을 정지시키는 제어프로그램을 탑재 구성하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 검사부와 상기 제 2 검사부는 각각 카메라와 조명부를 포함하여 구성하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 고정프레임의 양측단에는 상기 제 1 검사부에 포함되는 카메라를 고정시키되, 상기 카메라의 상단측에는 상기 제 1 검사부에 포함되는 조명부가 고정되는 제 1 고정부를 형성하고, 상기 제 1 고정부에는 기판의 세로축 방향에 대한 상기 카메라의 촬영 초점을 가이드하는 제 1 초점가이드홀을 형성하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 클리너헤드의 양측단에는 상기 제 2 검사부에 포함되는 카메라를 고정시키되, 상기 카메라의 하단측에 상기 제 2 검사부에 포함되는 조명부가 위치하도록 상기 조명부를 고정시키는 제 2 고정부를 형성하고, 상기 제 2 고정부에는 기판의 가로축 방향에 대한 상기 카메라의 촬영 초점을 가이드하는 제 2 초점가이드홀을 형성하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
  5. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 조명부는 Xe-램프, 할로겐 램프, 고주파 형광등, LED조명기 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 제어유닛은 세정챔버의 인입측 선단에서 기판의 인입상태를 감지하는 제 1 센서의 신호에 따라 상기 제 1 검사부의 검사동작을 제어하고, 상기 세정챔버내에 구성되는 클리너헤드의 동작상태를 감지하는 제 2 센서의 신호에 따라 상기 제 2 검사부의 검사동작을 제어하는 제어프로그램을 탑재 구성하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
  7. 삭제
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