KR101089059B1

KR101089059B1 - 옵틱척 클리너를 구비한 어레이 테스트 장치

Info

Publication number: KR101089059B1
Application number: KR1020090071428A
Authority: KR
Inventors: 박정희
Original assignee: 주식회사 탑 엔지니어링
Priority date: 2009-08-03
Filing date: 2009-08-03
Publication date: 2011-12-05
Also published as: KR20110013794A; CN101988903A; TW201105954A

Abstract

디스플레이 기판에 형성된 전극의 전기적 결함을 검사하는 어레이 테스트 장치가 개시된다. 옵틱척에 테스트될 기판이 안착된다. 모듈레이터는 옵틱척의 일측에 배치된다. 광원은 옵틱척의 타측에 배치되며 모듈레이터를 향해 빛을 조사한다. 클리너는 옵틱척의 이물질을 제거한다. 결국, 어레이 테스트 공정에서 클리너가 옵틱척의 이물질을 제거함으로써, 어레이 테스트 공정의 신뢰도가 향상되고 에러 발생율이 감소한다.

어레이, 테스트, 클리너

Description

옵틱척 클리너를 구비한 어레이 테스트 장치{Apparatus for array test with cleaner of optic chuck}

이 기술은 디스플레이의 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 디스플레이 기판에 형성된 전극의 전기적 결함을 검사하는 어레이 테스트 장치에 관한 것이다.

디스플레이 패널은 LCD, PDP 및, OLED 등의 평판 디스플레이 장치들을 포함한다. 일반적인 TFT(Thin Film Transister) LCD는 TFT기판과, 컬러필터 및 공통전극이 형성되어 TFT기판과 대향 배치된 컬러기판과, TFT기판과 컬러기판 사이에 형성된 액정 및, 백라이트 유닛으로 구성된다.

이 경우, TFT기판 위에 형성된 TFT전극의 결함은 어레이 테스트 장치(array tester)에 의하여 검사된다.

이를 상세히 설명하면, 어레이 테스트 장치에 설치된 모듈레이터 및 TFT전극에 일정한 전압을 인가한 상태에서, 모듈레이터가 TFT기판에 근접하도록 하여 이들 사이에 전기장이 발생되도록 한다. 이때, TFT기판에 형성된 TFT전극에 결함이 있는 경우가 결함이 없는 경우보다 전기장의 크기가 작아진다. 따라서, 검출된 전기장의 크기에 따라 TFT기판의 결함 여부를 검출할 수 있다.

종래의 어레이 테스트 장치는 광원과, 모듈레이터 및, 카메라 등으로 이루어진다. 광원은 빛을 조사하는 장치로서, 광원으로부터 조사된 빛은 기판 전극의 결함유무를 조사하기 위한 수단으로 작용한다. 모듈레이터는 기판을 기준으로 광원과 동일측 방향 또는 반대측 방향에 배치되며, 모듈레이터 및 기판에 인가된 전압에 의해 발생된 전기장의 크기에 따라 광원으로부터 조사되는 빛의 투광량을 변화시킨다. 카메라는 모듈레이터의 출사면을 통과한 빛의 양에 따라 기판 전극의 결함 여부 또는 결함 개소 등을 검출한다.

또한, 종래의 어레이 테스트 장치는 옵틱척을 더 구비할 수 있다. 옵틱척은 검사될 기판이 안착되는 것으로, 기판을 흡착 또는 이격시키도록 복수의 에어홀들이 형성될 수 있다.

하지만, 종래의 어레이 테스트 장치는 옵틱척에 이물질이 부착되는 문제점이 있었다. 옵틱척에 이물질이 부착되면, 테스트 시 광원에서 조사되는 빛이 굴절 또는 산란되어 검사의 에러를 일으키는 원인이 된다.

이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여, 옵틱척에 부착된 이물질을 효과적으로 제거하는 어레이 테스트 장치를 제공한다.

옵틱척 클리너를 구비한 어레이 테스트 장치는, 테스트될 기판이 안착되는 옵틱척과, 옵틱척의 일측에 배치되는 모듈레이터와, 옵틱척의 타측에 배치되며 모듈레이터를 향해 빛을 조사하는 광원 및, 옵틱척의 이물질을 제거하는 클리너를 포함한다.

이 경우, 클리너는 광원에 결합되는 것이 바람직하다.

한편, 광원은 모듈레이터에 대응되게 일방향으로 이동 가능하며, 클리너는 광원이 이동될 때 작동될 수 있다.

또한, 어레이 테스트 장치는 이물질을 감지하는 센싱부 및 센싱부에 의해 감지된 이물질로부터 클리너까지의 거리를 산출하는 제어부를 더 구비하며, 클리너는 감지된 이물질의 위치로 이동되어 작동될 수 있다.

한편, 클리너는 옵틱척으로부터 이물질을 분리시키는 박리부를 포함할 수 있다.

또한, 클리너는 이물질을 흡인하는 흡입부를 포함할 수 있다.

한편, 클리너는 초음파를 발생시키는 초음파헤드를 구비할 수 있다.

이 경우, 클리너는 초음파헤드의 외측으로 에어가 통과되도록 초음파헤드와의 사이에 간극을 형성시키는 커버를 더 포함할 수 있다.

어레이 테스트 공정에서 클리너가 옵틱척의 이물질을 제거함으로써, 광원으로부터 조사된 빛이 굴절 또는 산란되는 것이 방지된다. 따라서, 테스트의 에러를 줄이고 신뢰도를 향상시킬 수 있다.

또한, 옵틱척의 표면으로부터 분리된 이물질이 옵틱척 주변 대기에 떠돌아다니지 않고 어레이 테스트 장치의 외부로 완전히 제거될 수 있다.

이하 첨부된 도면에 따라서 옵틱척 클리너를 구비한 어레이 테스트 장치의 기술적 구성을 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 일 실시 예에 따른 어레이 테스트 장치의 사시도이고, 도 2는 도 1의 A-A선을 따른 단면도이다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 옵틱척 클리너를 구비한 어레이 테스트 장치(100)는 옵틱척(50)과, 모듈레이터(20)와, 광원(30) 및, 클리너(200)를 포함한다.

옵틱척(Optic chuck, 50)은 테스트될 기판(90)의 하측에 배치되며, 기판(90)이 옵틱척(50)에 안착된다. 옵틱척(50)은 빛을 투과시키는 유리와 같은 투광 소재 로 이루어질 수 있다. 또한, 옵틱척(50)은 기판(90)을 흡착 및 부상시키는 복수의 에어홀들을 구비할 수 있다.

한편, 어레이 테스트 장치(100)는 로딩부(70) 및 언로딩부(80)를 더 구비하는 것이 바람직하다. 로딩부(70)는 테스트될 기판(90)을 어레이 테스트 장치(100) 내로 들어오게 한다. 로딩부(70)를 통해 들어온 기판(90)은 옵틱척(50)의 상부까지 이송된다. 로딩부(70)는 로딩 플레이트(72) 및 복수의 에어홀(71)들을 구비할 수 있다. 기판(90)의 이송은, 기판(90) 하면에 에어홀(71)들로부터 고압의 에어를 분사하여 기판(90)을 로딩 플레이트(72)에서 부상시킨 상태로 그립(Grip)수단(95)을 이용해 이송시키는 방식 등에 의해 달성될 수 있다.

언로딩부(80)는 테스트 완료된 기판(90)을 옵틱척(50)으로부터 이송시켜 어레이 테스트 장치(100) 외부로 나가게 한다. 언로딩부(80)는 언로딩 플레이트(82) 및 복수의 에어홀(81)들을 구비할 수 있다. 기판(90)의 이송은 로딩부(70)와 같은 방식으로, 기판(90) 하면에 에어홀(81)들로부터 고압의 에어를 분사하여 기판(90)을 언로딩 플레이트(82)에서 부상시킨 상태로 그립수단을 이용해 이송시키는 방식 등에 의해 달성될 수 있다.

모듈레이터(20)는 테스트될 기판(90)의 상측에 배치된다. 모듈레이터(20)는 테스트될 기판(90)과 인접하게 위치한다. 모듈레이터(20)는 전극층 및 전광물질층을 구비할 수 있다. 전극층은 기판(90)의 전극층(91)과 전기장을 형성하는 것으로, ITO(Indium Tin Oxide)나 CNT(Carbon Nano Tube) 물질 등이 사용될 수 있다. 또한, 전광물질층은 전기장의 세기에 따라 통과되는 빛의 광량을 변경시키는 것으로, 액 정(LC:Liquid Crystal), 무기EL(Electro Luminance), PDLC(Polymer dispersed Liquid Crystal) 등을 사용할 수 있다.

일 예로, 전압이 기판(90)의 전극층(91) 및 모듈레이터(20)의 전극층에 인가되면 기판(90)의 불량 유무에 따라 모듈레이터(20)의 특정 물성치가 변경된다. 즉, 모듈레이터(20)는 테스트될 기판(90)에 형성된 전극층(91)이 정상인 경우, 내부에 전기장이 형성되며 전기장에 의해 분자 배열이 일정한 방향으로 배열되어 빛이 통과할 수 있게 된다. 이와 반대로, 기판(90)에 형성된 전극층(91)이 불량인 경우, 내부에 전기장이 형성되지 않고 분자 배열이 변경되지 않음으로써 빛이 통과할 수 없게 된다.

한편, 어레이 테스트 장치(100)는 카메라 등의 검출부(60)를 구비한다. 검출부(60)는 모듈레이터(20)의 상측에 배치되는 것이 바람직하다. 검출부(60)는 모듈레이터(20)의 변경된 특정 물성치를 측정하여 기판(90) 전극층(91)의 불량 유무를 검출한다. 일 예로, 검출부(60)는 기판(90)에 형성된 전극층(91)의 정상 여부에 따라 투과되는 빛의 양을 촬상하고 그 데이터를 신호처리부(99)를 통해 판별하여 기판(90)에 형성된 전극의 불량 유무 또는 불량 개소 등을 검출할 수 있다.

광원(30)은 옵틱척(50)을 기준으로 모듈레이터(20)와 반대 방향에 배치된다. 광원(30)은 모듈레이터(20)를 향해 빛을 조사한다. 광원(30)으로부터 나온 빛은 옵틱척(50), 테스트될 기판(90), 모듈레이터(20)를 순차적으로 지나 검출부(60)에 도달한다. 광원(30)으로부터 나오는 빛은 제논, 소디움, 수정할로겐 램프 및 레이저 등을 포함한 여러 종류의 빛일 수 있다.

클리너(200)는 옵틱척(50)에 부착된 이물질을 제거한다. 클리너(200)는 하나 또는 복수개가 설치될 수 있다. 바람직하게는, 클리너(200)는 옵틱척(50)의 하부 즉, 광원(30)이 설치된 측에 배치되어 옵틱척(50)의 하면에 부착된 이물질을 제거한다. 하지만, 클리너(200)는 옵틱척(50)의 상면에 부착된 이물질을 제거하도록 구현될 수 있음은 자명하다. 이 경우, 클리너(200)는 별도의 이동부재에 설치될 수 있다. 또한, 클리너(200)는 미세입자를 클리닝 할 수 있는 것이면, 가능한 모든 구조를 채택할 수 있다.

어레이 테스트 공정이 이루어지는 클린룸내에서도 수미크론 단위의 미세입자가 존재하기 마련이다. 이와 같은 이물질은 기판(90)뿐 아니라 어레이 테스트 장치(100)에 부착될 수 있다. 따라서, 어레이 테스트 공정 중 또는 전후에 기판(90)을 세정하는 공정을 수행하게 되는데, 이는 기판(90)의 정밀한 검사를 위해서이다. 기판(90)의 정밀한 검사를 위해서는, 기판(90)의 클리닝과 더불어 기판(90)이 안착되는 옵틱척(50)의 클리닝이 중요하다. 어레이 테스트 장치에 별도로 구비된 클리너(200)가 옵틱척(50)의 이물질을 제거하여, 어레이 테스트 공정의 검사 에러를 줄이고 검사의 신뢰도를 향상시킬 수 있다.

특히, 클리너(200)는 광원(30)에 결합되는 것이 바람직하다. 결국, 클리너(200)는 옵틱척(50)의 하측에 배치되어 옵틱척(50)의 하면에 부착된 이물질을 제거한다. 옵틱척(50)은 화강암 등의 기초에 의해 지면으로부터 지지될 수 있다. 따라서, 옵틱척(50)의 하면과 기초에 의해 소정의 공간이 형성된다. 이와 같은 공간에 광원(30)이 배치되며, 클리너(200)는 광원(30)에 결합된다. 이 경우, 클리 너(200)는 광원(30)으로부터 탈부착 가능하게 결합될 수 있다.

따라서, 옵틱척(50)의 하면에 부착된 이물질을 용이하게 제거하는 것이 가능하다. 이와 같이, 클리너(200)가 광원(30)에 결합되어 옵틱척(50)의 하면의 이물질을 제거하는 자동 클리닝 방식은 옵틱척(50) 하면에 부착된 이물질을 제거하기 위해 옵틱척(50)을 기초로부터 분리하는 작업을 생략시킨다. 옵틱척(50)은 대면적인 동시에 큰 하중을 갖기 때문에, 옵틱척(50)의 이동 작업을 생략하는 것은 큰 장점을 갖는다.

한편, 도 3은 옵틱척에 부착된 이물질에 의해 에러가 발생된 것을 도시한 것이다.

도 3을 참조하면, 기판(90)이 옵틱척(50)에 안착되어 있으며, 기판(90) 상면에 복수의 전극들(92)(93)(94)이 형성된다. 이 경우, 하나의 전극(93)은 결함을 갖고 있으며, 다른 전극들(92)(94)은 정상이라고 가정한다. 모듈레이터(20) 내에는 복수의 액정 분자들(1)(2)(3)이 분산되어 있으며, 일면에 투명전극(21)이 형성되어 있다.

모듈레이터(20)의 투명전극(21)과 기판(90)의 전극(92)(93)(94)에 전압을 인가하면, 모듈레이터(20)와 정상인 전극(92)(94) 사이에 전기장(8)이 형성된다. 전기장(8)이 형성된 부위의 액정 분자(1)(3)는 배열이 변화되며, 전기장이 형성되지 않은 부위의 액정 분자(2)는 배열이 변화되지 않는다. 광원(30)으로부터 조사된 빛(5)(6)(7)은 배열이 변화된 액정 분자(1)(3)를 투과할 수 있으며, 배열이 변화되지 않은 액정 분자(2)는 투과할 수 없다. 따라서, 빛의 투과량을 측정하여 기판에 형성된 전극의 결함을 검출하게 된다.

즉, 광원(30)으로부터 조사된 일부의 빛(5)(7)은 직진하여 액정 분자(1)(3)를 투과하고, 다른 빛(6)은 액정 분자(2)를 투과하지 못한다. 따라서, 전극(93)이 결함이 있음을 감지할 수 있다.

하지만, 이물질(9)이 옵틱척(50)에 부착되게 되면, 광원(30)으로부터 조사된 빛(7)은 직진하지 못하고 이물질(9)에 의해 굴절 또는 산란되게 된다. 따라서, 정상인 전극(94)을 결함이 있는 것으로 판별하는 에러가 발생될 수 있다.

결국, 클리너(200)는 옵틱척(50)에 부착된 이물질(9)을 제거하여, 검사의 에러를 줄이고 검사의 신뢰도를 향상시킬 수 있다.

도 4는 다른 실시 예에 따른 어레이 테스트 장치의 사시도이고, 도 5는 도 4의 실시 예에 따라 광원이 이동되는 것을 도시한 것이다.

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 광원(30)은 모듈레이터(20)에 대응되게 일방향으로 이동 가능하며, 클리너(200)는 광원(30)이 이동될 때 작동되도록 구현될 수 있다.

즉, 모듈레이터(20) 및 광원(30)은 서로 일대일 대응되며, X축을 따라 이동될 수 있다. 여기서 X축은 기판(90)이 로딩부(70), 옵틱척(50), 언로딩부(80)를 따라 이송되는 방향과 직교하는 방향이다. 이 경우, 광원(30)은 모듈레이터(20)와 대응되는 크기, 즉 모듈레이터(20)와 동일하거나 약간 큰 크기로 형성되는 것이 바람직하다.

따라서, 광원(30)의 크기가 모듈레이터(20)에 대응되도록 작게 형성되어, 광 원(30)의 휘도 편차가 현저히 작아지게 된다. 이에 따라, 광원(30)은 기판(90)방향으로 균일한 빛을 방출하게 되고 모듈레이터(20)에 균일한 빛이 공급됨으로써, 기판(90) 전극의 불량유무에 따라 광량의 변화가 일정해진다. 결국, 검출부(60)는 모듈레이터(20)를 지난 빛의 광량을 정확히 측정할 수 있게 된다.

이 경우, 어레이 테스트 장치(100)는 모듈레이터 이송모듈(45) 및 광원 이송모듈(40)을 구비하는 것이 바람직하다. 모듈레이터 이송모듈(45)은 X축 방향으로 모듈레이터(20)를 일정 구간마다 이동시킨다. 또한, 광원 이송모듈(40)은 광원(30)이 모듈레이터(20)와 연동하여 이동되게 한다.

광원(30)의 이동은 테스트 이전에 행해지므로, 테스트 시 매 사이클마다 옵틱척(50)의 표면을 늘 청결하게 유지할 수 있다. 한편, 클리너(200)는 광원(30)의 이동과 관계없이 주기적으로 작동될 수도 있다.

또한, 어레이 테스트 장치(100)는 센싱부 및 제어부를 더 구비할 수 있다. 센싱부는 옵틱척(50)에 위치된 이물질을 감지한다. 센싱부는 전술한 검출부(60)일 수 있다. 즉, 센싱부는 이미지 비교 등을 통해 옵틱척(50)에 이물질이 존재하는지 여부를 파악하고, 그 위치를 파악할 수 있다.

제어부는 클리너(200)로부터 센싱부에 의해 감지된 이물질까지의 거리를 산출한다. 제어부는 산출된 거리 정보를 클리너(200)의 구동유닛에 전송하며, 이에 따라 클리너(200)는 이물질의 위치로 이동된다. 클리너(200)가 광원(30)에 결합된 경우, 제어부는 산출된 거리 정보를 광원(30)의 구동유닛에 전송한다. 클리너(200)가 이물질의 위치까지 이동되면, 클리너(200)는 청소 작동을 수행한다. 이후에, 센 싱부는 다시 이물질의 감지 작업을 수행할 수 있으며, 이물질이 존재할 경우 센싱부 및 제어부는 전술한 클리닝 작업을 소정의 횟수로 반복할 수 있다.

한편, 도 6은 박리부를 도시한 클리너의 부분 단면도이다. 도 6에 도시된 바와 같이, 클리너(200)는 박리부(180)를 포함할 수 있다. 박리부(180)는 옵틱척(50)으로부터 이물질을 박리하는 기능을 한다. 박리부(180)는 옵틱척(50)을 향해 에어를 분사하는 에어분사기가 될 수 있다. 에어분사기는 고압의 에어를 분사하여, 옵틱척(50) 표면에 부착된 이물질을 옵틱척(50) 표면으로부터 분리시킨다.

도 7은 흡입부를 도시한 클리너의 부분 단면도이다. 도 7에 도시된 바와 같이, 클리너(200)는 흡입부(170)를 포함할 수 있다. 흡입부(170)는 옵틱척(50) 표면의 이물질 또는 주변 대기를 흡인하는 기능을 한다. 따라서, 옵틱척(50)으로부터 분리된 이물질은 옵틱척(50)의 주변 대기중에서 떠돌아다니지 않고 어레이 테스트 장치(100) 외부로 완전히 제거될 수 있다.

또한, 도 8은 도 7의 변형 예에 따른 클리너의 부분 단면도이고, 도 9는 도 7의 다른 변형 예에 따른 클리너의 부분 단면도이며, 도 10은 도 7의 또 다른 변형 예에 따른 클리너의 부분 단면도이다.

도 8에 도시된 바와 같이, 박리부(180) 및 흡입부(170)는 하나씩 서로 나란하게 배치될 수 있다. 또한, 도 9에 도시된 바와 같이, 하나의 박리부(180) 양측에 흡입부(170)를 각각 구비할 수 있다. 따라서, 옵틱척(50)에 부착된 이물질 및 대기중의 이물질을 흡착하여 청정 상태를 안정적으로 유지할 수 있다. 또한, 도 10에 도시된 바와 같이, 하나의 흡입부(170) 양측에 박리부(180)를 각각 설치하는 것도 가능하다.

또한, 도 11은 핀을 구비한 클리너의 부분 단면도이다. 도 11에 도시된 바와 같이, 흡입부(170)는 복수개의 핀(171)을 구비할 수 있다. 핀(171)은 흡입부(170)의 상면에 옵틱척(50)을 향해 수직(Z축 방향)으로 형성된다. 흡입부(170)에 핀(171)들을 설치함으로써, 흡인공에 흡인되는 기류에 수직 방향의 흐름이 교대로 발생한다. 따라서, 옵틱척(50) 주변의 이물질이 수평방향 흐름과 수직방향 흐름에 의해 옵틱척(50)의 표면으로부터 분리되어 흡인하기 쉬워진다.

한편, 도 12는 초음파헤드를 도시한 클리너의 부분 단면도이다. 도 12에 도시된 바와 같이, 클리너(200)는 초음파헤드(150)를 구비할 수 있다. 초음파헤드(150)는 초음파를 발생시켜, 옵틱척(50) 표면에 부착된 이물질이 활성화된 상태로 옵틱척(50) 표면으로부터 분리되게 한다.

도 13은 커버를 구비한 클리너의 부분 단면도이다. 도 13에 도시된 바와 같이, 클리너(200)는 커버(160)를 더 포함할 수 있다.

커버(160)는 초음파헤드(150)의 외측을 감싸면서 초음파헤드(150)와의 사이에 소정의 간극을 형성시킨다. 커버(160)의 일측은 에어분사기와 연결되며 타측은 옵틱척(50)의 표면을 향해 에어를 분사하도록 분사구(161)가 형성된다. 에어분사기로부터 공급된 에어는 초음파헤드(150)와 커버(160) 사이에 형성된 간극을 통과하여 옵틱척(50)의 표면으로 분사된다.

따라서, 초음파헤드(150)에 의해 이물질이 옵틱척(50)의 표면으로부터 일차적으로 분리되고, 커버(160)의 분사구(161)로부터 분사되는 고압의 에어에 의해 이 물질이 옵틱척(50)의 표면으로부터 이차로 분리되어 더욱 효율적인 클리닝 작업이 수행될 수 있다.

도 14는 도 12의 변형 예에 따른 클리너의 부분 단면도이고, 도 15는 도 13의 변형 예에 따른 클리너의 부분 단면도이다.

도 14에 도시된 바와 같이, 흡입부(170) 양측에 초음파헤드(150)를 각각 구비할 수 있다. 또한, 도 15에 도시된 바와 같이, 초음파헤드(150) 및 커버(160)의 양측에 각각 흡입부(170)를 설치하는 것도 가능하다.

또한, 도시되지는 않았으나, 클리너(200)는 정전기 흡착수단을 구비할 수 있다. 정전기 흡착수단은 옵틱척(50) 표면에 부착된 이물질을 제전하여 흡착력을 감쇠시킨다. 따라서, 클리너(200)는 이물질의 흡인을 더욱 용이하게 수행할 수 있다.

지금까지, 옵틱척 클리너를 구비한 어레이 테스트 장치는 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당업자라면 누구든지 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

도 1은 일 실시 예에 따른 어레이 테스트 장치의 사시도이고,

도 2는 도 1의 A-A선을 따른 단면도이고,

도 3은 옵틱척에 부착된 이물질에 의해 에러가 발생된 것을 도시한 것이고,

도 4는 다른 실시 예에 따른 어레이 테스트 장치의 사시도이고,

도 5는 도 4의 실시 예에 따라 광원이 이동되는 것을 도시한 것이고,

도 6은 박리부를 도시한 클리너의 부분 단면도이고,

도 7은 흡입부를 도시한 클리너의 부분 단면도이고,

도 8은 도 7의 변형 예에 따른 클리너의 부분 단면도이고,

도 9는 도 7의 다른 변형 예에 따른 클리너의 부분 단면도이고,

도 10은 도 7의 또 다른 변형 예에 따른 클리너의 부분 단면도이고,

도 11은 핀을 구비한 클리너의 부분 단면도이고,

도 12는 초음파헤드를 도시한 클리너의 부분 단면도이고,

도 13은 커버를 구비한 클리너의 부분 단면도이고,

도 14는 도 12의 변형 예에 따른 클리너의 부분 단면도이고,

도 15는 도 13의 변형 예에 따른 클리너의 부분 단면도이고,

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

20 : 모듈레이터 30 : 광원

40 : 광원 이송모듈 45 : 모듈레이터 이송모듈

50 : 옵틱척 60 : 검출부

70 : 로딩부 80 : 언로딩부

90 : 기판 100 : 어레이 테스트 장치

150 : 초음파헤드 160 : 커버

170 : 흡입부 180 : 박리부

200 : 클리너

Claims

테스트될 기판이 안착되는 옵틱척;

상기 옵틱척의 일측에 배치되는, 모듈레이터;

상기 옵틱척의 타측에 배치되며, 상기 모듈레이터를 향해 빛을 조사하는 광원; 및

상기 옵틱척의 타측에 배치되며, 상기 옵틱척의 이물질을 제거하는 클리너;를 포함하는 어레이 테스트 장치.
테스트될 기판이 안착되는 옵틱척;

상기 옵틱척의 일측에 배치되는 모듈레이터;

상기 옵틱척의 타측에 배치되며, 상기 모듈레이터를 향해 빛을 조사하는 광원; 및

상기 광원에 결합되며, 상기 옵틱척의 이물질을 제거하는 클리너;를 포함하는 어레이 테스트 장치.
테스트될 기판이 안착되는 옵틱척;

상기 옵틱척의 일측에 배치되는 모듈레이터;

상기 옵틱척의 타측에 배치되며, 상기 모듈레이터를 향해 빛을 조사하는 광원; 및

상기 옵틱척의 이물질을 제거하는 클리너;를 포함하며,

상기 광원은 상기 모듈레이터에 대응되게 일방향으로 이동 가능하며, 상기 클리너는 상기 광원이 이동될 때 작동되는 어레이 테스트 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,

이물질을 감지하는 센싱부; 및

상기 센싱부에 의해 감지된 이물질로부터 상기 클리너까지의 거리를 산출하는 제어부;를 더 구비하며,

상기 클리너는 상기 감지된 이물질의 위치로 이동되어 작동되는 어레이 테스 트 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 클리너는:

상기 옵틱척으로부터 이물질을 박리하기 위한 박리부;를 포함하는 어레이 테스트 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 클리너는:

상기 옵틱척 표면의 이물질 또는 주변 대기를 흡인하는 흡입부;를 포함하는 어레이 테스트 장치.
테스트될 기판이 안착되는 옵틱척;

상기 옵틱척의 일측에 배치되는 모듈레이터;

상기 옵틱척의 타측에 배치되며 상기 모듈레이터를 향해 빛을 조사하는 광원; 및

상기 옵틱척의 이물질을 제거하는 클리너;를 포함하며,

상기 클리너는:

상기 옵틱척을 향해 수직으로 복수개 형성되는 핀을 구비하며 상기 옵틱척 표면의 이물질 또는 주변 대기를 흡인하는 흡입부;를 포함하는 어레이 테스트 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 클리너는:

초음파를 발생시키는 초음파헤드;를 포함하는 어레이 테스트 장치.
제8항에 있어서,

상기 클리너는:

상기 초음파헤드의 외측으로 에어가 통과되도록 상기 초음파헤드와의 사이에 간극을 형성시키는 커버;를 더 구비하는 어레이 테스트 장치.