KR102129023B1

KR102129023B1 - 인쇄회로기판용 표면세척장치 및 표면세척방법

Info

Publication number: KR102129023B1
Application number: KR1020200060318A
Authority: KR
Inventors: 손명훈
Original assignee: 손명훈
Priority date: 2020-05-20
Filing date: 2020-05-20
Publication date: 2020-07-01

Abstract

본 발명은 양측으로 왕복이동되는 하부본체의 상부에 진공압으로 인쇄회로기판을 흡착하는 판형상의 로딩테이블을 구비하여 로딩테이블의 이동시 발생되는 충격 또는 에어세척노즐에서 토출되는 에어압력에 의하여 인쇄회로기판이 이탈되는 것을 방지하고, 일측으로 이동될 경우 인쇄회로기판의 상면을 세척하고 타측으로 이동될 경우 인쇄회로기판의 하면을 세척하는 공정을 통하여 테이블부의 왕복이동만으로 인쇄회로기판의 상하면을 모두 세척할 수 있는 효과가 있다.

Description

인쇄회로기판용 표면세척장치 및 표면세척방법 { Surface cleaning device and surface cleaning method for printed circuit boards }

본 발명은 인쇄회로기판용 표면세척장치 및 표면세척방법에 관한 것으로서 보다 상세하게는 인쇄회로기판의 세척이동시 발생되는 충격 또는 에어세척노즐에서 토출되는 에어압력에 의하여 인쇄회로기판이 이탈되는 것이 방지되도록 진공압으로 인쇄회로기판을 흡착하는 테이블형상의 테이블부가 구비되고, 테이블부의 왕복이동만으로 인쇄회로기판의 상하면이 모두 세척되는 인쇄회로기판용 표면세척장치 및 표면세척방법에 관한 것이다.

일반적으로 인쇄회로기판(PCB: Printed Circuit Board)은 페놀수지, 에폭시수지 등의 절연기재의 표면에 도전성 회로패턴을 형성한 것으로서 거의 모든 전자부품에 사용되고 있다.

예를 들어 BGA(Ball Grid Array) 패키지를 생산하기 위해서는 PCB의 일면에 반도체칩을 실장하고 타면에 솔더볼(Solder ball)을 부착해야 한다. 다른 예로서 카메라모듈을 생산하는 경우에는 PCB의 일면에 이미지센서를 실장하는 한편 이미지센서를 둘러싸는 하우징을 PCB에 부착해야 한다.

한편, 반도체패키지나 카메라모듈의 제작공정은 대부분 자동화되어 있기 때문에 기판으로 사용되는 PCB를 공정순서에 따라 공정장비의 내부로 반입하고 공정을 마친 PCB를 다시 반출하여 다음 공정장비로 이송하는 과정이 필수적으로 포함된다.

그런데 이동 중이나 공정 중에 발생한 이물질이나 파티클이 PCB에 부착되면 제품불량의 위험이 높아지기 때문에 이를 적절히 제거해 줄 필요가 있다. 특히 최근에는 전자제품의 소형화 집적화 경향에 따라 회로패턴이 갈수록 미세해지기 때문에 이물질 제거의 필요성이 갈수록 커지고 있다.

여기서, 종래의 인쇄회로기판의 세척장치로서 국내등록특허 제10-0501848호가 개시되었다.

그러나, 종래의 인쇄회로기판 세척장치는 브러쉬롤러 등을 이용하여 PCB에 부착된 이물질을 제거하고 있으나, 이들 장비만으로는 PCB에 부착된 이물질을 효과적으로 제거하는데 한계가 있고, 브러쉬롤러의 압력으로 PCB의 불량이 발생되는 문제점이 있었다.

또한, 또 다른 종래의 인쇄회로기판 세척장치로서 에어블로어(air blower)의 압축공기를 통하여 이물질을 제거하는 세척장치가 개발되었으나 토출되는 공기의 압력때문에 PCB가 이탈되는 문제점이 있었다.

그리고, 종래의 인쇄회로기판 세척장치는 PCB의 어느 한 면만 세척할 수 있고 다른 면을 세척하기 위해서는 세척된 PCB를 뒤집어 재공급시켜야 하는 불편한 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 창작된 것으로 본 발명의 목적은 양측으로 왕복이동되는 하부본체의 상부에 진공압으로 인쇄회로기판을 흡착하는 판형상의 로딩테이블을 구비하여 로딩테이블의 이동시 발생되는 충격 또는 에어세척노즐에서 토출되는 에어압력에 의하여 인쇄회로기판이 이탈되는 것을 방지하고, 일측으로 이동될 경우 인쇄회로기판의 상면을 세척하고 타측으로 이동될 경우 인쇄회로기판의 하면을 세척하는 공정을 통하여 테이블부의 왕복이동만으로 인쇄회로기판의 상하면을 모두 세척할 수 있는 인쇄회로기판용 표면세척장치 및 표면세척방법을 제공함에 있다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 인쇄회로기판용 표면세척장치는 인쇄회로기판의 표면에 존재하는 이물질을 제거하는 표면세척장치로서 양측으로 왕복이동되는 박스형상의 하부본체와, 상기 하부본체의 상면 일측부에 구비되며 상기 인쇄회로기판이 공급되는 판형상의 로딩테이블과, 상기 하부본체이 상면 타측부에 구비되며 세척된 인쇄회로기판이 배출되는 판형상의 언로딩테이블로 이루어진 하부테이블부와; 상기 하부테이블부의 상부에 정해진 높이만큼 이격되며 평행하게 배치되는 박스형상의 상부본체와, 상기 상부본체의 하면 중심부에 구비되며 상기 로딩테이블에 안착된 인쇄회로기판을 흡착하는 픽업테이블로 이루어진 상부테이블부와; 상기 하부본체의 상면 중심부와, 상기 상부본체의 하면 일측부 및 타측부에 각각 구비되며 상기 인쇄회로기판의 상하면으로 압축공기를 분사하는 에어세척노즐로 구성된 것을 특징으로 한다.

상기 에어세척노즐은 상기 하부본체 및 상부본체의 일면에 고정되는 박스형상의 에어분사본체와, 상기 에어분사본체의 중심부에 구비되며 압축공기가 분사되는 분사공이 형성된 분사부와, 상기 분사부의 양측에 구비되며 압축공기로 이탈된 이물질을 흡입력으로 수집하는 흡입공이 형성된 흡입부로 이루어진 것을 특징으로 한다.

상기 로딩테이블 및 픽업테이블에는 상기 인쇄회로기판이 흡착되도록 상기 로딩테이블 및 픽업테이블의 표면에 진공압을 발생시키는 진공부가 구비되며; 상기 진공부는 상기 로딩테이블 및 픽업테이블의 상하부로 천공된 다수개의 흡입공과, 상기 흡입공과 연결된 흡입배관과, 상기 흡입배관과 연결된 진공장치로 이루어진 것을 특징으로 한다.

상기 픽업테이블의 상부에는 상기 로딩테이블의 상부로 이동될 수 있도록 수직방향으로 승하강하는 테이블승하강부가 구비되고; 상기 테이블승하강부는 상기 픽업테이블의 상부에 연결된 실린더장치와, 상기 실린더장치에 연결된 실린더배관과, 상기 실린더배관에 연결된 유압장치로 구성된 것을 특징으로 한다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 인쇄회로기판용 표면세척방법은 상기 인쇄회로기판을 상기 로딩테이블에 안착시키는 기판공급단계와; 상기 기판공급단계 이후 상기 하부테이블부를 일측으로 이송시키는 제1이송단계와; 상기 제1이송단계 시 상기 에어세척노즐을 통하여 상기 인쇄회로기판의 상면을 세척하는 상면이물질제거단계와; 상기 상면이물질제거단계 이후 상기 픽업테이블이 상기 인쇄회로기판의 상면을 흡착하는 상부픽업단계와; 상기 상부픽업단계 이후 상기 하부테이블부를 타측으로 이송시키는 제2이송단계와; 상기 제2이송단계 시 상기 에어세척노즐을 통하여 상기 인쇄회로기판의 하면을 세척하는 하면이물질제거단계와; 상기 하면이물질제거단계 이후 상기 픽업테이블의 인쇄회로기판을 상기 언로딩테이블로 내려놓는 기판배출단계;로 이루어진 것을 특징으로 한다.

상기 하면이물질제거단계에는 상기 에어세척노즐이 상기 언로딩테이블의 이물질을 제거하는 언로딩테이블세척단계와, 상기 에어세척노즐이 상기 로딩테이블의 이물질을 제거하는 로딩테이블세척단계가 포함된 것을 특징으로 한다.

이와 같이 본 발명에 따른 인쇄회로기판용 표면세척장치 및 표면세척방법의 효과는 다음과 같다.

첫째, 양측으로 왕복이동되는 하부본체의 상부에 진공압으로 인쇄회로기판을 흡착하는 판형상의 로딩테이블을 구비함으로써, 로딩테이블의 이동시 발생되는 충격 또는 에어세척노즐에서 토출되는 에어압력에 의하여 인쇄회로기판이 이탈되는 것을 미연에 방지할 수 있고,

둘째, 중심부에 압축공기가 분사되는 분사부와 그 양측에 이물질을 수집하는 흡입부로 이루어진 에어세척노즐을 구비함으로써, 이물질을 압축공기로 이탈시키면 그 이물질을 바로 흡입하여 수집할 수 있어 압축공기의 분사과정에서 이물질이 무분별하게 이동되는 것을 방지하고 이물질을 완벽하게 제거할 수 있으며,

셋째, 일측으로 이동될 경우에는 인쇄회로기판의 상면을 세척하고 타측으로 이동될 경우에는 인쇄회로기판의 하면을 세척하는 공정을 통하여 테이블부의 왕복이동만으로 인쇄회로기판의 상하면을 모두 세척할 수 있어 세척공정의 시간을 대폭 단축시켜 공정효율을 향상시킬 수 있으며,

넷째, 하부테이블부의 왕복이동시 언로딩테이블과 로딩테이블의 표면도 세척할 수 있어 인쇄회로기판이 각각의 테이블에 안착될 경우 이미 존재하는 이물질이 인쇄회로기판의 하면에 부착되는 것을 미연에 방지할 수 있어 불량률을 현저하게 저하시킬 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명에 따른 표면세척장치를 나타내 보인 정면구성도이고,
도 2는 본 발명에 따른 에어세척노즐을 나타내 보인 정단면도이며,
도 3은 본 발명에 따른 진공부를 나타내 보인 정단면도이고,
도 4는 본 발명에 따른 테이블승하강부를 나타내 보인 정단면도이며,
도 5는 본 발명에 따른 표면세척방법을 나타내 보인 공정도이고,
도 6은 도 5에서 이어진 표면세척방법을 나타내 보인 공정도이며,
도 7은 본 발명에 따른 언로딩테이블세척단계 및 로딩테이블세척단계를 나타내 보인 공정도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 따른 인쇄회로기판용 표면세척장치는 인쇄회로기판(P)의 표면에 존재하는 이물질(D)을 제거하는 표면세척장치로서 도 1에 도시된 바와 같이 양측으로 왕복이동되는 박스형상의 하부본체(11)와, 상기 하부본체(11)의 상면 일측부에 구비되며 상기 인쇄회로기판(P)이 공급되는 판형상의 로딩테이블(12)과, 상기 하부본체(11)이 상면 타측부에 구비되며 세척된 인쇄회로기판(P)이 배출되는 판형상의 언로딩테이블(13)로 이루어진 하부테이블부(10)와; 상기 하부테이블부(10)의 상부에 정해진 높이만큼 이격되며 평행하게 배치되는 박스형상의 상부본체(21)와, 상기 상부본체(21)의 하면 중심부에 구비되며 상기 로딩테이블(12)에 안착된 인쇄회로기판(P)을 흡착하는 픽업테이블(22)로 이루어진 상부테이블부(20)와; 상기 하부본체(11)의 상면 중심부와, 상기 상부본체(21)의 하면 일측부 및 타측부에 각각 구비되며 상기 인쇄회로기판(P)의 상하면으로 압축공기를 분사하는 에어세척노즐(30)로 구성된다.

한편, 상기 하부본체(11)의 하부에는 양측방향으로 왕복이동되도록 리니어가이드 및 이송스크류, 이송모터등으로 이루어진 리니어가이드수단이 구비되는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 에어세척노즐(30)은 도 2에 도시된 바와 같이 상기 하부본체(11) 및 상부본체(21)의 일면에 고정되는 박스형상의 에어분사본체(31)와, 상기 에어분사본체(31)의 중심부에 구비되며 압축공기가 분사되는 분사공(321)이 형성된 분사부(32)와, 상기 분사부(32)의 양측에 구비되며 압축공기로 이탈된 이물질(D)을 흡입력으로 수집하는 흡입공(331)이 형성된 흡입부(33)로 이루어진다.

한편, 상기 분사부(32)에는 컴프레셔에서 연결된 공압배관이 연결되는 연결부(미도시)가 구비되고, 상기 흡입부(33)에는 진공장치에 연결된 진공배관이 연결되는 연결부(미도시)가 구비되며, 상기 에어분사본체(31)의 내부에는 상기 분사부(32)와 흡입부(33)의 구역이 나뉘어지는 격벽(미도시)이 형성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 로딩테이블(12) 및 픽업테이블(22)에는 도 3에 도시된 바와 같이 상기 인쇄회로기판(P)이 흡착되도록 상기 로딩테이블(12) 및 픽업테이블(22)의 표면에 진공압을 발생시키는 진공부(40)가 구비되며; 상기 진공부(40)는 상기 로딩테이블(12) 및 픽업테이블(22)의 상하부로 천공된 다수개의 진공흡입공(41)과, 상기 진공흡입공(41)과 연결된 흡입배관(42)과, 상기 흡입배관(42)과 연결된 진공장치(43)로 이루어진다.

그리고, 상기 픽업테이블(22)의 상부에는 도 4에 도시된 바와 같이 상기 로딩테이블(12)의 상부로 이동될 수 있도록 수직방향으로 승하강하는 테이블승하강부(50)가 구비되고; 상기 테이블승하강부(50)는 상기 픽업테이블(22)의 상부에 연결된 실린더장치(51)와, 상기 실린더장치(51)에 연결된 실린더배관(52)과, 상기 실린더배관(52)에 연결된 유압장치(53)로 구성된다.

본 발명에 따른 인쇄회로기판용 표면세척방법은 도 5 내지 도6에 도시된 바와 같이 상기 인쇄회로기판(P)을 상기 로딩테이블(12)에 안착시키는 기판공급단계(S10)와; 상기 기판공급단계(S10) 이후 상기 하부테이블부(20)를 일측으로 이송시키는 제1이송단계(S20)와; 상기 제1이송단계(S20) 시 상기 에어세척노즐(30)을 통하여 상기 인쇄회로기판(P)의 상면을 세척하는 상면이물질제거단계(S30)와; 상기 상면이물질제거단계(S30) 이후 상기 픽업테이블(22)이 상기 인쇄회로기판(P)의 상면을 흡착하는 상부픽업단계(S40)와; 상기 상부픽업단계(S40) 이후 상기 하부테이블부(20)를 타측으로 이송시키는 제2이송단계(S50)와; 상기 제2이송단계(S50) 시 상기 에어세척노즐(30)을 통하여 상기 인쇄회로기판(P)의 하면을 세척하는 하면이물질제거단계(S60)와; 상기 하면이물질제거단계(S60) 이후 상기 픽업테이블(22)의 인쇄회로기판(P)을 상기 언로딩테이블(13)로 내려놓는 기판배출단계(S70);로 이루어진다.

그리고, 상기 하면이물질제거단계(S60)에는 도 7에 도시된 바와 같이 상기 에어세척노즐(30)이 상기 언로딩테이블(13)의 이물질(D)을 제거하는 언로딩테이블세척단계(S61)와, 상기 에어세척노즐(30)이 상기 로딩테이블(12)의 이물질(D)을 제거하는 로딩테이블세척단계(S62)가 포함된다.

상기와 같은 구성으로 이루어진 본 발명에 따른 인쇄회로기판용 표면세척장치 및 표면세척방법의 작용을 살펴보면 다음과 같다.

본 발명에 따른 인쇄회로기판용 표면세척장치는 인쇄회로기판(P)의 표면에 존재하는 이물질(D)을 제거하는 표면세척장치이다.

즉, 상기 표면세척장치는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 양측으로 왕복이동되는 박스형상의 하부본체(11)의 상부에 진공압으로 상기 인쇄회로기판(P)을 흡착하는 판형상의 로딩테이블(12)이 구비됨으로써, 상기 로딩테이블(12)의 이동시 발생되는 충격 또는 상기 에어세척노즐(30)에서 토출되는 에어압력에 의하여 인쇄회로기판(P)이 이탈되는 것을 미연에 방지할 수 있게 된다.

또한, 상기 에어세척노즐(30)은 도 2에 도시된 바와 같이 상기 에어분사본체(31)의 중심부에 압축공기가 분사되는 분사부(32)를 형성하고, 상기 분사부(32)의 양측에 이물질(D)을 흡입력으로 수집하는 흡입부(33)를 형성함으로써, 상기 인쇄회로기판(P)의 이물질(D)을 압축공기로 이탈시키면 그 이물질(D)을 바로 흡입부(33)로 수집하게 되어 압축공기로 이탈된 이물질(D)이 상기 표면세척장치의 내부에서 무분별하게 이동되는 것을 방지함과 동시에 이물질(D)을 완벽하게 제거할 수 있게 된다.

그리고, 상기 픽업테이블(22)의 상부에는 도 4에 도시된 바와 같이 상기 로딩테이블(12)의 상부로 이동될 수 있도록 수직방향으로 승하강하는 테이블승하강부(50)가 구비됨으로써, 상기 로딩테이블(12)에 안착된 인쇄회로기판(P)을 상부로 간편하게 들어올릴 수 있어 상기 인쇄회로기판(P)의 하면 또한 세척할 수 있게 된다.

또한, 본 발명에 따른 인쇄회로기판용 표면세척방법의 작용을 살펴보면 다음과 같다.

본 발명에 따른 인쇄회로기판용 표면세척방법은 도 5 내지 도 6에 도시된 바와 같이 상기 인쇄회로기판(P)을 상기 로딩테이블(12)에 안착시킨 후 일측방향으로 이동하며 상기 상부본체(21)에 구비된 에어세척노즐(30)로 상면을 세척하게 된다.

이후, 상기 로딩테이블(12)이 픽업테이블(22)의 위치까지 이동한 후 상기 픽업테이블(22)이 하강하여 상기 인쇄회로기판(P)을 흡착하고 다시 상승하게 된다.

그리고, 상기 하부본체(11)가 타측방향으로 이동하며 상기 하부본체(11)에 구비된 에어세척노즐(30)을 통하여 하면을 세척하게 된다.

이어서, 상기 하부본체(11)는 타측방향으로 더 이동하며 상기 픽업테이블(22)을 상기 언로딩테이블(13)의 위치까지 이동시킨 후 흡착을 풀어 상기 인쇄회로기판(P)을 배출하게 된다.

이를 통하여, 상기 로딩테이블(11)이 구비되며 왕복이동하는 하부테이블부(10)와, 상기 인쇄회로기판(P)을 상부로 들어올리는 픽업테이블(22)이 구비된 상부테이블부(20)로 구성됨으로써, 상기 하부테이블부(10)의 왕복이동만으로 인쇄회로기판(P)의 상하면을 모두 세척할 수 있어 세척공정의 시간을 대폭 단축시켜 공정효율을 향상시킬 수 있게 된다.

또한, 상기 하부테이블부(10)의 왕복이동시 언로딩테이블(13)과 로딩테이블(12)의 표면도 세척할 수 있어 상기 인쇄회로기판(P)이 각각의 테이블(12,13)에 안착될 경우 이미 존재하는 이물질(D)이 인쇄회로기판(P)의 하면에 부착되는 것을 미연에 방지할 수 있게 된다.

본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명>
P : 인쇄회로기판 D : 이물질
10 : 하부테이블부 11 : 하부본체
12 : 로딩테이블 13 : 언로딩테이블
20 : 상부테이블부 21 : 상부본체
22 : 픽업테이블 30 : 에어세척노즐
31 : 에어분사본체 32 : 분사부
321 : 분사공 33 : 흡입부
331 : 흡입공 40 : 진공부
41 : 진공흡입공 42 : 흡입배관
43 : 진공장치 50 : 테이블승하강부
51 : 실린더장치 52 : 실린더배관
53 : 유압장치
S10 : 기판공급단계 S20 : 제1이송단계
S30 : 상면이물질제거단계 S40 : 상부픽업단계
S50 : 제2이송단계 S60 : 하면이물질제거단계
S61 : 언로딩테이블세척단계 S62 : 로딩테이블세척단계
S70 : 기판배출단계

Claims

인쇄회로기판(P)의 표면에 존재하는 이물질(D)을 제거하는 표면세척장치에 있어서,
양측으로 왕복이동되는 박스형상의 하부본체(11)와, 상기 하부본체(11)의 상면 일측부에 구비되며 상기 인쇄회로기판(P)이 공급되는 판형상의 로딩테이블(12)과, 상기 하부본체(11)이 상면 타측부에 구비되며 세척된 인쇄회로기판(P)이 배출되는 판형상의 언로딩테이블(13)로 이루어진 하부테이블부(10)와;
상기 하부테이블부(10)의 상부에 정해진 높이만큼 이격되며 평행하게 배치되는 박스형상의 상부본체(21)와, 상기 상부본체(21)의 하면 중심부에 구비되며 상기 로딩테이블(12)에 안착된 인쇄회로기판(P)을 흡착하는 픽업테이블(22)로 이루어진 상부테이블부(20)와;
상기 하부본체(11)의 상면 중심부와, 상기 상부본체(21)의 하면 일측부 및 타측부에 각각 구비되며 상기 인쇄회로기판(P)의 상하면으로 압축공기를 분사하는 에어세척노즐(30)로 구성된 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판용 표면세척장치.
제 1 항에 있어서,
상기 에어세척노즐(30)은 상기 하부본체(11) 및 상부본체(21)의 일면에 고정되는 박스형상의 에어분사본체(31)와, 상기 에어분사본체(31)의 중심부에 구비되며 압축공기가 분사되는 분사공(321)이 형성된 분사부(32)와, 상기 분사부(32)의 양측에 구비되며 압축공기로 이탈된 이물질(D)을 흡입력으로 수집하는 흡입공(331)이 형성된 흡입부(33)로 이루어진 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판용 표면세척장치.
제 1 항에 있어서,
상기 로딩테이블(12) 및 픽업테이블(22)에는 상기 인쇄회로기판(P)이 흡착되도록 상기 로딩테이블(12) 및 픽업테이블(22)의 표면에 진공압을 발생시키는 진공부(40)가 구비되며;
상기 진공부(40)는 상기 로딩테이블(12) 및 픽업테이블(22)의 상하부로 천공된 다수개의 진공흡입공(41)과, 상기 진공흡입공(41)과 연결된 흡입배관(42)과, 상기 흡입배관(42)과 연결된 진공장치(43)로 이루어진 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판용 표면세척장치.
제 1 항에 있어서,
상기 픽업테이블(22)의 상부에는 상기 로딩테이블(12)의 상부로 이동될 수 있도록 수직방향으로 승하강하는 테이블승하강부(50)가 구비되고;
상기 테이블승하강부(50)는 상기 픽업테이블(22)의 상부에 연결된 실린더장치(51)와, 상기 실린더장치(51)에 연결된 실린더배관(52)과, 상기 실린더배관(52)에 연결된 유압장치(53)로 구성된 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판용 표면세척장치.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항으로 이루어진 인쇄회로기판용 표면세척방법에 있어서,
상기 인쇄회로기판(P)을 상기 로딩테이블(12)에 안착시키는 기판공급단계(S10)와;
상기 기판공급단계(S10) 이후 상기 하부테이블부(20)를 일측으로 이송시키는 제1이송단계(S20)와;
상기 제1이송단계(S20) 시 상기 에어세척노즐(30)을 통하여 상기 인쇄회로기판(P)의 상면을 세척하는 상면이물질제거단계(S30)와;
상기 상면이물질제거단계(S30) 이후 상기 픽업테이블(22)이 상기 인쇄회로기판(P)의 상면을 흡착하는 상부픽업단계(S40)와;
상기 상부픽업단계(S40) 이후 상기 하부테이블부(20)를 타측으로 이송시키는 제2이송단계(S50)와;
상기 제2이송단계(S50) 시 상기 에어세척노즐(30)을 통하여 상기 인쇄회로기판(P)의 하면을 세척하는 하면이물질제거단계(S60)와;
상기 하면이물질제거단계(S60) 이후 상기 픽업테이블(22)의 인쇄회로기판(P)을 상기 언로딩테이블(13)로 내려놓는 기판배출단계(S70);로 이루어진 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판용 표면세척방법.
제 5 항에 있어서,
상기 하면이물질제거단계(S60)에는 상기 에어세척노즐(30)이 상기 언로딩테이블(13)의 이물질(D)을 제거하는 언로딩테이블세척단계(S61)와, 상기 에어세척노즐(30)이 상기 로딩테이블(12)의 이물질(D)을 제거하는 로딩테이블세척단계(S62)가 포함된 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판용 표면세척방법.