KR102535419B1 - 커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치 - Google Patents

커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR102535419B1
KR102535419B1 KR1020220073286A KR20220073286A KR102535419B1 KR 102535419 B1 KR102535419 B1 KR 102535419B1 KR 1020220073286 A KR1020220073286 A KR 1020220073286A KR 20220073286 A KR20220073286 A KR 20220073286A KR 102535419 B1 KR102535419 B1 KR 102535419B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
module
cover glass
defect
cleaning
inspection
Prior art date
Application number
KR1020220073286A
Other languages
English (en)
Inventor
황선오
이건희
라정우
Original Assignee
주식회사 코엠에스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 코엠에스 filed Critical 주식회사 코엠에스
Priority to KR1020220073286A priority Critical patent/KR102535419B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102535419B1 publication Critical patent/KR102535419B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/958—Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/94—Investigating contamination, e.g. dust
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06N—COMPUTING ARRANGEMENTS BASED ON SPECIFIC COMPUTATIONAL MODELS
    • G06N3/00—Computing arrangements based on biological models
    • G06N3/02—Neural networks
    • G06N3/08—Learning methods
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00—Image analysis
    • G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
    • G06T7/0004—Industrial image inspection
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8854—Grading and classifying of flaws
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8887—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/10—Scanning
    • G01N2201/104—Mechano-optical scan, i.e. object and beam moving
    • G01N2201/1042—X, Y scan, i.e. object moving in X, beam in Y

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Computing Systems (AREA)
  • Biophysics (AREA)
  • Computational Linguistics (AREA)
  • Data Mining & Analysis (AREA)
  • Evolutionary Computation (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Software Systems (AREA)
  • Artificial Intelligence (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치는, 커버글래스의 이미지를 획득하는 검사모듈;과, 상기 검사모듈에서 결함으로 판단된 상기 커버글래스를 세정하는 세정모듈;과 상기 검사모듈, 세정모듈 중 적어도 하나로 상기 커버글래스를 이동시키는 이송모듈; 및 상기 검사모듈과 세정모듈에 연결되어 상기 검사모듈과 세정모듈을 제어하는 제어모듈을 포함한다.

Description

커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치{FOREIGN SUBSTANCE INSPECTION AND CLEANING DEVICE FOR COVER GLASS}
본 발명은 커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치에 관한 것으로, 구체적으로는 커버글래스에 이물이 부착여부를 확인하고, 이물이 부착된 것으로 확인되는 경우, 이물을 세정하는 커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치에 관한 것이다.
OLED(Organic Light Emitting Diode), LCD(Liquid Crystal Display) 등과 같이 정보를 전달하는 디스플레이 패널의 전면에는 디스플레이 패널을 보호하기 위한 커버글래스가 설치된다.
커버글래스는 성형공정(절단, 연마, 세정, 건조, 강화처리, 코팅 등)으로부터 최종적인 제품으로 만들어지는 과정에서 여러 가지 요인에 의해 스크래치, 얼룩, 찍힘, 이물, 크랙, 흑점 등과 같은 결함이 발생될 수 있다.
커버글래스에 결함이 존재하게 되면 전체 디스플레이 패널의 성능이 저하될뿐만 아니라 경우에 따라서 불량품으로 처리해야 하는 문제점이 있다.
이러한 커버글래스의 결함은 작업자가 육안으로 커버글래스의 한쪽 표면을 검사한 후 뒤집어 이면을 검사하는 방법으로 결함을 확인하고, 결함의 원인이 세정으로 제거가능한 이물인 경우 확인 후 세정하였다. 그러나 이러한 방식의 결함 확인은 작업자의 숙련도 및 컨디션에 따라 검사 결과의 편차가 심하여 신뢰도가 떨어지는 문제가 있었다.
검사의 신뢰도를 높이기 위하여 커버글래스의 영상을 분석하여 결함을 확인하는 비전 검사장치가 사용되었으나, 이러한 비전 검사장치는 단순하게 결함의 유무를 판단하는데 불과하므로 별도의 작업자가 결함으로 판단된 커버글래스의 결함의 원인이 이물인지 여부를 판단하여 커버글래스를 세정하여야 하므로 작업에 많은 시간이 소요되는 문제점이 있어서 이를 개선하기 위한 제안이 필요한 상황이다.
대한민국 공개특허 제10-2018-0116154호(2018. 10. 24. 공개)
본 발명의 일 실시예에 따른 커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치는 상술한 문제점을 해결하기 위하여 다음과 같은 해결과제를 목적으로 한다.
커버글래스의 결함을 검사하여 자동으로 세정할 수 있는 커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치를 제공하는 것이다.
또한 커버글래스의 결함을 검사하여 세정 후 커버글래스를 재검사하여 세정결과를 획득하여 학습함으로써, 세정으로 제거가 가능한 결함인지 여부를 정밀하게 판단할 수 있는 커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치를 제공하는 것이다.
또한 커버글래스의 결함 검사 및 세정을 위해 커버글래스의 이동시 발생되는 이물을 감소시킬 수 있는 커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치를 제공하는 것이다.
또한, 커버글래스의 결함 검사 및 세정에 소요되는 시간을 줄일 수 있는 커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 해결과제는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당해 기술분야에 있어서의 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해되어질 수 있을 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치는, 커버글래스의 이미지를 획득하는 검사모듈;과, 상기 검사모듈에서 결함으로 판단된 상기 커버글래스를 세정하는 세정모듈;과, 상기 검사모듈, 세정모듈 중 적어도 하나로 상기 커버글래스를 이동시키는 이송모듈; 및 상기 검사모듈과 세정모듈에 연결되어 상기 검사모듈과 세정모듈을 제어하는 제어모듈을 포함한다.
상기 제어모듈은 상기 검사모듈의 이미지로부터 상기 커버글래스의 결함위치를 판단하고 저장하는 결함위치 판단/저장부, 상기 검사모듈의 이미지로부터 상기 커버글래스의 결함형태를 저장하는 결함형태 저장부, 상기 결함위치 판단/저장부로부터 판단된 결함위치를 세정하도록 상기 세정모듈을 제어하는 세정모듈 제어부, 상기 이송모듈을 제어하는 이송모듈 제어부를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 세정모듈은 상기 커버글래스의 결함위치에 세정유체를 분사하여 세정하는 것이 바람직하다.
상기 이송모듈은 상기 커버글래스의 양측이 안착되는 상호 이격된 이송벨트와, 상기 이송벨트를 구동시키는 구동풀리로 이루어지며, 상기 검사모듈은 상기 이송모듈의 상부에 배치되어 상기 커버글래스의 이미지를 획득하는 이미지획득수단과, 상기 이미지획득수단 보다 낮게 배치되어 상기 커버글래스에 광을 조사하는 광조사수단으로 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 세정모듈은 상기 이송모듈에서 이송된 상기 커버글래스를 지지하는 진공척과, 상기 진공척보다 높게 배치되어 세정유체를 분사하는 세정유체 분사노즐과, 상기 세정유체 분사노즐을 상기 진공척에 지지된 상기 커버글래스의 결함위치로 이동시키는 X축 이송레일 및 Y축 이송레일로 구성된 노즐이송수단과, 상기 세정유체 분사노즐의 분사압력을 조절하는 분사압력 조절수단을 포함하는 것이 바람직하다.
상기 진공척은 다공성 알루미나(Al2O3)로 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 진공척의 저면과 측면에는 유체의 유출입을 차단하는 척하우징이 배치되고, 상기 척하우징에는 상기 진공척에 음압을 공급하는 음압공급홀이 형성되며, 상기 음압공급홀에는 상기 세정모듈 제어부에 의해 음압이 조절되는 음압 공급수단이 연결되는 것이 바람직하다.
상기 세정모듈 제어부는 상기 세정유체 분사노즐에서 세정유체 분사시 상기 음압 공급수단을 제어하여 상기 진공척에 음압을 형성하고, 상기 분사압력 조절수단에서 분사되는 세정유체의 압력에 대응하여 상기 진공척의 음압을 조절하는 것이 바람직하다.
상기 제어모듈의 상기 이송모듈 제어부는 상기 세정모듈에서 세정된 상기 커버글래스를 상기 검사모듈로 이송하고, 상기 검사모듈은 재이송된 상기 커버글래스의 이미지를 재획득하며, 상기 제어모듈의 결함위치 판단부/저장부는 상기 검사모듈에서 재획득한 이미지로부터 상기 커버글래스의 결함위치를 판단하여 저장하고, 상기 제어모듈에는 선 저장된 결함위치와 후 저장된 결함위치를 비교하여 세정된 결함의 형태와 세정이 되지 않은 결함의 형태를 저장하는 결함데이터 저장부가 포함되며, 상기 제어모듈에는 상기 결함데이터 저장부로부터 세정이 되지 않는 결함의 형태를 학습하여 결함형태 판단모델을 구축하는 딥러닝모듈이 연결되는 것이 바람직하다.
상기 결함데이터 저장부에는 상기 세정유체 분사노즐의 분사압력이 저장되고, 상기 딥러닝모듈은 세정된 결함의 형태와 분사압력을 학습하여 결함형태 분사압력 판단모델을 구축하는 것이 바람직하다.
상기 결함위치 판단/저장부는 상기 딥러닝모듈에서 구축된 결함형태 분사압력 판단모델을 이용하여 상기 커버글래스의 이미지에서 세정가능한 결함을 판단하고, 상기 세정모듈 제어부는 상기 딥러닝모듈에서 구축된 결함형태 분사압력 판단모델을 이용하여 상기 세정유체 분사노즐의 분사압력을 조절하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치의 이송모듈은 베이스, 상기 베이스 상면에 배치되어 전자계를 발생시키는 도체플레이트, 상기 도체플레이트 상면에서 부상 및 이송되는 척하우징, 상기 척하우징 저면에 다수의 자석을 배열하여 형성된 자석어레이모듈을 포함하며, 상기 베이스의 상부에는 상기 도체플레이트와 이격된 베이스프레임이 배치되며, 상기 베이스프레임에는 상기 검사모듈과 세정모듈이 배치되는 것이 바람직하다.
상기 척하우징 내측에는 진공척이 배치되며, 상기 진공척의 저면과 척하우징 내측 상면에는 조명수단이 배치되는 것이 바람직하다.
상기 진공척은 상기 커버글래스의 모서리가 안착되도록 중앙측이 개방되는 것이 바람직하다.
본 발명의 일 실시예에 따른 커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치는 커버글래스의 결함을 검사하여 자동으로 세정함으로써 보다 빠르게 커버글래스의 검사 및 세정을 할 수 있는 효과를 기대할 수 있다.
또한, 커버글래스의 결함, 세정가능여부, 세정유체의 분사압 등의 데이를 이용하여 세정이 가능한 결함인지 판단하여 결함 검사 및 세정의 효율성을 높일 수 있는 효과를 기대할 수 있다.
아울러, 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치는 커버글래스의 결함 검사 및 세정을 위해 이동하는 커버글래스를 부상시켜 이동할 수 있도록 함으로써 커버글래스의 이동에 의해 발생되는 이물을 현저하게 감소시킬 수 있는 효과를 기대할 수 있다.
또한, 커버글래스의 결함 검사 및 세정을 인접한 위치에서 실시할 수 있으므로, 검사 및 세정에 소요되는 시간을 줄일 수 있는 효과를 기대할 수 있다.
본 발명의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 당해 기술분야에 있어서의 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해되어질 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치의 요부 측면도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치의 제어블록도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치의 제어블록도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치의 사시도이다.
도 6은 도 5에 도시된 척하우징의 단면도이다.
첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성 요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
또한, 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 발명의 사상을 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 발명의 사상이 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 됨을 유의해야 한다.
이하, 도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치에 대하여 설명하도록 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치는 도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이 검사모듈(100), 세정모듈(200), 이송모듈(300) 및 제어모듈(400)을 포함하도록 구성된다.
커버글래스의 이미지를 획득하는 검사모듈(100)은 커버글래스(CG)의 결함이 있는지 여부를 확인하기 위해 커버글래스(CG)의 이미지를 획득한다.
제어모듈(400)은 커버글래스(CG)의 이미지에서 결함의 위치, 결함의 형태를 판단하여, 커버글래스(CG)의 이미지에서 결함이 있는 것으로 판단되는 경우, 이송모듈(300)을 구동시켜 커버글래스(CG)를 세정모듈(200)로 이동시키며, 세정모듈(200)에서 커버글래스(CG)의 결함위치에 세정유체를 분사하여 세정할 수 있도록 한다.
제어모듈(400)은 결함위치를 판단하고 저장하는 결함위치 판단/저장부(410), 결함의 형태를 저장하는 결함형태 저장부(420), 결함위치의 결함을 세정할 수 있도록 세정모듈(200)을 제어하는 세정모듈 제어부(430)와 결함위치 판단/저장부(410)에서 검사모듈(100)에서 획득한 이미지에 결함이 있는 것으로 판단되는 경우, 세정부로 커버글래스(CG)를 이동시킬 수 있도록 이송모듈(300)을 제어하는 이송모듈 제어부(440)가 포함되어 있다.
이송모듈(300)은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 커버글래스(CG)의 양측이 안착되는 상호 이격된 이송벨트(310)와, 이송벨트를 구동시키는 구동풀리(320)로 이루어질 수 있다.
검사모듈(100)은 이송모듈(300)의 상부에 배치되어 이송벨트(310)에 안착된 커버글래스(CG)의 이미지를 획득하는 이미지획득수단(120)과, 이미지획득수단(120) 보다 낮게 배치되어 커버글래스(CG)에 광을 조사하는 광조사수단(110)을 포함한다.
이미지획득수단(120)은 이미지를 획득하기 위한 카메라 등의 공지된 수단이 사용될 수 있으며, 광조사수단(110)은 일반적으로 사용되는 백라이트가 사용될 수 있다.
이때 광조사수단(110)은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 이송모듈(300)의 하부, 즉 커버글래스(CG)를 기준으로 이미지획득수단(120)과 대향되게 배치될 수도 있으며, 실시예에 따라 이미지획득수단(120)과 커버글래스(CG) 사이에 배치될 수도 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 세정모듈(200)은 도 1에 도시된 바와 같이 이송모듈(300)에서 이송된 커버글래스(CG)를 지지하는 진공척(210)과, 진공척(210)보다 높게 배치되어 세정유체를 분사하는 세정유체 분사노즐(240)과, 세정유체 분사노즐(240)을 상기 진공척(210)에 지지된 상기 커버글래스(CG)의 결함위치로 이동시키는 노즐이송수단(254)로 구성될 수 있다.
진공척(210)은 이송된 커버글래스(CG)의 세정시 분사노즐에서 분사되는 세정유체에 의해 커버글래스(CG)가 이동하는 것을 방지하기 위한 것으로, 커버글래스(CG)가 이송되면 진공척(210)에서 음압을 발생시켜 진공척(210) 상에 커버글래스(CG)를 고정시킬 수 있도록 한다.
노즐이송수단(254)은 도 1에 도시된 바와 같이 X축 이송레일(220)과, X축 이송레일(220)을 따라 X축 방향으로 이동하는 Y축 이송레일(230)로 구성되며, Y축 이송레일(230)에는 세척유체 분사노즐(240)이 Y축 이송레일(230)을 따라 이동할 수 있도록 구성된다.
Y축 이송레일(230)을 따라 이동하는 세척유체 분사노즐(240)은 다양한 방식으로 Y축 이송레일(230)을 따라 이동할 수 있으며, 본 실시예의 경우, 세척유체 분사노즐(240)에 베이스 플레이트(244)를 결함하고, 베이스 플레이트(244)에 볼스크류(242)를 결함시켜, 볼스크류(242)에 스크류를 결함, 구동시켜 이동시킨다.
세정유체 분사노즐(240)에서 분사되는 세정유체는 다양한 유체가 사용될 수 있으나, 본 실시예의 경우 이산화탄소가 세정유체로 사용된다. 이산화탄소를 세정유체로 사용하는 경우 2 ~ 10 bar의 압력 범위에서 분사되는 것이 바람직하므로, 세정유체의 분사압력을 조절하는 분사압력 조절수단(252)이 세정유체 저장탱크(도면 미도시)와 세정유체 분사노즐(240) 사이에 연결된다.
음압을 발생시켜 커버글래스(CG)를 고정시키는 진공척(210)은 진공척(210) 상부의 공기를 진공척(210) 내부로 이동시킬 수 있는 다양한 형태의 진공척(210)이 사용될 수 있으나, 본 실시예의 경우 다공질의 알루미나(Al2O3)로 이루어지는 진공척(210)이 사용되는 것이 바람직하다.
본 실시예와 같이 다공질의 알루미나(Al2O3)가 사용되는 경우, 진공척(210)에 음압을 발생시키는 경우 진공척(210)의 상면 외에 측면, 하면 등으로 음압이 발생될 수 있으므로, 음압이 발생되는 부위를 커버글래스(CG)가 이송되는 상부면으로 제한한 수 있도록 진공척(210)의 저면과 측면에는 유체의 유출입을 차단하는 척하우징(212)이 배치되는 것이 바람직하며, 척하우징(212)에는 진공척(210)에 음압을 공급하는 음압공급홀(212a)이 형성될 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
도 2와 같이 척하우징(212)의 하부에 음압공급홀(212a)가 형성되는 경우, 척하우징(212)의 내부 저면과 진공척(210)의 저면을 소정 간격으로 이격시켜 진공척(210) 상부면에 음압을 고르게 분포할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
이때, 음압공급홀(212a)에는 세정모듈 제어부(420)에 의해 음압이 조절되는 음압 공급수단(256)이 연결되는 것이 바람직하다.
진공척(210)에서 발생되는 음압은 세정유체 분사노즐(240)에서 세정유체를 분사시에 형성되는 것이 바람직하므로, 세정모듈 제어부(420)는 세정유체 분사노즐(240)에서 세정유체 분사시 음압 공급수단(256)을 제어하여 진공척(210)에 음압을 형성하는 것이 바람직하며, 세정유체 분사노즐(240)에서 분사되는 세정유체의 압력에 대응하여 진공척(210)의 음압을 조절하는 것이 보다 바람직하다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치의 제어블록도인 도 4를 참조하면 제어모듈(400)의 이송모듈 제어부(440)는 세정모듈(200)에서 세정된 커버글래스(CG)를 검사모듈(100)로 재이송하고, 검사모듈(100)은 재이송된 커버글래스(CG)의 이미지를 재획득할 수 있다.
제어모듈(400)의 결함위치 판단부/저장부(410)는 검사모듈(100)에서 재획득한 이미지로부터 커버글래스(CG)의 결함위치를 판단하여 저장하고, 제어모듈(400)에는 결함데이터 저장부(450)를 포함하여 선 저장된 결함위치와 후 저장된 결함위치를 비교하여 세정된 결함의 형태와 세정이 되지 않은 결함의 형태를 저장할 수 있다. 즉, 결함데이터 저장부(450)에서 선 저장된 결함위치와 후 저장된 결함위치를 비교하여 선 저장된 결함위치와 대응되는 후 저장된 결함위치가 없는 경우 세정된 것으로 판단하고, 선 저장된 결함위치와 대응되는 후 저장된 결함위치가 있는 경우 세정이 되지 않는 결함의 형태로 판단할 수 있다.
이때, 제어모듈(400)에는 결함데이터 저장부(450)로부터 결함의 형태를 피처로 하고, 세정여부를 라벨로 하여 딥러닝을 통해 결함형태에 따라 세정이 되는 결함인지 판단할 수 있는 결함형태 판단모델을 구축하는 딥러닝모듈(500)이 연결될 수 있다.
딥러닝모듈(500)에서 사용하는 알고리즘은 CNN, ResNet 등 공지된 다양한 알고리즘이 사용될 수 있다.
또한, 결함데이터 저장부(450)에는 세정유체 분사노즐(240)의 분사압력이 추가로 저장될 수 있으며, 딥러닝모듈(500)은 결함의 형태, 분사압력을 피처로 하고, 세정여부를 라벨로 하여 결함형태 분사압력 판단모델을 구축할 수 있다. 이는 세정유체의 분사압력이 낮은 경우 세정유체의 분사시에도 세정이 되지 않을 수 있으므로 세정시 세정유체의 분사압력을 2 ~ 10 bar의 범위에서 조절하여 다양한 피처 및 피처에 따른 라벨 데이터를 확보하여 보다 신뢰성있는 결함형태 분사압력 판단모델을 구축할 수 있다.
이렇게 구축된 결함형태 분사압력 판단모델을 이용하여 결함위치 판단/저장부(410)에서 결함의 형태에 따라 세정가능한 결함인지 판단할 수 있으며, 세정모듈 제어부(430)에서 딥러닝모듈(500)에서 구축된 결함형태 분사압력 판단모델을 이용하여 세정유체 분사노즐(240)의 분사압력을 조절할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치의 사시도인 도 5와 도 5에 도시된 척하우징의 단면도인 도 6을 참조하여 커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치를 설명하면 아래와 같다.
도 5에 도시된 커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치는 도체플레이트(1002)에서 자기장을 형성하여 척하우징(1212)을 부상시키고, 도체플레이트(1002) 상에서 2축 방향으로 이동을 하는 것을 특징으로 한다. 즉, 앞에서 설명한 커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치와 달리 본 실시예는 커버글래스의 검사와 세정이 하나의 도체플레이트(1002)상에서 이루어질 수 있도록 하여, 검사, 세정 및 재검사가 빠르게 수행될 수 있다.
이러한 기능을 수행할 수 있도록 상기 이송모듈은 베이스(1000)와, 베이스(1000) 상면에 배치되어 전자계를 발생시키는 도체플레이트(1002)로 구성되며, 도체플레이트(1002) 상면에는 도체플레이트(1002)에서 발생된 전자계에 의해 부상 및 이송될 수 있도록 저면에 다수의 자석을 배열하여 형성된 자석어레이모듈(1212b)이 배치된 되는 척하우징(1212)이 배치된다.
이때, 도체플레이트(1002)가 배치되는 베이스(1000)에는 검사모듈(100)의 이미지획득수단(1120)인 카메라와 세정모듈(200)의 세척분사노즐(1240)이 도체플레이트(1002)와 이격하여 상부에 배치될 수 있도록 베이스프레임(1104)의 이격배치된다.
따라서 커버글래스의 검사, 세척 및 재검사를 위해 커버글래스의 이동거리가 줄어들어 작업의 효율성이 보다 높아지게 된다.
이때, 척하우징(1212) 내측에는 도 6의 (a)와 같이 진공척(1210)이 배치되며, 진공척(1210)의 저면과 척하우징(1212) 내측 상면에는 조명수단(1110)이 배치되어 커버글래스(CG)의 검사시 커버글래스(CG) 방향으로 광을 조사하게 된다.
이때 진공척(1210)은 조명수단(1110)에서 조사되는 광이 투과될 수 있도록 투명도를 갖고 형성될 수도 있으며, 도 6의 (b)와 같이 중앙측의 상면과 하면이 상연 연통될 수 있도록 개방되도록 구성되어 커버글래스(CG)의 모서리가 진공척(1210)의 상면과 맞닿을 수 있도록 형성된다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시 예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.
100 : 검사모듈 110 : 광조사수단
120 : 이미지획득수단 200 : 세정모듈
210 : 진공척 212 : 척하우징
212a : 음압공급홀 220 : X축 이송레일
230 : Y축 이송레일 240 : 세정유체 분사노즐
242 : 볼스크류 244 : 베이스 플레이트
252 : 분사압력 조절수단 254 : 노즐 이송수단
256 : 음압 공급수단 300 : 이송모듈
310 : 이송벨트 320 : 구동풀리
400 : 제어모듈 410 : 결함위치 판단/저장부
420 : 결함형태 저장부 430 : 세정모듈 제어부
440 : 이송모듈 제어부 450 : 결함데이터 저장부
500 : 딥러닝 모듈 CG : 커버글래스

Claims (12)

  1. 커버글래스의 이미지를 획득하는 검사모듈;
    상기 검사모듈에서 결함으로 판단된 상기 커버글래스를 세정하는 세정모듈;
    상기 검사모듈, 세정모듈 중 적어도 하나로 상기 커버글래스를 이동시키는 이송모듈; 및
    상기 검사모듈, 세정모듈 및 이송모듈에 연결되어 상기 검사모듈, 세정모듈 및 이송모듈을 제어하는 제어모듈을 포함하며,
    상기 제어모듈은
    상기 검사모듈에서 획득된 이미지로부터 상기 커버글래스의 결함위치를 판단하고 저장하는 결함위치 판단/저장부, 상기 검사모듈의 이미지로부터 상기 커버글래스의 결함형태를 저장하는 결함형태 저장부, 상기 결함위치 판단/저장부로부터 판단된 결함위치를 세정하도록 상기 세정모듈을 제어하는 세정모듈 제어부, 상기 이송모듈을 제어하는 이송모듈 제어부를 포함되며,
    상기 세정모듈은
    상기 커버글래스의 결함위치에 세정유체를 분사하여 세정하고,
    상기 세정모듈은
    상기 이송모듈에서 이송된 상기 커버글래스를 지지하는 진공척과,
    상기 진공척보다 높게 배치되어 세정유체를 분사하는 세정유체 분사노즐과,
    상기 세정유체 분사노즐을 상기 진공척에 지지된 상기 커버글래스의 결함위치로 이동시키는 X축 이송레일 및 Y축 이송레일로 구성된 노즐이송수단과,
    상기 세정유체 분사노즐의 분사압력을 조절하는 분사압력 조절수단을 포함하며,
    상기 제어모듈의 상기 이송모듈 제어부는 상기 세정모듈에서 세정된 상기 커버글래스를 상기 검사모듈로 이송하고,
    상기 검사모듈은 재이송된 상기 커버글래스의 이미지를 재획득하며,
    상기 제어모듈의 결함위치 판단/저장부는 상기 검사모듈에서 재획득한 이미지로부터 상기 커버글래스의 결함위치를 판단하여 저장하고,
    상기 제어모듈에는 선 저장된 결함위치와 후 저장된 결함위치를 비교하여 세정된 결함의 형태와 세정이 되지 않은 결함의 형태를 저장하는 결함데이터 저장부가 포함되며,
    상기 제어모듈에는 상기 결함데이터 저장부로부터 결함의 형태를 학습하여 결함형태 판단모델을 구축하는 딥러닝모듈이 연결되고,
    상기 결함데이터 저장부에는 상기 세정유체 분사노즐의 분사압력이 저장되고,
    상기 딥러닝모듈은 세정된 결함의 형태와 분사압력을 학습하여 결함형태 분사압력 판단모델을 구축하는 것을 특징으로 하는 커버글래스의 결함 검사 및 세정장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 이송모듈은
    상기 커버글래스의 양측이 안착되는 상호 이격된 이송벨트와, 상기 이송벨트를 구동시키는 구동풀리로 이루어지며,
    상기 검사모듈은
    상기 이송모듈의 상부에 배치되어 상기 커버글래스의 이미지를 획득하는 이미지획득수단과, 상기 이미지획득수단 보다 낮게 배치되어 상기 커버글래스에 광을 조사하는 광조사수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 커버글래스의 결함 검사 및 세정장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 진공척은 다공성 알루미나(Al2O3)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 커버글래스의 결함 검사 및 세정장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 진공척의
    저면과 측면에는 유체의 유출입을 차단하는 척하우징이 배치되고,
    상기 척하우징에는 상기 진공척에 음압을 공급하는 음압공급홀이 형성되며,
    상기 음압공급홀에는 상기 세정모듈 제어부에 의해 음압이 조절되는 음압 공급수단이 연결되는 것을 특징으로 하는 커버글래스의 결함 검사 및 세정장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 세정모듈 제어부는
    상기 세정유체 분사노즐에서 세정유체 분사시 상기 음압 공급수단을 제어하여 상기 진공척에 음압을 형성하고,
    상기 세정유체 분사노즐에서 분사되는 세정유체의 압력에 대응하여 상기 진공척의 음압을 조절하는 것을 특징으로 하는 커버글래스의 결함 검사 및 세정장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 결함데이터 저장부에는 상기 세정유체 분사노즐의 분사압력이 저장되고,
    상기 딥러닝모듈은 세정된 결함의 형태와 분사압력을 학습하여 결함형태 분사압력 판단모델을 구축하는 것을 특징으로 하는 커버글래스의 결함 검사 및 세정장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 결함위치 판단/저장부는 상기 딥러닝모듈에서 구축된 결함형태 분사압력 판단모델을 이용하여 상기 커버글래스의 이미지에서 세정가능한 결함을 판단하고,
    상기 세정모듈 제어부는 상기 딥러닝모듈에서 구축된 결함형태 분사압력 판단모델을 이용하여 상기 세정유체 분사노즐의 분사압력을 조절하는 것을 특징으로 하는 커버글래스의 결함 검사 및 세정장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 이송모듈은
    베이스;
    상기 베이스 상면에 배치되어 전자계를 발생시키는 도체플레이트;
    상기 도체플레이트 상면에서 부상 및 이송되는 척하우징; 및
    상기 척하우징 저면에 다수의 자석을 배열하여 형성된 자석어레이모듈을 포함하며,
    상기 베이스의 상부에는 상기 도체플레이트와 이격된 베이스프레임이 배치되며,
    상기 베이스프레임에는 상기 검사모듈과 세정모듈이 배치되는 것을 특징으로 하는 커버글래스의 결함 검사 및 세정장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 척하우징 내측에는 진공척이 배치되며,
    상기 진공척의 저면과 척하우징 내측 상면에는 조명수단이 배치되는 것을 특징으로 하는 커버글래스의 결함 검사 및 세정장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 진공척은 상기 커버글래스의 모서리가 안착되도록 중앙측이 개방되는 것을 특징으로 하는 커버글래스의 결함 검사 및 세정장치.
  11. 삭제
  12. 삭제
KR1020220073286A 2022-06-16 2022-06-16 커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치 KR102535419B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220073286A KR102535419B1 (ko) 2022-06-16 2022-06-16 커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220073286A KR102535419B1 (ko) 2022-06-16 2022-06-16 커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR102535419B1 true KR102535419B1 (ko) 2023-05-26

Family

ID=86536606

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020220073286A KR102535419B1 (ko) 2022-06-16 2022-06-16 커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102535419B1 (ko)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001159613A (ja) * 1999-11-30 2001-06-12 Nikon Corp 異物検査装置およびこれを備えた露光装置
KR20180116154A (ko) 2017-04-14 2018-10-24 코닝 인코포레이티드 커버 글라스 검사 장치
KR102129023B1 (ko) * 2020-05-20 2020-07-01 손명훈 인쇄회로기판용 표면세척장치 및 표면세척방법
KR102162964B1 (ko) * 2020-03-25 2020-10-07 인피니티에너지주식회사 태양광 패널의 세척장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001159613A (ja) * 1999-11-30 2001-06-12 Nikon Corp 異物検査装置およびこれを備えた露光装置
KR20180116154A (ko) 2017-04-14 2018-10-24 코닝 인코포레이티드 커버 글라스 검사 장치
KR102162964B1 (ko) * 2020-03-25 2020-10-07 인피니티에너지주식회사 태양광 패널의 세척장치
KR102129023B1 (ko) * 2020-05-20 2020-07-01 손명훈 인쇄회로기판용 표면세척장치 및 표면세척방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100677027B1 (ko) 판상물질 검사 시스템
CN100341113C (zh) 涂布方法和涂布装置
KR101208262B1 (ko) 글래스 검사 장치
KR101377766B1 (ko) 도포 방법 및 도포 장치
US20130135459A1 (en) Apparatus and methods for determining surface compliance for a glass surface
JP2009302122A (ja) 塗布装置及び塗布方法
JP4809699B2 (ja) 塗布方法及び塗布装置
CN108296073A (zh) 基板处理装置
KR102011519B1 (ko) 노즐 세정 장치, 도포 처리 장치, 노즐 세정 방법, 도포 처리 방법 및 컴퓨터 기억 매체
KR101004983B1 (ko) 도포 장치 및 도포 장치의 클리닝 방법
KR102535419B1 (ko) 커버글래스의 결함 검사 및 세정 장치
KR101621572B1 (ko) 도포장치 및 도포방법
JP4951271B2 (ja) 基板検査装置
KR100892088B1 (ko) 에어 플로팅을 이용한 비접촉식 필름 검사장치
JP2009068889A (ja) カラーフィルタ外観検査装置における欠陥検出機能の点検治具
JP2006344705A (ja) 基板のステージ装置、検査装置及び修正装置
KR101464203B1 (ko) 세정 유닛, 이를 가지는 처리액 토출 장치, 그리고 세정 방법
KR102524350B1 (ko) 검사시스템
KR20160139467A (ko) 글래스 포장박스 세정장치
KR100982154B1 (ko) 도포 장치
KR100873265B1 (ko) 기판처리장치 및 막형성장치
KR102018955B1 (ko) 히든라벨 검사장치
KR20220002808A (ko) 기판 처리 시스템
WO2011085123A1 (en) Automated handling of electro-optical transducers used in lcd test equipment
JPH08300479A (ja) レーザーマーキング方法、レーザーマーキング装置およびレーザー光照射機用排気フード

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant