KR100982154B1 - 도포 장치 - Google Patents
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- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
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Abstract
Description
Claims (10)
- 기판을 부상시켜 반송하는 기판 반송부와,상기 기판 반송부에 의해 반송 중인 상기 기판에 대하여 액상체를 도포하는 도포부와,상기 도포부의 예비 토출 동작시에 상기 도포부로부터 상기 액상체가 도포되는 평면의 예비 토출면을 구비한 예비 토출부를 갖고,상기 예비 토출부는 판상 부재를 갖고, 당해 판상 부재의 일방의 면을 상기 예비 토출면으로서 사용하는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 예비 토출부의 근방에, 상기 도포부에 구비된 노즐의 세정을 실시하는 노즐 세정 기구 및 상기 노즐의 건조를 방지하는 건조 방지 기구 중 적어도 일방이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 예비 토출부와 상기 노즐 세정 기구와 상기 건조 방지 기구를 병설하여 이루어지는 관리부를 갖는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,상기 예비 토출면이, 상기 기판 반송부와 평면에서 보았을 때 겹쳐지는 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 예비 토출면이, 상기 기판 반송부의 측방에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 예비 토출면이, 상기 기판 반송부의 기판 반송 방향 측방에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 도포부와 상기 예비 토출면을 상대 이동할 수 있게 하는 이동 기구를 갖는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 예비 토출부에, 상기 예비 토출면을 세정하는 예비 토출면 세정 기구가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
- 제 9 항에 있어서,상기 예비 토출면 세정 기구가, 상기 예비 토출면에 세정액을 공급하는 세정액 공급부와, 상기 세정액과 함께 상기 예비 토출면의 상기 액상체를 긁어내는 긁음부를 갖는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
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