TWI458958B

TWI458958B - Detection device and its inspection window cleaning method

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Publication number: TWI458958B
Application number: TW102111998A
Authority: TW
Original assignee: All Ring Tech Co Ltd
Priority date: 2013-04-03
Filing date: 2013-04-03
Publication date: 2014-11-01
Also published as: CN104096689A; TW201439516A; CN104096689B

Description

檢測裝置及其檢測視窗清潔方法

本發明係有關於一種檢測裝置及檢測視窗清潔方法，尤指一種對電子元件進行檢測之檢測裝置上，其設有檢測視窗而須進行髒污處理之檢測裝置及其檢測視窗清潔方法。

按，在高科技產業的許多製程中，由於產量大、精度高，對於電子元件之物理特性通常需進行一定程度的檢測及分類，有些電子元件並在檢測及分類後進行包裝於帶狀包裝帶之程序；上述電子元件物理特性的檢測及分類通常藉由一通稱測試機或分選機或包裝機的設備來達成，主要藉由振動機輸送經排列之電子元件(例如晶片型被動元件)進入一執行間歇性旋轉流路之測盤中，測盤外周緣環列佈設多個等距凹設之載槽，使被輸入之電子元件逐一進入該等載槽中被間歇性運送，而逐次經過極性檢測、電性檢測、光學檢測等多個分別各依不同電子元件需求所設定之檢測作業，然後再將屬於良品之符合設定條件的電子元件續輸送至包裝帶進行包裝，而不符合設定條件之電子元件則被導出該間歇性旋轉流路以進行不良品的分類。

在各檢測站所進行的各項檢測中，由於光學檢測的檢測站必須自機台之測盤下方投射光源，使光源透經一位於測盤周緣載槽旁側上方對應之透明玻璃形成的檢測視窗，而被對應於檢測視窗上方之光學檢測裝置感應及接收，以對載槽中之電子元計進行光學檢測作業，因此，在與測盤約略同高之圍設於測盤外周緣的一限位件近載槽處，對應光源投射之部位開有一近圓形可透光之檢測區間，該檢測區間開有一缺口供被間歇輸送而恰與檢測區間對應之電子元件，可在一負壓吸引下被由該缺口導入檢測區間中受檢測，及在檢測後受正壓吹送經該缺口導出檢測區間而進入測盤周緣之載槽續行被間歇輸送；而該透明玻璃形成的檢測視窗則設在疊覆於該限位件及測盤周緣載槽上方之覆載元件上，且檢測視窗對應於該限位件之檢測區間上方。

習知之光學檢測作業由於電子元件被經常性頻繁地導入及導出該限位件之檢測區間，故常頻繁地碰觸到檢測區間上方對應之透明玻璃形成的檢測視窗，使該檢測視窗常沾附有該受檢之電子元件表面粉塵或其他污塵，在累積一定程度後將使該檢測視窗之玻璃表面被遮覆，影響上方光學檢測之檢測結果；若欲進行該檢測視窗之玻璃表面清潔，則由於沾污面位於下方之內側，除非將疊覆於該限位件及測盤周緣載槽上方之覆載元件，以及覆載元件上載設之其它檢測機構及儀器全部移除，否則難以執行覆載元件上檢測視窗內側面清潔之工作，令業者十分苦惱！爰是，本發明之目的，在於提供一種在清潔檢測視窗時，可無須拆除覆載元件及其上檢測設備的檢測視窗清潔方法。

本發明另一目的，在於提供一種在清潔檢測視窗時，可無須拆除覆載元件及其上檢測設備的檢測裝置。

依據本發明目的之檢測視窗清潔方法，包括：一使檢測視窗與限位件檢測區間呈相對滑動位移進行髒污刮除之步驟；一使檢測視窗回復原位之步驟；藉由以上步驟之執行，完成檢測視窗的清潔工作者。

依據本發明另一目的之檢測裝置，包括：一測盤，其周緣設有可供載置元件之載槽；一限位件，其上設有一鏤空狀限位區間，並設於測盤周緣載槽外側，限位件上設有一檢測區間；一覆載元件，其上設有一鏤空狀操作區間，並設於測盤周緣載槽及限位件上方，其上設有一具透明之檢測視窗的視窗機構，其上之檢測視窗與限位件之檢測區間對應，並可被操作與限位件之檢測區間作相對滑動位移者。

本發明實施例所提供之方法及裝置，藉由提供檢測視窗可以與限位件之檢測區間作相對滑動位移，促成檢測視窗可以將其上透明玻璃下方之電子元件粉塵污垢之髒污刮除脫落，使檢測視窗在清潔時無須再拆卸疊覆於該限位件及測盤周緣載槽上方之覆載元件，以及覆載元件上載設之其它檢測裝置，使檢測視窗內側面之清潔工作更容易，相對使光學檢測的品質可以更理想，使檢測良率可以更提高。

1‧‧‧機台台面

2‧‧‧測盤

21‧‧‧載槽

3‧‧‧視窗機構

31‧‧‧視窗框座

311‧‧‧檢測視窗

312‧‧‧第二傾斜端邊

32‧‧‧限制座

321‧‧‧窺視區間

322‧‧‧位移區間

33‧‧‧繫索件

34‧‧‧導索座

341‧‧‧導溝

35‧‧‧彈性元件

4‧‧‧覆載元件

41‧‧‧操作區間

42‧‧‧第一傾斜端邊

421‧‧‧第一傾斜端邊

43‧‧‧視窗位移區

5‧‧‧驅動機構

51‧‧‧引索

52‧‧‧座板

53‧‧‧滑輪

54‧‧‧固定部

55‧‧‧氣缸

551‧‧‧缸軸

552‧‧‧氣管

6‧‧‧限位件

61‧‧‧限位區間

62‧‧‧檢測區間

621‧‧‧刮緣

63‧‧‧氣壓通道

64‧‧‧缺口

71‧‧‧限制座

72‧‧‧套件

721‧‧‧套孔

73‧‧‧驅動機構

731‧‧‧滑軌

732‧‧‧滑座

733‧‧‧缸軸

734‧‧‧氣缸

735‧‧‧銷件

736‧‧‧氣管

737‧‧‧連接件

738‧‧‧感應件

74‧‧‧感應器

第一圖係本發明實施例設於機台台面之機構立體示意圖。

第二圖係本發明實施例中之驅動機構背面構造立體示意圖。

第三圖係本發明實施例中之視窗機構設於機台台面之立體分解示意圖。

第四圖係本發明實施例中視窗機構之立體示意圖(一)。

第五圖係本發明實施例中視窗機構之立體示意圖(二)。

第六圖係本發明實施例中視窗機構的視窗框座關閉檢測區間之剖面示意圖。

第七圖係本發明實施例中視窗機構的視窗框座操作自檢測區間開啟之剖面示意圖。

第八圖係本發明另一實施例設於機台台面之機構立體示意圖。

第九圖係本發明另一實施例中驅動機構之背面立體示意圖。

請參閱第一圖所示，本發明實施例之清潔方法可使用在以下檢測裝置中，例如使用在機台台面1所設執行間歇性旋轉流路之測盤2周側供作光學檢測之檢測視窗311上，該檢測視窗311可由透明玻璃所構成，其設於覆置於測盤2周緣環列佈設之載槽21上方的覆載元件4上；該檢測視窗311同時為一視窗機構3的一部份，在受限機台台面1上必須設置多種檢測機構及儀器之空間限制下，為了操作檢測視窗311之功能，可以設置之驅動機構5，使視窗機構3藉一引索51可以和驅動機構5連結，而驅動機構5可藉一座板52固設於機台台面1上，並藉由座板52上之滑輪53來轉繞引索51之方向，以避開原設於機台台面1上之既有檢測機構及儀器，並將引索51之一端固設於座板52末端之一固定部54上。

請參閱第二圖，該驅動機構5固設引索51之固定部54係設於一安裝在座板52背面之一單動式氣缸55的缸軸551上，為了空間之考慮，該氣缸55係一長扁型之構造，並設有氣管552可藉其通入氣壓以驅使缸軸551自氣缸55伸出，或在自氣管552洩氣時，令缸軸551依內部彈性回復力作用(該氣缸55為一般市售品，非本發明特徵，茲不贅述其構造)縮回氣缸55中，藉此以控制引索51之被鬆放或拉引。

請參閱第三圖，該機台台面1上之測盤2載槽21外周緣係設有一限位件6，其厚度與測盤2之厚度約略相當，但形成一C型之造型而於中央形成一鏤空狀限位區間61，其內徑較測盤2外徑略大，故可以該限位區間61圍設於測盤2周緣載槽21外周側，主要用以防止載槽21中被間歇旋轉輸送之電子元件被拋出；在限位件6限位區間61內周緣與載槽21對應處設有一檢測區間62，該檢測區間62與一氣壓通道63連通，並與限位區間61間設有一缺口64，可供與其對應之測盤2周緣載槽21中電子元件可在氣壓通道63之負壓吸引下，經該缺口63移入檢測區間62接受光學檢測。

該覆載元件4覆蓋在限位件6上方，其形成一C型之造型而於中央形成一鏤空狀操作區間41，該操作區間41內徑較測盤2外徑略小，故同時亦可覆設於測盤2周緣環列佈設之載槽21上方，藉以防止載槽21中之電子元件自上方拋落，其與限位件6之檢測區間62對應之部位設一近長方形而一端形成第一傾斜端邊42之鏤空狀視窗位移區43，該第一傾斜端邊42之設計可使該端邊儘量靠近鏤空狀操作區間41內緣。

請配合參閱第三、四圖，該視窗機構3以一近長方形而一端形成第二傾斜端邊312之視窗框座31設置並鑲嵌該檢測視窗311，並使該視窗框座31設於該覆載元件4之視窗位移區42中，使該第二傾斜端邊312與覆載元件4之視窗位移區42中的第一傾斜端邊421相嵌配，而該視窗位移區42之長度較視窗框座31 之長度大，使視窗框座31可於視窗位移區42中滑動位移，並以一跨於視窗框座31上方而固定於視窗位移區42兩側覆載元件4上的限制座32限制視窗框座31僅能在視窗位移區42中滑動位移；該限制座32一側開設一窺視區間321，以供視窗框座31往另一側位移時仍可對其上之檢測視窗311一覽無遺，限制座32另一側開設一位移區間322，可提供固設於視窗框座31一端之繫索件33隨視窗框座31位移時之游移空間；該繫索件33使穿經一固定於覆載元件4之導索座34上導溝341之引索51一端，藉繫索件33螺固於視窗框座31時，一併將其螺固在視窗框座31與其連動，而導索座34與繫索件33間的引索51則套設一彈性元件35。

請參閱第五圖，視窗機構3設有檢測視窗311之視窗框座31可以藉撥扳該繫索件33而被移動，以使檢測視窗311可以被連動產生位移，亦可藉由引索51對繫索件33之拉引而連動位移。

請參閱第六、七圖，檢測視窗311可以被引索51連動產生位移之效果，係促成檢測視窗31被清潔的因素；因為載有檢測視窗31之視窗框座31被設於機台台面1上覆載元件4之鏤空狀視窗位移區43中，等於檢測視窗31之透明玻璃貼抵於測盤2周緣載槽21及限位件6之檢測區間62上方，故當視窗框座3在上方受限制座32限制下，引索51拉動繫索件33而使視窗框座31連動往一側位移時，一方面繫索件33將壓縮彈性元件35蓄積回復力，同時該檢測視窗31之透明玻璃將被連動移刮限位件6檢測區間62內周緣上方之尖銳端緣形成的刮緣621，使原積累沾附於檢測視窗31之透明玻璃下方的電子元件粉塵污垢之髒污被順勢移刮而脫落；而在粉塵污垢之髒污被移刮後，可以自限位件6之氣壓通道63(圖示於第三圖)施予一正壓之氣體，則被移刮掉落之粉塵污垢髒污即可被吹散，而完成對檢測視窗31之透明玻璃清潔之工作；當完成檢測視窗31之透明玻璃清潔後，引索51釋放對繫索件33之拉引，則彈性元件35將依其蓄積之回復力而伸張，並推移繫索件33連動視窗框座31載移檢測視窗31之透明玻璃回復原位。

因此，在清潔檢測視窗31之操作上，可以歸納採用以下步驟來執行，包括：一使測盤2空轉並清空載槽21上電子元件產品的步驟；一使氣缸55將缸軸551拉回而帶動引索51拉動載有檢測視窗31之視窗框座31，使檢測視窗31與限位件6檢測區間62內刮緣621相對滑動位移進行髒污刮除之步驟；一使與檢測視窗31相通之氣壓通道63施予正壓氣體進行髒污吹離之排除步驟；一使氣缸55將缸軸551推出而帶動引索51連動載有檢測視窗31之視窗框座31回復原位之步驟；藉由以上步驟之執行，即可自動完成檢測視窗31的清潔工作。

而實務上，驅動機構5係為大量而有效率之檢測作業所作之設計，使藉由自動控制一段時間或一定電子元件檢測數量時，即自動控制所述氣缸55進行操作載有檢測視窗31之視窗框座31滑動位移進行髒污刮除作業；若在一般停機維修作業下，則單純撥動繫索件33或視窗框座31，亦皆可達成髒污刮除之目的；而一般電子元件之檢測基於規格之需求，並不限於僅設置一組光學檢測機構及儀器者，設有透明玻璃檢測視窗311者亦可能被應於於其他物理特性檢測中，故依本發明實施例所提供之清潔方法及檢測裝置，亦可適用於非光學檢測場合，且並不限於僅設一組光學檢測機構及儀器之場合。

本發明實施例藉由提供檢測視窗311可以與限位件之檢測區間作相對滑動位移，促成檢測視窗31可以將其上透明玻璃下方之電子元件粉塵污垢之髒污刮除脫落，使檢測視窗31在清潔時無須再拆卸疊覆於該限位件及測盤周緣載槽上方之覆載元件，以及覆載元件上載設之其它檢測裝置，使檢測視窗內側面之清潔工作更容易，相對使光學檢測的品質可以更理想，使檢測良率可以更提高。

請參閱第八、九圖，本發明另一實施例主要係將限制視窗框座31僅能在視窗位移區42中滑動位移者，設為分別固設視窗位移區42兩側而跨覆於視窗框座31兩側上緣的限制座71，同時在視窗框座31上固設一與其連動之套件72，其具有一套孔721；另設有一驅動機構73，其包括一設於一滑軌731上之滑座732，以及與一設有缸軸733之單動式氣缸734；該滑座732上設有一凸設之銷件735供該套件72之套孔721套設形成連動；該氣缸734係一長扁型之構造，並設有氣管736(本單動式氣缸734與第一圖之實施例所示者相同，但因固設方向相反，故驅動方向亦相反，茲不贅述其構造、作動功能)，其缸軸733前端以一連接件737與該滑座732連設，使藉自氣管736通入氣壓以驅使缸軸733自氣缸734伸出，或在自氣管736洩氣時，令缸軸733依內部彈性回復力作用縮回氣缸734中，藉此以驅動並控制滑座732連動套件72及視窗框座31上檢測視窗311滑動位移；滑座732上同時設有感應件738受一感應器74所感測，藉以執行驅動機構73是否依設定將視窗框座31上檢測視窗311開啟或關閉之檢測；此項驅動機構73之設計實施例，將適宜在具有可設驅動機構73之空間環境下實施，其視窗框座31與驅動機構73間藉一套件72作銷件735與套孔721套設形成連動的方式，有助於當覆載元件4因檢測之電子元件規格改變而須更換時，僅須直接取下覆載元件4，則視窗框座31與套件72將與覆載元件4一併自該銷件735與套孔721套設脫離而卸下，使適應規格需求之更換覆載元件4作業，亦無須動到驅動機構73，省卻後續安裝及調校之作業。

惟以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，即大凡依本發明申請專利範圍及發明說明內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。