JP5407318B2 - 薄板の搬送面接触状態検出方法 - Google Patents
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Description
3 カメラ
5 コントローラ
5a CPU
5b RAM
5c ROM
10 浮上搬送装置
11 搬送ユニット
21 チャンバ
23 ファン・フィルタユニット
25 浮上ユニット
27 スロット
29 ローラ支持部材
31 搬送ローラ
31G 駆動機構
33 搬送モータ
34 ベルトプーリ機構
35 主動プーリ
37 タイミングベルト
39 従動プーリ
41 ローラ支持部材
43 フリーローラ
43G 従動機構
B 支持台
S 搬送面
T ターゲット
W 薄板
X 搬送方向
Y 幅方向
Z 高さ方向
t 載置位置
Claims (3)
- 搬送面から浮上させて搬送方向に搬送される薄板の前記搬送面に対する接触状態を検出する方法であって、
前記搬送面と前記薄板の搬送経路とを、前記搬送面から前記搬送方向と交わる幅方向に離間して配置されたカメラにより撮影し、
前記カメラにより撮影された前記搬送経路を通過する前記薄板及び前記搬送面の画像の画像データに基づいて、前記薄板の少なくとも一部に設定された複数のポイントにターゲットを載置して前記薄板を前記搬送方向に搬送させ、前記カメラにより撮影された前記搬送経路を通過する前記薄板及び前記搬送面の画像の画像データに基づいて前記ターゲットの位置を検出し、検出した前記ターゲットの位置に基づいて、搬送中の前記薄板の前記搬送面に対する高さ方向の相対位置を前記各ポイントについてそれぞれ検出し、
前記各ポイントについてそれぞれ検出した、前記搬送中の薄板の前記搬送面に対する前記高さ方向の相対位置に基づいて、前記搬送中の薄板の前記搬送面に対する接触部分の位置を検出し、
検出した前記搬送中の薄板の前記搬送面に対する接触部分の位置に基づいて、前記搬送中の薄板の前記搬送面に対する接触状態を検出する、
ことを特徴とする薄板の搬送面接触状態検出方法。 - 前記幅方向における前記カメラから前記各ポイントまでの距離に応じて高さが異なる既知の高さのターゲットを前記各ポイントにそれぞれ載置した前記薄板の搬送中に、前記カメラにより前記搬送面と前記搬送経路とを撮影することを特徴とする請求項1記載の薄板の搬送面接触状態検出方法。
- 所定高さの前記ターゲットの載置箇所を前記各ポイントの中で順次変えつつ前記薄板を繰り返し搬送させ、該薄板を繰り返し搬送する毎に、前記カメラにより前記搬送面と前記搬送経路とを撮影することを特徴とする請求項1記載の薄板の搬送面接触状態検出方法。
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JP4763910B2 (ja) * | 2001-04-05 | 2011-08-31 | 三菱重工業株式会社 | 移動物体接触判定方法 |
JP4700430B2 (ja) * | 2005-07-26 | 2011-06-15 | シーケーディ株式会社 | 非接触支持装置の検査方法 |
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2008
- 2008-12-18 JP JP2008322556A patent/JP5407318B2/ja active Active
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